專利名稱：一種位姿調(diào)節(jié)平臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種位姿調(diào)節(jié)平臺，特別是一種用于太陽能電池片印刷機(jī)的可以實現(xiàn)沿X軸方向、沿Y軸方向平移以及繞Z軸方向旋轉(zhuǎn)的并聯(lián)三坐標(biāo)位姿調(diào)節(jié)平臺。
背景技術(shù)：
在太陽能電池片印刷的時候為了能將銀電極印制的硅片的精確位置，需要對網(wǎng)板的位姿進(jìn)行小范圍(X、Y方向約為±20毫米，繞Z方向約為±5度)地精確地調(diào)節(jié)。為了實現(xiàn)這種調(diào)節(jié)，就必須有一種能夠?qū)崿F(xiàn)沿X軸、Y軸方向平移以及沿Z軸方向旋轉(zhuǎn)地三坐標(biāo) 調(diào)節(jié)平臺。現(xiàn)有的三坐標(biāo)調(diào)節(jié)平臺多采用兩級平移加一級旋轉(zhuǎn)的三級串聯(lián)的方式實現(xiàn)，即在沿X軸平移平臺的上方加一級沿Y軸方向平移的平臺，在此平臺上再加一級繞Z軸旋轉(zhuǎn)的平臺。這種方式雖然設(shè)計思路簡單，但是實現(xiàn)起來結(jié)構(gòu)復(fù)雜，結(jié)構(gòu)占用空間大。并且在當(dāng)前的機(jī)械領(lǐng)域中，直線運(yùn)動可以通過滾珠絲杠和直線導(dǎo)軌實現(xiàn)精密的傳動，但是對于圓周運(yùn)動的實現(xiàn)則沒有很好的標(biāo)準(zhǔn)化的解決方案，其存在著精度、成本等一系列的問題。因此應(yīng)盡量避免采用這種方式實現(xiàn)平臺的圓周運(yùn)動。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于，提供一種位姿調(diào)節(jié)平臺。它可以實現(xiàn)平臺沿X、Y軸方向平移和繞Z軸方向旋轉(zhuǎn)的三坐標(biāo)位姿調(diào)節(jié)，可以解決傳統(tǒng)小范圍精密串聯(lián)三坐標(biāo)調(diào)節(jié)平臺中存在的結(jié)構(gòu)復(fù)雜、占用空間大、精度低和成本高的問題。本實用新丨'=M f了案，一種位姿調(diào)節(jié)平臺，其特點是包括滑本實用新型的平臺要實現(xiàn)沿X、Y軸方向平移和繞Z軸方向旋轉(zhuǎn)三個坐標(biāo)的調(diào)節(jié)，因此其必須具有三個自由度，所以也就需要三個驅(qū)動。在本機(jī)構(gòu)中的三個驅(qū)動都是直線驅(qū)動，分別是直線驅(qū)動A、直線驅(qū)動B和直線驅(qū)動C。三個直線驅(qū)動采用同樣地機(jī)械結(jié)構(gòu)實現(xiàn)采用步進(jìn)電機(jī)作為動力裝置，通過滾珠絲杠將步進(jìn)電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動轉(zhuǎn)化為直線運(yùn)動，為了提高精度，每一個驅(qū)動采用一條直線導(dǎo)軌進(jìn)行精密的導(dǎo)向。3個驅(qū)動也就分別是三個滑動副
(￡1、Θ、f) ο在平臺上垂直平臺伸出兩根轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸上裝上軸承，在安裝塊上加工出配合的孔分別與對應(yīng)轉(zhuǎn)軸上的軸承配合組成兩個旋轉(zhuǎn)副。又通過直線導(dǎo)軌在轉(zhuǎn)軸上實現(xiàn)三個滑動副(b、d、g)，其中兩個滑動副(b，d)的直線導(dǎo)軌的滑塊固定在同一個安裝座上，另一個滑動副(g)的直線導(dǎo)軌的滑塊固定在另一個安裝塊上。假設(shè)旋轉(zhuǎn)副c和h在原坐標(biāo)系中的坐標(biāo)分別是(0，i)和(0，j)，在平臺沿X軸平移X，沿Y軸平移y以及繞Z軸旋轉(zhuǎn)α之后c和h的坐標(biāo)可以同過齊次坐標(biāo)變換求得。如下
cos sin or 0 10 0cosa sina O(xc,je,l) = (0,/,1) -sina cosa 0 0 10 =(0,/,1) -sin or cos or 0
|_00 IxylX y I
