專利名稱：激光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及配置成放大脈沖種子光和輸出放大了的脈沖激光的激光裝置。
背景技術(shù)：
具有種子光源和光放大部分的MOPA (主振蕩功率放大器)配置的激光裝置被配置為在光放大部分中對(duì)從種子光源輸出的種子光進(jìn)行放大并且輸出放大了的光。優(yōu)選使用的光放大部分是例如包括作為光放大介質(zhì)的其中芯摻雜有稀土元素(例如，鐿、鉺、釹、銩、欽、鋱等)的光纖的配置。當(dāng)稀土摻雜光纖被用作光放大介質(zhì)時(shí)，具有許多優(yōu)點(diǎn)，例如，由于泵浦光和激光被限制在光纖中，因此變得容易處理，由于具有良好的熱輻射，因此無需大規(guī)模的冷卻設(shè)備，等等。在作為光放大介質(zhì)的光纖中摻雜劑的稀土元素中的Yb (鐿)具有很高的轉(zhuǎn)化效率。為此，Yb摻雜光纖被廣泛用作高功率放大光纖。與其他稀土元素一樣，Yb也是通過供給泵浦光而被激發(fā)，沒有被吸收的剩余泵浦光從放大光纖的另一端輸出。美國(guó)專利No. 5，867，305中的圖5公開了噴射泵浦光脈沖并使脈沖泵浦光的一端與單個(gè)噴射信號(hào)(種子光)脈沖的一端重合的配置。該配置中，噴射信號(hào)(種子光)的各脈沖對(duì)應(yīng)于泵浦光的各脈沖。美國(guó)專利No. 5，867，305沒有公開在種子光從脈沖操作切換到CW操作時(shí)泵浦光輸出調(diào)節(jié)的相關(guān)內(nèi)容。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明人對(duì)上述傳統(tǒng)技術(shù)進(jìn)行了研究，并發(fā)現(xiàn)了以下問題。具體地，MOPA配置的激光裝置能夠獲得高功率、高品質(zhì)的脈沖激光。為此，在諸如加工和醫(yī)用之類的應(yīng)用中對(duì)MOPA配置的激光裝置的需求日益增大。在這些應(yīng)用中，工件包括要用連續(xù)重復(fù)脈沖激光照射處理的部分和不需要用激光照射處理的部分。該情況下，必須在某一時(shí)間開始從激光裝置輸出脈沖激光，并且在另一時(shí)間停止輸出。存在利用確定的開始時(shí)間和停止時(shí)間的常規(guī)作業(yè)，也存在根據(jù)測(cè)量工件時(shí)的需要確定激光的照射位置和照射時(shí)間的情況。無論哪種情況，都需要激光裝置能夠在激光束的照射和結(jié)束之間進(jìn)行瞬時(shí)改變。但是，在這種利用重復(fù)脈沖的連續(xù)照射處理期間的操作中(或在脈沖操作狀態(tài)中)，激光處理隨著速度的增加而變得更加困難，激光照射狀態(tài)很快地被切換到禁止激光處理的狀態(tài)，片刻后，激光裝置再次很快地被切換到能夠進(jìn)行激光處理的狀態(tài)，已提出了許多相關(guān)方法。作為基本配置，發(fā)明人提出了這樣的處理使種子光源在MOPA配置的光纖激光裝置中進(jìn)行直接調(diào)制控制以便解決上述快速切換的困難，從而用重復(fù)頻率的連續(xù)脈沖光(下文中將其稱為重復(fù)光脈沖)(應(yīng)用脈沖操作狀態(tài)的激光)來照射工件，以對(duì)其進(jìn)行處理。在對(duì)象的不需要被處理的部分處停止用脈沖操作狀態(tài)的激光進(jìn)行照射，取而代之，對(duì)其應(yīng)用CW操作狀態(tài)的激光，從而實(shí)現(xiàn)非處理的狀態(tài)。通過在重復(fù)光脈沖的CW操作和脈沖操作之間進(jìn)行快速切換，能夠?qū)崿F(xiàn)處理狀態(tài)和非處理狀態(tài)之間的快速切換。但是，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)了該方法中的新問題，即，在從脈沖操作切換到CW操作時(shí)，MOPA配置的放大光纖可能出現(xiàn)破損的現(xiàn)象。為了解決上述問題而完成了本發(fā)明，因此，本發(fā)明的目的是提供一種激光裝置，其具有在執(zhí)行脈沖激光輸出的開始和結(jié)束時(shí)實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)同時(shí)又能有效抑制對(duì)光放大介質(zhì)的損壞的結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明的激光裝置包括種子光源、泵浦源、光放大部分、脈沖調(diào)制器、泵浦功率控制器、和主控制器。種子光源能夠輸出脈沖光和CW光中的任一種來作為種子光。泵浦源輸出CW光作為泵浦光。光放大部分接收泵浦光和種子光，并且對(duì)種子光進(jìn)行放大。脈沖 調(diào)制器將種子光源調(diào)制到重復(fù)脈沖操作狀態(tài)或CW操作狀態(tài)的操作狀態(tài)。泵浦功率控制器對(duì)饋送至光放大部分的泵浦光的功率進(jìn)行調(diào)節(jié)。主控制器輸出信號(hào)來指示脈沖調(diào)制器和泵浦功率控制器中的控制定時(shí)。特別地，在光放大部分的光入射端處的種子光從脈沖光切換至CW光之前，泵浦功率控制器在脈沖調(diào)制器使種子光源維持在重復(fù)脈沖操作狀態(tài)的期間根據(jù)從主控制器輸出的信號(hào)的定時(shí)將從泵浦源輸出的泵浦光的功率減小到預(yù)定功率以下。從外部指示種子光源的操作狀態(tài)從重復(fù)脈沖操作狀態(tài)切換至CW操作狀態(tài)的定時(shí)(外部調(diào)制器中外部觸發(fā)電壓的下降時(shí)刻)到種子光源從重復(fù)脈沖操作狀態(tài)至CW操作狀態(tài)的穩(wěn)定狀態(tài)的實(shí)際轉(zhuǎn)換的定時(shí)的時(shí)間段被定義為切換控制時(shí)段。