應(yīng)用于爐管設(shè)備一致性分析的查詢系統(tǒng)及查詢方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種應(yīng)用于爐管設(shè)備一致性分析的的查詢系統(tǒng)及查詢方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在項(xiàng)目研發(fā)階段，當(dāng)產(chǎn)品發(fā)生異常時(shí)，工藝整合工程師均需要對(duì)產(chǎn)品中每一片晶圓經(jīng)過(guò)的工藝機(jī)臺(tái)/站點(diǎn)(腔體)信息進(jìn)行匯總分析，以確定異常是否由某些特定機(jī)臺(tái)/站點(diǎn)(腔體)造成，這種分析通常稱為一致性分析(commonality analysis)。目前，一致性分析雖然可以由商業(yè)軟件，如ACE系統(tǒng)完成，但ACE系統(tǒng)僅能對(duì)晶圓經(jīng)過(guò)的特定站點(diǎn)查詢，無(wú)法查詢所有的站點(diǎn)(腔體)；此外，ACE系統(tǒng)也僅能查詢整個(gè)組批的晶圓的信息，對(duì)該組批晶圓中每個(gè)批次的確切信息也無(wú)法查詢。因此，在進(jìn)行一致性分析時(shí)，通常需要由工藝整合工程師提出需求，由工藝工程師在機(jī)臺(tái)上或在機(jī)臺(tái)狀況監(jiān)控系統(tǒng)(FDC系統(tǒng))中逐批逐腔體查看日志，然后手動(dòng)填寫(xiě)表格，最終得到每一片晶圓經(jīng)過(guò)的工藝機(jī)臺(tái)/站點(diǎn)信息。這么做無(wú)疑將大幅降低分析效率，而且人工輸入也容易產(chǎn)生錯(cuò)誤信息。
[0003]另一方面，特別是對(duì)于爐管設(shè)備機(jī)臺(tái)，因?yàn)闋t管設(shè)備中不同位置的晶圓處理狀況是不同的，因此僅查詢出每組批晶圓所經(jīng)過(guò)的爐管設(shè)備機(jī)臺(tái)無(wú)法直觀了解到爐管設(shè)備的具體異常情況。
[0004]因此，需要提供一種新的設(shè)計(jì)以應(yīng)用于爐管設(shè)備的一致性分析。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的主要目的旨在提供一種應(yīng)用于爐管設(shè)備一致性分析的查詢系統(tǒng)和查詢方法，以能高效和準(zhǔn)確地對(duì)晶圓所經(jīng)過(guò)的爐管設(shè)備/腔體信息進(jìn)行匯總，了解爐管設(shè)備的異常情況。
[0006]為達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種應(yīng)用于爐管設(shè)備一致性分析的查詢系統(tǒng)，包括:據(jù)庫(kù)，用于記錄各所述爐管設(shè)備內(nèi)全部批次的晶圓所經(jīng)過(guò)的事件信息以及在各所述爐管設(shè)備中的位置信息；界面生成模塊，用于提供查詢界面以輸入查詢條件；查詢模塊，用于根據(jù)所述查詢條件訪問(wèn)所述數(shù)據(jù)庫(kù)以在所述數(shù)據(jù)庫(kù)記錄的信息中執(zhí)行查詢操作；以及報(bào)表生成模塊，根據(jù)查詢結(jié)果生成第一報(bào)表和第二報(bào)表，所述第一報(bào)表記錄符合所述查詢條件的晶圓的事件信息以及在其所處爐管設(shè)備中的位置信息，所述第二報(bào)表記錄符合所述查詢條件的晶圓所處的爐管設(shè)備內(nèi)全部批次的晶圓的位置信息。
[0007]優(yōu)選地，所述事件信息包括晶圓基本信息、爐管設(shè)備機(jī)臺(tái)信息和工藝步驟信息；其中所述晶圓基本信息包括產(chǎn)品品名信息、批次信息和晶圓生產(chǎn)線流程信息；所述爐管設(shè)備機(jī)臺(tái)信息包括爐管設(shè)備編號(hào)信息、爐管設(shè)備跑貨信息、爐管設(shè)備運(yùn)行時(shí)間信息和爐管設(shè)備的腔體編號(hào)信息；所述工藝步驟信息至少包括工藝菜單信息。
