一種柔性顯示基板及其制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于柔性顯示領(lǐng)域，具體涉及一種柔性顯示基板，及其柔性顯示基板結(jié)構(gòu)，以及該柔性顯示基板的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]柔性顯示裝置是通過在柔性基板上形成若干個(gè)顯示元件來制造，通常在制造過程中需先將柔性基板通過粘結(jié)劑貼合到一個(gè)剛性基板上，使得柔性基板在后續(xù)的制程中保持良好的平整度。待各種后續(xù)制程完成后，再將柔性基板從剛性基板上分離，從而完成柔性顯示裝置的制備。
[0003]例如，圖1是傳統(tǒng)柔性顯示裝置的制備流程圖，首先提供一剛性基板S11，為了制造柔性顯示裝置，在剛性基板上形成粘結(jié)層S12，接著在粘結(jié)層上沉積形成或貼付一層柔性基板S13，在柔性基板表面上形成顯示元件S14，最后將剛性基板與柔性基板進(jìn)行分離S15，由此完成柔性顯示裝置的制造。
[0004]然而，在傳統(tǒng)柔性顯示裝置制備過程中，由于采用聚對(duì)二甲苯等傳統(tǒng)有機(jī)粘結(jié)劑，該類材料在后續(xù)顯示元件制備過程中，由于制程溫度影響，材料的穩(wěn)定性下降，產(chǎn)生鼓氣現(xiàn)象，影響柔性基板平整度。柔性基板若出現(xiàn)鼓泡現(xiàn)象，可導(dǎo)致顯示元件的膜層不平整，影響顯示元件的電性，繼而影響良率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明一方面提供了一種柔性顯示基板，該柔性顯示基板包括:柔性基板；設(shè)置在所述柔性基板第一表面上的顯示元件；以及設(shè)置在所述柔性基板第二表面上的離型層結(jié)構(gòu)，所述離型層結(jié)構(gòu)包括至少一層離型層；所述離型層為含有分子間氫鍵的無機(jī)物材料。
[0006]可選地，所述無機(jī)物材料為氮化硅，且所述氮化硅材料中分子間氫鍵的含量為8mol % ?lGmol %。
[0007]可選地，所述離型層的厚度為10?lOOnm。
[0008]本發(fā)明另一方面還提供了一種柔性顯示基板結(jié)構(gòu)，所述基板結(jié)構(gòu)包括支撐載體、柔性顯示基板，其中，所述柔性顯示基板采用上述的柔性顯示基板；所述離型層結(jié)構(gòu)位于所述柔性基板和所述支撐載體之間。
[0009]可選地，所述離型層結(jié)構(gòu)還包括至少一層阻水層，并且至少一層所述阻水層與所述柔性基板直接結(jié)合。
[0010]可選地，在所述離型層結(jié)構(gòu)中，至少一層所述離型層與所述支撐載體直接結(jié)合。[0011 ] 可選地，在所述離型層結(jié)構(gòu)中，所述離型層和所述阻水層交替設(shè)置。
[0012]可選地，所述阻水層的厚度為10?300nm。
[0013]可選地，所述阻水層包括無機(jī)物材料。
[0014]可選地，所述阻水層包括二氧化硅。
[0015]本發(fā)明再一方面提供了一種柔性顯示基板的制造方法，所述柔性顯示基板的制造方法包括以下步驟:提供一支撐載體；在所述支撐載體上形成離型層結(jié)構(gòu)，所述離型層結(jié)構(gòu)包括至少一層離型層，其中，所述離型層為含有分子間氫鍵的無機(jī)物材料；在所述支撐載體上形成柔性基板，所述離型層結(jié)構(gòu)形成于所述柔性基板和所述支撐載體之間；在所述柔性基板遠(yuǎn)離所述支撐載體的一側(cè)形成顯示元件；對(duì)所述離型層結(jié)構(gòu)進(jìn)行光照，將所述柔性基板從所述的支撐載體上剝離。
[0016]可選地，所述將所述柔性基板從所述的支撐載體上剝離包括，對(duì)所述支撐載體遠(yuǎn)離所述柔性基板的表面進(jìn)行光照。
[0017]可選地，所述光照為激光照射，并且所述激光照射的能量為200?350mj/cm2。
[0018]可選地，所述在所述支撐載體上形成離型層結(jié)構(gòu)包括:所述離型層通過PECVD方法沉積形成。
[0019]可選地，在所述沉積過程中，將原料3迅、順3和1引入沉積室中進(jìn)行反應(yīng)，所述沉積室內(nèi)的反應(yīng)溫度在350攝氏度?450攝氏度范圍內(nèi)，反應(yīng)壓強(qiáng)在1.5Torr?2.5Torr范圍內(nèi)，以及引入所述原料3迅、順3和1的流速摩爾比為1:5:20?1:4:12。
[0020]可選地，所述在所述支撐載體上形成離型層結(jié)構(gòu)包括:至少形成一層阻水層，并且至少一層所述阻水層與所述柔性基板直接結(jié)合。
[0021]可選地，至少一層所述離型層與所述支撐載體直接結(jié)合。
[0022]可選地，所述在所述支撐載體上形成離型層結(jié)構(gòu)包括:所述離型層和所述阻水層交替形成。
[0023]可選地，所述阻水層包括無機(jī)物材料。
[0024]可選地，所述阻水層包括二氧化硅。
[0025]可選地，所述在所述柔性基板遠(yuǎn)離所述支撐載體的一側(cè)形成顯示元件包括:在所述支撐載體上制作有機(jī)發(fā)光二極管顯示器件。
