本技術(shù)涉及晶圓倒片，尤其涉及一種全自動倒片設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體制程中，晶圓的制造會設(shè)計到不同的工藝，在晶圓生產(chǎn)加工過程中，經(jīng)常需要將晶圓在不同的晶圓盒之間進(jìn)行轉(zhuǎn)置，也就是將一個晶圓盒內(nèi)卡匣上的晶圓搬運(yùn)至另一個晶圓盒內(nèi)的空的卡匣上。為了方便晶圓在卡匣之間的轉(zhuǎn)置，需要設(shè)置晶圓倒片裝置進(jìn)行晶圓在卡匣之間的轉(zhuǎn)置。以適應(yīng)各種工藝的工況，現(xiàn)在的方式是人工倒片。人工倒片容易導(dǎo)致碰傷晶圓，污染晶圓，且切換卡匣的操作也是比較頻繁，人員操作容易出現(xiàn)異常，導(dǎo)致斜插和疊片等異常。

2、現(xiàn)有技術(shù)如中國專利公開號為cn115985824a公開的一種晶圓倒片裝置，包括承載平臺、兩個轉(zhuǎn)換件及驅(qū)動機(jī)構(gòu)。承載平臺間隔設(shè)有第一放置區(qū)及第二放置區(qū)。兩個轉(zhuǎn)換件間隔設(shè)置于第一放置區(qū)與第二放置區(qū)之間，且第一放置區(qū)和第二放置區(qū)之間的連線與兩個轉(zhuǎn)換件之間的連線相交，兩個轉(zhuǎn)換件相互靠近的一側(cè)均對應(yīng)設(shè)有轉(zhuǎn)換部，轉(zhuǎn)換部從轉(zhuǎn)換件靠近第一放置區(qū)的一側(cè)延伸至轉(zhuǎn)換件靠近第二放置區(qū)的一側(cè)。驅(qū)動機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動晶圓從第一放置區(qū)通過轉(zhuǎn)換部并移動至第二放置區(qū)。

3、上述專利的晶圓倒片裝置缺少一種晶圓卡匣的識別辨認(rèn)裝置，導(dǎo)致大部分時間還是需要人工解決，并不能全自動完成倒片。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型在于提出一種全自動倒片設(shè)備，能夠全自動完成晶圓倒片，減少風(fēng)險。

2、為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

3、一種全自動倒片設(shè)備，包括機(jī)體，機(jī)體上設(shè)置有至少一條第一流水線，所述第一流水線沿著工序依次設(shè)置有用于放置待開蓋的晶圓盒的待料區(qū)、用于打開晶圓盒的開盒區(qū)以及用于卸料取出晶圓盒內(nèi)卡匣的卸料區(qū)，所述待料區(qū)、所述開盒區(qū)以及所述卸料區(qū)之間通過傳送帶連通；還包括開盒機(jī)構(gòu)、夾持機(jī)構(gòu)以及推料機(jī)構(gòu)，所述開盒機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述開盒區(qū)上，所述開盒設(shè)置有至少一個開盒機(jī)構(gòu)，所述推料機(jī)構(gòu)上設(shè)置有推動組件、第一推料區(qū)以及第二推料區(qū)；所述夾持機(jī)構(gòu)夾持所述開盒區(qū)的不同類型的晶圓盒內(nèi)的卡匣分別放置在所述第一推料區(qū)以及所述第二推料區(qū)上，通過所述推動組件將所述第一推料區(qū)的卡匣內(nèi)的晶圓推動至所述第二推料區(qū)的卡匣上。

4、本實(shí)用新型優(yōu)選地技術(shù)方案在于，所述開盒機(jī)構(gòu)包括開盒輸送帶以及用于開晶圓盒蓋的旋轉(zhuǎn)開蓋組件，旋轉(zhuǎn)開蓋組件設(shè)置在所述開盒輸送帶的一側(cè)上；所述旋轉(zhuǎn)開蓋組件包括旋轉(zhuǎn)氣缸以及吸盤臂，所述吸盤臂上設(shè)置有吸盤，所述旋轉(zhuǎn)氣缸用于控制所述吸盤臂在所述開盒輸送帶上方旋轉(zhuǎn)。

5、本實(shí)用新型優(yōu)選地技術(shù)方案在于，每個所述開盒區(qū)上設(shè)置有至少兩種所述開盒機(jī)構(gòu)，每種所述開盒機(jī)構(gòu)的所述吸盤臂上的吸盤距離不同，使得所述開盒機(jī)構(gòu)能夠打開不同尺寸的晶圓盒。

6、本實(shí)用新型優(yōu)選地技術(shù)方案在于，所述開盒機(jī)構(gòu)還包括傳感器、夾緊氣缸以及抵緊氣缸，所述夾緊氣缸分別設(shè)置在所述開盒輸送帶的兩側(cè)上，所述抵緊氣缸設(shè)置在所述開盒輸送帶的底部，所述傳感器設(shè)置在所述開盒輸送帶的一端上。

7、本實(shí)用新型優(yōu)選地技術(shù)方案在于，所述夾持機(jī)構(gòu)設(shè)置有機(jī)器臂以及夾爪，所述夾爪設(shè)置在所述機(jī)器臂上。

