專利名稱：玻璃基板保持用膜體及玻璃基板的研磨方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及用于在加工玻璃基板時保持玻璃基板的玻璃基板保持用膜體及玻璃基板的研磨方法。
背景技術(shù)：
對于應用于液晶顯示器用途的玻璃基板而言，其表面的微小凹凸或起伏會導致圖像產(chǎn)生變形，因此，使用研磨裝置來除去該微小凹凸或起伏。作為這種研磨裝置，本申請人在專利文獻I中公開了一種研磨裝置，其中，通過將保持在研磨頭上的玻璃基板推壓到粘貼在研磨平臺上的研磨墊上并且使研磨平臺和研磨頭進行相對旋轉(zhuǎn)而對玻璃基板進行研磨。
另外，專利文獻I的研磨裝置中，通過使玻璃基板吸附保持于安裝在研磨頭上的自吸附型保持用膜體上而將玻璃基板安裝到研磨頭上。另外，近來，隨著液晶顯示器用玻璃基板的大型化，用于使該玻璃基板吸附保持在研磨頭上的保持用膜體的尺寸也正在大型化。該保持用膜體通過借助雙面膠粘片將多孔性自吸附型片粘貼在背板上而構(gòu)成，并且玻璃基板吸附保持在該自吸附型片上。但是，特別是在對稱為GlO的尺寸(3130mmX 2880mm)的母玻璃基板進行研磨加工的情況下，在用于保持該尺寸的玻璃基板的保持用膜體的制造中，對于自吸附型片和背板而言，能夠使用現(xiàn)有的制造設備來制造尺寸與其對應的產(chǎn)品，但用于將自吸附型片膠粘到背板上的雙面膠粘片無法使用現(xiàn)有的制造設備來制造，制造時需要新型設備投資，因而存在制造成本增大的問題。因此，以往使用至少兩片現(xiàn)有尺寸的雙面膠粘片將自吸附型片膠粘保持于背板上。作為自吸附型片，如專利文獻2所示，可以例示作為由聚氨酯樹脂形成的軟質(zhì)塑料片的聚氨酯片。專利文獻2的聚氨酯片是通過在其表面層上形成多微孔、并且在表面層中含有水等液體從而利用滲入到表面層的多微孔中的液體的表面張力將研磨墊膠粘到研磨平臺上的聚氨酯片，但利用該聚氨酯片也能夠使玻璃基板進行自吸附保持，因此，將其作為自吸附型片使用。現(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻I :日本特開2004-122351號公報專利文獻2 :日本特開2007-7824號公報

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的問題但是，使用多片雙面膠粘片的現(xiàn)有的保持用膜體中，難以將相鄰的雙面膠粘片的端部以無間隙的方式進行粘貼。
圖9 (A)示出了借助兩片雙面膠粘片2、2將自吸附型片I貼合在背板3上且玻璃基板G吸附保持于自吸附型片I上的截面圖。為了使相鄰的雙面膠粘片2、2的端部彼此以無間隙的方式進行粘貼，如圖9 (A)所示使雙面膠粘片2、2的端部以彼此稍稍重疊的方式進行膠粘時，該重疊的部分會形成凸狀，該凸狀經(jīng)由自吸附型片I轉(zhuǎn)印到玻璃基板G上而形成凸狀部4。在轉(zhuǎn)印有凸狀部4的狀態(tài)下對玻璃基板G進行研磨時，如圖9(B)所示，研磨后的玻璃基板G的形成該凸狀部4的部分會相反地表現(xiàn)為凹狀部4A，因此，存在加工表面的平坦性受損、玻璃基板G的質(zhì)量降低的問題。需要說明的是，圖9(A)中示出的是上下顛倒的圖，實際上在玻璃基板G處于下方位置的狀態(tài)下進行研磨。