顆粒度測試儀的夾具裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶圓級封裝領(lǐng)域，尤其涉及一種顆粒度測試儀的夾具裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體晶圓級封裝的先進封裝技術(shù)中需要使用NT Reflex 300這種型號的顆粒度測量設(shè)備對晶圓進行表面的顆粒測量，用于評估生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部環(huán)境。如圖1所示的現(xiàn)有的顆粒度測試儀的Sinch夾具的示意圖和圖2所示的顆粒度測試儀的12inch夾具的示意圖，在考慮成本的前提下，一臺顆粒度測量設(shè)備需要能測量Sinch?12inch的晶圓樣本，需要頻繁的更換夾具，而在切換時需要通過拆卸螺釘頻繁的更換相對應(yīng)的夾盤的夾具，比較耗時，同時也會損壞設(shè)備夾盤。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]在下文中給出關(guān)于本發(fā)明的簡要概述，以便提供關(guān)于本發(fā)明的某些方面的基本理解。應(yīng)當(dāng)理解，這個概述并不是關(guān)于本發(fā)明的窮舉性概述。它并不是意圖確定本發(fā)明的關(guān)鍵或重要部分，也不是意圖限定本發(fā)明的范圍。其目的僅僅是以簡化的形式給出某些概念，以此作為稍后論述的更詳細描述的前序。
[0004]本發(fā)明的目的是提供一種顆粒度測試儀的夾具裝置。
[0005]本發(fā)明提供了一種顆粒度測試儀的夾具裝置，包括夾盤，夾盤上設(shè)置有至少三個沿夾盤圓周方向均勾布設(shè)的卡桿，卡桿沿夾盤的徑向向外懸伸，卡桿上設(shè)置有向上凸起的定位臺，卡桿的上方插裝有定位銷，定位銷位于夾盤與定位臺之間。
[0006]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是本發(fā)明提供的顆粒度測試儀的夾具裝置，不需要頻繁拆卸螺釘就可以方便切換8inch和12inch夾具，以便很快的測量8inch和12inch晶圓。定位臺以及定位銷的設(shè)置實現(xiàn)在一臺顆粒度測試儀上對不同尺寸的晶圓的顆粒度的測試。
【附圖說明】
[0007]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0008]圖1為現(xiàn)有的顆粒度測試儀的8inch夾具的示意圖。
[0009]圖2為現(xiàn)有的顆粒度測試儀的12inch夾具的示意圖。
[0010]圖3為本發(fā)明的實施例提供的顆粒度測試儀的夾具裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖4為本發(fā)明的實施例提供的顆粒度測試儀的夾具裝置的俯視圖。
[0012]圖5為本發(fā)明的實施例提供的卡桿的俯視圖。
[0013]圖6為本發(fā)明的實施例提供的卡桿的剖面圖。
[0014]圖7為本發(fā)明的實施例提供定位銷的主視圖。
[0015]圖8為本發(fā)明的實施例提供定位銷的仰視圖。
[0016]附圖標(biāo)記:
[0017]10-夾盤11-真空吸盤20-卡桿
[0018]21-定位臺22-定位銷221-定位帽
[0019]222-插銷主體23-連接板24-定位孔
【具體實施方式】
[0020]為使本發(fā)明實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。在本發(fā)明的一個附圖或一種實施方式中描述的元素和特征可以與一個或更多個其它附圖或?qū)嵤┓绞街惺境龅脑睾吞卣飨嘟Y(jié)合。應(yīng)當(dāng)注意，為了清楚的目的，附圖和說明中省略了與本發(fā)明無關(guān)的、本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的部件和處理的表示和描述。