專利名稱：微鏡檢測方法及其檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種微鏡檢測方法及其檢測裝置，特別是涉及一種檢測微鏡組件在組裝后的傾斜度的微鏡檢測方法及其檢測裝置。
背景技術(shù)：
微機(jī)電技術(shù)發(fā)展已久，且逐漸應(yīng)用于一般生活用品或是電子產(chǎn)品之中。而美國德州儀器公司開發(fā)的數(shù)字微鏡組件DMD(Digital MicromirrorDevice)，即為一種用于投影設(shè)備的反射組件。由數(shù)字微鏡組件技術(shù)所設(shè)計的投影機(jī)，稱為數(shù)碼光輸投影機(jī)(DLP，Digital Light Processing)，以數(shù)字微鏡組件作為成像儀器，反射光投射圖像到屏幕。其關(guān)鍵組件數(shù)字微鏡組件是由德州儀器公司開發(fā)研制的一種半導(dǎo)體組件，每一個數(shù)字微鏡組件芯片包含成千上萬的微小的正方形反射鏡片，又稱微鏡。這些微鏡按照行列緊密排列，每個微鏡代表一個像素，并可由相應(yīng)的內(nèi)存在開或關(guān)的兩種狀態(tài)下控制切換轉(zhuǎn)動，從而控制光的反射。
數(shù)碼光輸投影機(jī)的光學(xué)組件繁多，由于數(shù)碼光輸投影機(jī)要求的分辨率及成像力都特別嚴(yán)格，故制造時的精度及公差都很難掌握。尤其微鏡組件裝設(shè)于鏡頭承座上時相對于鏡頭光軸的傾斜度，其直接關(guān)系著成像品質(zhì)的好壞。但因微鏡組件為微米制造，所以很難以一般的測量方法測量其傾斜度。因此鏡頭成品的特性及其品質(zhì)，往往需通過實(shí)際成像之后才能檢測。若在完整組裝完畢后才得知鏡頭有缺陷，則需重新拆開及組裝，耗費(fèi)龐大的時間及人力。因此，需要能在組裝過程中，實(shí)時檢測其組裝狀況的微鏡檢測方法及其檢測裝置，以確保鏡頭的品質(zhì)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明即為了要能實(shí)時檢測鏡頭的組裝狀況，而提供的一種微鏡檢測方法，其包括下述步驟，先將微鏡組件設(shè)于承座的微鏡承靠面。再利用光源朝向微鏡組件射出光束。光束從微鏡組件反射至靶面，并在該靶面上投射出一第二光點(diǎn)。測量該第二光點(diǎn)相對于基準(zhǔn)點(diǎn)的距離X，并由此計算微鏡組件在承座上的傾斜度。
本發(fā)明也提供一種可供上述檢測的微鏡檢測裝置，包括一靶面以及一光源。光源朝向該微鏡組件射出一光束，該光束從該微鏡組件反射至該靶面。
應(yīng)用本發(fā)明的微鏡檢測方法，可快速有效地測量微鏡組件裝設(shè)于鏡頭承座上時相對于鏡頭光軸的傾斜度。因此，可以在鏡頭的裝配過程中，直接檢測微鏡組件的組裝狀況，從而校正微鏡組件的傾斜狀況，提高產(chǎn)品合格率。


圖1a為現(xiàn)有承座的立體；圖1b為現(xiàn)有承座的后側(cè)視圖；圖2a為本發(fā)明的微鏡檢測裝置的示意圖；圖2b為本發(fā)明的微鏡檢測裝置的靶面的示意圖；圖3a為本發(fā)明的微鏡檢測裝置的示意圖；圖3b為本發(fā)明的微鏡檢測裝置的夾具的示意圖；圖4為本發(fā)明的傾斜度計算方式的輔助說明圖。
具體實(shí)施例方式
首先，先說明承座的構(gòu)造參照圖1a，承座100包括一鏡頭承靠面110以及鏡頭承靠點(diǎn)111。參照圖1b，其顯示承座100的A方向側(cè)視圖，承座100還包括一微鏡承靠面120，微鏡承靠面120上具有微鏡承靠點(diǎn)121以及開口122。微鏡組件即由微鏡承靠點(diǎn)121設(shè)于微鏡承靠面120之上。而本發(fā)明所要檢測的，即為微鏡組件在裝設(shè)于微鏡承靠面120上時，是否有過度傾斜的情形。
