專利名稱：向處理工具提供襯底的方法和設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般涉及襯底加工，特別是涉及向處理工具提供襯底的方法和設(shè)備。
相關(guān)申請(qǐng)的相互引用本申請(qǐng)涉及下列普通轉(zhuǎn)讓的、共同待決的美國(guó)專利申請(qǐng)，每個(gè)申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容合并于此以供參考2002年8月31日提交的、題為“System For Transporting WaferCarriers”(律師編號(hào)6900/L)的第60/407451號(hào)美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)；2002年8月31日提交的、題為“Method and Apparatus for UsingWafer Carrier Movement to Actuate Wafer Carrier Door Opening/Closing”(律師編號(hào)6976/L)的第60/407339號(hào)美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)；2002年8月31日提交的、題為“Method and Apparatus for UnloadingWafer Carrier from Wafer Carrier Transport Systems”(律師編號(hào)7024/L)的第60/407474號(hào)美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)；2002年8月31日提交的、題為“End Effector Having Mechanism ForReorienting A Wafer Carrier Between Vertical And HorizontalOrientations”(律師編號(hào)7097/L)的第60/407452號(hào)美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)；2002年8月31日提交的、題為“Wafer Loading Station with DockingGrippers at Docking Station”(律師編號(hào)7099/L)的第60/407337號(hào)美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)；2002年8月31日提交的、題為“Wafer Carrier having Door Latchingand Wafer Clamping Mechanism”(律師編號(hào)7156/L)的第60/407340號(hào)美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)；2003年1月27日提交的、題為“Method and Apparatus forTransporting Wafer Carriers”(律師編號(hào)7163/L)的第60/443087號(hào)美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)；2002年8月31日提交的、題為“Wafer Carrier Handler That UnloadsWafer Carriers Directly From a Moving Conveyor”(律師編號(hào)7676/L1)的第60/407463號(hào)美國(guó)專利申請(qǐng)；2003年1月27日提交的、題為“Wafer Carrier Handler That UnloadsWafer Carriers Directly From a Moving Conveyor”(律師編號(hào)7676/L2)第60/443004號(hào)美國(guó)專利申請(qǐng)；2003年1月27日提交的、題為“Overhead Transfer Flange andSupport for Suspending Wafer Carrier”(律師編號(hào)8092/L)第60/443153號(hào)美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)；2003年1月27日提交的、題為“System and Methods For TransferringWafer Carriers Between Processing Tools”(律師編號(hào)8201/L)的第60/443001號(hào)美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)；以及2003年1月27日提交的、題為“Apparatus and Method for Storingand Loading Wafer Carriers”(律師編號(hào)8202/L)的第60/443115號(hào)美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體器件制造于襯底(例如硅襯底、玻璃片或類似物)上，其通常被稱為晶片，用于計(jì)算機(jī)、監(jiān)視器等中。這些器件經(jīng)由一系列制造步驟形成，例如薄膜沉積、氧化、蝕刻、拋光以及熱處理和光刻處理。雖然可在一個(gè)加工設(shè)備上完成多個(gè)制造步驟，但是至少對(duì)于某些制造步驟，通常必須在不同的處理工具之間傳輸襯底。