在該切換控制時(shí)段期間，泵浦功率控制器執(zhí)行CW泵浦光的功率減小和功率增大。種子光源從重復(fù)脈沖操作狀態(tài)到CW操作狀態(tài)的實(shí)際切換在泵浦光的功率被泵浦功率控制器減小的定時(shí)與增大的定時(shí)之間被執(zhí)行。CW泵浦光的功率增大的定時(shí)大致與種子光源的操作狀態(tài)移動(dòng)到CW操作的穩(wěn)定狀態(tài)的定時(shí)一致。在根據(jù)本發(fā)明的激光裝置中，泵浦功率控制器優(yōu)選地通過直接控制泵浦源的輸出功率來增大或減小提供給光放大介質(zhì)的泵浦光的功率?？商鎿Q地，所述激光裝置還可以包括布置在泵浦源與光放大部分之間的光路徑上的可變光衰減器。該配置中，泵浦功率控制器控制可變光衰減器來增大或減小提供給光放大介質(zhì)的泵浦光的功率。在根據(jù)本發(fā)明的激光裝置中，在種子光從重復(fù)脈沖操作狀態(tài)切換至CW操作狀態(tài)時(shí)泵浦光在光放大部分中的預(yù)定功率優(yōu)選為光放大介質(zhì)中ASE光的增益變得小于CW光的增益時(shí)的泵浦功率。在根據(jù)本發(fā)明的激光裝置中，主控制器優(yōu)選地包括時(shí)差調(diào)節(jié)器，用于調(diào)節(jié)時(shí)差以在將種子光的CW光的上升部分輸入至光放大部分中時(shí)以預(yù)定功率噴射泵浦光。在根據(jù)本發(fā)明的激光裝置中，泵浦功率優(yōu)選地被設(shè)置為在光放大部分中于種子光從重復(fù)脈沖操作狀態(tài)切換到CW操作狀態(tài)時(shí)達(dá)到預(yù)定功率之后逐步趨于CW振蕩操作功率。在根據(jù)本發(fā)明的激光裝置中，主控制器優(yōu)選地包括泵浦功率控制器。


圖I是示出根據(jù)對(duì)比示例的激光裝置的配置的示圖。
圖2A至圖2C是示出對(duì)比示例的激光裝置中的各信號(hào)的時(shí)序圖。圖3A和圖3B是示出種子光源的控制和種子光源的輸出的操作示例的時(shí)序圖。圖4A至圖4D是示出種子光源的輸出和激光裝置的輸出的操作示例的時(shí)序圖。圖5是示出根據(jù)本發(fā)明的激光裝置的第一實(shí)施例的配置的示圖。圖6A至圖6C是示出第一實(shí)施例的激光裝置IA中的各信號(hào)的時(shí)序圖。圖7A至圖7C是示出第一實(shí)施例的激光裝置IA中的各信號(hào)的時(shí)序圖。圖8A至圖8D是示出第一實(shí)施例的激光裝置IA的輸出的操作示例的時(shí)序圖。 圖9是示出根據(jù)本發(fā)明的激光裝置的第二實(shí)施例的配置的示圖。圖IOA至圖IOC是示出第二實(shí)施例的激光裝置IB中的各信號(hào)的時(shí)序圖。圖11是示出根據(jù)本發(fā)明的激光裝置的第三實(shí)施例的配置的示圖。圖12是示出根據(jù)本發(fā)明的激光裝置的第四實(shí)施例的配置的示圖。圖13是示出根據(jù)本發(fā)明的激光裝置的第五實(shí)施例的配置的示圖。圖14是示出根據(jù)本發(fā)明的激光裝置的第六實(shí)施例的配置的示圖。
具體實(shí)施例方式以下將參照?qǐng)DI、圖2A至圖4D、圖5、圖6A至圖8D、圖9、圖IOA至圖10C、以及圖
11至圖14來詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的激光裝置的實(shí)施例。在附圖的描述中，相同部分以及相同元件由相同參考標(biāo)號(hào)表示，不進(jìn)行重復(fù)描述。圖I是示出根據(jù)對(duì)比示例的激光裝置的配置的示圖。圖I所示的對(duì)比示例的激光裝置I設(shè)置有種子光源10、光放大部分20、傳送光纖30、以及脈沖調(diào)制器40，并且激光裝置I與外部觸發(fā)脈沖發(fā)生器2組合使用。種子光源10具有重復(fù)輸出脈沖種子光的結(jié)構(gòu)，例如，其重復(fù)輸出激光二極管的輸出經(jīng)過直接調(diào)制后的脈沖種子光。種子光源10響應(yīng)于脈沖調(diào)制器40給出的輸出開始指示而開始種子光的輸出，并且響應(yīng)于脈沖調(diào)制器40給出的輸出結(jié)束指示而結(jié)束種子光的輸出。光放大部分20包括作為光放大介質(zhì)的放大光纖21和光復(fù)用器(例如,光稱合器)23。泵浦源22輸出泵浦光。光復(fù)用器23接收從種子光源10饋送的種子光，并且將種子光輸出到放大光纖21中，復(fù)用器23還接收從泵浦源22饋送的泵浦光，并且將泵浦光提供到放大光纖21中。放大光纖21受泵浦光激勵(lì)，以放大種子光。之后，從放大光纖21輸出放大了的脈沖激光。放大光纖21優(yōu)選地具有雙包層型折射率剖面。該情況下，放大光纖21具有摻雜有稀土元素的芯部分、包圍該芯部分且其折射率低于芯部分的折射率的第一包層部分、以及包圍第一包層部分且其折射率低于第一包層部分的折射率的第二包層部分。放大光纖21的芯部分以單一模式引導(dǎo)種子光，芯部分和第一包層部分以多種模式引導(dǎo)泵浦光。放大光纖21中泵浦光的吸收由放大光纖21的特性(主要有模場(chǎng)直徑、第一包層部分的外徑、以及芯部分的稀土摻雜濃度)確定。例如，在具有摻雜有稀土元素Yb的芯部分的放大光纖(下文中將其稱為YbDF)的情況下，其中Yb的摻雜濃度約為lOOOOppm，模場(chǎng)直徑約為7 μ m，第一包層部分的外徑約為130 μ m,以及長(zhǎng)度為5m，在泵浦光的915nm的波長(zhǎng)帶中，約2. 4dB的泵浦光被吸收。泵浦光的波長(zhǎng)可以是940nm的波長(zhǎng)帶或975nm的波長(zhǎng)帶。放大光纖21不總局限于YbDF，也可以根據(jù)預(yù)期用途而采用摻雜其他稀土元素的光纖。