以下先說明本發(fā)明的微鏡檢測裝置的結(jié)構(gòu)，再說明使用該微鏡檢測裝置的微鏡檢測方法。
參照圖2a，本發(fā)明的微鏡檢測裝置，包括一靶面150以及一光源140。光源朝向微鏡組件130射出一光束160，該光束160從該微鏡組件130反射至該靶面150。
參照圖2b，靶面150上具有刻度以及一基準(zhǔn)點(diǎn)151。通過光束160從該微鏡組件130反射至該靶面150的第二光點(diǎn)152的相對于基準(zhǔn)點(diǎn)151的位置，可得知微鏡組件的傾斜狀況。
上述的光源140可以為激光。
上述的光源140可設(shè)于靶面150之上。
上述的靶面150其材質(zhì)可以為紙。
參照圖3a，上述的微鏡檢測裝置可還包括一第一夾具185，用以夾持該承座。以及一第二夾具180，用以夾持該光源。該第一夾具185以及第二夾具180可設(shè)于底座170之上。
參照圖3b，該第一夾具185以及第二夾具180該可具有一夾具主體181，一檔板182，一調(diào)制機(jī)構(gòu)183以及一固定件184。該檔板182設(shè)于該夾具主體181中。該調(diào)制機(jī)構(gòu)183穿過該夾具主體181并與該檔板182接觸，通過調(diào)整該調(diào)制機(jī)構(gòu)183，可調(diào)整該文件板182的位置，并將工件夾持于該檔板182與該夾具主體181之間。該固定件184設(shè)于該夾具主體181之下，夾具主體181由該固定件184固定在該底座170之上。
再參照圖2a，本發(fā)明的微鏡檢測方法，包括下述步驟首先，先限定出光源140的位置。先將一標(biāo)準(zhǔn)鏡135設(shè)于該承座100的該微鏡承靠面120。標(biāo)準(zhǔn)鏡135為水平程度合于規(guī)定的鏡面，標(biāo)準(zhǔn)鏡135裝設(shè)于微鏡承靠面120時，即為預(yù)設(shè)的未傾斜狀況。再利用該光源140朝向該標(biāo)準(zhǔn)鏡135射出該光束160，該光束160從該標(biāo)準(zhǔn)鏡135反射至該靶面150，并在該靶面150上投射出一第一光點(diǎn)155，參照圖2b。此時，調(diào)整該光源140的位置，使該第一光點(diǎn)155投射至該基準(zhǔn)點(diǎn)151。通過以上步驟，可限定光源140的標(biāo)準(zhǔn)位置。
接下來，進(jìn)行測量微鏡組件傾斜度的步驟，依然先參照圖2a，先將微鏡組件130設(shè)于承座100的微鏡承靠面120。再利用光源140朝向微鏡組件130射出光束160。光束160從微鏡組件130反射至靶面150，并在該靶面150上投射出一第二光點(diǎn)152，參照圖2b。測量該第二光點(diǎn)152相對于基準(zhǔn)點(diǎn)151的距離X，并由此計算微鏡組件130在承座100上的傾斜度。
其計算傾斜度的方式，參照第4圖，利用光源140與微鏡組件130的間的距離Y，以及第二光點(diǎn)152相對于基準(zhǔn)點(diǎn)151的距離X，以三角函數(shù)公式2θ=tan-1(XY),]]>可求得微鏡組件130的傾斜度角θ。利用傾斜度角θ以及微鏡組件130本身的長度，可以得知所需要補(bǔ)償厚度T。因此可在微鏡組件130的傾斜方位墊入厚度為T的墊片，或是以其它方式進(jìn)行補(bǔ)償，以修正微鏡組件130的傾斜。