本發(fā)明是鑒于上述情況而做出的，其目的在于提供能夠提高研磨后的玻璃基板的質(zhì)量的玻璃基板保持用膜體及玻璃基板的研磨方法。用于解決問題的手段為了達到上述目的，本發(fā)明提供一種玻璃基板保持用膜體，通過借助雙面膠粘片 將自吸附型片粘貼在背板上而構(gòu)成，并且玻璃基板吸附保持于上述自吸附型片上，其中，上述雙面膠粘片包含配置在同一面內(nèi)的多片雙面膠粘片，該多片雙面膠粘片以相鄰的雙面膠粘片各自隔開預定間隙的方式粘貼在上述自吸附型片和上述背板上。根據(jù)本發(fā)明，通過使用配置在同一面內(nèi)的多片雙面膠粘片將一片自吸附型片膠粘在背板上，此時，使相鄰的雙面膠粘片以隔開預定間隙的方式粘貼在自吸附型片和背板上。對于由這種保持用膜體保持而進行研磨后的玻璃基板而言，雖然由于在上述間隙被轉(zhuǎn)印的狀態(tài)下進行研磨而在其表面上形成凸狀部，但與以往的凹狀部的深度量相比，形成在玻璃基板的表面上的凸狀部的高度量的絕對量減小，因此，不會損害玻璃基板的平坦性。由此，根據(jù)本發(fā)明的保持用膜體，能夠提高研磨后的玻璃基板的質(zhì)量。本發(fā)明以用于吸附保持大型玻璃基板的保持用膜體作為對象，因此，本發(fā)明中所述的一片自吸附型片為尺寸可以應對大型玻璃基板的自吸附型片。另外，多片雙面膠粘片中的一片雙面膠粘片為現(xiàn)有制造設備所能制造的最大尺寸的雙面膠粘片或尺寸稍小于上述尺寸的雙面膠粘片。為了達到上述目的，本發(fā)明提供一種玻璃基板保持用膜體，通過借助雙面膠粘片將自吸附型片粘貼在背板上而構(gòu)成，并且玻璃基板吸附保持于上述自吸附型片上，其中，上述自吸附型片和上述雙面膠粘片各自包含設置在同一面內(nèi)的多片上述自吸附型片和多片上述雙面膠粘片，該多片自吸附型片和多片雙面膠粘片以相鄰的自吸附型片和雙面膠粘片各自隔開預定間隙的方式粘貼在上述背板上。根據(jù)本發(fā)明，可以將配置在同一面內(nèi)的多片自吸附型片使用貼合在各個多片自吸附型片上且配置在同一面內(nèi)的雙面膠粘片膠粘到背板上，此時，使相鄰的自吸附型片和雙面膠粘片以各自隔開預定間隙的方式粘貼在背板上。對于由這種保持用膜體保持而進行研磨后的玻璃基板而言，雖然由于在上述間隙被轉(zhuǎn)印的狀態(tài)下進行研磨而在其表面上形成凸狀部，但與以往的凹狀部的深度量相比，形成在玻璃基板的表面上的凸狀部的高度量的絕對量減小，因此，不會損害玻璃基板的平坦性。由此，根據(jù)本發(fā)明的保持用膜體，能夠提高研磨后的玻璃基板的質(zhì)量。為了達到上述目的，本發(fā)明提供一種玻璃基板保持用膜體，通過借助雙面膠粘片將自吸附型片粘貼在背板上而構(gòu)成，并且玻璃基板吸附保持于上述自吸附型片上，其中，上述雙面膠粘片包含配置在同一面內(nèi)的多片雙面膠粘片，該多片雙面膠粘片以相鄰的雙面膠粘片各自隔開預定間隙的方式粘貼在上述自吸附型片和上述背板上。根據(jù)本發(fā)明，可以使用配置在同一面內(nèi)的多片雙面膠粘片將一片自吸附型片膠粘到背板上，此時，可以使至少兩片雙面膠粘片重疊貼合。而且，同一面內(nèi)的多片雙面膠粘片以各自隔開預定間隙的方式粘貼，并且以同一平面內(nèi)的雙面膠粘片之間的預定間隙與在雙面膠粘片的層疊方向上相鄰的雙面膠粘片之間的預定間隙在雙面膠粘片的層疊方向上不重合的方式粘貼。