專利名稱：硅片自動上下片的識別裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及晶體硅太陽能電池生產(chǎn)領(lǐng)域，特別涉及ー種硅片自動上下片的識別裝置，用于晶體硅太陽能電池生產(chǎn)的鍍膜輔助上下片。
背景技術(shù)：
硅片自動上下片設(shè)備在太陽能電池行業(yè)輔助PECVD進(jìn)行上下片操作時應(yīng)用的很廣泛?，F(xiàn)在的硅片自動上下片的硅片識別裝置具有一定的局限性，當(dāng)上片花籃未滿載時，機(jī)械手無法識別花籃上是否仍有硅片，仍然進(jìn)行多余的取片動作，這樣就降低了生產(chǎn)的效率。另外，現(xiàn)有的硅片識別傳感器是采用光反射率傳感器，其缺點(diǎn)在于當(dāng)不同批次的硅片反射率差別過大時，必須重新設(shè)置反射率范圍，否則其無法識別硅片，這會導(dǎo)致疊片，進(jìn)而造成碎片，造成了不必要的成本増加。而且在實(shí)際生產(chǎn)過程中，不同批次之間的硅片反射率是不同的，每ー批次的硅片也不會完全裝滿花籃。因此為了提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本，改進(jìn)硅片識別裝置是必要的。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供ー種硅片自動上下片的識別裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中 的硅片識別裝置無法識別花籃上是否仍有硅片的問題。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下硅片自動上下片的識別裝置，包括上位機(jī)和用于識別傳送軌道上是否有硅片的第ー傳感器，其特征在于，還包括用于識別機(jī)械手夾持的花籃內(nèi)是否有硅片的第二傳感器，所述第二傳感器為遮光傳感器，遮光傳感器的發(fā)光端設(shè)置在機(jī)械手的ー夾板上，遮光傳感器的接收端設(shè)置在機(jī)械手的另ー夾板上，遮光傳感器與上位機(jī)連接。在本實(shí)用新型的一個優(yōu)選實(shí)施例中，所述第一傳感器為光距離傳感器，光距離傳感器設(shè)置在傳送軌道的起始端。本實(shí)用新型的遮光傳感器能夠確保當(dāng)花籃上不是滿載硅片時，機(jī)械手能夠在硅片被取完時不去做多余的取片動作，直接更換新的花籃。本實(shí)用新型的光距離傳感器能夠確保每ー塊硅片都能夠被識別，不會造成疊片、碎片。本實(shí)用新型的特點(diǎn)可參閱本案圖式及以下較好實(shí)施方式的詳細(xì)說明而獲得清楚地了解。

圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體實(shí)施例進(jìn)ー步闡述本實(shí)用新型。如圖I所示，硅片自動上下片的識別裝置，包括上位機(jī)(圖中未標(biāo)示)、用于識別傳送軌道上是否有硅片的第一傳感器200、用于識別機(jī)械手夾持的花籃內(nèi)是否有硅片的第二傳感器。第二傳感器為遮光傳感器，遮光傳感器的發(fā)光端310設(shè)置在機(jī)械手的上夾板410上，遮光傳感器的接收端320設(shè)置在機(jī)械手的下夾板420上。遮光傳感器與上位機(jī)連接。機(jī)械手的上夾板、下夾板的作用是夾緊、固定花籃500。當(dāng)上、下夾板間的花籃500上有硅片時，遮光傳感器的發(fā)光端310的出射光將不能夠被遮光傳感器的接收端320接收到，遮光傳感器的接收端將此信號傳送給上位機(jī)，此時認(rèn)為花籃500上有硅片700，步進(jìn)梁600進(jìn)行取 片動作，當(dāng)花籃500內(nèi)無硅片時，此時遮光傳感器的接收端320將接收到發(fā)光端發(fā)出的光信號，遮光傳感器的接收端將此信號傳送給上位機(jī)，停止步進(jìn)梁600的取片動作，機(jī)械手直接更換花籃。第一傳感器200為光距離傳感器，光距離傳感器設(shè)置在傳送軌道800的起始端。當(dāng)硅片700被步進(jìn)梁600取下后，放到傳送導(dǎo)軌800上，傳送導(dǎo)軌的起始端的光距離傳感器會實(shí)時檢測每一次步進(jìn)梁完成一次取片動作后，是否有取來硅片，如果有，則傳送導(dǎo)軌傳送一步，沒有則不進(jìn)行任何操作等待下一次步進(jìn)梁的取片動作，不同反射率的硅片都能夠被光距離傳感器所識別，不會造成現(xiàn)有設(shè)備的不同反射率的硅片疊片問題。確保了不同批次的硅片都能夠被識別，而不用毎次去更改傳感器，提高了生產(chǎn)效率，降低了碎片率，提高了產(chǎn)值，增加了利潤。以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理、主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下本實(shí)用新型還會有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型的范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求的保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等同物界定。
權(quán)利要求1.硅片自動上下片的識別裝置，包括上位機(jī)和用于識別傳送軌道上是否有硅片的第一傳感器，其特征在于，還包括用于識別機(jī)械手夾持的花籃內(nèi)是否有硅片的第二傳感器，所述第二傳感器為遮光傳感器，遮光傳感器的發(fā)光端設(shè)置在機(jī)械手的ー夾板上，遮光傳感器的接收端設(shè)置在機(jī)械手的另ー夾板上，遮光傳感器與上位機(jī)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的硅片自動上下片的識別裝置，其特征在于，所述第一傳感器為光距離傳感器，光距離傳感器設(shè)置在傳送軌道的起始端。
專利摘要本實(shí)用新型的目的在于提供一種硅片自動上下片的識別裝置，包括上位機(jī)和用于識別傳送軌道上是否有硅片的第一傳感器，還包括用于識別機(jī)械手夾持的花籃內(nèi)是否有硅片的第二傳感器，所述第二傳感器為遮光傳感器，遮光傳感器的發(fā)光端設(shè)置在機(jī)械手的一夾板上，遮光傳感器的接收端設(shè)置在機(jī)械手的另一夾板上，遮光傳感器與上位機(jī)連接。本實(shí)用新型的遮光傳感器能夠確保當(dāng)花籃上不是滿載硅片時，機(jī)械手能夠在硅片被取完時不去做多余的取片動作，直接更換新的花籃。
文檔編號H01L21/67GK202394849SQ20112055385
公開日2012年8月22日 申請日期2011年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月26日
發(fā)明者王利 申請人:上?，摾怆娍萍加邢薰?br>