[0008]優(yōu)選地，所述查詢條件至少包括爐管設(shè)備查詢條件和處理時(shí)間查詢條件。
[0009]優(yōu)選地，所述查詢條件還包括晶圓批次查詢條件、產(chǎn)品品名查詢條件、工藝菜單查詢條件至少其中之一。
[0010]優(yōu)選地，所述查詢模塊驗(yàn)證所述查詢條件是否包含爐管設(shè)備查詢條件和處理時(shí)間查詢條件，當(dāng)所述查詢條件包含爐管設(shè)備查詢條件和處理時(shí)間查詢條件時(shí)，所述查詢模塊執(zhí)行查詢操作。
[0011]本發(fā)明還提供了一種應(yīng)用于爐管設(shè)備一致性分析的查詢方法，包括:記錄各所述爐管設(shè)備內(nèi)全部批次的晶圓所經(jīng)過(guò)的事件信息以及在各所述爐管設(shè)備中的位置信息；提供查詢界面以輸入查詢條件；根據(jù)所述查詢條件在所述記錄的信息中執(zhí)行查詢操作；以及根據(jù)查詢結(jié)果生成第一報(bào)表和第二報(bào)表，所述第一報(bào)表記錄符合所述查詢條件的晶圓的事件信息以及在其所處爐管設(shè)備中的位置信息，所述第二報(bào)表記錄符合所述查詢條件的晶圓所處的爐管設(shè)備內(nèi)全部批次的晶圓的位置信息。
[0012]優(yōu)選地，所述事件信息包括晶圓基本信息、爐管設(shè)備機(jī)臺(tái)信息和工藝步驟信息；其中所述晶圓基本信息包括產(chǎn)品品名信息、批次信息和晶圓生產(chǎn)線流程信息；所述爐管設(shè)備機(jī)臺(tái)信息包括爐管設(shè)備編號(hào)信息、爐管設(shè)備跑貨信息、爐管設(shè)備運(yùn)行時(shí)間信息和爐管設(shè)備的腔體編號(hào)信息；所述工藝步驟信息至少包括工藝菜單信息。
[0013]優(yōu)選地，所述查詢條件至少包括爐管設(shè)備查詢條件和處理時(shí)間查詢條件。
[0014]優(yōu)選地，所述查詢條件還包括晶圓批次查詢條件、產(chǎn)品品名查詢條件、工藝菜單查詢條件至少其中之一。
[0015]優(yōu)選地，根據(jù)所述查詢條件在所述記錄的信息中執(zhí)行查詢操作的步驟包括:驗(yàn)證所述查詢條件是否包含爐管設(shè)備查詢條件和處理時(shí)間查詢條件；以及當(dāng)所述查詢條件包含爐管設(shè)備查詢條件和處理時(shí)間查詢條件時(shí)，執(zhí)行查詢操作。
[0016]本發(fā)明所提出的查詢系統(tǒng)和查詢方法，可根據(jù)用戶設(shè)置的查詢條件執(zhí)行查詢，不僅可得到符合條件的晶圓的基本信息、機(jī)臺(tái)信息、站點(diǎn)信息等，不需要逐批逐機(jī)臺(tái)查看日志及手動(dòng)輸入數(shù)據(jù)，可以在分鐘級(jí)的時(shí)間內(nèi)不需要人為干預(yù)地、自動(dòng)地完成以往需要數(shù)小時(shí)、工程師大量重復(fù)動(dòng)作來(lái)完成的工作，效率和準(zhǔn)確度得到大幅提高；此外還能直觀了解符合條件的晶圓所在爐管內(nèi)全部批次晶圓的位置信息，以獲得爐管機(jī)臺(tái)異常情況的發(fā)生位置。
【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1為本發(fā)明一實(shí)施例應(yīng)用于爐管設(shè)備一致性分析的查詢系統(tǒng)的方塊圖；
[0018]圖2為本發(fā)明一實(shí)施例的應(yīng)用于爐管設(shè)備一致性分析的查詢系統(tǒng)的界面生成模塊所提供的查詢界面的示意圖；
[0019]圖3和圖4所示分別為本發(fā)明一實(shí)施例的應(yīng)用于爐管設(shè)備一致性分析的查詢系統(tǒng)的報(bào)表生成模塊所生成的第一報(bào)表和第二報(bào)表的示意圖；