對于由這種保持用膜體保持而進行研磨后的玻璃基板而言，雖然由于在上述間隙被轉(zhuǎn)印的狀態(tài)下進行研磨而在其表面上形成凸狀部，但由于在雙面膠粘片的層疊方向上相鄰的上述間隙在雙面膠粘片的層疊方向上不重合(即，圖中在左右方向上錯開而在上下方向上不重合)，因此，能夠抑制間隙所致的轉(zhuǎn)印量。因此，根據(jù)本發(fā)明，能夠?qū)⑿纬稍诓ＡЩ宓谋砻嫔系耐範畈康母叨纫种圃谳^低水平，因此，能夠更進一步地提高研磨后的玻璃基板的質(zhì)量。
根據(jù)本發(fā)明，上述預定間隙優(yōu)選設定為0. 5mm±0. 5mm。即，本發(fā)明中所說的預定間隙包括0mm，優(yōu)選為0 I. 0mm。間隙為Omm時，不會在研磨后的玻璃基板上產(chǎn)生轉(zhuǎn)印所致的凹狀部、凸狀部，另外，間隙為1.0mm以下時，因轉(zhuǎn)印而形成在玻璃基板上的凸狀部對顯示器用玻璃基板的質(zhì)量沒有影響，因此優(yōu)選。另外，根據(jù)本發(fā)明，優(yōu)選上述玻璃基板的尺寸為3130 (mm) X2880 (mm)以上。S卩，本發(fā)明的保持用膜體能夠保持尺寸為稱為GlO尺寸的尺寸以上的玻璃基板，從而能夠?qū)υ摬ＡЩ暹M行研磨。另外，根據(jù)本發(fā)明，優(yōu)選上述保持用膜體的尺寸為3200(mm)X3000(mm)以上。為了保持上述GlO尺寸以上的玻璃基板，優(yōu)選使用具有3200 (mm) X3000 (mm)以上的尺寸的保
持用膜體。為了達到上述目的，本發(fā)明提供一種玻璃基板的研磨方法，其特征在于，利用本發(fā)明的玻璃基板保持用膜體吸附保持玻璃基板，將該玻璃基板的被研磨面推壓到研磨墊上，并將玻璃基板的被研磨面研磨至所需的平坦度。由此，根據(jù)本發(fā)明，能夠提高研磨后的玻璃基板的質(zhì)量。發(fā)明效果如上所述，根據(jù)本發(fā)明，通過使配置在同一面內(nèi)的多片雙面膠粘片的相鄰的雙面膠粘片以各自隔開預定間隙的方式粘貼在背板上，能夠提高研磨后的玻璃基板的質(zhì)量。


圖I是應用實施方式的玻璃基板保持用膜體的玻璃基板的研磨裝置的立體圖。圖2是表示圖I所示的研磨裝置的主要部分構(gòu)造的放大剖面圖。圖3是第一實施方式的保持用膜體的立體圖。圖4是圖3所示的保持用膜體的截面圖。圖5是在圖3所示的保持用膜體上吸附保持有玻璃基板的截面圖。圖6(A)是利用以隔開間隙的方式貼合的兩片雙面膠粘片將自吸附型片貼合在背板上的截面圖，圖6(B)是形成在玻璃基板的表面上的凸狀部的說明圖。
圖7是第二實施方式的保持用膜體的截面圖。圖8是第三實施方式的保持用膜體的截面圖。圖9(A)是通過將兩片雙面膠粘片的端部重疊而將自吸附型片貼合在背板上的截面圖，圖9(B)是形成在玻璃基板的表面上的凹狀部的說明圖。
具體實施例方式以下，根據(jù)附圖對本發(fā)明的玻璃基板保持用膜體及玻璃基板的研磨方法的優(yōu)選實施方式進行說明。圖I示出了應用實施方式的玻璃基板保持用膜體的玻璃基板的研磨裝置10的立體圖。另外，圖2中示出了表示研磨裝置10的主要部分構(gòu)造的放大剖面圖。

