一種氣路系統(tǒng)的顯示方法和裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備的控制技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種氣路系統(tǒng)的顯示方法和一種氣路系統(tǒng)的顯示裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體設(shè)備中，執(zhí)行工藝用到了很多不同種類的氣體，工藝反應(yīng)氣體進(jìn)入工藝腔室形成等離子體用于刻蝕、PVD (Physical Vapor Deposit1n,物理氣相沉積)、CVD(Chemical Vapor Deposit1n,化學(xué)氣象沉積)等半導(dǎo)體設(shè)備。其中工藝腔室中一個(gè)重要的輔助系統(tǒng)就是氣路系統(tǒng)，為方便用戶直觀地了解半導(dǎo)體設(shè)備的氣路系統(tǒng)的狀況，需要在控制界面顯示該氣路系統(tǒng)的狀況。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，用戶根據(jù)設(shè)備所需的管路和閥門的實(shí)際情況，手動(dòng)地采用系統(tǒng)自帶的控件PictureBox進(jìn)行堆積，繪出所有的氣路系統(tǒng)，以刻蝕設(shè)備為例，最終獲取如圖1所示的氣路系統(tǒng)。其中，每個(gè)豎直的管路、管路連接處、管路拐角處都是一個(gè)控件，例如圖2所示的氣體管道，由A-H共八小控件組成。
[0004]由于氣體管道數(shù)量較多，所以整個(gè)氣路系統(tǒng)使用的控件個(gè)數(shù)就很多。為了能在有限的空間將所有氣路信息顯示完整，只能單獨(dú)做出一個(gè)專門顯示氣路系統(tǒng)的模塊，用戶如果想查看當(dāng)前氣路的狀態(tài)，則必須切換到該模塊。
[0005]由于整個(gè)氣路系統(tǒng)使用的控件個(gè)數(shù)較多，切換模塊時(shí)，進(jìn)行加載就需要消耗大量?jī)?nèi)存。
[0006]不同用戶可能會(huì)對(duì)氣體管道需求不同，比如需要增加或者減少氣體管道時(shí)，只能手動(dòng)的刪除部分管路。為了整體的美觀，往往只能重新手動(dòng)調(diào)整整個(gè)頁面布局，操作繁瑣。
[0007]由于氣路系統(tǒng)的控件不盡相同，其堆積方法不能兼容其他設(shè)備，如果用到其它設(shè)備，需要修改界面及代碼，不具備可復(fù)用性，操作麻煩。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明實(shí)施例所要解決的技術(shù)問題是提供一種氣路系統(tǒng)的顯示方法，以解決占用內(nèi)存大，操作麻煩的問題。
[0009]本發(fā)明還提供了一種氣路系統(tǒng)的顯示裝置，用以保證上述方法的實(shí)現(xiàn)及應(yīng)用。
[0010]為了解決上述問題，本發(fā)明公開了一種氣路系統(tǒng)的顯示方法，所述氣路系統(tǒng)包括氣體管道和氣路儀器，所述方法包括:
[0011 ] 在預(yù)置的繪制窗口中，采用線條展現(xiàn)所述氣體管道的排布；其中，所述線條攜帶有相對(duì)坐標(biāo)的信息；
[0012]在所述線條上添加氣路控件的展現(xiàn)，所述氣路控件用于表征所述氣路儀器在所述氣體管道上的分布以及對(duì)應(yīng)氣路儀器的狀態(tài)；
[0013]采用所述相對(duì)坐標(biāo)的信息計(jì)算所述線條和所述氣路控件的顯示位置；
[0014]在所述顯示位置展現(xiàn)所述線條和氣路控件。
[0015]優(yōu)選地，所述氣路儀器包括擺閥、排空閥、干泵、分子泵和/或質(zhì)量流量控制器；
[0016]所述氣路控件包括擺閥控件、排空閥控件、干泵控件、分子泵控件和/或質(zhì)量流量控制器控件。
[0017]優(yōu)選地，所述氣路系統(tǒng)包括多條特征氣路，所述特征氣路對(duì)應(yīng)有復(fù)用氣路模塊進(jìn)行展現(xiàn)；所述復(fù)用氣路模塊包括十二路線條，所述十二路線條都具有管道顯示屬性和排空閥顯示屬性；所述管道顯示屬性包括顯示和不顯示；所述排空閥顯示屬性包括顯示和不顯示；
[0018]所述在預(yù)置的繪制窗口中，采用線條展現(xiàn)所述氣體管道的排布的步驟包括:
[0019]配置所述復(fù)用氣路模塊中的十二路線條的管道顯示屬性；
[0020]當(dāng)所述線條的管道顯示屬性為顯示時(shí)，則顯示所述線條；
[0021]當(dāng)所述線條的管道顯示屬性為不顯示時(shí)，則不顯示所述線條；
[0022]所述在所述線條上添加氣路控件的展現(xiàn)的步驟包括:
[0023]配置所述復(fù)用氣路模塊中的十二路線條的排空閥顯示屬性；
