專利名稱：一種太陽(yáng)能光伏玻璃鍍膜預(yù)加熱裝置的制作方法
一種太陽(yáng)能光伏玻璃鍍膜預(yù)加熱裝置技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明關(guān)于一種太陽(yáng)能光伏玻璃薄膜沈積預(yù)加熱裝置，特別關(guān)于一種PECVD真空腔體將以加熱被處理物為目的所放射的光照射于被處理物所用的加熱器。
背景技術(shù)：
當(dāng)前，一般在PECVD制程中，在成膜、結(jié)晶化、等各種處理中，采用者加熱處理。為了提升成膜的品質(zhì)，在實(shí)用上，使用來(lái)自白熱燈等的光源的光照射的光照射式加熱處理裝置被廣泛地使用。于光透射性材料所構(gòu)成的發(fā)光管內(nèi)部配設(shè)燈絲所成的白熱燈，是投入電力的90%以上被全放射，不接觸被處理物而可加以加熱，因此可將光利用作為熱的代表性的燈。將此種白熱燈使用作為太陽(yáng)能光伏玻璃的加熱用熱源時(shí)，與電阻加熱法相比較可高速降溫被處理物的溫度。
在此，被處理物為例如太陽(yáng)能光伏玻璃時(shí)，若加熱產(chǎn)生溫度分布不均勻，則于太陽(yáng)能光伏玻璃發(fā)生所謂成膜分步步均勻現(xiàn)象，亦即發(fā)生膜厚及結(jié)晶化隨著溫度不同做不同程度的變化，導(dǎo)致無(wú)法控制太陽(yáng)能光伏玻璃整面的均勻度。為此，使用光照射式加熱處理裝置，進(jìn)行太陽(yáng)能光伏玻璃成膜前加熱時(shí)，能使太陽(yáng)能光伏玻璃全面的溫度分布成為均勻地， 乃藉其多年于相關(guān)領(lǐng)域的制造及設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)和知識(shí)的輔佐，并經(jīng)多方巧思，而研創(chuàng)出本創(chuàng)作。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明在于提供一種太陽(yáng)能光伏玻璃薄膜沈積預(yù)加熱裝置，其主要目的系為了提供一種太陽(yáng)能光伏玻璃薄膜沈積預(yù)加熱裝置，但是在上述習(xí)知的加熱裝置中判明了會(huì)產(chǎn)生如下所示的問(wèn)題。具體上，例如被處理物為太陽(yáng)能光伏玻璃時(shí)，一般于太陽(yáng)能光伏玻璃表面藉由沈積法等形成的薄膜，受到此些主要原因的影響而于太陽(yáng)能光伏玻璃表面產(chǎn)生溫度分布的情形。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是一種太陽(yáng)能光伏玻璃薄膜沈積預(yù)加熱裝置，其特征在于兩組燈絲組，每組燈絲組再細(xì)分成五小組，涵蓋整個(gè)太陽(yáng)能光伏玻璃表面積，且每小組分別獨(dú)立供電，獨(dú)立控溫，依照本發(fā)明的加熱器，于光透射性材料所構(gòu)成的發(fā)光管內(nèi)部配設(shè)有燈絲，通入電源后，既產(chǎn)生光照進(jìn)而產(chǎn)生熱源。因此，使用具有本發(fā)明的加熱器的光照射式加熱裝置未加熱處理被處理物之際，即使在被處理物中，在某范圍溫度分布成為不均勻，也可調(diào)整位于該范圍的加熱器對(duì)于燈絲的電源調(diào)整。藉此，與使用習(xí)知構(gòu)造的電阻式加熱裝置的情形相比較，可調(diào)整被處理物上的某范圍的溫度，而在被處理物整體上可實(shí)現(xiàn)均勻的溫度分布。又，可僅上升所需部位的溫度，而將所需要的電能抑制在最小限度，因此在環(huán)境保護(hù)的觀點(diǎn)上也優(yōu)異。又，依照具有上述燈單元的加熱裝置，成為可將自燈單元僅隔開(kāi)所定距離的被處理物上的照度分布設(shè)定成精密且任意的分布。因此， 成為可將被處理物上的照度分布對(duì)于被處理物形狀設(shè)定成非對(duì)稱。為此，即使被熱處理的被處理物的基板上的部位性的溫度變化程度的分布對(duì)于基板形狀成為非對(duì)稱時(shí)，也對(duì)應(yīng)于此，成為可設(shè)定被處理物上的照度分布，而成為可均勻地加熱被處理物。
實(shí)施方式下面結(jié)合附圖