該研磨裝置10是用于將制造成矩形的母玻璃基板(例如，邊長為3130mmX2880mm(G10尺寸)以上、厚度為0. 7mm)G的被研磨面A研磨至液晶顯示器用玻璃基板所需的平坦度的研磨裝置，作為其構(gòu)成，由借助實施方式的保持用膜體12將玻璃基板G保持在其下表面的研磨頭14和借助鋁制平板16將研磨墊18保持在其上表面的研磨臺20構(gòu)成。母玻璃基板(以下稱為玻璃基板)G由包含具有自吸附作用的背襯材料等的保持用膜體12保持，并且由研磨頭14將被研磨面A推壓到研磨墊18上，由此，將被研磨面A研磨至所需的平坦度。為了吸附保持上述尺寸的大型玻璃基板G，優(yōu)選保持用膜體12具有3200 (mm) X 3000 (mm)以上的尺寸。另外，保持用膜體12的詳細結(jié)構(gòu)如后所述。如圖2所示，在研磨中，由貫通形成于研磨臺20和平板16的多個漿料供給孔22、22…自研磨墊18的下表面?zhèn)裙┙o二氧化鈰水溶液等研磨漿料。由此，形成研磨墊18被研磨漿料浸泡的狀態(tài)，在該狀態(tài)下對玻璃基板G進行研磨。漿料供給孔22、22…密集且均勻地形成在研磨臺20和平板16上，因此，研磨漿料被均勻地供給至研磨墊18。需要說明的是，作為研磨墊18，可以使用例如發(fā)泡聚氨酯型或絨面革型研磨墊，將其貼合在平板16上。另夕卜，研磨墊18可以為一片，但由于其尺寸與玻璃基板G的尺寸相應地也較大，因此，也可以將多片分割墊組合成一片研磨墊18。而且，在研磨臺20上貫通形成有多個抽吸孔24、24…，這些抽吸孔24、24…通過閥與未圖示的抽吸泵連接。因此，通過打開上述閥，抽吸泵的吸引力傳遞到抽吸孔24、24…，因此，平板16被吸附保持于研磨臺20的上表面。通過關(guān)閉上述閥，抽吸泵的吸引力被解除，因此，在研磨墊18的維護、更換時能夠?qū)⒀心|18和平板16一起從研磨臺20上拆卸下來。如圖I所示，在研磨頭14的上部中央固定有主軸26，該主軸26上連接有旋轉(zhuǎn)/升降裝置28。旋轉(zhuǎn)/升降裝置28由統(tǒng)一控制整個研磨裝置10的控制部30控制到適合玻璃基板G的研磨的轉(zhuǎn)速和下降動作(推壓力)。圖3中示出了第一實施方式的保持用膜體12的立體圖，圖4中示出了保持用膜體12的截面圖。另外，圖5中示出了在保持用膜體12上吸附保持有玻璃基板G的截面圖。需要說明的是，圖3的保持用膜體12以上下顛倒的方式表示。如上述圖中所示，保持用膜體12通過借助配置在同一面內(nèi)的兩片雙面膠粘片34、34將一片自吸附型片32粘貼在鋁制背板36上而構(gòu)成，并且，如圖5所示，玻璃基板G吸附保持于自吸附型片32上。需要說明的是，圖3 圖5中例示了使用兩片雙面膠粘片34、34將一片自吸附型片32膠粘到背板36上而得到的保持用膜體12，但也可以是使用配置在同一面內(nèi)的3片以上的雙面膠粘片34、34…將一片自吸附型片32膠粘到背板36上而得到的保持用膜體12。自吸附型片32為專利文獻2中公開的由聚氨酯樹脂形成的聚氨酯片，其厚度約為