襯底通常儲(chǔ)存在承載器中，用以在處理工具和其它位置之間運(yùn)輸。為確保處理工具不空轉(zhuǎn)，工具應(yīng)得到未加工襯底的幾乎連續(xù)的供應(yīng)。因此，裝載和儲(chǔ)存設(shè)備通常位于每個(gè)處理工具的附近。這些裝載和儲(chǔ)存設(shè)備一般包括一個(gè)或多個(gè)系泊臺(tái)(docking station)(在系泊臺(tái)處，襯底承載器被打開、將各個(gè)襯底從承載器取出并傳送到某個(gè)處理工具)，還包括多個(gè)位于系泊臺(tái)之上的儲(chǔ)存架、一個(gè)用于在裝載和儲(chǔ)存設(shè)備處接收承載器的生產(chǎn)裝載位置、以及一個(gè)適于在生產(chǎn)裝載位置、系泊臺(tái)和多個(gè)儲(chǔ)存架之間傳送承載器的自動(dòng)機(jī)械。自動(dòng)機(jī)械可包括一個(gè)連接于支撐結(jié)構(gòu)的末端執(zhí)行器。特別地，支撐結(jié)構(gòu)包括一個(gè)垂直導(dǎo)軌和一個(gè)水平導(dǎo)軌，對(duì)導(dǎo)軌進(jìn)行設(shè)置以使末端執(zhí)行器可在系泊臺(tái)、多個(gè)儲(chǔ)存架和生產(chǎn)裝載位置之間水平和垂直移動(dòng)。
裝載和儲(chǔ)存設(shè)備可被設(shè)計(jì)成模塊化的(例如，具有多個(gè)安裝于機(jī)架上的部件，該機(jī)架典型地在單個(gè)處理工具的前面延伸)或可被設(shè)計(jì)成非模塊化的(例如，具有多個(gè)獨(dú)立安裝的部件，且典型地具有在多個(gè)處理工具的前面延伸的水平和/或垂直導(dǎo)軌)。
在生產(chǎn)裝載位置處接收到承載器后，自動(dòng)機(jī)械可將承載器從生產(chǎn)裝載位置移至某個(gè)儲(chǔ)存架。其后，承載器可被從儲(chǔ)存架移至系泊臺(tái)。在將襯底從承載器取出、加工又回到承載器中之后，自動(dòng)機(jī)械可將承載器從系泊臺(tái)移至某個(gè)儲(chǔ)存架。隨后，自動(dòng)機(jī)械可將承載器從儲(chǔ)存架移至生產(chǎn)裝載位置。襯底承載器在儲(chǔ)存架、生產(chǎn)裝載位置和系泊臺(tái)之間移來移去，可使自動(dòng)機(jī)械負(fù)擔(dān)沉重，且可延長(zhǎng)承載器中的襯底在工廠中處于未加工狀態(tài)的時(shí)間周期。因此，人們希望襯底承載器的轉(zhuǎn)運(yùn)更加高效。

發(fā)明內(nèi)容
在本發(fā)明的第一方面中，提供了一種向處理工具提供襯底的第一方法。第一方法包括以下步驟(1)提供多個(gè)裝載端口，每個(gè)裝載端口均一個(gè)具有適于打開襯底承載器的機(jī)構(gòu)；(2)提供一個(gè)生產(chǎn)交換位置，當(dāng)襯底承載器在運(yùn)動(dòng)中且由襯底承載器傳送裝置傳送時(shí)，在該位置處與該襯底承載器傳送裝置交換這些襯底承載器；(3)提供一個(gè)承載器裝卸裝置，其具有一個(gè)適于接觸襯底承載器的末端執(zhí)行器，該承載器裝卸裝置適于在生產(chǎn)交換位置與多個(gè)裝載端口之間傳送襯底承載器；且(4)在生產(chǎn)交換位置處，從襯底承載器傳送裝置中接收第一批襯底承載器。對(duì)于第一批襯底承載器中的每一個(gè)，該方法進(jìn)一步包括以下步驟(1)將襯底承載器從生產(chǎn)交換位置直接傳送到多個(gè)裝載端口中一個(gè)相應(yīng)的裝載端口；(2)在相應(yīng)的裝載端口處系泊(docking)并打開襯底承載器；(3)在相應(yīng)裝載端口處脫泊(undocking)并關(guān)閉襯底承載器；(4)將襯底承載器從相應(yīng)裝載端口直接傳送到生產(chǎn)交換位置；且(5)將襯底承載器送回襯底承載器傳送裝置。
在本發(fā)明的第二方面中，提供了一種傳送襯底承載器的第二方法。第二方法包括以下步驟(1)在位于襯底裝載臺(tái)附近的襯底承載器傳送機(jī)(conveyor)上傳送襯底承載器，襯底裝載臺(tái)包括適于將襯底承載器傳送到處理工具的裝載端口的襯底承載器裝卸裝置；(2)當(dāng)襯底承載器在運(yùn)轉(zhuǎn)中且由襯底承載器傳送機(jī)傳送時(shí)，使用襯底裝載臺(tái)的襯底承載器裝卸裝置的末端執(zhí)行器來使襯底承載器脫離襯底承載器傳送機(jī)；(3)將襯底承載器從襯底承載器傳送機(jī)直接傳送到裝載端口；(4)在裝載端口系泊和打開襯底承載器；(5)在裝載端口脫泊和關(guān)閉襯底承載器；且(6)將襯底承載器直接送回襯底承載器傳送機(jī)。
在本發(fā)明的第三方面中，提供了一種將襯底承載器傳送到襯底裝載臺(tái)的第三方法。第三方法包括在位于襯底裝載臺(tái)附近的襯底承載器傳送機(jī)上傳送襯底承載器。襯底裝載臺(tái)包括適于將襯底承載器傳送到處理工具的第一裝載端口的襯底承載器裝卸裝置，襯底承載器裝卸裝置包括(1)垂直導(dǎo)軌；(2)與垂直導(dǎo)軌連接的水平導(dǎo)軌；和(3)適于支撐襯底承載器且適于相對(duì)于垂直導(dǎo)軌垂直移動(dòng)和相對(duì)于水平導(dǎo)軌水平移動(dòng)的末端執(zhí)行器。
第三方法進(jìn)一步包括(1)使用襯底裝載臺(tái)的襯底承載器裝卸裝置的末端執(zhí)行器來使襯底承載器脫離襯底承載器傳送機(jī)；(2)將襯底承載器從襯底承載器傳送機(jī)直接傳送到第一裝載端口；(3)在第一裝載端口系泊和打開襯底承載器；(4)在第一裝載端口脫泊和關(guān)閉襯底承載器；和(5)將襯底承載器直接送回襯底承載器傳送機(jī)。提供了許多其它方面，如根據(jù)發(fā)明的這些和其它方面的系統(tǒng)和設(shè)備一般。所發(fā)明方法可通過使用具有適于接觸和傳輸單個(gè)襯底的末端執(zhí)行器的襯底裝卸裝置來類似地提供單個(gè)襯底(例如，那些不在襯底承載器上或中的襯底)的交換、傳輸和放置。
根據(jù)所發(fā)明的方法和設(shè)備，將提供給處理工具的襯底/襯底承載器直接從生產(chǎn)交換位置傳送到裝載端口。將提供給處理工具的襯底/襯底承載器“直接”從生產(chǎn)交換位置傳送到裝載端口指的是傳送過程中裝卸裝置沒有將襯底/襯底承載器放置在除裝載端口以外的其它支撐位置。
所發(fā)明的方法和設(shè)備提供了合理和高效的襯底和/或襯底承載器進(jìn)出處理工具裝載端口的運(yùn)輸。因此，可減少傳送和加工襯底所需的總時(shí)間，也可減少襯底半制品(work-in-process)所需的成本和資金總額，且可減輕襯底承載器處理自動(dòng)機(jī)械的負(fù)擔(dān)。