為了獲得高增益，激光裝置I優(yōu)選地包括多個(gè)泵浦源22，該情況下，優(yōu)選地使用光組合器作為光復(fù)用器23。激光裝置I還可以在種子光源10與光放大部分20之間包括單級(jí)中間光放大部分或多級(jí)中間光放大部分，以獲得高功率。傳送光纖30在一端接收從放大光纖21輸出的脈沖激光,并且從出射端31輸出脈沖激光。傳送光纖30具有芯部分、以及包圍芯部分且其折射率低于芯部分的折射率的包層部分，其以單一模式引導(dǎo)脈沖激光。脈沖調(diào)制器40從外部觸發(fā)脈沖發(fā)生器2接收輸出開始指示和輸出結(jié)束指示以提供外部觸發(fā)(TTL信號(hào))，并且將這些指示提供給種子光源10。通過該操作，脈沖調(diào)制器40控制作為從種子光源10輸出的種子光的重復(fù)脈沖振蕩期間的開始和結(jié)束。供給脈沖調(diào)制器40的時(shí)段的開始指示和結(jié)束指示可以手動(dòng)提供，但是，優(yōu)選地從外部觸發(fā)脈沖發(fā)生器2提供，以在種子光源10中執(zhí)行高速的輸出開始和結(jié)束。外部觸發(fā)脈沖發(fā)生器2例如為個(gè)人計(jì)算機(jī)或者內(nèi)部或外部設(shè)有處理裝置主體的類似裝置?！D2A至圖2C是示出對(duì)比示例的激光裝置I中的各信號(hào)的時(shí)序圖。具體地，圖2A示出了從外部觸發(fā)脈沖發(fā)生器2提供給激光裝置I的外部觸發(fā)電壓，圖2B示出了根據(jù)外部觸發(fā)電壓提供給種子光源10的種子觸發(fā)電壓，以及圖2C示出了提供給泵浦源22的泵浦源驅(qū)動(dòng)電流。從外部觸發(fā)脈沖發(fā)生器2提供給激光裝置I的外部觸發(fā)電壓(圖2A)通過從低電平Vloff到高電平Vlon的轉(zhuǎn)換來指示種子光源10的輸出開始，并且通過從高電平Vlon到低電平Vloff的轉(zhuǎn)換來指示種子光源10的輸出結(jié)束。從脈沖調(diào)制器40提供給種子光源10的種子觸發(fā)電壓(圖2B)在與從外部觸發(fā)脈沖發(fā)生器2提供給激光裝置I的外部觸發(fā)電壓(圖2A)相同的定時(shí)改變電平，通過從低電平V2off到高電平V2on的轉(zhuǎn)換來指示種子光源10的輸出開始，并且通過從高電平V2on到低電平V2off的轉(zhuǎn)換來指示種子光源10的輸出結(jié)束。提供給泵浦源22的泵浦源驅(qū)動(dòng)電流(圖2C)總保持在高電平II，并且指示來自泵浦源22的固定強(qiáng)度的泵浦光輸出的連續(xù)。種子光源10可以響應(yīng)于來自脈沖調(diào)制器的種子觸發(fā)電壓(脈沖模式)來選擇脈沖操作或CW操作。種子光源10的CW操作或脈沖操作的行為對(duì)MOPA情況下的最終激光輸出產(chǎn)生影響。CW操作和脈沖操作之間的激光輸出差異為瞬時(shí)輸出。在CW操作中，由于為連續(xù)波形，因此輸出總是恒定。在脈沖操作中，能量集中在很短的一個(gè)脈沖周期內(nèi)。為此，脈沖光輸出的輸出功率可以為CW光輸出的輸出功率的幾千倍。通過利用該特性，在沒有對(duì)象被處理的期間輸出CW光。圖3A和圖3B示出了種子光源10中的CW操作和脈沖操作的行為。種子光源10在CW操作之后，在預(yù)定時(shí)間段內(nèi)連續(xù)產(chǎn)生多個(gè)脈沖。之后，示出種子光源10執(zhí)行返回到Cff操作的操作。CW操作的穩(wěn)定狀態(tài)下的功率電平被設(shè)置為根據(jù)脈沖操作的峰值電平的輸出。這消除了在從CW操作切換至脈沖操作時(shí)調(diào)節(jié)脈沖操作的峰值電平的工作，從而能夠進(jìn)行激光處理的開/關(guān)。具體地，如圖3A的時(shí)序圖所示，外部觸發(fā)電壓為低電平的第一時(shí)段是使種子光源10執(zhí)行CW操作的CWl指示時(shí)段，繼CWl指示時(shí)段之后外部觸發(fā)電壓為高電平的時(shí)段是使種子光源10執(zhí)行脈沖操作的脈沖指示時(shí)段。而且，繼脈沖指示時(shí)段之后外部觸發(fā)電壓為低電平的時(shí)段是使種子光源10執(zhí)行CW操作的CW2指示時(shí)段。
另一方面，如圖3B的時(shí)序圖所示，種子光源10在CWl指示時(shí)段處于CWl操作狀態(tài)，以輸出功率為的CW光。在脈沖指示時(shí)段，種子光源10處于脈沖操作狀態(tài)，以重復(fù)輸出功率為的脈沖光。在CW2指示時(shí)段，種子光源10處于CW2操作狀態(tài)，以再次輸出功率為Pwtot的CW光。CW2操作狀態(tài)經(jīng)過(CW2過渡到穩(wěn)定狀態(tài)的)過渡期后變?yōu)镃W2穩(wěn)定狀態(tài)(穩(wěn)定的CW操作狀態(tài))(CW2過渡到穩(wěn)定狀態(tài))。在過渡期內(nèi)，輸出功率逐漸恢復(fù)到CW操作的穩(wěn)定狀態(tài)下的電平。在脈沖操作中，YbDF的輸出波長(zhǎng)為1060nm。另一方面，在CW操作中，由于ASE光的自脈動(dòng)，YbDF在1060nm之外的波長(zhǎng)處振蕩(例如，單包層型YbDF在1030nm帶中振蕩，雙包層型YbDF在1040nm-1050nm帶中振蕩)，并且輸出其功率大于1060nm基波的功率的CW光。圖4A至圖4D是示出對(duì)比示例的激光裝置I的執(zhí)行圖3A和圖3B所示的種子光輸 出控制的輸出開始時(shí)段中的操作示例的時(shí)序圖。如圖4A所示，脈沖光的輸出開始由外部觸發(fā)電壓從低電平到高電平的轉(zhuǎn)換(從CWl指示時(shí)段到脈沖指示時(shí)段的轉(zhuǎn)換)指示。此時(shí)，種子光源10在從輸出開始指示的時(shí)刻經(jīng)歷某一固定延時(shí)時(shí)段后開始激光的脈沖操作，如圖4B所示。S卩，種子光源10從功率為Pwtct的CW光輸出(CWl操作狀態(tài))切換到功率為Pwt