0.8_。該聚氨酯片的表面層上形成有多微孔，通過使表面層中含有水等液體，能夠利用滲入到表面層的多微孔中的液體的表面張力來吸附保持玻璃基板G。另外，雙面膠粘片34通過在聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)等的基材38的兩面上涂布膠粘劑40、40而構(gòu)成，其厚度約為0. 2_。圖3 圖5中所示的保持用膜體12中，在一片自吸附型片32上使用配置在同一面內(nèi)的兩片雙面膠粘片34、34，并且兩片雙面膠粘片34、34以隔開預定間隙的方式粘貼在自吸附型片32和背板36上。根據(jù)以上述方式構(gòu)成的保持用膜體12，使用兩片雙面膠粘片34、34將一片自吸附 型片32膠粘到背板36上，此時，使雙面膠粘片34、34以隔開預定間隙的方式粘貼在自吸附型片32和背板36上。對于由這種保持用膜體12保持而進行研磨后的玻璃基板G而言，如圖6 (A)所示，位于間隙s處的自吸附型片32的一部分32a因研磨時的推壓力等進入間隙s中，因此，在與該間隙s對應的自吸附型片32的吸附面上產(chǎn)生凹狀部32b。因此，吸附保持在該凹狀部32b上的玻璃基板G的一部分G1變形為凸狀，該凸狀轉(zhuǎn)印到玻璃基板G的被研磨面上而形成凹狀部5。在轉(zhuǎn)印有凹狀部5的狀態(tài)下對玻璃基板G進行研磨時，該凹狀部5未被研磨，因此，如圖6(B)所示，研磨后的玻璃基板G的形成該凹狀部5的部分會相反地表現(xiàn)為凸狀部5A。但是，與圖9所示的以往的凹狀部4A的深度量b相比，形成在玻璃基板G的表面上的凸狀部5A的高度量a的絕對量減小，因此，并不會損害玻璃基板G的平坦性。由此，根據(jù)第一實施方式的保持用膜體12，能夠提高研磨后的玻璃基板G的質(zhì)量。另外，如圖5所示，在保持用膜體12的背板36上安裝有環(huán)形形狀的彈性片材42，在該彈性片材42的外周固定有多個結(jié)合構(gòu)件44、44…。保持用膜體12通過張緊設置彈性片材42并使這些結(jié)合構(gòu)件44、44…結(jié)合在圖I的研磨頭14的鉤部(未圖示)而安裝到研磨頭14上。圖7中示出了第二實施方式的保持用膜體112的截面圖，對與圖3所示的保持用膜體12同一類似的構(gòu)件標注同一符號來進行說明。保持用膜體112使用各自配置在同一面內(nèi)且各為兩片的自吸附型片32A、32A和雙面膠粘片34、34，并且，各為兩片的自吸附型片32A、32A和雙面膠粘片34、34以隔開預定間隙s的方式粘貼在背板36上。需要說明的是，圖7中例示了將各為兩片的自吸附型片32A、32A和雙面膠粘片34、34膠粘到背板36上而得到的保持用膜體112，但也可以是將各為3片以上的自吸附型片32A、32A…和雙面膠粘片34、34…膠粘到背板36上而得到的保持用膜體 112。根據(jù)以上述方式構(gòu)成的保持用膜體112，使用兩片各自貼合在自吸附型片32A、32A上的雙面膠粘片34、34將兩片自吸附型片32A、32A膠粘到背板36上，此時，使自吸附型片32A、32A和雙面膠粘片34、34以隔開預定間隙s的方式粘貼在背板36上。如圖6(A)、圖6(B)所示，對于由這種保持用膜體112保持而進行研磨后的玻璃基板G而言，雖然由于在間隙s被轉(zhuǎn)印的狀態(tài)下進行研磨而在其表面上形成凸狀部5A，但與圖9(B)所示的凹狀部4A的深度量b相比，凸狀部5A的高度量a的絕對量減小，因此并不會損害玻璃基板G的平坦性。由此，根據(jù)第二實施方式的保持用膜體112，能夠提高研磨后的玻璃基板G的質(zhì)量。需要說明的是，優(yōu)選使間隙s的形成方向與制造作為玻璃基板G的原材的平板玻璃的浮法制造裝置中玻璃帶的拉出方向相同。