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一種缺陷目標檢測網(wǎng)絡(luò)及方法與流程

文檔序號:39728333發(fā)布日期:2024-10-22 13:31閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種缺陷目標檢測網(wǎng)絡(luò),其特征在于,包括:孿生異常注意力機制子網(wǎng)絡(luò)、第一尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)、第二尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)和第三尺度檢測子網(wǎng)絡(luò);所述孿生異常注意力機制子網(wǎng)絡(luò)的輸出端與所述第一尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)的輸入端相連;所述第一尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)的第一輸出端與所述第二尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)的第一輸入端相連,所述第一尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)的第二輸出端與所述第二尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)的第二輸入端相連,所述第一尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)的第三輸出端與所述第三尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)的第一輸入端相連;所述第二尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)的輸出端和所述第三尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)的第二輸入端相連相連;

2.如權(quán)利要求1所述缺陷目標檢測網(wǎng)絡(luò),其特征在于,所述第一focus模塊包括并行的且共享權(quán)重的第一孿生focus子模塊和第二孿生focus子模塊;所述第二focus模塊包括并行的且共享權(quán)重的第三孿生focus子模塊和第四孿生focus子模塊;所述第一c2f模塊包括并行的且共享權(quán)重的第一孿生c2f子模塊和第二孿生c2f子模塊;所述第三focus模塊包括并行的且共享權(quán)重的第五孿生focus子模塊和第六孿生focus子模塊;

3.如權(quán)利要求1所述缺陷目標檢測網(wǎng)絡(luò),其特征在于,所述acm模塊的輸出的方式為:

4.如權(quán)利要求1所述缺陷目標檢測網(wǎng)絡(luò),其特征在于,所述第一focus模塊、第二focus模塊、第一c2f模塊和第三focus模塊是使用共享權(quán)重進行訓練的。

5.如權(quán)利要求1所述缺陷目標檢測網(wǎng)絡(luò),其特征在于,所述第一尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)包括:第一c2fghost模塊、第七focus模塊、第二c2fghost模塊、第八focus模塊、第三c2fghost模塊、sppf模塊、第四c2fghost模塊、第五c2fghost模塊、第一拼接模塊、第一上采樣模塊、第二拼接模塊、第二上采樣模塊和第一ambc檢測模塊;所述第一c2fghost模塊的輸入端與所述孿生異常注意力機制子網(wǎng)絡(luò)的輸出端相連;所述第四c2fghost模塊的第一輸出端與所述第二尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)的第一輸入端相連;所述第五c2fghost模塊的輸出端與所述第二尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)的第二輸入端相連;所述sppf模塊的輸出端與所述第三尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)的第一輸入端相連;

6.如權(quán)利要求1所述缺陷目標檢測網(wǎng)絡(luò),其特征在于,所述第二尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)包括第一conv模塊、第三拼接模塊、第六c2fghost模塊和第二ambc檢測模塊;所述第一conv模塊的輸入端與所述第一尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)的第二輸出端相連;所述第三拼接模塊的第二輸入端與所述第一尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)的第一輸出端相連;所述第六c2fghost模塊的第一輸出端與所述第三尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)的第二輸入端相連;

7.如權(quán)利要求1所述缺陷目標檢測網(wǎng)絡(luò),其特征在于,所述第三尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)包括第二conv模塊、第四拼接模塊、第七c2fghost模塊和第三ambc檢測模塊;所述第二conv模塊的輸入端與所述第二尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)的輸出端相連;所述第四拼接模塊的第一輸入端與所述第一尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)的第一輸出端相連;

8.如權(quán)利要求2~7任一項所述缺陷目標檢測網(wǎng)絡(luò),其特征在于,各個c2fghost模塊均包括第一conv子層、第二conv子層、split子層、第一ghostbottleneck子層、第二ghostbottleneck子層和一個拼接子模塊;

9.如權(quán)利要求2~7任一項所述缺陷目標檢測網(wǎng)絡(luò),其特征在于,各個ambc檢測模塊包括第一變形蟲卷積分路網(wǎng)絡(luò)和第二變形蟲卷積分路網(wǎng)絡(luò);所述第一變形蟲卷積分路網(wǎng)絡(luò)的輸入端和所述第二變形蟲卷積分路網(wǎng)絡(luò)的輸入端相連;

10.一種缺陷目標檢測方法,其特征在于,該方法應(yīng)用如權(quán)利要求1~9任一項所述的缺陷目標檢測網(wǎng)絡(luò)實現(xiàn)。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種缺陷目標檢測網(wǎng)絡(luò)及方法,包括:孿生異常注意力機制子網(wǎng)絡(luò)、第一尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)、第二尺度檢測子網(wǎng)絡(luò)和第三尺度檢測子網(wǎng)絡(luò);所述孿生異常注意力機制子網(wǎng)絡(luò)包括孿生的第一Focus模塊、孿生的第二Focus模塊、孿生的第一C2f模塊、ACM模塊和孿生的第三Focus模塊。采用本發(fā)明,通過創(chuàng)新性的AAM、小目標缺陷改進模塊以及AMBC?Detect等關(guān)鍵技術(shù),實現(xiàn)了芯片缺陷檢測中小目標和曲線類缺陷的高效、精準識別,為工業(yè)質(zhì)量控制領(lǐng)域提供了有力的技術(shù)支持。

技術(shù)研發(fā)人員:劉飛,林宜龍,王恒
受保護的技術(shù)使用者:深圳格芯集成電路裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2024/10/21
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