根據(jù)下面對(duì)示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述、所附的權(quán)利要求以及附圖，本發(fā)明的更多特征和優(yōu)點(diǎn)將變得更加明顯。


圖1是處理工具及相關(guān)的襯底承載器裝載和儲(chǔ)存設(shè)備的傳統(tǒng)布置的俯視圖；圖2是圖1的傳統(tǒng)裝載和儲(chǔ)存設(shè)備的主視圖；圖3A和圖3B是根據(jù)本發(fā)明而提供的襯底承載器裝載設(shè)備的兩個(gè)示例性實(shí)施例的主視圖；圖4是一個(gè)示意性的俯視圖，說明了圖3A和圖3B所示的裝載端口列的印跡(footprint)；圖5是一個(gè)示意性側(cè)視圖，說明了襯底裝卸裝置正靠近圖3A或圖3B所示的裝載端口；圖6是一個(gè)流程圖，說明了操作圖3A和圖3B中所發(fā)明的襯底承載器裝載設(shè)備及相關(guān)處理工具的方法。
具體實(shí)施例方式
相關(guān)術(shù)語(yǔ)在本文中，術(shù)語(yǔ)“系泊”是指襯底或襯底承載器進(jìn)入到用于交換襯底的端口(例如凈室壁中的端口)的動(dòng)作。類似地，“脫泊”指的是襯底或襯底承載器離開用于交換襯底的端口(例如凈室壁中的端口)的動(dòng)作。
“生產(chǎn)交換位置”包括在將襯底或襯底承載器從襯底或襯底承載器傳送裝置移走或者將襯底或襯底承載器放置到襯底或襯底承載器傳送裝置上的過程中一個(gè)裝置處理襯底或襯底承載器的空間中的所有點(diǎn)。
“襯底或襯底承載器傳送裝置”包括傳送機(jī)、自動(dòng)導(dǎo)向運(yùn)載工具(AVG)或其它將襯底或襯底承載器傳送到處理工具裝載位置或者將襯底或襯底承載器從處理工具裝載位置運(yùn)走的裝置。
“處理工具”包括一個(gè)或多個(gè)處理腔以及一個(gè)或多個(gè)用來裝載和卸載處理腔的襯底裝卸裝置。襯底裝卸裝置可以或不可以被封閉在其本身所具有的腔中，例如生產(chǎn)接口腔或傳送腔。處理腔可完成襯底的真空的、常壓的或其它處理，例如包括物理氣相沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)、蝕刻、計(jì)量(metrology)、清潔、拋光等。
“裝載端口”包括一個(gè)位置，襯底或襯底承載器被放置在該處，以便將襯底傳送到處理工具和/或從處理工具中運(yùn)走。
系統(tǒng)描述圖1是一個(gè)俯視圖，示出了一個(gè)用于儲(chǔ)存承載器的、位于傳統(tǒng)處理工具113附近的、傳統(tǒng)模塊化裝載和儲(chǔ)存設(shè)備111。圖2是模塊化裝載和儲(chǔ)存設(shè)備111的主視圖。首先參考圖1，所示的前端自動(dòng)機(jī)械腔115(或生產(chǎn)接口)位于裝載和儲(chǔ)存設(shè)備111與處理工具113之間。如圖1所示，裝載和儲(chǔ)存設(shè)備111位于凈室壁117的第一側(cè)面附近，前端自動(dòng)機(jī)械腔115位于凈室壁117的第二側(cè)面附近。前端自動(dòng)機(jī)械腔115包括一個(gè)自動(dòng)機(jī)械119，其可沿導(dǎo)軌(未示出)水平移動(dòng)以將襯底從裝載和儲(chǔ)存設(shè)備111中取出，并將其傳送到處理工具113的裝載鎖定(loadlock)腔121。裝載和儲(chǔ)存設(shè)備111包括一對(duì)裝載臺(tái)123(在該實(shí)例中，裝載臺(tái)可進(jìn)行系泊移動(dòng)，因此被稱為系泊臺(tái))和多個(gè)位于系泊臺(tái)123之上(例如在一個(gè)高于系泊臺(tái)的高度)的儲(chǔ)存架201(在圖2中最佳顯示出)，襯底承載器被放置在系泊臺(tái)處以便于取出襯底。儲(chǔ)存架201被安裝在支撐機(jī)架203上。襯底承載器處理自動(dòng)機(jī)械205也被安裝在支撐機(jī)架203上。自動(dòng)機(jī)械205包括垂直導(dǎo)軌207，而一個(gè)末端執(zhí)行器209被安裝在該垂直導(dǎo)軌上以作垂直運(yùn)動(dòng)。垂直導(dǎo)軌207被安裝以沿水平導(dǎo)軌211作水平運(yùn)動(dòng)。用來接收襯底承載器的生產(chǎn)裝載位置213位于系泊臺(tái)123之間。
依靠垂直導(dǎo)軌207和水平導(dǎo)軌211，襯底承載器處理自動(dòng)機(jī)械205的末端執(zhí)行器209能夠在生產(chǎn)裝載位置213、儲(chǔ)存架201和系泊臺(tái)123之間移動(dòng)襯底承載器。然而，如前所述，襯底承載器從生產(chǎn)裝載位置213到儲(chǔ)存架201、然后到系泊臺(tái)213、并回到生產(chǎn)裝載位置213(可能經(jīng)過儲(chǔ)存架201)的來回移動(dòng)可導(dǎo)致向處理工具113提供襯底會(huì)消耗大量時(shí)間，從而增加了在制品的量。
圖3A是根據(jù)本發(fā)明而提供的示例性襯底裝載臺(tái)的示意性主視圖。參考數(shù)字301通常代表所發(fā)明的襯底裝載臺(tái)。裝載臺(tái)301包括多個(gè)裝載端口303。每個(gè)裝載端口303優(yōu)選具有系泊機(jī)構(gòu)(未示出)，例如一個(gè)機(jī)動(dòng)夾具或平臺(tái)，該機(jī)動(dòng)夾具或平臺(tái)適于支撐襯底承載器，并適于將襯底承載器移到傳送襯底的開口或從該開口移走。在圖3A所示的特定實(shí)施例中，裝載端口303被安排成各有三個(gè)裝載端口的兩組305、307。因此，圖3A中共有六個(gè)裝載端口303。也可使用其它數(shù)量和/或結(jié)構(gòu)的裝載端口。組307與組305的側(cè)面相鄰且與其相隔一段間隔。每個(gè)裝載端口303可包括用來打開已系泊到裝載端口303的襯底承載器的機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)通常由參考數(shù)字309表示。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，裝載端口303適于接收單襯底承載器。術(shù)語(yǔ)“單襯底承載器”是指其形狀和尺寸在同一時(shí)間只能接收一個(gè)襯底的襯底承載器。通常，裝載端口303可接收任何類型的襯底承載器(例如，單襯底承載器、多襯底承載器、正面開口襯底承載器、正面開口標(biāo)準(zhǔn)容器(unified pod)或它們的組合等)。圖3A說明了襯底承載器311已系泊到兩個(gè)裝載端口303。