的脈沖光重復(fù)輸出(脈沖操作狀態(tài))。該延時(shí)時(shí)段由外部觸發(fā)電壓從低電平達(dá)到某一固定電平之前所需的時(shí)間以及脈沖調(diào)制器40向種子光源10提供輸出開始指示所需處理需要的時(shí)間確定。盡管在脈沖激光的輸出開始與脈沖激光的強(qiáng)度穩(wěn)定之間需要時(shí)間，但是脈沖激光的輸出響應(yīng)于輸出開始指示而開始。此外，在圖4Α中，脈沖光的輸出結(jié)束由外部觸發(fā)電壓從高電平到低電平的轉(zhuǎn)換(從脈沖指示時(shí)段到CW2指示時(shí)段的轉(zhuǎn)換)指示。此時(shí)，種子光源10在從輸出結(jié)束指示的時(shí)刻經(jīng)歷某一固定轉(zhuǎn)換時(shí)段(CW2到穩(wěn)定狀態(tài)的轉(zhuǎn)換)后開始穩(wěn)定地輸出功率為P cw的CW激光(CW2穩(wěn)定狀態(tài)),如圖4B所不。S卩，種子光源10從功率為Pwtjswi的脈沖光重復(fù)輸出(脈沖操作狀態(tài))切換到功率為的CW光輸出(CW2操作狀態(tài))。如上所述，在脈沖操作狀態(tài)下，種子光源10以固定脈沖周期重復(fù)輸出固定脈寬的脈沖。當(dāng)外部觸發(fā)電壓從高電平變?yōu)榈碗娖?從脈沖指示時(shí)段轉(zhuǎn)換為CW2指示時(shí)段)時(shí)，種子光源10在從輸出開始指示的時(shí)刻經(jīng)歷某一固定延時(shí)時(shí)間后開始CW操作，以輸出CW光。在該CW2操作狀態(tài)的上升部分中，輸出功率電平在某一預(yù)定時(shí)間(轉(zhuǎn)換時(shí)段)突然從重復(fù)脈沖操作為Off時(shí)的功率電平改變?yōu)镃W操作的穩(wěn)定狀態(tài)(CW2穩(wěn)定狀態(tài))下的輸出功率電平。圖4C示出了泵浦光的輸出，泵浦源的驅(qū)動(dòng)電流被設(shè)置為恒定電平，從而泵浦光功率定。此外，圖4D是示出激光裝置I的激光輸出的時(shí)序圖。激光輸出是指基于在光檢測(cè)器(未示出)接收到來自光輸出端31的激光時(shí)通過光電變換獲得的電壓值的輸出功率。在CW操作的穩(wěn)定狀態(tài)下，激光輸出表現(xiàn)為某一固定功率。當(dāng)種子光輸出(圖4Β)從CWl操作狀態(tài)變?yōu)槊}沖操作狀態(tài)時(shí)(或者當(dāng)輸出激光的光功率從減小為P^ase時(shí))，種子光功率僅為ASE光的單個(gè)脈沖的關(guān)(Off)部分的功率，且其輸出電平為低電平。即，這些時(shí)段(單個(gè)脈沖的OfT時(shí)段)是泵浦光的消耗很小從而使泵浦光功率過大的時(shí)段。在單個(gè)脈沖為ON的狀態(tài)下，該單個(gè)光脈沖耗盡之前的處于單個(gè)脈沖的OfT狀態(tài)下的泵浦光功率以作為增益，從而輸出高峰值功率P的脈沖光作為激光輸出。而且，在從脈沖操作狀態(tài)轉(zhuǎn)換為CW2操作狀態(tài)時(shí)，種子光功率在CW2操作狀態(tài)的上升區(qū)突然改變其輸出，如上所述，以在某一固定時(shí)間(圖4B中的轉(zhuǎn)換時(shí)段)內(nèi)轉(zhuǎn)換為CW穩(wěn)定狀態(tài)。當(dāng)然，激光輸出也隨之突然改變。即，在CW2操作狀態(tài)的上升區(qū)的開始時(shí)，激光輸出表現(xiàn)為類似于瞬態(tài)響應(yīng)的突然增大(峰值功率為P y ^ew)。之后，在種子光功率變?yōu)镃W2穩(wěn)定狀態(tài)的轉(zhuǎn)換時(shí)段，激光輸出也逐漸變?yōu)镃W穩(wěn)定操作期間的激光輸出。在CW2穩(wěn)定狀態(tài)下，輸出恒定為低功率電平(圖4D中的功率Ρ· )，并且通常沒有特別的問題出現(xiàn)。在重復(fù)脈沖操作期間，輸出給定為某峰值功率(圖4D中的功率Pifcyw),以用于執(zhí)行激光處理，并且激光輸出被設(shè)置為光放大部分不會(huì)損壞的輸出電平。但是，與之前的其他脈沖激光的脈沖波形相比，輸出結(jié)束時(shí)的脈沖激光輸出最后的脈沖波形具有不小于兩倍的高峰值功率和I μ m的寬底部寬度。這被看作是受到了圖4B所示的CW2操作的上升時(shí)的種子光的脈沖部分的影響。假設(shè)該部分的影響擴(kuò)大了脈沖的底部寬度，并且增大了峰值功率。也認(rèn)為，由于脈沖操作的結(jié)束，未用于種子光放大的泵浦光變?yōu)锳SE光以引起可能造成自脈動(dòng)的情形，從而峰值功率增大更多。人們發(fā)現(xiàn)，如果光放大部分中的泵浦光功率較大，則這些因素導(dǎo)致了在CW2操作狀態(tài)的上升時(shí)段(轉(zhuǎn)換時(shí)段)產(chǎn)生巨脈沖，并且存在損壞放大光纖21等的風(fēng)險(xiǎn)。以下描述的實(shí)施例的激光裝置提供了對(duì)該問題的解決方案。 (第一實(shí)施例)圖5是示出根據(jù)第一實(shí)施例的激光裝置IA的配置的示圖。圖5所示的該激光裝置IA設(shè)置有種子光源10、光放大部分20、泵浦源22、傳送光纖30、脈沖調(diào)制器40、泵浦功率控制器50、以及主控制器60，并且其與外部觸發(fā)脈沖發(fā)生器2組合使用。與圖I所示對(duì)比示例的激光裝置I的配置相比，圖5所示的第一實(shí)施例的激光裝置IA的不同之處在于還包括泵浦功率控制器50和主控制器60。泵浦功率控制器50可以與主控制器60分開布置，或者可以包含于主控制器60中，以實(shí)現(xiàn)小型化并提高操作速度。脈沖調(diào)制器40接收根據(jù)主控制器60提供的重復(fù)頻率的脈沖振蕩的持續(xù)時(shí)段的開始指示和結(jié)束指示，并且將這些指示發(fā)送給種子光源10，以控制來自種子光源10的種子光輸出的開始和結(jié)束。