再回到圖2a，本發(fā)明的檢測方法也可用于檢測承座100的平行度，其包括下述步驟首先將標(biāo)準(zhǔn)鏡135設(shè)于該承座100的微鏡承靠面120。再利用光源140朝向標(biāo)準(zhǔn)鏡135射出光束160，光束160從標(biāo)準(zhǔn)鏡135反射至靶面150，并在靶面150上投射出第一光點(diǎn)155(參照圖2b)。然后調(diào)整光源140的位置，使第一光點(diǎn)155投射至基準(zhǔn)點(diǎn)151。再將該標(biāo)準(zhǔn)鏡135設(shè)于該承座100的鏡頭承靠面110(參照圖2a)，該光束160從該標(biāo)準(zhǔn)鏡135反射至靶面150，并在靶150面上投射出第二光點(diǎn)152(參照圖2b)。最后，測量第二光點(diǎn)152相對于該基準(zhǔn)點(diǎn)151的位置；并計算該微鏡承靠面120與該鏡頭承靠面110的平行度。
計算承座100平行度的方式，可與上述的計算微鏡組件傾斜度的方式相同，以三角函數(shù)的方式求得。
由于鏡頭承靠面110是否傾斜直接相關(guān)于鏡頭的光軸角度，因此可依照上述的承座平行度的檢測結(jié)果，對各部位組件的尺寸誤差進(jìn)行補(bǔ)償。
應(yīng)用本發(fā)明的微鏡檢測方法，可快速有效地測量微鏡組件裝設(shè)于鏡頭承座上時相對于鏡頭光軸的傾斜度。因此，可以在鏡頭的裝配過程中，直接檢測微鏡組件的組裝狀況，從而校正微鏡組件的傾斜狀況，提高產(chǎn)品合格率。
雖然結(jié)合以上較佳實(shí)施例揭露了本發(fā)明，然而其并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，仍可作一些更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求所界定的為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種微鏡檢測裝置，用于檢測一微鏡組件于一承座上的傾斜度，包括一靶面；以及一光源，該光源朝向該微鏡組件射出一光束，該光束從該微鏡組件反射至該靶面。
2.如權(quán)利要求1所述的微鏡檢測裝置，其中，該微鏡檢測裝置還包括一第一夾具，該第一夾具用以夾持該承座。
3.如權(quán)利要求1所述的微鏡檢測裝置，其中，該微鏡檢測裝置還包括一第二夾具，該第二夾具用以夾持該光源。
4.如權(quán)利要求1所述的微鏡檢測裝置，其中，該光源為一激光。
5.如權(quán)利要求1所述的微鏡檢測裝置，其中，該靶面的材質(zhì)為紙。
6.如權(quán)利要求1所述的微鏡檢測裝置，其中，該光源設(shè)于該靶面之上。
7.一種承座平行度檢測方法，包括下述步驟將一標(biāo)準(zhǔn)鏡設(shè)于該承座的一微鏡承靠面；利用一光源朝向該標(biāo)準(zhǔn)鏡射出一光束，該光束從該標(biāo)準(zhǔn)鏡反射至一靶面，并在該靶面上投射出一第一光點(diǎn)；調(diào)整該光源的位置，使該第一光點(diǎn)投射至一基準(zhǔn)點(diǎn)；將該標(biāo)準(zhǔn)鏡設(shè)于該承座的一鏡頭承靠面，該光束從該標(biāo)準(zhǔn)鏡反射至該靶面，并在該靶面上投射出一第二光點(diǎn)；測量該第二光點(diǎn)相對于該基準(zhǔn)點(diǎn)的位置；以及計算該微鏡承靠面與該鏡頭承靠面的平行度。
8.如權(quán)利要求7所述的承座平行度檢測方法，其中，該光源為一激光。