在一個(gè)實(shí)施例中，每個(gè)裝載端口303皆適于在襯底承載器系泊(例如，承載器移動(dòng)到凈室壁的端口)的同時(shí)打開襯底承載器311。此打開可通過例如凸輪和從動(dòng)件結(jié)構(gòu)來完成。此類型的裝載端口在前文所并入的共同待決的2002年8月31日提交的、題為“Method and Apparatusfor Using Wafer Carrier Movement to Actuate Wafer Carrier DoorOpening/Closing”(律師編號(hào)6976/L)的第60/407339號(hào)美國(guó)專利申請(qǐng)中公開?；蛘?，可使用傳統(tǒng)的開門裝置(例如，在系泊后打開承載器的傳統(tǒng)開門裝置)。此類裝置通常所使用的門接收裝置將承載器門解鎖并將門從承載器移開以允許取出襯底。
襯底承載器傳送裝置，例如傳送機(jī)(由313示意表示的)被設(shè)計(jì)成用來將襯底承載器傳送到所發(fā)明的襯底裝載臺(tái)301并將襯底承載器從所發(fā)明襯底裝載臺(tái)301中移走。襯底承載器交換裝置315與所發(fā)明的襯底裝載臺(tái)301相關(guān)且位于傳送機(jī)313附近，并且適于從傳送機(jī)313中接收襯底承載器并適于將襯底承載器傳送到傳送機(jī)313。因此，可發(fā)現(xiàn)，襯底承載器交換裝置315限定了生產(chǎn)交換位置317，并在該生產(chǎn)交換位置與傳送機(jī)313交換襯底承載器。襯底承載器交換裝置315可以是，例如，在前文并入的2002年8月31日提交的、題為“System ForTransporting Wafer Carriers”(律師編號(hào)6900/L)的第60/407451號(hào)美國(guó)專利申請(qǐng)中所示的類型，該專利申請(qǐng)公開了一種旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，該旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的旋轉(zhuǎn)可使襯底承載器與上方的生產(chǎn)傳送系統(tǒng)接觸并連接或分離。
作為另一種選擇，襯底承載器交換裝置315可以是在共同待決的第09/755394號(hào)美國(guó)專利申請(qǐng)(律師編號(hào)5092)中所公開的類型，該專利申請(qǐng)公開了一種提升部件，提升部件直線向上伸出以使襯底承載器與上方的生產(chǎn)傳送系統(tǒng)接觸并連接或分離(且該專利申請(qǐng)全部?jī)?nèi)容合并于此以供參考)。作為又一種選擇，襯底承載器交換裝置315可以是在前文并入的2002年8月31日提交的、題為“Method and Apparatusfor Unloading Wafer Carrier from Wafer Carrier TransportSystems”(律師編號(hào)7024/L)的第60/407474號(hào)美國(guó)專利申請(qǐng)中所公開的類型，該專利申請(qǐng)公開了一種旋轉(zhuǎn)臂，該旋轉(zhuǎn)臂的旋轉(zhuǎn)可使襯底承載器與上方的生產(chǎn)傳送系統(tǒng)接觸并連接或者分離。在另一種選擇中，可以省去襯底承載器交換裝置，且襯底裝卸裝置可與襯底傳送裝置313在生產(chǎn)交換位置(例如，在所發(fā)明的裝載臺(tái)和襯底傳送裝置之間的用來交換襯底的任何位置)交換襯底承載器。該方法被詳細(xì)描述于共同待決的2002年8月31日提交的、第60/407463號(hào)美國(guó)專利申請(qǐng)(律師編號(hào)7676/L)和2003年1月27日提交的第60/443004號(hào)美國(guó)專利申請(qǐng)(律師編號(hào)7676/L2)中。
襯底承載器交換裝置315可被設(shè)計(jì)成，例如，當(dāng)傳送機(jī)(或在其上傳送的承載器)在運(yùn)轉(zhuǎn)中時(shí)將襯底承載器從傳送機(jī)313移走，以及當(dāng)傳送機(jī)(或一個(gè)沿其移動(dòng)的襯底承載器運(yùn)送器)在運(yùn)轉(zhuǎn)中時(shí)將襯底承載器傳送到傳送機(jī)313。因此，其實(shí)際上可以在半導(dǎo)體制造設(shè)施運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)保持傳送機(jī)313的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，因此改善了襯底在制造設(shè)施中的傳送，減少每個(gè)特定襯底穿過制造設(shè)施所需的時(shí)間量，從而減少了在任意給定時(shí)間內(nèi)半制品形式的襯底總數(shù)。
所發(fā)明的裝載臺(tái)301進(jìn)一步包括承載器裝卸裝置319。承載器裝卸裝置319包括一個(gè)適于接觸襯底承載器311的末端執(zhí)行器321。例如，末端執(zhí)行器321可適于從底部支撐襯底承載器311，或從頂部夾住襯底承載器311等。