具體地，種子光源10響應(yīng)于開始指示而結(jié)束CW輸出，并且開始重復(fù)脈沖的輸出。響應(yīng)于結(jié)束指示，種子光源10結(jié)束重復(fù)脈沖輸出而開始CW輸出。泵浦功率控制器50接收主控制器60提供的泵浦觸發(fā)信號(hào)，并且基于該泵浦觸發(fā)信號(hào)控制從泵浦源22輸出的泵浦光的功率的增大/減小。即，泵浦功率控制器50控制泵浦源22的驅(qū)動(dòng)功率，從而增大或減小提供給放大光纖21的泵浦光的功率。主控制器60接收外部觸發(fā)脈沖發(fā)生器2提供的重復(fù)脈沖的輸出開始指示和輸出結(jié)束指示，并且基于這些指示，在重復(fù)脈沖的輸出開始和結(jié)束時(shí)根據(jù)預(yù)定程序向泵浦功率控制器50和脈沖調(diào)制器40中的每一個(gè)給予指示。在重復(fù)光脈沖的輸出開始時(shí)，主控制器60以與對(duì)比示例相同的方式控制脈沖調(diào)制器40，以開始從種子光源10輸出種子光。另一方面，在重復(fù)光脈沖的輸出結(jié)束時(shí)，主控制器60控制泵浦功率控制器50以降低提供給放大光纖21的泵浦光的功率，之后控制脈沖調(diào)制器40以結(jié)束從種子光源10輸出重復(fù)種子光脈沖。之后，針對(duì)下一個(gè)輸出開始指示，主控制器60控制泵浦功率控制器50以使提供給放大光纖21的泵浦光的功率返回到原始電平。圖6A至圖6C是示出第一實(shí)施例的激光裝置IA中的重復(fù)信號(hào)的時(shí)序圖。圖6A示出了來自外部觸發(fā)脈沖發(fā)生器2的外部觸發(fā)電壓，圖6B示出了從主控制器60到脈沖調(diào)制器40的種子觸發(fā)電壓，以及圖6C示出了基于從主控制器60到泵浦功率控制器50的泵浦觸發(fā)信號(hào)的泵浦源驅(qū)動(dòng)電流。圖7A至圖7C也示出了根據(jù)第一實(shí)施例的激光裝置IA中的重復(fù)信號(hào)的時(shí)序圖，但是這些時(shí)序圖是圖6A至圖6C所示時(shí)序圖的修改示例。具體地，圖7A和圖7B與圖6A和圖6B —致,僅圖7C所不的時(shí)序圖不同于圖6C所不的時(shí)序圖。饋送至主控制器60的外部觸發(fā)電壓在時(shí)刻Tl或T3處從低電平Vloff變?yōu)楦唠娖絍lon。該電平的改變使種子觸發(fā)電壓在時(shí)刻tsl或ts3處從低電平V2off變?yōu)楦唠娖絍2on (以指示來自種子光源10的重復(fù)光脈沖的開始)。類似地，當(dāng)外部觸發(fā)電壓在時(shí)刻T2處從高電平Vlon變?yōu)榈碗娖絍loff時(shí)，在時(shí)刻ts2處指示來自種子光源10的重復(fù)光脈沖的輸出結(jié)束(種子觸發(fā)電壓從高電平V2on變?yōu)榈碗娖絍2off )。S卩，時(shí)刻tsl和時(shí)刻ts3分別根據(jù)時(shí)刻Tl和時(shí)刻T3而設(shè)置。關(guān)于泵浦觸發(fā)信號(hào)，當(dāng)外部觸發(fā)電壓在時(shí)刻T2處從高電平Vlon變?yōu)榈碗娖絍lofT時(shí)，泵浦源驅(qū)動(dòng)電流在時(shí)刻tpl處從高電平Il變?yōu)榈碗娖?2，并且從時(shí)刻tpl經(jīng)歷較短一段時(shí)間后，在時(shí)刻tp2處從低電平12變?yōu)楦唠娖絀I。S卩，時(shí)刻tpl和時(shí)刻tp2根據(jù)時(shí)刻T2而設(shè)置。種子觸發(fā)電壓與泵浦源22的驅(qū)動(dòng)電流之間的時(shí)序關(guān)系按圖6A至圖6C中的時(shí)刻·tsl、tpl、ts2、tp2和ts3的順序確定。圖6A至圖6C的時(shí)序圖是基于如下假設(shè)的時(shí)序圖，即，假設(shè)輸入到光放大部分20的泵浦光和種子光之間不存在時(shí)差。如果存在時(shí)差，則設(shè)置時(shí)差來彌補(bǔ)。如果假設(shè)該定時(shí)不同于激光裝置IA中的實(shí)際定時(shí)，則進(jìn)一步設(shè)置時(shí)差。例如，在種子光源10與光放大部分20之間添加了兩級(jí)或更多級(jí)輔助光放大部分的情況下，則會(huì)出現(xiàn)微小時(shí)差。該情況下，將通過添加下述時(shí)差調(diào)節(jié)器來調(diào)節(jié)定時(shí)。泵浦源22的驅(qū)動(dòng)電流的低電平12可以為根本沒有泵浦光從泵浦源22輸出時(shí)的電平。如上(圖7C)所述，泵浦源22的驅(qū)動(dòng)電流的低電平可以為不損壞放大光纖21等的某一閾值電平Ith以下的電平。即，在重復(fù)光脈沖的輸出結(jié)束時(shí)，泵浦功率控制器50降低提供給放大光纖21的泵浦光的功率，以使放大光纖21中ASE光的增益小于種子光的增益。在種子光源10的操作從脈沖操作切換至CW操作時(shí)，種子光源的輸出可以為輸出低于圖3B所示正常CW輸出的情況。為此，在CW輸出操作中，ASE光的增益變得大于種子光的增益，造成損壞光放大部分的風(fēng)險(xiǎn)。為了避免該風(fēng)險(xiǎn)，優(yōu)選將泵浦輸入功率降低至這種預(yù)定功率閾值電平，以避免放大光纖的破損。如果期望減小高峰值功率值由于在CW操作狀態(tài)的上升部分(轉(zhuǎn)換時(shí)段)中的瞬態(tài)響應(yīng)而產(chǎn)生的影響，則應(yīng)該考慮減小“從最后脈沖到CW光輸入時(shí)段”中的累計(jì)泵浦功率。例如，可以將從最后脈沖到CW光輸入的時(shí)間設(shè)置為較短，或者可以降低最后脈沖時(shí)提供的泵浦功率。泵浦功率控制器50可以一步到位地改變提供給放大光纖21的泵浦光的功率，或者可以分兩級(jí)或更多級(jí)逐步地改變提供給放大光纖21的泵浦光的功率。在后一種情況下，可以防止發(fā)生突然的熱變化。