本發(fā)明涉及SiC高溫高能離子注入機(jī)，尤其涉及一種引出電極的電極軸驅(qū)動(dòng)裝置。

背景技術(shù)：

SiC作為第三代半導(dǎo)體材料被廣泛用于制作新一代高效節(jié)能的電力電子器件，涉及國(guó)民經(jīng)濟(jì)的各個(gè)領(lǐng)域。SiC高溫高能離子注入機(jī)的作用就是把要摻雜元素的離子加速，使獲得很大動(dòng)能的雜質(zhì)離子直接進(jìn)入SiC晶片中的晶格，離子注入后進(jìn)行退火激活。首先由送入離子源弧室的氣體電離產(chǎn)生等離子體，引出電極將帶正電荷的離子從弧室中吸引出，從而形成離子束流。當(dāng)在相對(duì)于弧室為低電壓的引出電極上加負(fù)高壓時(shí)，等離子體中的帶正電荷的離子束流就會(huì)被引出電極吸出，當(dāng)加在引出電極與弧室間的高壓不變，而引出電極相對(duì)于弧室的面向位置平行度改變使，吸出的帶正電的離子束流在垂直傳輸方向會(huì)發(fā)生改變，極大地影響離子束流的傳輸效率。

專(zhuān)利文獻(xiàn)CN 104392882A公開(kāi)了一種離子注入機(jī)的引出電極驅(qū)動(dòng)裝置，其第一伺電機(jī)通過(guò)第一帶輪組件帶動(dòng)少齒寬面小齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，少齒寬面小齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)通過(guò)與其嚙合的多齒窄面大齒輪帶動(dòng)電極軸轉(zhuǎn)動(dòng)；第二伺服電機(jī)通過(guò)第二帶輪組件帶動(dòng)滾珠絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)，滾珠絲杠的轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為絲杠螺母的上下滑動(dòng)，絲杠螺母通過(guò)多齒窄面大齒輪帶動(dòng)電極軸升降運(yùn)動(dòng)。由于該離子注入機(jī)的引出電極驅(qū)動(dòng)裝置采用兩級(jí)齒輪嚙合的方式帶動(dòng)電極軸旋轉(zhuǎn)，調(diào)節(jié)精度較差，齒輪旋轉(zhuǎn)一圈轉(zhuǎn)動(dòng)角度過(guò)大，不能實(shí)現(xiàn)微小角度的調(diào)節(jié)，且無(wú)法實(shí)現(xiàn)連續(xù)調(diào)節(jié)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、能實(shí)現(xiàn)連續(xù)調(diào)節(jié)和微小角度調(diào)節(jié)的引出電極的電極軸驅(qū)動(dòng)裝置。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種引出電極的電極軸驅(qū)動(dòng)裝置，包括電機(jī)、主動(dòng)帶輪、從動(dòng)帶輪及繞設(shè)于主動(dòng)帶輪和從動(dòng)帶輪上的傳動(dòng)帶，所述電機(jī)的輸出軸與所述主動(dòng)帶輪的輪軸連接，還包括連續(xù)調(diào)節(jié)組件，所述連續(xù)調(diào)節(jié)組件包括凸輪、擺桿及用于使擺桿的擺動(dòng)端與凸輪緊貼的彈性件，所述凸輪安裝于所述從動(dòng)帶輪的輪軸上，所述擺桿安裝于引出電極的電極軸上。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)：

所述擺桿上開(kāi)設(shè)有凹槽并于凹槽內(nèi)安裝軸承，所述軸承的外圈與所述凸輪形成切線(xiàn)接觸。

所述擺桿一端為環(huán)狀并套設(shè)于所述電極軸上，另一端與所述彈性件連接，所述凹槽位于擺桿中段。

所述從動(dòng)帶輪的輪軸上裝設(shè)有單圈旋轉(zhuǎn)電位器。

所述電機(jī)上裝設(shè)有多圈旋轉(zhuǎn)電位器。

所述主動(dòng)帶輪的直徑小于從動(dòng)帶輪的直徑。

所述彈性件為彈簧。

所述電機(jī)為伺服電機(jī)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于：本發(fā)明公開(kāi)的引出電極的電極軸驅(qū)動(dòng)裝置，在電極軸上安裝擺桿，擺桿的擺動(dòng)端與凸輪緊貼，凸輪旋轉(zhuǎn)時(shí)克服彈性件的彈力作用即可帶動(dòng)擺桿擺動(dòng)，擺桿進(jìn)而帶動(dòng)電極軸旋轉(zhuǎn)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可靠，能實(shí)現(xiàn)電極軸旋轉(zhuǎn)角度的連續(xù)調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)精度高，特別適用于微小角度的調(diào)節(jié)。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明引出電極的電極軸驅(qū)動(dòng)裝置實(shí)施例一的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本發(fā)明引出電極的電極軸驅(qū)動(dòng)裝置實(shí)施例一另一角度的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本發(fā)明中的連續(xù)調(diào)節(jié)組件的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是本發(fā)明引出電極的電極軸驅(qū)動(dòng)裝置實(shí)施例二的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是本發(fā)明引出電極的電極軸驅(qū)動(dòng)裝置實(shí)施例二的主視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中各標(biāo)號(hào)表示：1、電機(jī)；2、主動(dòng)帶輪；3、從動(dòng)帶輪；4、傳動(dòng)帶；5、連續(xù)調(diào)節(jié)組件；51、凸輪；52、擺桿；521、凹槽；53、彈性件；531、掛鉤；54、軸承；6、引出電極；61、電極軸；71、單圈旋轉(zhuǎn)電位器；72、多圈旋轉(zhuǎn)電位器；8、安裝塊；9、安裝座。