[0024]當(dāng)所述線條的管道顯示屬性為顯示且所述排空閥顯示屬性為顯示時(shí)，則在所述線條上展現(xiàn)對(duì)應(yīng)的排空閥控件；
[0025]當(dāng)所述線條的管道顯示屬性為不顯示或所述排空閥顯示屬性為不顯示時(shí)，則不在所述線條上展現(xiàn)對(duì)應(yīng)的排空閥控件。
[0026]優(yōu)選地，所述線條具有管道寬度屬性、管道顏色屬性和/或管道名稱屬性；
[0027]所述管道寬度屬性為控制所述線條的寬度的屬性；
[0028]所述管道顏色屬性為控制所述線條的顏色的屬性；
[0029]所述管道名稱屬性為顯示所述線條對(duì)應(yīng)的氣體管道里氣體的名稱的屬性；
[0030]所述方法還包括:
[0031]配置所述線條的管道寬度屬性、管道顏色屬性和/或管道名稱屬性；
[0032]按照所述管道寬度屬性、管道顏色屬性和/或管道名稱屬性進(jìn)行對(duì)應(yīng)的展現(xiàn)。
[0033]優(yōu)選地，所述采用所述相對(duì)坐標(biāo)的信息計(jì)算所述線條和所述氣路控件的顯示位置的步驟包括:
[0034]分別計(jì)算所述顯示窗口的高度、寬度與所述顯示位置的高度、寬度的比值，獲得高度比和寬度比；
[0035]將所述相對(duì)坐標(biāo)乘以比值最小的高度比或?qū)挾缺?，獲得在所述顯示位置的真實(shí)坐標(biāo)。
[0036]本發(fā)明還公開了一種氣路系統(tǒng)的顯示裝置，所述氣路系統(tǒng)包括氣體管道和氣路儀器，所述裝置包括:
[0037]氣體管道展現(xiàn)模塊，用于在預(yù)置的繪制窗口中，采用線條展現(xiàn)所述氣體管道的排布；其中，所述線條攜帶有相對(duì)坐標(biāo)的信息；
[0038]氣路儀器展現(xiàn)模塊，用于在所述線條上添加氣路控件的展現(xiàn)，所述氣路控件用于表征所述氣路儀器在所述氣體管道上的分布以及對(duì)應(yīng)氣路儀器的狀態(tài)；
[0039]顯示位置計(jì)算模塊，用于采用所述相對(duì)坐標(biāo)的信息計(jì)算所述線條和所述氣路控件的顯示位置；
[0040]線條和氣路控件展現(xiàn)模塊，用于在所述顯示位置展現(xiàn)所述線條和氣路控件。
[0041]優(yōu)選地，所述氣路儀器包括擺閥、排空閥、干泵、分子泵和/或質(zhì)量流量控制器；
[0042]所述氣路控件包括擺閥控件、排空閥控件、干泵控件、分子泵控件和/或質(zhì)量流量控制器控件。
[0043]優(yōu)選地，所述氣路系統(tǒng)包括多條特征氣路，所述特征氣路對(duì)應(yīng)有復(fù)用氣路模塊進(jìn)行展現(xiàn)；所述復(fù)用氣路模塊包括十二路線條，所述十二路線條都具有管道顯示屬性和排空閥顯示屬性；所述管道顯示屬性包括顯示和不顯示；所述排空閥顯示屬性包括顯示和不顯示；
[0044]所述氣體管道展現(xiàn)模塊包括:
[0045]管道顯示屬性配置子模塊，用于配置所述復(fù)用氣路模塊中的十二路線條的管道顯示屬性；
[0046]當(dāng)所述線條的管道顯示屬性為顯示時(shí)，則顯示所述線條；
[0047]當(dāng)所述線條的管道顯示屬性為不顯示時(shí)，則不顯示所征線條；
[0048]所述氣路儀器展現(xiàn)模塊包括:
[0049]排空閥顯示屬性配置子模塊，用于配置所述復(fù)用氣路模塊中的十二路線條的排空閥顯示屬性；
[0050]當(dāng)所述線條的管道顯示屬性為顯示且所述排空閥顯示屬性為顯示時(shí)，則在所述線條上展現(xiàn)對(duì)應(yīng)的排空閥控件；
[0051]當(dāng)所述線條的管道顯示屬性為不顯示或所述排空閥顯示屬性為不顯示時(shí)，則不在所述線條上展現(xiàn)對(duì)應(yīng)的排空閥控件。
[0052]優(yōu)選地，所述線條具有管道寬度屬性、管道顏色屬性和/或管道名稱屬性；
[0053]所述管道寬度屬性為控制所述線條的寬度的屬性；
[0054]所述管道顏色屬性為控制所述線條的顏色的屬性；
[0055]所述管道名稱屬性為顯示所述線條對(duì)應(yīng)的氣體管道里氣體的名稱的屬性；
[0056]所述裝置還包括:
[0057]線條屬性配置模塊，用于配置所述線條的管道寬度屬性、管道顏色屬性和/或管道名稱屬性；
[0058]線條屬性展現(xiàn)模塊，用于按照所述管道寬度屬性、管道顏色屬性和/或管道名稱屬性進(jìn)行對(duì)應(yīng)的展現(xiàn)。
[0059]優(yōu)選地，所述顯示位置計(jì)算模塊包括:
[0060]高度比和寬度比計(jì)算子模塊，用于分別計(jì)算所述顯示窗口的高度、寬度與所述顯示位置的高度、寬度的比值，獲得高度比和寬度比；
[0061]真實(shí)坐標(biāo)獲得子模塊，用于將所述相對(duì)坐標(biāo)乘以比值最小的高度比或?qū)挾缺?，獲得在所述顯示位置的真實(shí)坐標(biāo)。
[0062]與【背景技術(shù)】相比，本發(fā)明包括以下優(yōu)點(diǎn):
[0063]本發(fā)明采