末端執(zhí)行器321適于沿垂直導(dǎo)軌323進(jìn)行垂直移動(dòng)。而垂直導(dǎo)軌323又適于沿水平導(dǎo)軌325進(jìn)行水平移動(dòng)。因此，末端執(zhí)行器321可在生產(chǎn)交換位置317和所有裝載端口303之間移動(dòng)。也應(yīng)理解的是，末端執(zhí)行器321可在裝載端口303列305、307之間的空間327中作垂直移動(dòng)。在一種選擇中，可按圖3B所示重新定位垂直導(dǎo)軌和水平導(dǎo)軌，這樣末端執(zhí)行器321可適于沿水平導(dǎo)軌325作水平移動(dòng)，而水平導(dǎo)軌325可沿垂直導(dǎo)軌323作垂直移動(dòng)。雖然未在圖3A或圖3B中示出，但所發(fā)明裝載臺(tái)可包括一個(gè)或多個(gè)用來儲(chǔ)存襯底和/或襯底承載器的儲(chǔ)存架。
圖4是一個(gè)示意性俯視圖，說明了所發(fā)明的裝載臺(tái)301的布局特征。在圖4中，參考數(shù)字117代表凈室壁。參考數(shù)字401代表裝載端口303的列305的印跡。參考數(shù)字403表示裝載端口303的列307的印跡?？梢岳斫獾氖?，零件的“印跡”是零件在設(shè)施底面上的投影。參考數(shù)字405表示印跡401和403之間的區(qū)域。所發(fā)明的裝載臺(tái)的一個(gè)工具“封套(envelope)”應(yīng)理解為指的是印跡401和403外加印跡401和403之間的區(qū)域405。參考數(shù)字407表示由列401和403定義的工具封套。
承載器裝卸裝置319可以運(yùn)行，這樣其只在裝載端口列305、307的印跡401、403定義的封套內(nèi)移動(dòng)襯底承載器311?？刂破鰿控制承載器裝卸裝置319的操作且已被程序化，這樣，承載器裝卸裝置按照參考流程6詳細(xì)描述的根據(jù)本發(fā)明而運(yùn)行，。
再參考圖3A和圖3B，可觀察到，生產(chǎn)交換位置317所處的高度大于每個(gè)裝載端口303的高度。也可觀察到，生產(chǎn)交換位置317和裝載端口303的列305具有基本相同的印跡。然而，也可考慮所發(fā)明裝載臺(tái)301的其它布置。例如，生產(chǎn)交換位置317可位于裝載端口303的高度或以下。生產(chǎn)交換位置317的印跡也可與裝載端口303的列307的印跡403(圖4)相一致。作為另一種選擇，生產(chǎn)交換位置317的印跡可與裝載端口303的列305、307的印跡401、403中任一個(gè)均不一致。
圖5是一個(gè)示意性的側(cè)視圖，說明了與傳統(tǒng)處理工具113和所發(fā)明裝的裝載臺(tái)301(圖3A和圖3B)的成列的裝載端口303相關(guān)的襯底裝卸裝置。參考圖5，參考數(shù)字501表示根據(jù)本發(fā)明所提供的襯底裝卸裝置。所發(fā)明的襯底裝卸裝置501可有選擇地位于較低的位置(由參考數(shù)字503表示)，其可在該位置上水平移動(dòng)靠近到裝載端口303列中最低的一個(gè)。所發(fā)明的襯底裝卸裝置501可有選擇地位于較高的位置(由參考數(shù)字505表示)，可在該位置上水平移動(dòng)靠近到裝載端口303列中最高的一個(gè)?？梢岳斫獾氖牵l(fā)明的襯底裝卸裝置501也可有選擇地位于所示位置503和505之間的任何中間位置(未在圖5中特別標(biāo)識(shí))，例如，所發(fā)明襯底裝卸裝置501可位于一個(gè)位置，其在該位置上可水平移動(dòng)靠近成列的裝載端口303中一個(gè)中間的端口。
在本文中，當(dāng)襯底裝卸裝置延伸到裝載端口區(qū)域中(例如，為了傳送襯底)時(shí)，襯底裝卸裝置被說成是“靠近”裝載端口。
可以理解的是，在所發(fā)明的襯底裝卸裝置501將襯底(未示出)從一個(gè)已系泊到某個(gè)成列裝載端口303的襯底承載器311(圖3A或3B，未在圖5中示出)中移走之后，其可將襯底提供給處理工具113，或更明確地，提供給處理工具113的裝載鎖定腔121(如圖1所示，其并未在圖5中單獨(dú)示出)。
圖6是一個(gè)流程圖，說明了根據(jù)本發(fā)明設(shè)計(jì)的襯底裝載臺(tái)的操作，例如所發(fā)明的圖3A或圖3B的襯底裝載臺(tái)301?？刂破鰿可被連接到襯底裝載臺(tái)，并可有效完成一個(gè)或多個(gè)圖6的處理步驟。
根據(jù)圖6中第一個(gè)步驟601，襯底承載器311在生產(chǎn)交換位置317被接收。例如，在圖3A或3B的示例性襯底裝載臺(tái)301中，承載器交換裝置315將襯底承載器311從傳送機(jī)313(例如，通過末端執(zhí)行器321)移走。這可在例如傳送機(jī)313處于運(yùn)轉(zhuǎn)中時(shí)發(fā)生。
圖6中步驟601之后是步驟603。在步驟603，承載器裝卸裝置319將襯底承載器311從生產(chǎn)交換位置317傳送到一個(gè)或多個(gè)裝載端口303。根據(jù)本發(fā)明，襯底承載器311被直接從生產(chǎn)交換位置317傳送到裝載端口303中的一個(gè)。就是說，在將襯底承載器311從生產(chǎn)交換位置317移走之后，而且在將襯底承載器311放置在裝載端口303中的一個(gè)之前，承載器裝卸裝置319不會(huì)將襯底承載器311放置在除裝載端口303中的一個(gè)之外的任何承載器支撐位置上。
圖6中，步驟603之后是步驟605。在步驟605，襯底承載器311在裝載端口303中的一個(gè)處(襯底承載器311已被承載器裝卸裝置319放置于此處)被系泊和打開。如前所述，改造裝載端口303可適于使襯底承載器311的系泊和打開同時(shí)發(fā)生。
圖6中，步驟605之后是步驟607。在步驟607，襯底裝卸裝置501將襯底從襯底承載器311中取出，此時(shí)襯底承載器311已被系泊在一個(gè)裝載端口303處并且已被其打開。然后，襯底裝卸裝置501將所取出的襯底由提供給處理工具113，而襯底處理(步驟609)發(fā)生在處理工具113內(nèi)。