具體實(shí)施方式

以下將結(jié)合說(shuō)明書(shū)附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。

實(shí)施例一

如圖1至圖3所示，本實(shí)施例的引出電極的電極軸驅(qū)動(dòng)裝置，包括電機(jī)1、主動(dòng)帶輪2、從動(dòng)帶輪3及繞設(shè)于主動(dòng)帶輪2和從動(dòng)帶輪3上的傳動(dòng)帶4，電機(jī)1的輸出軸經(jīng)聯(lián)軸器與主動(dòng)帶輪2的輪軸連接，還包括連續(xù)調(diào)節(jié)組件5，連續(xù)調(diào)節(jié)組件5包括凸輪51、擺桿52及用于使擺桿52的擺動(dòng)端與凸輪51緊貼的彈性件53，凸輪51安裝于從動(dòng)帶輪3的輪軸上，擺桿52安裝于引出電極6的電極軸61上，該驅(qū)動(dòng)裝置在電極軸61上安裝擺桿52，擺桿52的擺動(dòng)端與凸輪51緊貼，凸輪51旋轉(zhuǎn)時(shí)克服彈性件53的彈力作用即可帶動(dòng)擺桿52擺動(dòng)，擺桿52進(jìn)而帶動(dòng)電極軸61旋轉(zhuǎn)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可靠，能實(shí)現(xiàn)電極軸61旋轉(zhuǎn)角度的連續(xù)調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)精度高，特別適用于微小角度的調(diào)節(jié)，本實(shí)施例中，電機(jī)1為伺服電機(jī)，可精確控制旋轉(zhuǎn)時(shí)的速度及位置；彈性件53為彈簧，彈簧兩端設(shè)置掛鉤531分別與擺桿52、安裝塊8連接，安裝塊8安裝在用于安裝電機(jī)1、從動(dòng)帶輪3和電極軸61的安裝座9上；主動(dòng)帶輪2的直接小于從動(dòng)帶輪3的直徑，具有一定的減速作用。

本實(shí)施例中，擺桿52上開(kāi)設(shè)有凹槽521并于凹槽521內(nèi)安裝軸承54，軸承54的外圈與凸輪51形成切線(xiàn)接觸，利用軸承54與凸輪51配合，使凸輪51運(yùn)動(dòng)更順暢，并減少磨損提高使用壽命。

擺桿52一端為環(huán)狀并套設(shè)于電極軸61上，使得電極軸61各向受力更均勻，另一端與彈性件53連接，凹槽521位于擺桿52中段，本實(shí)施例中，擺桿52通過(guò)螺釘和銷(xiāo)釘安裝于電極軸61上。

本實(shí)施例中，從動(dòng)帶輪3的輪軸上裝設(shè)有單圈旋轉(zhuǎn)電位器71，可由單圈旋轉(zhuǎn)電位器71精確測(cè)量出凸輪51的旋轉(zhuǎn)角度。

實(shí)施例二

如圖4至圖5所示，本實(shí)施例引出電極的電極軸驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例一基本相同，不同之處在于：旋轉(zhuǎn)角度的測(cè)量是通過(guò)安裝在電機(jī)1上的多圈旋轉(zhuǎn)電位器72實(shí)現(xiàn)的。

本發(fā)明引出電極的電極軸驅(qū)動(dòng)裝置的工作原理如下：

啟動(dòng)電機(jī)1，電機(jī)1帶動(dòng)主動(dòng)帶輪2旋轉(zhuǎn)，主動(dòng)帶輪2通過(guò)傳動(dòng)帶4帶動(dòng)從動(dòng)帶輪3旋轉(zhuǎn)，凸輪51與從動(dòng)帶輪3同步旋轉(zhuǎn)，凸輪51旋轉(zhuǎn)過(guò)程中推動(dòng)軸承54運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而使擺桿52擺動(dòng)，擺桿52的擺動(dòng)轉(zhuǎn)化為電極軸61的轉(zhuǎn)動(dòng)，最終實(shí)現(xiàn)電極軸61的連續(xù)調(diào)節(jié)。

雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明。任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍的情況下，都可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案做出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均應(yīng)落在本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。