對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說(shuō)明請(qǐng)參閱第I圖所示，為一種太陽(yáng)能光伏玻璃薄膜沈積預(yù)加熱裝置于真空腔體內(nèi)布置圖，其包括真空腔體剖面11、上加熱燈絲組12、下加熱燈絲組13、太陽(yáng)能光伏玻璃(被處理物)14。據(jù)此，當(dāng)使用實(shí)施時(shí)請(qǐng)參閱第2圖所示，上下燈絲組細(xì)分成五小組燈絲組，其中，上燈絲組21、中燈絲組22、下燈絲組23、左燈絲組24及右燈絲組25所組成。如圖2所示，上、中、下燈絲組每組共有6支燈絲，交叉分布于每小組， 左右兩組燈絲組以個(gè)2支交叉分布于其中。請(qǐng)參閱第3圖所示，其中主控制部分用以控制電源，電源控制部分分別控制每小組輸出電源，每小組可依溫度控制部分實(shí)際測(cè)量的溫度回饋給主控制部分，做為每小組輸出獨(dú)立控制。
本發(fā)明在突破先前之技術(shù)結(jié)構(gòu)下，確實(shí)已達(dá)到所欲增進(jìn)之功效，且也非熟悉該項(xiàng)技藝者所于思及，其所具之進(jìn)步性、實(shí)用性，顯已符合發(fā)明專之申請(qǐng)要件，惟上詳細(xì)明系針對(duì)本發(fā)明之一可實(shí)施之具體明，該實(shí)施并非用以限制本發(fā)明之專范圍，而凡未脫本發(fā)明技藝所為之等效實(shí)施或變，均應(yīng)包含于本案之專范圍中，第 I圖系為本發(fā)明之一種太陽(yáng)能光伏玻璃薄膜沈積預(yù)加熱裝置于真空腔體內(nèi)布置圖。第2圖系為本發(fā)明之一種 太陽(yáng)能光伏玻璃薄膜沈積預(yù)加熱裝置示意圖。第3圖系為本發(fā)明之一種太陽(yáng)能光伏玻璃薄膜沈積預(yù)加熱裝置控制方塊圖。
主要組件符號(hào)說(shuō)明11...真空腔體剖面12...上加熱燈絲組13...下加熱燈絲組14...太陽(yáng)能光伏玻璃(被處理物)21...上燈絲組22...中燈絲組23...下燈絲組 24...左燈絲組25. .·右燈絲組。
權(quán)利要求
1.一種太陽(yáng)能光伏玻璃薄膜沈積預(yù)加熱裝置，其特征在上下兩組光燈絲組，每組又分割成五小組光燈絲組，各小組的燈絲分別獨(dú)立供電。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述之一種太陽(yáng)能光伏玻璃薄膜沈積預(yù)加熱裝置，其中，于上述各燈絲間，配設(shè)有絕緣體壓。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述之一種太陽(yáng)能光伏玻璃薄膜沈積預(yù)加熱裝置，其中，上述供電電線是以絕緣管覆蓋于電線上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述之一種太陽(yáng)能光伏玻璃薄膜沈積預(yù)加熱裝置，其中，上下兩組光燈絲組個(gè)分成五小組，以上、中、下、左及右涵蓋整個(gè)被沈積物的整個(gè)表面。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述之一種太陽(yáng)能光伏玻璃薄膜沈積預(yù)加熱裝置，其中，上、中、下燈絲組交叉分布6支燈絲，左、右燈絲組交叉分布2支燈絲。
全文摘要
本發(fā)明系提供一種太陽(yáng)能光伏玻璃薄膜沈積預(yù)加熱裝置，通過(guò)設(shè)有上下兩組光燈絲所組成的加熱裝置均勻加熱太陽(yáng)能光伏玻璃，即使太陽(yáng)能光伏玻璃放置在承載盤(pán)上亦能均勻地被加熱，通過(guò)重新排列光燈絲的分布及溫度控制方式，達(dá)到加熱均勻的目的。
文檔編號(hào)H01L31/18GK103014674SQ201110288178
公開(kāi)日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2011年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月26日
發(fā)明者周文彬, 劉幼海, 劉吉人 申請(qǐng)人:吉富新能源科技(上海)有限公司