[0020]圖5為本發(fā)明一實(shí)施例應(yīng)用于爐管設(shè)備一致性分析的查詢方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說(shuō)明書(shū)附圖，對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步說(shuō)明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
[0022]圖1為本發(fā)明一實(shí)施例的用于爐管設(shè)備一致性分析的查詢系統(tǒng)的方塊圖，以下將結(jié)合圖1對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。
[0023]如圖1所示，查詢系統(tǒng)包括數(shù)據(jù)庫(kù)10，界面生成模塊11，查詢模塊12和報(bào)表生成模塊13。其中，數(shù)據(jù)庫(kù)10用于記錄各個(gè)爐管設(shè)備內(nèi)全部批次的晶圓所經(jīng)過(guò)的事件信息以及這些晶圓在各個(gè)爐管設(shè)備中的位置信息。事件信息包括品名信息、批次信息、爐管設(shè)備信息、工藝站點(diǎn)(腔體)信息、工藝菜單信息、處理時(shí)間信息等。在一具體實(shí)施例中，該數(shù)據(jù)庫(kù)例如為FDC機(jī)臺(tái)狀況監(jiān)控系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫(kù)，記錄了所有爐管設(shè)備所有批次晶圓的過(guò)貨歷史及每片晶圓在爐管設(shè)備中的位置。界面生成模塊11用于提供查詢界面以輸入查詢條件，其中查詢條件可至少包括爐管設(shè)備查詢條件和處理時(shí)間查詢條件。具體地，如圖2所示，查詢界面包括至少兩個(gè)輸入?yún)^(qū)域，用于分別輸入爐管設(shè)備查詢條件和處理時(shí)間查詢條件，用戶可在這兩個(gè)輸入?yún)^(qū)域中以選中或手動(dòng)輸入的方式輸入爐管設(shè)備編號(hào)和時(shí)間范圍。此外可選的，查詢界面還包括輔助查詢條件的輸入?yún)^(qū)域，輔助查詢條件例如是晶圓批次查詢條件、品名查詢條件、工藝菜單查詢條件或站點(diǎn)查詢條件，供用戶以這些輔助查詢條件配合爐管設(shè)備查詢條件和處理時(shí)間查詢條件進(jìn)一步縮小查詢范圍。較佳的，查詢界面也提供了特定的輸入格式，以規(guī)范用戶的輸入。查詢模塊12用于根據(jù)在查詢界面上輸入的查詢條件訪問(wèn)數(shù)據(jù)庫(kù)10，以在數(shù)據(jù)庫(kù)10記錄的信息中執(zhí)行查詢操作，得到查詢結(jié)果。查詢模塊12可根據(jù)查詢條件自動(dòng)生成與數(shù)據(jù)庫(kù)匹配的語(yǔ)言，如SQL語(yǔ)言，訪問(wèn)數(shù)據(jù)庫(kù)，并返回查詢結(jié)果。較佳的，查詢模塊12首先會(huì)驗(yàn)證查詢條件是否已經(jīng)包含了爐管設(shè)備查詢條件和處理時(shí)間查詢條件，如果包含了這兩個(gè)查詢條件，查詢模塊12執(zhí)行查詢操作；否則將不執(zhí)行查詢操作，或可在查詢界面提示用于輸入爐管設(shè)備和處理時(shí)間的查詢條件。
[0024]報(bào)表生成模塊13根據(jù)查詢結(jié)果自動(dòng)生成第一報(bào)表和第二報(bào)表，其中第一報(bào)表記錄了符合查詢條件的晶圓的事件信息以及符合查詢條件的晶圓在其所處爐管設(shè)備中的位置信息，而第二報(bào)表則記錄了符合查詢條件的晶圓所處的爐管設(shè)備內(nèi)全部批次的晶圓的位置信息。請(qǐng)參考圖3和圖4，其分別顯示了第一報(bào)表和第二報(bào)表的示意圖。在圖3所示的第一和第二報(bào)表是根據(jù)“爐管設(shè)備01-05、處理時(shí)間??ΜΕ1-??ΜΕ5”這一查詢條件查詢后自動(dòng)生成，在圖3中顯示出有5批次晶圓符合查詢條件，這些晶圓的事件信