即，通過使因間隙s在玻璃基板G上產(chǎn)生的凹狀槽的方向與因玻璃帶拉出而在平板玻璃的表面上產(chǎn)生的痕紋的方向相同，可使凸狀槽變得不太顯眼，因此優(yōu)選。 另外，預定間隙s優(yōu)選設定為0. 5mm±0. 5mm。SP,實施例中規(guī)定的預定間隙s包括0mm，優(yōu)選為0 I. 0mm。間隙為Omm時，不會在研磨后的玻璃基板G上產(chǎn)生轉(zhuǎn)印所致的凹狀部4A、凸狀部5A，另外，間隙為I. Omm時，因轉(zhuǎn)印而形成在玻璃基板G上的凸狀部5A對顯示器用玻璃基板G的質(zhì)量沒有影響。圖8中示出了第三實施方式的保持用膜體212的截面圖，對與圖3所示的保持用膜體12同一類似的構(gòu)件標注同一符號來進行說明。保持用膜體212中，在一片自吸附型片32上重疊貼合有兩片雙面膠粘片34A、34A、34B、34B。另外，直接粘貼在自吸附型片32上的同一面內(nèi)的雙面膠粘片34A、34A以隔開預定間隙Si的方式粘貼，粘貼在上述雙面膠粘片34A、34A上的同一面內(nèi)的雙面膠粘片34B、34B也同樣以隔開預定間隙s2的方式粘貼。而且，雙面膠粘片34A、34A、34B、34B以兩片重疊而貼合的各個雙面膠粘片34A、34A、34B、34B之間的間隙sI、s2在雙面膠粘片的層疊方向上不重合(即，圖中在左右方向上錯開而在上下方向上不重合)的方式貼合。需要說明的是，實施方式的保持用膜體212中，示出了使用4片雙面膠粘片34A、34A、34B、34B并將這些雙面膠粘片34A、34A、34B、34B以兩片重疊的方式進行配置的示例，但也可以是使用6片以上的雙面膠粘片并以3片以上重疊的方式進行配置的保持用膜體。根據(jù)以上述方式構(gòu)成的保持用膜體212，使用4片雙面膠粘片34A、34A、34B、34B將一片自吸附型片32膠粘到背板36上，此時，雙面膠粘片34A、34A、34B、34B至少兩片重疊貼合，而且，雙面膠粘片34A、34A以隔開預定間隙Si的方式粘貼，粘貼在上述雙面膠粘片34A、34A上的同一面內(nèi)的雙面膠粘片34B、34B也同樣以隔開預定間隙s2的方式粘貼在背板36上，并且以兩片重疊而貼合的各個雙面膠粘片34A、34A、34B、34B之間的間隙si、s2在雙面膠粘片的層疊方向上不重合(即，圖中在左右方向上錯開而在上下方向上不重合)的方式粘貼。對于由這種保持用膜體212保持而進行研磨后的玻璃基板G而言，雖然由于在間隙Si、s2被轉(zhuǎn)印的狀態(tài)下進行研磨而在其表面上形成兩個凸狀部5A、5A(參考圖6)，但兩個間隙Si、s2在雙面膠粘片的層疊方向上不重合(即，圖中在左右方向上錯開而在上下方向上不重合)，因此，能夠抑制間隙sl、s2所致的轉(zhuǎn)印量。即，為了加固該間隙Si所致的自吸附型片32的變形，在雙面膠粘片34A、34A的間隙si的下方配置有圖中右側(cè)的雙面膠粘片34B以堵住間隙Si，另外，為了加固該間隙s2所致的自吸附型片32的變形，在雙面膠粘片34B、34B的間隙s2的上方配置有圖中左側(cè)的雙面膠粘片34A以堵住間隙s2。因此，根據(jù)實施方式的保持用膜體212，能夠?qū)⑿纬稍诓ＡЩ錑的表面上的凸狀部5A(參考圖6)的高度抑制在較低水平，因此，能夠更進一步地提高研磨后的玻璃基板G的質(zhì)量。需要說明的是，優(yōu)選間隙sl、s2與圖3的間隙s相同。另外，優(yōu)選使間隙sl、s2的形成方向與制造作為玻璃基板G的原材的平板玻璃的浮法制造裝置中玻璃帶的拉出方向相同。標號說明I自吸附型片2雙面膠粘片