9.如權(quán)利要求7所述的承座平行度檢測方法，其中，該靶面的材質(zhì)為紙。
10.如權(quán)利要求7所述的承座平行度檢測方法，其中，該承座利用一第一夾具夾持。
11.如權(quán)利要求7所述的承座平行度檢測方法，其中，該光源設(shè)于該靶面之上。
12.如權(quán)利要求7所述的承座平行度檢測方法，其中，該光源利用一第二夾具夾持。
13.如權(quán)利要求12所述的承座平行度檢測方法，其中，調(diào)整該光源的位置，使該第一光點(diǎn)投射至該基準(zhǔn)點(diǎn)的步驟，通過調(diào)整該第二夾具而調(diào)整該光源的位置。
14.一種微鏡檢測方法，包括下述步驟將一微鏡組件設(shè)于一承座的一微鏡承靠面；利用一光源朝向該微鏡組件射出一光束，該光束從該微鏡組件反射至一靶面，并在該靶面上投射出一第二光點(diǎn)；測量該第二光點(diǎn)相對于一基準(zhǔn)點(diǎn)的距離X；以及計算該微鏡組件在該承座上的傾斜度。
15.如權(quán)利要求14所述的微鏡檢測方法，其中，在將該微鏡組件設(shè)于該承座的該微鏡承靠面的步驟之前，還包括下述步驟將一標(biāo)準(zhǔn)鏡設(shè)于該承座的該微鏡承靠面；利用該光源朝向該標(biāo)準(zhǔn)鏡射出該光束，該光束從該標(biāo)準(zhǔn)鏡反射至該靶面，并在該靶面上投射出一第一光點(diǎn)；調(diào)整該光源的位置，使該第一光點(diǎn)投射至該基準(zhǔn)點(diǎn)。
16.如權(quán)利要求14所述的微鏡檢測方法，其中，還包括一測量該光源與該微鏡組件之間距離Y的步驟。
17.如權(quán)利要求16所述的微鏡檢測方法，其中，計算該微鏡組件在該承座上的傾斜度的步驟，利用該光源與該微鏡組件之間距離Y以及該第二光點(diǎn)相對于一基準(zhǔn)點(diǎn)的距離X，以三角函數(shù)計算而達(dá)成。
18.如權(quán)利要求17所述的微鏡檢測方法，其中，2θ=tan-1(XY),]]>θ為該微鏡組件于該承座上的傾斜角。
19.如權(quán)利要求14所述的微鏡檢測方法，其中，該光源為一激光。
20.如權(quán)利要求14所述的微鏡檢測方法，其中，該靶面的材質(zhì)為紙，其上繪有刻度。
21.如權(quán)利要求14所述的微鏡檢測方法，其中，該承座利用一第一夾具夾持。
22.如權(quán)利要求14所述的微鏡檢測方法，其中，該光源設(shè)在該靶面之上。
23.如權(quán)利要求14所述的微鏡檢測方法，其中，該光源利用一第二夾具夾持。
24.如權(quán)利要求15所述的微鏡檢測方法，其中，調(diào)整該光源的位置，使該第一光點(diǎn)投射至該基準(zhǔn)點(diǎn)的步驟，通過調(diào)整該第二夾具而調(diào)整該光源的位置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種微鏡檢測方法，包括下述步驟，先將微鏡組件設(shè)于承座的微鏡承靠面。再利用光源朝向微鏡組件射出光束。光束從微鏡組件反射至靶面，并在該靶面上投射出一第二光點(diǎn)。測量該第二光點(diǎn)相對于基準(zhǔn)點(diǎn)的距離X，并由此計算微鏡組件于承座上的傾斜度。
文檔編號H01S5/00GK1570555SQ03147629
公開日2005年1月26日 申請日期2003年7月15日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月15日
發(fā)明者郭建峰 申請人:明基電通股份有限公司