本發(fā)明涉及玻璃基板以及玻璃基板的制造裝置。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體器件的制造工序中，作為支承半導(dǎo)體器件的部件，有時使用玻璃基板。例如，如專利文獻1所示，存在通過向這樣的玻璃基板的表面照射激光進行刻印而在玻璃基板的表面形成標記的情況。

2、專利文獻1：日本特開2016－210644號公報

3、玻璃基板的表面的標記通過讀碼器等來讀取。在該情況下，要求標記被可靠地讀取。因此，要求形成容易讀取的標記。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明是鑒于上述課題完成的，目的在于提供容易讀取標記的玻璃基板。

2、為了解決上述課題，實現(xiàn)目的，本發(fā)明所涉及的玻璃基板是在表面設(shè)置有由多個點構(gòu)成的標記的玻璃基板，其中，上述點具有：凹陷部，該凹陷部是從上述表面凹陷的部分；和突出部，該突出部在上述玻璃基板的厚度方向上比上述凹陷部突出，上述突出部在與上述點的輪廓重疊的位置或比上述輪廓靠內(nèi)側(cè)的位置延伸。

3、為了解決上述課題，實現(xiàn)目的，本發(fā)明所涉及的玻璃基板的制造裝置是在玻璃基板的表面設(shè)置由多個點構(gòu)成的標記的制造裝置，其中，上述制造裝置具備：激光振蕩器，發(fā)出在玻璃基板形成點的激光；和掩模，設(shè)置于從上述激光振蕩器連結(jié)至上述玻璃基板的上述激光的光路上，上述掩模具有透過圖案，該透過圖案具有供上述激光透過的透過部和遮擋上述激光的遮擋部，上述遮擋部在從沿著上述激光的光路的方向俯視觀察時在與上述透過圖案的輪廓重疊的位置或比上述輪廓靠內(nèi)側(cè)的位置延伸。

4、根據(jù)本發(fā)明，能夠提供容易讀取標記的玻璃基板。

技術(shù)特征：

1.一種玻璃基板，在表面設(shè)置有由多個點構(gòu)成的標記，其中，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃基板，其中，

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板，其中，

7.一種玻璃基板的制造裝置，在玻璃基板的表面設(shè)置由多個點構(gòu)成的標記，

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的玻璃基板的制造裝置，其中，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供標記容易讀取的玻璃基板。本發(fā)明是在表面設(shè)置有由多個點構(gòu)成的標記的玻璃基板。點具有：凹陷部，該凹陷部是從表面凹陷的部分；和突出部，該突出部在玻璃基板的厚度方向上比凹陷部突出。突出部在與點的輪廓重疊的位置或比輪廓靠內(nèi)側(cè)的位置延伸。

技術(shù)研發(fā)人員：勝野楓,小林悠波,堀內(nèi)浩平
受保護的技術(shù)使用者：AGC株式會社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21