圖8A至圖8D是示出根據(jù)第一實(shí)施例的激光裝置IA的輸出操作示例的時(shí)序圖。圖8A示出了外部觸發(fā)電壓的改變，圖SB示出了種子輸出根據(jù)外部觸發(fā)電壓的改變的操作模式，圖8C示出了泵浦輸出根據(jù)外部觸發(fā)電壓的改變的操作模式，以及圖8D示出了激光裝置IA的輸出根據(jù)圖SB和圖SC的改變的操作模式。在CWl指示時(shí)段和脈沖指示時(shí)段，圖8D中的激光輸出與圖4D中的相同。CWl指示時(shí)段是外部觸發(fā)電壓為圖8A所示的低電平的時(shí)段，其與種子光源10中輸出功率為PwtCW的CW光的CWl操作狀態(tài)的時(shí)段(圖SB) —致。脈沖指示時(shí)段為外部觸發(fā)電壓為圖8A所示的高電平的時(shí)段，其與種子光源10中功率的脈沖操作狀態(tài)的時(shí)段(圖8B) 一致。繼脈沖操作時(shí)段之后的CW2指示時(shí)段的切換控制時(shí)段(圖8A)是指種子輸出從重復(fù)脈沖狀態(tài)切換上升至CW操作(CW2操作狀態(tài))的轉(zhuǎn)換時(shí)段，如圖SB所示。該時(shí)段內(nèi)，泵浦輸出從ON狀態(tài)(泵浦光輸出的功率電平為Pew,以維持CW操作或重復(fù)脈沖操作狀態(tài)的穩(wěn)定狀態(tài))轉(zhuǎn)換為Off狀態(tài)(泵浦光輸出的功率電平為P55gwaf,以防止損壞光放大部分)，如圖8C所示。如圖8D所示，激光輸出在CWl指示時(shí)段內(nèi)的功率電平為P· ，脈沖輸出在繼CWl指示時(shí)段之后的脈沖指示時(shí)段的功率電平為包括功率PjfctASE的Ρ ψ(>Ρ α )。該設(shè)置使從脈沖操作到CW操作的轉(zhuǎn)換時(shí)段的激光輸出降低到防止損壞光放大部 分的功率電平，作為切換控制時(shí)段的脈沖輸出的功率電平)。經(jīng)過可能造成光放大部分損壞的、到CW操作的上升時(shí)段(轉(zhuǎn)換時(shí)段CW2到穩(wěn)定狀態(tài)的轉(zhuǎn)換)后，泵浦功率返回到ON狀態(tài)(泵浦光的輸出功率電平為P )，從而進(jìn)入CW2穩(wěn)定狀態(tài)。應(yīng)該理解的是，與圖4D所示對(duì)比示例的激光裝置I的操作示例相比，由于第一實(shí)施例的激光裝置IA的控制在繼脈沖指示時(shí)段之后的CW2指示時(shí)段的開始處設(shè)置有切換控制時(shí)段，來如上所述地控制泵浦光的輸出，因此，激光輸出的功率總是低于CW2穩(wěn)定操作狀態(tài)的激光功率。如上所述，第一實(shí)施例的激光裝置IA可以在執(zhí)行重復(fù)光脈沖的輸出開始和結(jié)束時(shí)進(jìn)行快速響應(yīng)，并且可以抑制對(duì)光放大介質(zhì)的損壞。而且，其能夠減小將提供給泵浦源22的電流設(shè)置為低于原始電流值的時(shí)間。為此，與通過泵浦源22的輸出開始或結(jié)束來開始/結(jié)束重復(fù)光脈沖的輸出的方法相比，泵浦源22的耐熱性變得更好。(第二實(shí)施例)圖9是示出根據(jù)第二實(shí)施例的激光裝置IB的配置的示圖。圖IOA至圖IOC是示出第二實(shí)施例的激光裝置IB中的各信號(hào)的時(shí)序圖。圖9所示的激光裝置IB設(shè)置有種子光源10、光放大部分20、傳送光纖30、脈沖調(diào)制器40、泵浦功率控制器50、以及主控制器60B，并且其與外部觸發(fā)脈沖發(fā)生器2組合使用。與圖5所示第一實(shí)施例的激光裝置IA的配置相比，第二實(shí)施例的激光裝置IB的不同之處在于代替主控制器60而包括主控制器60B。主控制器60B包括時(shí)差調(diào)節(jié)器61。時(shí)差調(diào)節(jié)器61設(shè)置在結(jié)束重復(fù)光脈沖輸出時(shí)的、從降低提供給放大光纖21的泵浦光的功率的指示發(fā)送給泵浦功率控制器50的時(shí)刻到結(jié)束來自種子光源10的種子光的輸出的指示發(fā)送給脈沖調(diào)制器40的時(shí)刻的延時(shí)。S卩，如圖IOA至圖IOC所示，饋送至主控制器60B的外部觸發(fā)電壓在時(shí)刻Tl或T3時(shí)從低電平Vloff變?yōu)楦唠娖絍lon。這使得種子觸發(fā)電壓在時(shí)刻tsl或ts3時(shí)從低電平V2off變?yōu)楦唠娖絍2on (以指示來自種子光源10的重復(fù)光脈沖的輸出開始)。類似地，當(dāng)外部觸發(fā)電壓在時(shí)刻T2從高電平Vlon變?yōu)榈碗娖絍loff時(shí)，在時(shí)刻ts2指示來自種子光源10的重復(fù)光脈沖的輸出結(jié)束(種子觸發(fā)電壓從高電平V2on變?yōu)榈碗娖絍2off)。S卩，時(shí)刻tsl和時(shí)刻ts3分別根據(jù)時(shí)刻Tl和時(shí)刻T3確定。關(guān)于泵浦觸發(fā)信號(hào)，當(dāng)外部觸發(fā)電壓在時(shí)刻T2從高電平Vlon變?yōu)榈碗娖絍loff時(shí)，泵浦源的驅(qū)動(dòng)電流在時(shí)刻tpl從高電平Il變?yōu)榈碗娖?2，并且在從時(shí)刻tpl經(jīng)歷較短一段時(shí)間后再從低電平12變?yōu)楦唠娖絀I。SP，時(shí)刻tpl和時(shí)刻tp2根據(jù)時(shí)刻T2設(shè)置。因此，時(shí)差調(diào)節(jié)器61設(shè)置時(shí)刻tpl與時(shí)刻ts2之間的時(shí)段中的延時(shí)。