當(dāng)完成了處理工具113中的襯底處理后，襯底裝卸裝置501將襯底送回襯底承載器311(步驟611)，此時(shí)襯底承載器311在一個(gè)裝載端口303處已被系泊并且已被打開。然后，所處理的襯底已被插入其中的襯底承載器311被關(guān)閉并與裝載端口303脫泊(步驟613)。襯底承載器303的脫泊和關(guān)閉可同時(shí)發(fā)生。圖6中，步驟613之后是步驟615。在步驟615，承載器裝卸裝置319將襯底承載器311從裝載端口303傳送到生產(chǎn)交換位置317。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，可將襯底承載器311從裝載端口303直接傳送到生產(chǎn)交換位置317。就是說，在將襯底承載器311從裝載端口303移走之后和在將其放置在生產(chǎn)交換位置317之前，可將襯底承載器311從裝載端口303傳送到生產(chǎn)交換位置317，而不會(huì)將其放置在任何承載器支撐位置。
圖6中，步驟615之后是步驟617。在步驟617，承載器交換裝置315將襯底承載器311送回到傳送機(jī)313。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，這可在傳送機(jī)313運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)完成。需要說明的是，在傳送單個(gè)襯底的系統(tǒng)中或者在并不需要系泊襯底的系統(tǒng)中，可省略系泊和/或打開襯底承載器的步驟。因此，步驟605和613是可選的。可以理解的是，所發(fā)明的方法可以執(zhí)行于各個(gè)獨(dú)立襯底而不是襯底承載器。為了避免重復(fù)，本文未包括在承載器傳送裝置和處理工具間傳送獨(dú)立襯底(而不是襯底承載器)的額外附圖。
本發(fā)明的方法和設(shè)備是有優(yōu)勢(shì)的，因?yàn)橐r底承載器的進(jìn)出裝載端口的傳輸效率較高，因此可以減少襯底在半導(dǎo)體制造設(shè)施中總的傳輸時(shí)間。而這又可以轉(zhuǎn)化為較少的半制品、較低的資本費(fèi)用以及較少的每襯底制造成本。
前面的描述只公開了本發(fā)明的示例性實(shí)施例；對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，落入本發(fā)明范圍之內(nèi)的上述方法和設(shè)備的各種修改是顯而易見的。例如，上文結(jié)合圖3A或3B所述的承載器裝卸裝置包括一條可沿單條水平導(dǎo)軌作水平移動(dòng)的垂直導(dǎo)軌。另一方面，可以考慮使用其中將一條垂直導(dǎo)軌可滑動(dòng)地安裝于兩條平行水平導(dǎo)軌之間的承載器裝卸裝置類型。作為另一種選擇，可以使用在其中將一條水平導(dǎo)軌可滑動(dòng)地安裝于一條或多條垂直導(dǎo)軌上的承載器裝卸裝置類型。當(dāng)然，也可使用其它類型的承載器裝卸裝置，包括那些不使用直線型導(dǎo)軌的承載器裝卸裝置。
除了使用圖3A和圖3B所示的兩個(gè)三裝載端口列之外，也可考慮使用其它結(jié)構(gòu)的裝載端口。例如，每列裝載端口可以只有兩個(gè)裝載端口，或者每列裝載端口可以有四個(gè)或更多的裝載端口。也不需要每個(gè)裝載端口列提供數(shù)目相等的裝載端口。作為另一種選擇，可以只提供一列裝載端口，或者可以提供三列或更多列的裝載端口。還需注意的是，雖然每個(gè)成列的裝載端口都被示為占有相同的印跡，但是也可使用印跡部分重疊或不重疊的其它結(jié)構(gòu)。在某些實(shí)施例中，可使用單個(gè)裝載端口，或使用兩個(gè)或更多個(gè)水平相鄰的裝載端口。
注意，圖5所示的單個(gè)襯底裝卸裝置被設(shè)計(jì)成服務(wù)于一個(gè)裝載端口列中的所有裝載端口。作為可能的選擇，可分別提供相應(yīng)的襯底裝卸裝置來服務(wù)于每個(gè)裝載端口。也可考慮使用單個(gè)襯底裝卸裝置來服務(wù)于一個(gè)以上裝載端口列的全部裝載端口。還可進(jìn)一步考慮為每列裝載端口分別提供相應(yīng)的襯底裝卸裝置。
除了傳送機(jī)313之外，可使用襯底承載器傳送裝置將襯底承載器送到生產(chǎn)交換位置或?qū)⒁r底承載器從生產(chǎn)交換位置運(yùn)走。如果將傳送機(jī)用作襯底承載器傳送裝置，那么當(dāng)半導(dǎo)體制造設(shè)施運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，可任選地使傳送機(jī)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。
雖然只說明了一個(gè)與所發(fā)明的裝載臺(tái)相關(guān)的生產(chǎn)交換位置，但是可考慮提供兩個(gè)或更多的與所發(fā)明的襯底裝載臺(tái)相關(guān)的生產(chǎn)交換位置。例如，第一生產(chǎn)交換位置可被用來引入襯底承載器，而第二生產(chǎn)交換位置可被用來輸出襯底承載器。也可考慮使用一個(gè)以上的襯底承載器傳送裝置來服務(wù)于一個(gè)所發(fā)明的襯底裝載臺(tái)。
優(yōu)選地，本發(fā)明可被用于一個(gè)其機(jī)架上連接有垂直和水平導(dǎo)軌的襯底裝載臺(tái)中。在此方式中，優(yōu)選的襯底裝載臺(tái)是模塊化的，并且可被快速安裝和校準(zhǔn)。如果襯底裝載臺(tái)包括一個(gè)或多個(gè)儲(chǔ)存架，那么每個(gè)儲(chǔ)存架均可被安裝在機(jī)架上。通過將襯底承載器裝卸裝置以及單個(gè)或多個(gè)儲(chǔ)存架安裝到機(jī)架上，襯底承載器裝卸裝置和儲(chǔ)存架相互之間具有預(yù)定的位置。這進(jìn)一步簡(jiǎn)化了安裝和校準(zhǔn)，是使用模塊化襯底裝載臺(tái)的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)。類似地，其它機(jī)構(gòu)(例如所示的用來將襯底承載器裝載到上方的生產(chǎn)傳送系統(tǒng)和/或?qū)⒁r底承載器從上方的生產(chǎn)傳送系統(tǒng)卸載的機(jī)構(gòu))可被方便地安裝在機(jī)架上。示例性的專用機(jī)構(gòu)可包括旋轉(zhuǎn)平臺(tái)或旋轉(zhuǎn)臂等，如在前面并入的2002年8月31日提交的第60/407451號(hào)美國(guó)專利申請(qǐng)和2002年8月31日提交的第60/407474號(hào)美國(guó)專利申請(qǐng)(律師編號(hào)6900和7024)中所述的。
