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一種太陽能硅片線痕檢測(cè)裝置的制造方法

文檔序號(hào):9599172閱讀:808來源:國(guó)知局
一種太陽能硅片線痕檢測(cè)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及太陽能硅片檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種太陽能硅片線痕檢測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽能電池的硅片制造過程中,主要是通過多線切割機(jī)將硅錠切割成硅片,然而由于硅錠內(nèi)可能存在雜質(zhì)、砂漿中的碳化硅大顆?;蛘呱皾{結(jié)塊、砂漿磨削能力不夠或切片機(jī)砂漿回路系統(tǒng)存在問題、切片機(jī)液壓夾緊裝置表面有砂漿異物或托板、硅塊倒角余膠沒清洗干凈等。硅片容易產(chǎn)生線痕,而線痕對(duì)后道電池片制造過程會(huì)產(chǎn)生色差、虛印、增加碎片等不良影響,線痕產(chǎn)生原因復(fù)雜多變又無法從根本上解決,因此,在硅片出廠之前需要對(duì)其線痕進(jìn)行檢測(cè),通過檢測(cè)的參數(shù)淘汰劣質(zhì)的硅片,或?qū)杵M(jìn)行等級(jí)分級(jí),檢測(cè)合格的硅片經(jīng)進(jìn)一步處理,如在其表面形成導(dǎo)電電柵,最終形成用來發(fā)電的電池片。
[0003]傳統(tǒng)的線痕檢測(cè)方法是采用人工肉眼觀察以及用手觸摸,根據(jù)目測(cè)和觸感來判斷線痕等級(jí),對(duì)人的依賴性大,工作人員工作時(shí)間長(zhǎng),不同的硅片檢驗(yàn)人員檢測(cè)同一個(gè)硅片結(jié)果有差異,同一個(gè)娃片檢驗(yàn)人員在不同時(shí)刻檢驗(yàn)同一個(gè)娃片也會(huì)有差異。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)節(jié)約、檢測(cè)工作效率高、檢測(cè)結(jié)構(gòu)精確的太陽能硅片線痕檢測(cè)裝置。
[0005]為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
一種太陽能硅片線痕檢測(cè)裝置,包括硅片傳送帶、固定支架以及安裝在固定支架上的激光器組件和相機(jī)組件,所述激光器組件和相機(jī)組件位于硅片傳送帶上方且分設(shè)于硅片傳送帶的兩側(cè),所述激光器組件包括激光發(fā)生器和特殊透鏡組,所述激光發(fā)生器用于向所述硅片發(fā)射激光,所述特殊透鏡組用于將激光發(fā)生器發(fā)射的激光分成三束激光,所述三束激光在所述硅片上形成三條不同角度的水平激光,所述水平激光與所述硅片上的線痕的方向垂直;所述相機(jī)組件包括(XD相機(jī),所述(XD相機(jī)用于接收激光發(fā)生器發(fā)射的激光在硅片上反射后形成的反射光。
[0006]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn):
所述相機(jī)組件還包括聚光透鏡,所述聚光透鏡用于將硅片表面反射過來的反射光聚集在CCD相機(jī)的視場(chǎng)內(nèi)。
[0007]所述激光器組件還包括準(zhǔn)直鏡,所述準(zhǔn)直鏡設(shè)于激光發(fā)生器和特殊透鏡組之間。
[0008]所述激光器組件和相機(jī)組件分別設(shè)置為兩組,一組激光器組件和相機(jī)組件位于硅片傳送帶上方,另一組激光器組件和相機(jī)組件位于硅片傳送帶下方。
[0009]所述硅片傳送帶上設(shè)有用于控制(XD相機(jī)啟動(dòng)拍攝的拍照觸發(fā)傳感器。
[0010]所述激光器組件和相機(jī)組件通過安裝架可調(diào)節(jié)的安裝在固定支架上。
[0011]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于:
(1)本發(fā)明的太陽能硅片線痕檢測(cè)裝置,通過特殊透鏡組將激光發(fā)生器發(fā)出的激光生成不同角度的三束激光,打在硅片表面左中右三個(gè)位置上,形成三條水平線激光,三條水平線激光在硅片表面反射的激光通過CCD相機(jī)進(jìn)行捕捉,通過對(duì)采集反射的激光圖像處理,計(jì)算硅片上的最大線痕值,并將該線痕值與線痕等級(jí)線做比較,采用本發(fā)明的線痕檢測(cè)裝置,無需人工檢測(cè),檢測(cè)精度高,提高工作效率,減輕工作人員工作強(qiáng)度以及人工干預(yù)造成的污染和碎片,有效節(jié)約成本,為太陽能電池片降低成本化打下基礎(chǔ)。
[0012](2)本發(fā)明的太陽能硅片線痕檢測(cè)裝置,低成本,整個(gè)測(cè)試2套相機(jī)加激光發(fā)生器即可;覆蓋面大,每個(gè)硅片表面能測(cè)試3條線;誤判與漏判的概率非常低,以反射光而計(jì)算相對(duì)值可靠性高。
【附圖說明】
[0013]圖1是本發(fā)明太陽能硅片線痕檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖2是本發(fā)明太陽能硅片線痕檢測(cè)裝置中激光的光路示意圖。
[0015]圖中各標(biāo)號(hào)表不:
1、C⑶相機(jī);2、聚光透鏡;3、激光器組件;4、通過安裝架;5、固定支架;6、硅片傳送帶;7、硅片;8、激光發(fā)生器;9、準(zhǔn)直鏡;10、特殊透鏡組;11、拍照觸發(fā)傳感器;12、水平線激光;
13、線痕。
【具體實(shí)施方式】
[0016]以下結(jié)合說明書附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0017]圖1至圖2示出了本發(fā)明太陽能硅片線痕檢測(cè)裝置的一種實(shí)施例,該太陽能硅片線痕檢測(cè)裝置包括硅片傳送帶6、固定支架5以及安裝在固定支架5上的激光器組件3和相機(jī)組件,激光器組件3和相機(jī)組件位于硅片傳送帶6上方且分設(shè)于硅片傳送帶6的兩側(cè),激光器組件3包括激光發(fā)生器8和特殊透鏡組10,激光發(fā)生器8用于向硅片7發(fā)射激光,特殊透鏡組10用于將激光發(fā)生器8發(fā)射的激光分成三束激光,三束激光在硅片7上形成三條不同角度的水平線激光12,水平線激光12與硅片7上的線痕13的方向垂直;相機(jī)組件包括(XD相機(jī)1,(XD相機(jī)1用于接收激光發(fā)生器8發(fā)射的激光在硅片7上反射后形成的反射光。
[0018]本實(shí)施例中CCD相機(jī)1,其CCD是指,電荷耦合件,使用一種高感光度的半導(dǎo)體材料制成,能把光線轉(zhuǎn)變?yōu)殡姾桑ㄟ^模數(shù)轉(zhuǎn)換器芯片轉(zhuǎn)化成數(shù)字信號(hào),數(shù)字信號(hào)經(jīng)過壓縮以后由相機(jī)內(nèi)部的閃速儲(chǔ)存器或內(nèi)置硬盤保存,因而可以輕易的把數(shù)據(jù)傳輸給計(jì)算機(jī),當(dāng)CCD表面收到光線照射時(shí),每個(gè)感光單位會(huì)將電荷反映在組件上,所有感光單位所產(chǎn)生的信號(hào)加在一起,就構(gòu)成一幅完整的畫面。
[0019]本實(shí)施例中,相機(jī)組件還包括聚光透鏡2,聚光透鏡2用于將硅片7表面反射過來的反射光聚集在C⑶相機(jī)1的視場(chǎng)內(nèi)。激光器組件3還包括準(zhǔn)直鏡9,準(zhǔn)直鏡9設(shè)于激光發(fā)生器8和特殊透鏡組10之間,準(zhǔn)直鏡9用于保證激光發(fā)生器8發(fā)出的激光的準(zhǔn)直性。
[0020]本實(shí)施例中,激光器組件3和相機(jī)組件分別設(shè)置為兩組,一組激光器組件3和相機(jī)組件位于硅片傳送帶6上方,另一組激光器組件3和相機(jī)組件位于硅片傳送帶6下方,位于硅片傳送帶6上方的激光器組件3和相機(jī)組件對(duì)硅片7的上表面的
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