優(yōu)選主控制器60B包括如上所述時(shí)差調(diào)節(jié)器61的原因如下所述。脈沖調(diào)制器40的控制目標(biāo)是來自種子光源10的種子光的輸出。當(dāng)然，從種子光源10輸出的種子光在進(jìn)入光放大部分20之前具有傳播時(shí)間。另一方面，泵浦功率控制器50的控制目標(biāo)是來自泵浦源22的泵浦光的輸 出。在從泵浦源22輸出的泵浦光入射到放大光纖21之后的響應(yīng)之前也需要時(shí)間。因此，為了調(diào)節(jié)各部分的相位，時(shí)差調(diào)節(jié)器61設(shè)置時(shí)差調(diào)節(jié)時(shí)間，從而可以更準(zhǔn)確地控制泵浦功率的輸入定時(shí)。(第三實(shí)施例)圖11是示出根據(jù)第三實(shí)施例的激光裝置IC的配置的示圖。圖11所示第三實(shí)施例的激光裝置IC設(shè)置有種子光源10、光放大部分20C、傳送光纖30、脈沖調(diào)制器40、泵浦功率控制器50、以及主控制器60，并且其與外部觸發(fā)脈沖發(fā)生器2組合使用。與圖5所示第一實(shí)施例的激光裝置IA的配置相比，第三實(shí)施例的激光裝置IC的不同之處在于，在光放大部分20C和泵浦源22之間的光路徑上包括可變光衰減器24，以及包含泵浦功率控制器50C來補(bǔ)充使用泵浦功率控制器50進(jìn)行的泵浦功率控制。泵浦源22以固定強(qiáng)度連續(xù)輸出泵浦光?？勺児馑p器24設(shè)置在泵浦光從泵浦源22到光放大光纖21的光路徑上，并且用于泵浦光的衰減速率可變。泵浦功率控制器50C從主控制器60接收控制信號(hào)，增大或減小泵浦光在可變光衰減器24中的衰減速率，從而增大或減小提供給放大光纖21的泵浦光的功率。第三實(shí)施例的激光裝置IC也可以實(shí)現(xiàn)與第一實(shí)施例的激光裝置IA相同的效果，(第四實(shí)施例)圖12是示出根據(jù)第四實(shí)施例的激光裝置ID的配置的示圖。圖12所示第四實(shí)施例的激光裝置ID設(shè)置有種子光源10D、光放大部分20、傳送光纖30、脈沖調(diào)制器40D、泵浦功率控制器50、以及主控制器60，并且其與外部觸發(fā)脈沖發(fā)生器2組合使用。與圖5所示第一實(shí)施例的激光裝置IA的配置相比，第四實(shí)施例的激光裝置ID的不同之處在于，種子光源IOD除了種子光源10之外還包括外部調(diào)制器11，以及代替脈沖調(diào)制器40而設(shè)置了脈沖調(diào)制器40D。種子光源IOD配置如下種子光源10執(zhí)行CW操作，外部調(diào)制器11對(duì)重復(fù)脈沖操作狀態(tài)0η/0 進(jìn)行轉(zhuǎn)變，從而實(shí)現(xiàn)CW操作狀態(tài)和重復(fù)脈沖操作狀態(tài)的交替。脈沖調(diào)制器40D僅控制外部調(diào)制器11的重復(fù)脈沖操作狀態(tài)。在圖12所示的該配置的情況下，Cff操作時(shí)段的上升部分也存在，伴隨CW操作的突然上升也存在瞬態(tài)響應(yīng)的問題，從而增加了突發(fā)脈沖峰值出現(xiàn)的可能性。相反，如果CW操作上升緩慢，則可能出現(xiàn)ASE光的自脈動(dòng)的問題。除了圖12的配置之外，外部調(diào)制器11的另一可能的使用形式是使種子光源保持在重復(fù)脈沖操作狀態(tài)，并且外部調(diào)制器控制重復(fù)脈沖操作狀態(tài)的On/Off。從種子光源10以固定強(qiáng)度輸出的種子光被外部調(diào)制器11調(diào)制為脈沖光。外部調(diào)制器11被給予了來自脈沖調(diào)制器40D的種子觸發(fā)信號(hào)，并基于該種子觸發(fā)信號(hào)來執(zhí)行脈沖種子光輸出的開始和結(jié)束。第四實(shí)施例的激光裝置ID也可以實(shí)現(xiàn)與第一實(shí)施例的激光裝置IA相同的效果。(第五實(shí)施例)圖13是示出根據(jù)第五實(shí)施例的激光裝置IE的配置的示圖。圖13所示第五實(shí)施例的激光裝置IE設(shè)置有種子光源10、光隔離器12、光放大部分20E、傳送光纖30、脈沖調(diào)制器40、泵浦功率控制器50E、以及主控制器60，并且其與外部觸發(fā)脈沖發(fā)生器2組合使用。與圖5所示第一實(shí)施例的激光裝置IA的配置相比，第五實(shí)施例的激光裝置IE的不同之處在于還包括光隔離器12、代替光放大部分20而包括光放大部分20E、以及代替泵浦功率控制器50而包括泵浦功率控制器50E。光隔離器12設(shè)置在種子光從種子光源10到光放大部分20E的光路徑上，并且用來允許正向光通過而禁止反向光通過。光放大部分20E包括作為光放大介質(zhì)的放大光纖21、泵浦源25、以及光復(fù)用器26。泵浦源25輸出泵浦光。光復(fù)用器26將從放大光纖21輸出的重復(fù)光脈沖輸出到傳送光纖30中，并且接收從泵浦源25輸出的泵浦光，以將泵浦光提供給放大光纖21。放大光纖21被泵浦光泵浦為對(duì)種子光進(jìn)行光放大，并且輸出光放大之后的重復(fù)光脈沖。類似于第一實(shí)施例中的泵浦功率控制器50，泵浦功率控制器50E接收從主控制器60饋送的泵浦觸發(fā)信號(hào)，并且基于該泵浦觸發(fā)信號(hào)增大或減小從泵浦源25輸出的泵浦光的功率，從而增大或減小提供給放大光纖21的泵浦光的功率。