3 背板4凸狀部4A凹狀部5凹狀部5A凸狀部10研磨裝置12、112、212 保持用膜體14研磨頭16 平板18研磨墊20研磨臺22漿料供給孔24抽吸孔26 主軸28旋轉(zhuǎn)/升降裝置30控制部32自吸附型片34.34A.34B 雙面膠粘片36 背板38 基材40膠粘劑42彈性片材44結(jié)合構(gòu)件G玻璃基板
權(quán)利要求
1.一種玻璃基板保持用膜體，通過借助雙面膠粘片將自吸附型片粘貼在背板上而構(gòu)成，并且玻璃基板吸附保持于所述自吸附型片上，其中， 所述雙面膠粘片包含配置在同一面內(nèi)的多片雙面膠粘片，該多片雙面膠粘片以相鄰的雙面膠粘片各自隔開預定間隙的方式粘貼在所述自吸附型片和所述背板上。
2.一種玻璃基板保持用膜體，通過借助雙面膠粘片將自吸附型片粘貼在背板上而構(gòu)成，并且玻璃基板吸附保持于所述自吸附型片上，其中， 所述自吸附型片和所述雙面膠粘片各自包含設置在同一面內(nèi)的多片所述自吸附型片和多片所述雙面膠粘片，該多片自吸附型片和多片雙面膠粘片以相鄰的自吸附型片和雙面膠粘片各自隔開預定間隙的方式粘貼在所述背板上。
3.一種玻璃基板保持用膜體，通過借助雙面膠粘片將自吸附型片粘貼在背板上而構(gòu)成，并且玻璃基板吸附保持于所述自吸附型片上，其中， 所述雙面膠粘片包含配置在同一面內(nèi)的多片雙面膠粘片，且至少兩片雙面膠粘片重疊貼合，同一面內(nèi)的多片雙面膠粘片以各自隔開預定間隙的方式粘貼，并且，雙面膠粘片之間的預定間隙與在雙面膠粘片的層疊方向上相鄰的雙面膠粘片之間的預定間隙在雙面膠粘片的層疊方向上不重合。
4.如權(quán)利要求I 3所述的玻璃基板保持用膜體，其中，所述預定的間隙為0. 5mm + 0. 5mm。
5.如權(quán)利要求I 4中任一項所述的玻璃基板保持用膜體，其中，所述玻璃基板的尺寸為 31 30mmX2880mm 以上。
6.如權(quán)利要求5所述的玻璃基板保持用膜體，其中，所述保持用膜體的尺寸為3200mmX3000mm 以上。
7.—種玻璃基板的研磨方法,其中,利用權(quán)利要求I 6中任一項所述的玻璃基板保持用膜體吸附保持玻璃基板，將該玻璃基板的被研磨面推壓到研磨墊上，并將玻璃基板的被研磨面研磨至所需的平坦度。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種玻璃基板保持用膜體，通過借助雙面膠粘片將自吸附型片粘貼在背板上而構(gòu)成，并且玻璃基板吸附保持于所述自吸附型片上，其中，所述雙面膠粘片包含配置在同一面內(nèi)的多片雙面膠粘片，該多片雙面膠粘片以相鄰的雙面膠粘片各自隔開預定間隙的方式粘貼在所述自吸附型片和所述背板上。
文檔編號H01L21/304GK102811837SQ201080065758
公開日2012年12月5日 申請日期2010年3月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月25日
發(fā)明者橫田稔, 古田充, 笹森孝 申請人:旭硝子株式會社, 富士紡控股株式會社