一方面，機(jī)架可被安裝在凈室壁上或某個(gè)腔(例如，生產(chǎn)接口腔)的前壁上的預(yù)定安裝位置(例如，一個(gè)預(yù)先鉆好的螺栓孔等)上。優(yōu)選地，壁也具有用來安裝系泊夾具或系泊平臺(tái)的預(yù)定安裝位置。此外，壁可具有用來安裝襯底承載器打開機(jī)構(gòu)的預(yù)定安裝位置。當(dāng)機(jī)架、系泊機(jī)構(gòu)、和襯底承載器打開機(jī)構(gòu)均被安裝在同一平面的預(yù)定位置時(shí)，不但它們之間的相對(duì)位置已被預(yù)先確定，而且襯底裝載臺(tái)的安裝和校準(zhǔn)也被簡(jiǎn)化。
已通過結(jié)合單襯底承載器說明了本發(fā)明。然而，也可考慮將本發(fā)明應(yīng)用于保持一個(gè)以上襯底的多個(gè)襯底承載器，或?qū)⒈景l(fā)明應(yīng)用于獨(dú)立襯底的傳送(不借助于承載器來進(jìn)行傳送)。顯而易見的是，所發(fā)明的設(shè)備可與此處所示的示例性實(shí)施例存在較大不同。然而，任何根據(jù)圖6方法操作的設(shè)備(無論是否執(zhí)行系泊和打開操作，而且無論是否使用襯底承載器(例如，獨(dú)立襯底系統(tǒng)))皆落入本發(fā)明的范圍之內(nèi)。
因此，雖然本發(fā)明是通過結(jié)合其優(yōu)選實(shí)施例而公開的，但應(yīng)該清楚的是，其它實(shí)施例應(yīng)該落入本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，如本發(fā)明的權(quán)利要求所定義的。
權(quán)利要求
1.一種向處理工具提供襯底的方法，其包括提供多個(gè)裝載端口，每個(gè)裝載端口皆具有適于打開襯底承載器的機(jī)構(gòu)；提供一個(gè)生產(chǎn)交換位置，當(dāng)襯底承載器在運(yùn)轉(zhuǎn)中且由襯底承載器傳送裝置傳送時(shí)，在該位置處與所述襯底承載器傳送裝置交換所述襯底承載器；提供一個(gè)承載器裝卸裝置，其具有一個(gè)適于接觸襯底承載器的末端執(zhí)行器，所述承載器裝卸裝置適于在所述生產(chǎn)交換位置與所述多個(gè)裝載端口之間傳送襯底承載器；在所述生產(chǎn)交換位置處，從所述襯底承載器傳送裝置接收第一批襯底承載器；且對(duì)于所述第一批襯底承載器中的每一個(gè)將所述襯底承載器從所述生產(chǎn)交換位置直接傳送到所述多個(gè)裝載端口中一個(gè)相應(yīng)的裝載端口；在所述相應(yīng)裝載端口處系泊和打開所述襯底承載器；在所述相應(yīng)裝載端口處脫泊和關(guān)閉所述襯底承載器；將所述襯底承載器從所述相應(yīng)裝載端口傳送到所述生產(chǎn)交換位置；且將所述襯底承載器送回所述襯底承載器傳送裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述襯底承載器為單襯底承載器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述提供多個(gè)裝載端口的步驟包括提供兩列裝載端口。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中所述承載器裝卸裝置只在所述兩列裝載端口定義的封套內(nèi)移動(dòng)所述襯底承載器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述每個(gè)襯底承載器的系泊與所述相應(yīng)襯底承載器的打開同時(shí)發(fā)生。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述生產(chǎn)交換位置和所述裝載端口具有大致相同的印跡。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述生產(chǎn)交換位置所處高度高于所有所述裝載端口的相應(yīng)高度。
8.一種用于處理工具的襯底裝載臺(tái)，其包括第一批裝載端口，其操作地連接到所述處理工具，且其每個(gè)具有一個(gè)適于打開襯底承載器的機(jī)構(gòu)；一個(gè)生產(chǎn)交換位置，當(dāng)襯底承載器在運(yùn)轉(zhuǎn)中且由襯底承載器傳送裝置傳送時(shí)，在該位置處與所述襯底承載器傳送裝置交換所述襯底承載器；以及一個(gè)承載器裝卸裝置，其具有一個(gè)適于接觸襯底承載器的末端執(zhí)行器，所述承載器裝卸裝置適于在所述生產(chǎn)交換位置和所述第一批裝載端口之間傳送襯底承載器；其中所述承載器裝卸裝置具有一個(gè)控制器，其被編程以執(zhí)行以下步驟對(duì)于所述第一批襯底承載器的每一個(gè)將所述襯底承載器從所述生產(chǎn)交換位置直接傳送到所述多個(gè)裝載端口中一個(gè)相應(yīng)的裝載端口；在所述相應(yīng)裝載端口處系泊和打開所述襯底承載器；在所述相應(yīng)裝載端口處脫泊和關(guān)閉所述襯底承載器；將所述襯底承載器從所述相應(yīng)裝載端口直接傳送到所述生產(chǎn)交換位置；且將所述襯底承載器送回所述襯底承載器傳送裝置；
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯底裝載臺(tái)，其中由所述承載器裝卸裝置傳送的所述襯底承載器是單襯底承載器。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯底裝載臺(tái)，進(jìn)一步包括第二多個(gè)裝載端口，其與所述第一多個(gè)裝載端口的側(cè)面相鄰且兩者中間相隔一段間隔。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的襯底裝載臺(tái)，其中所述承載器裝卸裝置適于在所述第一多個(gè)裝載端口和所述第二多個(gè)裝載端口之間的空間內(nèi)垂直移動(dòng)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的襯底裝載臺(tái)，其中所述承載器裝卸裝置適于只在所述第一多個(gè)裝載端口和所述第二多個(gè)裝載端口的印跡所定義的封套內(nèi)移動(dòng)襯底承載器。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯底裝載臺(tái)，其中每個(gè)所述裝載端口皆適于在一個(gè)襯底承載器與所述裝載端口系泊的同時(shí)打開該襯底承載器。