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第一實(shí)施例中的光放大部分20為正向泵浦放大器，而第五實(shí)施例中的光放大部分20E為反向泵浦放大器。第五實(shí)施例的激光裝置IE也可以實(shí)現(xiàn)與第一實(shí)施例的激光裝置IA相同的效果。(第六實(shí)施例)圖14是示出根據(jù)第六實(shí)施例的激光裝置IF的配置的示圖。圖14所示第六實(shí)施例的激光裝置IF設(shè)置有種子光源10、光隔離器12、光放大部分20F、傳送光纖30、脈沖調(diào)制器40、泵浦功率控制器50F、以及主控制器60，并且其與外部觸發(fā)脈沖發(fā)生器2組合使用。與圖5所示第一實(shí)施例的激光裝置IA的配置相比，第六實(shí)施例的激光裝置IF的不同之處在于還包括光隔離器12、代替光放大部分20而包括光放大部分20F、以及代替泵浦功率控制器50而包括泵浦功率控制器50F。光隔離器12設(shè)置在種子光從種子光源10到光放大部分20F的光路徑上，并且用于允許正向光的通過而禁止反向光的通過。光放大部分20F包括作為光放大介質(zhì)的放大光纖21、泵浦源22、光復(fù)用器23、泵浦源25、以及光復(fù)用器26。泵浦源22、25中的每一個(gè)都輸出泵浦光。光復(fù)用器23接收從種子光源10輸出的種子光，并且將種子光輸出到放大光纖21中，以及光復(fù)用器23接收從泵浦源22輸出的泵浦光,并且將泵浦光提供到放大光纖21中。光復(fù)用器26將從放大光纖21輸出的重復(fù)光脈沖輸出到傳送光纖30中，并且其接收從泵浦源25輸出的泵浦光，并且將泵浦光提供到放大光纖21中。放大光纖21被這些泵浦光束泵浦為對(duì)種子光進(jìn)行光放大，并且輸出光放大之后的重復(fù)光脈沖。類似于第一實(shí)施例中的泵浦功率控制器50，泵浦功率控制器50F接收從主控制器60饋送的泵浦觸發(fā)信號(hào)，并且基于該泵浦觸發(fā)信號(hào)來增大或減小從各泵浦源22、25輸出的泵浦光束的功率，從而增大或減小提供給放大光纖21的泵浦光束的功率。第一實(shí)施例中的光放大部分20是正向泵浦放大器，第五實(shí)施例中的光放大部分20E是反向泵浦放大器，而第六實(shí)施例中的光放大部分20F是雙向泵浦放大器。第六實(shí)施例的激光裝置IF也可以實(shí)現(xiàn)與第一實(shí)施例的激光裝置IA相同的效果。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的激光裝置實(shí)現(xiàn)了執(zhí)行脈沖激光輸出的開始和結(jié)束的快速響應(yīng)，同時(shí)有效地抑制了對(duì)光放大介質(zhì)的損壞。
權(quán)利要求
1.一種激光裝置，包括 種子光源，能夠輸出脈沖光作為種子光； 泵浦源，其輸出CW光作為泵浦光； 光放大部分，其接收泵浦光和種子光，并且對(duì)種子光進(jìn)行放大； 脈沖調(diào)制器，其將所述種子光源調(diào)制為重復(fù)脈沖操作狀態(tài)或CW操作狀態(tài)；泵浦功率控制器，其調(diào)節(jié)饋送至所述光放大部分的泵浦光的功率；以及主控制器，其輸出信號(hào)來指示所述脈沖調(diào)制器和所述泵浦功率控制器中的控制定時(shí)，其中，根據(jù)從所述主控制器輸出的信號(hào)定時(shí)，在種子光在所述光放大部分的光入射端處從脈沖光切換為CW光的定時(shí)之前，所述泵浦功率控制器在其中所述脈沖調(diào)制器使所述種子光源維持在所述重復(fù)脈沖操作狀態(tài)的時(shí)段中將從所述泵浦源輸出的泵浦光的功率減 小為低于預(yù)定功率。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的激光裝置，其中所述泵浦功率控制器控制所述泵浦源的輸出功率。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的激光裝置，還包括 可變光衰減器，其布置在所述泵浦源與所述光放大部分之間的光路徑上， 其中所述泵浦功率控制器控制所述可變光衰減器。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的激光裝置，其中所述預(yù)定功率為所述光放大部分中的ASE光的增益變得小于所述CW光的增益時(shí)的泵浦功率。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的激光裝置，其中所述主控制器包括時(shí)差調(diào)節(jié)器，其用于在將種子光的CW光的上升部分輸入到所述光放大部分中時(shí)調(diào)節(jié)時(shí)差以便以所述預(yù)定功率噴射泵浦光。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的激光裝置，其中泵浦功率在達(dá)到所述預(yù)定功率之后被逐步設(shè)置為CW振蕩操作功率。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的激光裝置，其中所述主控制器包括所述泵浦功率控制器。
全文摘要
本發(fā)明涉及具有用于在執(zhí)行脈沖激光輸出的開始和結(jié)束時(shí)能實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)同時(shí)又能有效抑制對(duì)光放大介質(zhì)的損壞的結(jié)構(gòu)的激光裝置。該激光裝置設(shè)置有種子光源(10)、光放大部分(20)、脈沖調(diào)制器(40)、泵浦功率控制器(50)、以及主控制器(60)。脈沖調(diào)制器接收從主控制器饋送的輸出開始指示和輸出結(jié)束指示，并且控制來自種子光源的種子光的輸出開始和結(jié)束。泵浦功率控制器接收從主控制器饋送的泵浦觸發(fā)信號(hào)，并且增大或減小提供給放大部分的泵浦光的功率。主控制器在脈沖激光的輸出結(jié)束時(shí)減小提供給放大部分的泵浦光的功率，之后使脈沖調(diào)制器結(jié)束從種子光源輸出種子光。
文檔編號(hào)H01S3/094GK102971923SQ201180032380
公開日2013年3月13日 申請(qǐng)日期2011年5月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月28日
發(fā)明者玉置忍 申請(qǐng)人:住友電氣工業(yè)株式會(huì)社