權(quán)利要求1.一種位姿調(diào)節(jié)平臺，其特征在于包括滑動水平面，平臺(I)設(shè)在滑動水平面上，平臺(I)上設(shè)有第一轉(zhuǎn)軸(14)和第二轉(zhuǎn)軸(33)，第一轉(zhuǎn)軸(14)上設(shè)有互相鉸接的直線驅(qū)動A和直線驅(qū)動B，第二轉(zhuǎn)軸(33)上設(shè)有直線驅(qū)動C。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的位姿調(diào)節(jié)平臺，其特征在于所述第一轉(zhuǎn)軸(14)上串聯(lián)裝配有兩個軸承，在第一安裝塊(16)上加工與軸承配合的孔裝配到軸承上，第一安裝塊(16)、兩個軸承和第一轉(zhuǎn)軸(14)組成一個旋轉(zhuǎn)鉸鏈，在第一安裝塊(16)上方固定第一直線導(dǎo)軌(15)，其與第一滑塊(13)組成一個Y軸方向移動的滑動副；在第一安裝塊(16)測面固定有第二滑塊(11)，其與第二直線導(dǎo)軌(12)組成X軸方向移動的滑動副；直線驅(qū)動A設(shè)在第一滑塊(13)上，直線驅(qū)動B設(shè)在第二直線導(dǎo)軌(12)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的位姿調(diào)節(jié)平臺，其特征在于所述直線驅(qū)動B包括第二電機(jī)(22)、第二電機(jī)座(21)、第二聯(lián)軸器(23)、第二滾珠絲杠(24)、第二絲杠螺母(20)、第二螺母座(19)、第二驅(qū)動滑塊(18)和第二直線驅(qū)動導(dǎo)軌(17)組成X軸方向的驅(qū)動B，其中 第二電機(jī)(22)安裝在第二電機(jī)座(21)上，第二電機(jī)座(21)固定在平臺(I)上方的一塊基板上，第二絲杠螺母(20)安裝在第二螺母座(19)上，與第二滾珠絲杠(24)配合將第二電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動轉(zhuǎn)化為直線運(yùn)動，第二直線驅(qū)動導(dǎo)軌(17)和第二驅(qū)動滑塊(18)組成對X軸方向的驅(qū)動起導(dǎo)向作用滑動副；所述直線驅(qū)動A包括第一電機(jī)(3)、第一電機(jī)座(4)、第一聯(lián)軸器(5)、第一滾珠絲杠￠)、第一絲杠螺母(10)、第一螺母座(7)、第一驅(qū)動滑塊(8)和第一直線驅(qū)動導(dǎo)軌(9)，各部分連接關(guān)系與直線驅(qū)動B相同，第一驅(qū)動滑塊(8)和第一直線驅(qū)動導(dǎo)軌(9)組成對Y軸方向的驅(qū)動起導(dǎo)向作用滑動副；所述直線驅(qū)動C包括第三電機(jī)(26)、第三電機(jī)座(28)、第三聯(lián)軸器(27)、第三滾珠絲杠(29)、第三絲杠螺母(30)、第三螺母座(31)、第三驅(qū)動滑塊(32)和第三直線驅(qū)動導(dǎo)軌(34)，各部分連接關(guān)系與直線驅(qū)動B相同，第三驅(qū)動滑塊(32)和第三直線驅(qū)動導(dǎo)軌(34)組成對X軸方向的驅(qū)動起導(dǎo)向作用滑動副。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的位姿調(diào)節(jié)平臺，其特征在于所述滑動水平面由固定在一個基板上，并分別設(shè)有陶瓷支撐(25)的四塊安裝板(2)構(gòu)成，所述平臺(I)放置在滑動水平面上。
專利摘要本實用新型公開了一種位姿調(diào)節(jié)平臺，包括滑動水平面，平臺(1)設(shè)在滑動水平面上，平臺(1)上設(shè)有第一轉(zhuǎn)軸(14)和第二轉(zhuǎn)軸(33)，第一轉(zhuǎn)軸(14)上設(shè)有互相鉸接的直線驅(qū)動A和直線驅(qū)動B，第二轉(zhuǎn)軸(33)上設(shè)有直線驅(qū)動C。本實用新型采用并聯(lián)的方式大大簡化了整個平臺的結(jié)構(gòu)，減少了平臺占用的空間。
文檔編號H01L31/18GK202480531SQ20122012284
公開日2012年10月10日 申請日期2012年3月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月21日
發(fā)明者李新富, 陶國良 申請人:浙江源新光伏自動化設(shè)備有限公司