基于本發(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有付出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0021]如圖3所示的本發(fā)明的實施例提供的顆粒度測試儀的夾具裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本發(fā)明的實施例提供的顆粒度測試儀的夾具裝置的俯視圖。如圖3、圖4所示，本發(fā)明提供的顆粒度測試儀的夾具裝置，包括夾盤10，夾盤10上設(shè)置有至少三個沿夾盤圓周方向均勻布設(shè)的卡桿20，卡桿20沿夾盤10的徑向向外懸伸，卡桿20上設(shè)置有向上凸起的定位臺21，卡桿的上方插裝有定位銷22，定位銷22位于夾盤I與定位臺21之間。定位臺21以及定位銷22的設(shè)置實現(xiàn)在一臺顆粒度測試儀上實現(xiàn)對不同尺寸的晶圓的顆粒度的測試。
[0022]進一步地，如圖4所示，夾盤10的頂部固定連接有真空吸盤11，通過設(shè)置真空吸盤11，用于吸附放置在夾盤10上的晶圓。
[0023]進一步地，夾盤10的頂部沿夾盤10的圓周方向均勻設(shè)置有三個真空吸盤11，均勻設(shè)置三個真空吸盤11，有利于晶圓在被真空吸盤11吸附時各處受力均勻，晶圓平面平整，減少顆粒度測試中的人為誤差。
[0024]進一步地，夾盤10的頂面與卡桿20的頂面位于同一平面內(nèi)，便于晶圓平整的放置于夾盤10與卡桿20所在的平面。
[0025]進一步地，卡桿20靠近夾盤10的端部一體連接有向下延伸的連接板23，連接板23通過螺釘與夾盤10固定連接。在連接板23上設(shè)置螺釘孔用于放置螺釘，方便卡桿20與夾盤10緊固連接。
[0026]進一步地，如圖5所示，卡桿10為扁平桿，卡桿10的寬度為15mm，定位臺21的高度為10_，當(dāng)然，根據(jù)實際使用需要，此處的寬度及高度可為其它值。
[0027]進一步地，卡桿10的長度為110mm，用于形成12inch夾具。
[0028]進一步地，定位銷22距卡桿靠近夾盤10的端部的距離為64mm，通過將定位銷22設(shè)置于卡桿20靠近夾盤10的端部64mm的地方，用于形成8inch夾具，直接在12inch夾具上實現(xiàn)Sinch夾具的轉(zhuǎn)換。定位銷22以及定位臺21對晶圓進行定位以及防止測試過程中晶圓被用出。
[0029]進一步地，如圖6所示，定位銷22包括定位帽221和固定連接于定位冒同側(cè)的兩個插銷主體222，兩個插銷主體222的軸線相互平行。
[0030]進一步地，如圖6所示，卡桿20上設(shè)置有兩個與插銷主體222對應(yīng)配合的定位孔24，定位孔24為盲孔，兩定位孔24的中心連線垂直于卡桿的長度延伸方向。
[0031]如圖5、圖6所示，定位孔24的孔徑為2.6mm且兩定位孔24的中心距為7.5mm，定位銷的高度為9mm。在連接板23上設(shè)置螺釘孔用于放置螺釘，方便卡桿20與夾盤10緊固連接，定位銷22設(shè)置在卡20桿上，可拆卸固定，實現(xiàn)在一臺顆粒度測試儀上實現(xiàn)Sinch夾具及12inch夾具的轉(zhuǎn)換。
[0032]如圖7、圖8所示，兩個插銷主體24關(guān)于定位帽221的軸線對稱，插銷主體222的直徑為2.5_。插銷主體222的直徑小于定位孔24的孔徑，便于定位銷22的插裝于定位孔24內(nèi)。
[0033]本發(fā)明提供的顆粒度測試儀的夾具裝置，在夾盤10的頂部沿夾盤10的圓周方向均勻設(shè)置有三個真空吸盤11，用來吸附8inch的晶圓或者12inch的晶圓，如圖6所示的本發(fā)明的實施例提供的夾具的剖視圖，定位銷22或者定位臺21均對晶圓進行定位以及防止晶圓被用出去。
[0034]本發(fā)明提供的顆粒度測試儀的夾具裝置，將8inch夾具和12inch夾具整合到一臺顆粒度測量設(shè)備上，定位銷22插裝在卡桿上形成Sinch夾具，定位銷22取掉則變成12inch夾具，不需要頻繁拆卸螺釘就可以方便切換8inch和12inch夾具，以便很快的測量8inch和12inch晶圓。