14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯底裝載臺(tái)，其中所述生產(chǎn)交換位置和所述裝載端口具有基本相同的印跡。
15.根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯底裝載臺(tái)，其中所述襯底承載器傳送裝置是傳送機(jī)。
16.根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯底裝載臺(tái)，其中所述生產(chǎn)交換位置所處高度大于所有所述裝載端口的相應(yīng)高度。
17.一種向處理工具提供襯底的設(shè)備，其包括一個(gè)襯底承載器裝卸裝置，其適于將一個(gè)襯底承載器傳送到所述處理工具的一個(gè)第一裝載端口，所述襯底承載器裝卸裝置包括一個(gè)適于支撐所述襯底承載器的末端執(zhí)行器；以及一個(gè)控制器，其被連接到所述襯底承載器裝卸裝置，并且可被操作來控制所述襯底承載器裝卸裝置，以致當(dāng)所述襯底承載器在運(yùn)轉(zhuǎn)中且由所述襯底承載器傳送機(jī)傳送時(shí)，所述襯底承載器裝卸裝置的所述末端執(zhí)行器使所述襯底承載器脫離一個(gè)襯底承載器傳送機(jī)，所述控制器可進(jìn)一步被操作以執(zhí)行下列步驟將所述襯底承載器從所述襯底承載器傳送機(jī)直接傳送到所述第一裝載端口；在所述第一裝載端口處系泊和打開所述襯底承載器；在所述第一裝載端口處脫泊和關(guān)閉所述襯底承載器；且將所述襯底承載器直接送回所述襯底承載器傳送機(jī)。
18.一種向處理工具提供襯底的設(shè)備，其包括一個(gè)襯底承載器裝卸裝置，其適于將一個(gè)襯底承載器傳送到所述處理工具的第一裝載端口，所述襯底承載器裝卸裝置包括一條垂直導(dǎo)軌；一條與所述垂直導(dǎo)軌相連的水平導(dǎo)軌；以及一個(gè)末端執(zhí)行器，其適于支撐所述襯底承載器，并且適于相對(duì)于所述垂直導(dǎo)軌垂直移動(dòng)，以及相對(duì)于所述水平導(dǎo)軌水平移動(dòng)；以及一個(gè)控制器，其被連接到所述襯底承載器裝卸裝置，并且可被操作以控制所述襯底承載器裝卸裝置，以致所述襯底承載器裝卸裝置的所述末端執(zhí)行器使所述襯底承載器脫離一個(gè)位于所述襯底承載器裝卸裝置附近的襯底承載器傳送機(jī)，所述控制器進(jìn)一步可被操作以執(zhí)行下列步驟將所述襯底承載器從所述襯底承載器傳送機(jī)直接傳送到所述第一裝載端口；在所述第一裝載端口處系泊和打開所述襯底承載器；在所述第一裝載端口處脫泊和關(guān)閉所述襯底承載器；且將所述襯底承載器直接送回所述襯底承載器傳送機(jī)。
19.一種傳送襯底承載器的方法，其包括在一個(gè)襯底承載器傳送機(jī)上傳送所述襯底承載器，所述襯底承載器傳送機(jī)位于一個(gè)襯底裝載臺(tái)的附近，所述襯底裝載臺(tái)包括一個(gè)襯底承載器裝卸裝置，其適于將所述襯底承載器傳送到一個(gè)處理工具的一個(gè)裝載端口；當(dāng)所述襯底承載器在運(yùn)轉(zhuǎn)中且由所述襯底承載器傳送機(jī)傳送時(shí)，使用所述襯底裝載臺(tái)的所述襯底承載器裝卸裝置的一個(gè)末端執(zhí)行器來使所述襯底承載器脫離所述襯底承載器傳送機(jī)；將所述襯底承載器從所述襯底承載器傳送機(jī)直接傳送到所述裝載端口；在所述裝載端口處系泊和打開所述襯底承載器；在所述裝載端口處脫泊和關(guān)閉所述襯底承載器；且將所述襯底承載器直接送回所述襯底承載器傳送機(jī)。
20.一種向襯底裝載臺(tái)提供襯底的方法，其包括在一個(gè)襯底承載器傳送機(jī)上傳送所述襯底承載器，所述襯底承載器傳送機(jī)位于所述襯底裝載臺(tái)的附近，所述襯底裝載臺(tái)包括一個(gè)襯底承載器裝卸裝置，其適于將所述襯底承載器傳送到一個(gè)處理工具的一個(gè)第一裝載端口，所述襯底承載器裝卸裝置包括一條垂直導(dǎo)軌；一條與所述垂直導(dǎo)軌相連的水平導(dǎo)軌；以及一個(gè)末端執(zhí)行器，其適于支撐所述襯底承載器，且適于相對(duì)于所述垂直導(dǎo)軌垂直移動(dòng)，以及相對(duì)于所述水平導(dǎo)軌水平移動(dòng)；使用所述襯底裝載臺(tái)的所述襯底承載器裝卸裝置的所述末端執(zhí)行器來使所述襯底承載器脫離所述襯底承載器傳送機(jī)；將所述襯底承載器從所述襯底承載器傳送機(jī)直接傳送到所述第一裝載端口；在所述第一裝載端口處系泊和打開所述襯底承載器；在所述第一裝載端口處脫泊和關(guān)閉所述襯底承載器；且將所述襯底承載器直接送回所述襯底承載器傳送機(jī)。
全文摘要
一方面，一種用于處理工具的襯底裝載臺(tái)包括多個(gè)裝載端口。每個(gè)裝載端口皆被操作地連接到處理工具，且具有一個(gè)用來打開襯底承載器的機(jī)構(gòu)。承載器裝卸裝置將襯底承載器從生產(chǎn)交換位置傳送到裝載端口，而不會(huì)將承載器放置在除了裝載端口外的任何承載器支撐位置上。本發(fā)明還提供了許多其它方面。
文檔編號(hào)H01L21/677GK1689140SQ03823887
公開日2005年10月26日 申請(qǐng)日期2003年8月28日 優(yōu)先權(quán)日2002年8月31日
發(fā)明者M·R·埃利奧特, M·R·賴斯, R·B·洛倫斯, J·C·赫金斯, E·A·恩格爾哈特 申請(qǐng)人:應(yīng)用材料有限公司