[0026]采用本發(fā)明的柔性顯示基板及其結(jié)構(gòu)和制造方法，其中的離型層采用含有分子間氫鍵的無機(jī)物材料，當(dāng)其接受足夠能量的光照輻射時(shí)，材料中的分子間氫鍵被破壞，氫元素溢出，造成離型層破碎從而轉(zhuǎn)變成被剝離的結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)柔性基板的剝離；一方面，該離型層不會(huì)在后續(xù)的制作過程中因溫度的影響產(chǎn)生氣泡，從而可以保證柔性基板在整個(gè)柔性顯示裝置的制作過程中保持平整；另一方面，離型層的剝離過程也不會(huì)影響到柔性基板上的顯示元件等；可以大大提高柔性顯示裝置的良率；再者，離型膜的成膜操作簡(jiǎn)單，且造價(jià)比現(xiàn)有技術(shù)的有機(jī)粘結(jié)劑低，可以節(jié)約成本。
【附圖說明】
[0027]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中傳統(tǒng)柔性顯示裝置的制備流程圖；
[0028]圖2為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例1的柔性顯示基板的剖視示意圖；
[0029]圖3為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例1的柔性顯示基板結(jié)構(gòu)的剖視示意圖；
[0030]圖4為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例1的柔性顯示基板的制造方法中的剝離步驟的示意圖；
[0031]圖5為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例2的離型層結(jié)構(gòu)的剖視示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0032]以下將結(jié)合附圖所示的【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述。但這些實(shí)施方式并不限制本發(fā)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)這些實(shí)施方式所做出的結(jié)構(gòu)、方法、或功能上的變換均包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
[0033]現(xiàn)在將參考附圖更全面地描述示例實(shí)施方式。然而，示例實(shí)施方式能夠以多種形式實(shí)施，且不應(yīng)被理解為限于在此闡述的實(shí)施方式；相反，提供這些實(shí)施方式使得本發(fā)明將全面和完整，并將示例實(shí)施方式的構(gòu)思全面地傳達(dá)給本領(lǐng)域的技術(shù)人員。在圖中相同的附圖標(biāo)記表示相同或類似的結(jié)構(gòu)，因而將省略對(duì)它們的重復(fù)描述。
[0034]所描述的特征、結(jié)構(gòu)或特性可以以任何合適的方式結(jié)合在一個(gè)或更多實(shí)施方式中。在下面的描述中，提供許多具體細(xì)節(jié)從而給出對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的充分理解。然而，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)意識(shí)到，沒有特定細(xì)節(jié)中的一個(gè)或更多，或者采用其它的方法、組元、材料等，也可以實(shí)踐本發(fā)明的技術(shù)方案。在某些情況下，不詳細(xì)示出或描述公知結(jié)構(gòu)、材料或者操作以避免模糊本發(fā)明。
[0035]本文中所述的“形成于/位于/設(shè)置在/在…(之)上”應(yīng)當(dāng)理解為包括直接接觸的“形成于/位于/設(shè)置在/在…(之)上”和不直接接觸的“形成于/位于/設(shè)置在/在…(之)上”。
[0036]本發(fā)明的附圖僅用于示意相對(duì)位置關(guān)系和電連接關(guān)系，某些部位的層厚采用了夸示的繪圖方式以便于理解，附圖中的層厚并不代表實(shí)際層厚的比例關(guān)系。
[0037]實(shí)施例1
[0038]如圖2所示，為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例1的柔性顯示基板200的剖視示意圖，包括柔性基板203 ;
[0039]設(shè)置在所述柔性基板203第一表面(即如圖2所示的上表面)上的顯示元件204;以及
[0040]設(shè)置在所述柔性基板第二表面(即如圖2所示的下表面)上的離型層結(jié)構(gòu)202，
[0041]離型層結(jié)構(gòu)202包括至少一層離型層2021 ；
[0042]離型層2021為含有分子間氫鍵的無機(jī)物材料。
[0043]本實(shí)施例所提供的柔性顯示基板的離型層2021為含有分子間氫鍵的無機(jī)物材料，具有很好的粘著力，易與柔性基板或其他載體結(jié)合，制程簡(jiǎn)單，且不會(huì)在后續(xù)的制作過程中因溫度的影響產(chǎn)生氣泡，保證了顯示器件在制作過程中的平整性要求。另一方面，離型層2021在光照的條件下容易剝離，能夠?qū)崿F(xiàn)柔性基板和其他載體的快速分離。
[0044]可選的，在本實(shí)施例中，離型層2021所使用的無機(jī)物材料為含有分子間氫鍵的氮化娃材料，且該