[0035]最后應(yīng)說明的是:雖然以上已經(jīng)詳細說明了本發(fā)明及其優(yōu)點，但是應(yīng)當(dāng)理解在不超出由所附的權(quán)利要求所限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下可以進行各種改變、替代和變換。而且，本發(fā)明的范圍不僅限于說明書所描述的過程、設(shè)備、手段、方法和步驟的具體實施例。本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員從本發(fā)明的公開內(nèi)容將容易理解，根據(jù)本發(fā)明可以使用執(zhí)行與在此所述的相應(yīng)實施例基本相同的功能或者獲得與其基本相同的結(jié)果的、現(xiàn)有和將來要被開發(fā)的過程、設(shè)備、手段、方法或者步驟。因此，所附的權(quán)利要求旨在在它們的范圍內(nèi)包括這樣的過程、設(shè)備、手段、方法或者步驟。
【主權(quán)項】
1.一種顆粒度測試儀的夾具裝置，包括夾盤，其特征在于，所述夾盤上設(shè)置有至少三個沿所述夾盤圓周方向均勻布設(shè)的卡桿，所述卡桿沿所述夾盤的徑向向外懸伸，所述卡桿上設(shè)置有向上凸起的定位臺，所述卡桿的上方插裝有定位銷，所述定位銷位于所述夾盤與所述定位臺之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒度測試儀的夾具裝置，其特征在于，所述夾盤的頂部固定連接有真空吸盤。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顆粒度測試儀的夾具裝置，其特征在于，所述夾盤的頂部沿所述夾盤的圓周方向均勻設(shè)置有三個所述真空吸盤。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒度測試儀的夾具裝置，其特征在于，所述夾盤的頂面與所述卡桿的頂面位于同一平面內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒度測試儀的夾具裝置，其特征在于，所述卡桿靠近所述夾盤的端部一體連接有向下延伸的連接板，所述連接板通過螺釘與所述夾盤固定連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒度測試儀的夾具裝置，其特征在于，所述卡桿為扁平桿，所述卡桿的寬度為15mm，所述定位臺的高度為10mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的顆粒度測試儀的夾具裝置，其特征在于，所述卡桿的長度為IlOmm0
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的顆粒度測試儀的夾具裝置，其特征在于，所述定位銷距所述卡桿靠近所述夾盤的端部的距離為64_。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項所述的顆粒度測試儀的夾具裝置，其特征在于，所述定位銷包括定位帽和固定連接于所述定位冒同側(cè)的兩個插銷主體，兩個所述插銷主體的軸線相互平行。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的顆粒度測試儀的夾具裝置，其特征在于，所述卡桿上設(shè)置有兩個與所述插銷主體對應(yīng)配合的定位孔，所述定位孔為盲孔，兩所述定位孔的中心連線垂直于所述卡桿的長度延伸方向。
【專利摘要】本實用新型提供了一種顆粒度測試儀的夾具裝置，包括夾盤，夾盤上設(shè)置有至少三個沿夾盤圓周方向均勻布設(shè)的卡桿，卡桿沿夾盤的徑向向外懸伸，卡桿上設(shè)置有向上凸起的定位臺，卡桿的上方插裝有定位銷，定位銷位于夾盤與定位臺之間。定位臺以及定位銷的設(shè)置實現(xiàn)在一臺顆粒度測試儀上對不同尺寸的晶圓的顆粒度的測試。本實用新型提供的顆粒度測試儀的夾具裝置，在半導(dǎo)體晶圓級封裝領(lǐng)域，不需要頻繁拆卸螺釘就可以方便切換8inch和12inch夾具，以便很快的測量8inch和12inch晶圓。
【IPC分類】H01L21-66
【公開號】CN204315524
【申請?zhí)枴緾N201420804445
【發(fā)明人】陳國華
【申請人】南通富士通微電子股份有限公司
【公開日】2015年5月6日
【申請日】2014年12月17日