8、本實(shí)用新型優(yōu)選地技術(shù)方案在于，所述第一推料區(qū)以及所述第二推料區(qū)上分別設(shè)置有翻轉(zhuǎn)組件以及靠近組件，所述靠近組件包括靠近氣缸以及滑軌，所述翻轉(zhuǎn)組件包括l型板以及翻轉(zhuǎn)電機(jī)，所述翻轉(zhuǎn)電機(jī)設(shè)置在所述l型板的一側(cè)，所述推動組件設(shè)置在所述第一推料區(qū)的一側(cè)上，所述l型板安裝在所述滑軌上，且所述l型板所述分別連接有靠近氣缸。

9、本實(shí)用新型優(yōu)選地技術(shù)方案在于，所述推動組件包括推板以及推動氣缸，所述推板與所述推動氣缸的輸出端連接，使得所述推板將所述第一推料區(qū)的卡匣推動至所述第二推料區(qū)上。

10、本實(shí)用新型優(yōu)選地技術(shù)方案在于，所述推動組件上還設(shè)置有過壓檢測裝置。

11、本實(shí)用新型優(yōu)選地技術(shù)方案在于，還包括出料流水線，所述出料流水線包括出料輸送帶，所述出料流水線位于所述推料機(jī)構(gòu)的一側(cè)上；所述出料流水線、所述第一流水線以及所述第二流水線的所述待料區(qū)上均設(shè)置有讀碼機(jī)構(gòu)。

12、本實(shí)用新型優(yōu)選地技術(shù)方案在于，還包括第二流水線，所述第二流水線位于所述機(jī)體的底部，所述第二流水線設(shè)置有出料輸送帶，所述卸料區(qū)上設(shè)置有升降機(jī)構(gòu)；所述升降機(jī)構(gòu)包括升降臺以及升降電機(jī)，所述升降臺與所述升降電機(jī)連接，所述升降臺下降時與所述出料輸送帶連通。

13、本實(shí)用新型優(yōu)選地技術(shù)方案在于，所述第一流水線設(shè)置有若干條，位于所述機(jī)體桑，且每條所述第一流水線均配合有一條所述第二流水線。

14、本實(shí)用新型的有益效果為：

15、(1)能夠通過推料機(jī)構(gòu)、開盒機(jī)構(gòu)以及第一流水線、第二流水線的配合，對待料區(qū)運(yùn)輸至推料機(jī)構(gòu)上的兩種晶圓盒進(jìn)行全自動倒片。

16、(2)全程無人介入，從入料，掃碼，開蓋，資料匹配，導(dǎo)片，出料，完全的自動流程。

17、(3)晶圓卡匣在晶圓盒的方向，無須特定指定，此設(shè)備的夾爪可以自主通過傳感器，自動切換機(jī)器人姿態(tài)放置到翻轉(zhuǎn)工位。

18、(4)推料機(jī)構(gòu)設(shè)置有翻轉(zhuǎn)電機(jī)是使用旋轉(zhuǎn)的方式進(jìn)行倒片時兩個卡匣開口的對接?？朔顺叽绮町悗淼目ㄆ托辈宓漠惓?。

技術(shù)特征：

1.一種全自動倒片設(shè)備，其特征在于：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動倒片設(shè)備，其特征在于：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的全自動倒片設(shè)備，其特征在于：

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的全自動倒片設(shè)備，其特征在于：

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動倒片設(shè)備，其特征在于：

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動倒片設(shè)備，其特征在于：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的全自動倒片設(shè)備，其特征在于：

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動倒片設(shè)備，其特征在于：

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的全自動倒片設(shè)備，其特征在于：

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的全自動倒片設(shè)備，其特征在于：

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種全自動倒片設(shè)備，屬于晶圓倒片技術(shù)領(lǐng)域，包括機(jī)體，機(jī)體上設(shè)置有至少一條第一流水線，第一流水線沿著工序依次設(shè)置有用于放置待開蓋的晶圓盒的待料區(qū)、用于打開晶圓盒的開盒區(qū)以及用于卸料取出晶圓盒內(nèi)卡匣的卸料區(qū)，待料區(qū)、開盒區(qū)及卸料區(qū)通過傳送帶連通；還包括開盒機(jī)構(gòu)、夾持機(jī)構(gòu)以及推料機(jī)構(gòu)，開盒機(jī)構(gòu)設(shè)置在開盒區(qū)上，開盒設(shè)置有至少一個開盒機(jī)構(gòu)，推料機(jī)構(gòu)上設(shè)置有推動組件、第一推料區(qū)以及第二推料區(qū)；夾持機(jī)構(gòu)夾持開盒區(qū)的不同類型的晶圓盒內(nèi)的卡匣分別放置在第一推料區(qū)以及第二推料區(qū)上，通過所述推動組件將所述第一推料區(qū)的卡匣內(nèi)的晶圓推動至所述第二推料區(qū)的卡匣上，以便于全自動進(jìn)行倒片，減少人為損壞的風(fēng)險。

技術(shù)研發(fā)人員：潘躍清,黃毅斌,唐達(dá)新
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廈門蚨祺自動化設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240112
技術(shù)公布日：2024/10/21