本發(fā)明涉及氣體流量控制領(lǐng)域，特別是涉及一種高精度氣體流量控制系統(tǒng)及方法。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有氣體流量控制技術(shù)多采用模擬電路實(shí)現(xiàn)控制量的輸入輸出以及信號(hào)的采集放大，電路結(jié)構(gòu)復(fù)雜，對(duì)流量控制精度的影響因素眾多，且電路板難以小型化，進(jìn)而限制了氣體流量控制器向小型化方向發(fā)展。

現(xiàn)有數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器，均設(shè)置有采集流量傳感器數(shù)據(jù)的AD轉(zhuǎn)換電路，輸出控制閥體動(dòng)作的DA轉(zhuǎn)換電路，以及模擬信號(hào)輸入輸出的接口電路，電路結(jié)構(gòu)與機(jī)械結(jié)構(gòu)復(fù)雜，生產(chǎn)維護(hù)成本高，難以實(shí)現(xiàn)小型化。同時(shí)，由于比例閥的響應(yīng)曲線近似于開(kāi)口向上的拋物線，無(wú)法實(shí)現(xiàn)精確控制氣體流量的目的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是提供一種高精度氣體流量控制系統(tǒng)，可精確的控制氣體流量。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了如下方案：

一種高精度的氣體流量控制系統(tǒng)，所述氣體流量控制系統(tǒng)包括：比例閥數(shù)字預(yù)處理單元、比例閥開(kāi)啟度控制單元、脈沖寬度調(diào)取單元和PWM脈沖生成單元，其中，

所述比例閥數(shù)字預(yù)處理單元，用于根據(jù)所述PWM脈沖生成單元產(chǎn)生的PWM脈沖的位數(shù)及比例閥的最大開(kāi)啟度，生成脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線并存儲(chǔ)；

所述比例閥開(kāi)啟度控制單元，用于根據(jù)所述氣體流量傳感器采集的當(dāng)前氣體流量信號(hào)及設(shè)定氣體流量確定所述比例閥的期望開(kāi)啟度；

所述脈沖寬度調(diào)取單元，用于從所述比例閥數(shù)字預(yù)處理單元中調(diào)取所述脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線，并根據(jù)所述期望開(kāi)啟度及所述脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線，確定所述期望開(kāi)啟度對(duì)應(yīng)的期望脈沖寬度值；

所述PWM脈沖生成單元，用于根據(jù)所述期望脈沖寬度值生成對(duì)應(yīng)所述期望脈沖寬度值的PWM脈沖，并將所述對(duì)應(yīng)所述期望脈沖寬度值的PWM脈沖輸出給所述比例閥的控制端。

可選的，所述比例閥數(shù)字預(yù)處理單元包括：

脈沖寬度劃分單元，用于根據(jù)所述PWM脈沖的位數(shù)n將所述PWM脈沖的占空比范圍[0,1]劃分為2ⁿ個(gè)份，生成脈沖寬度標(biāo)識(shí)值X，其中，i＝0,1,2,……,2ⁿ；n≥1；

比例閥開(kāi)啟度確定單元，用于當(dāng)所述PWM脈沖的占空比以1/2ⁿ的整數(shù)倍為間隔由0增加到1時(shí)，根據(jù)氣體流量傳感器記錄的氣體流量確定所述比例閥的最大開(kāi)啟度K；

開(kāi)啟度劃分單元，用于將所述比例閥的所述最大開(kāi)啟度K劃分為2ⁿ份，生成比例閥開(kāi)啟度標(biāo)識(shí)值Y，

響應(yīng)曲線生成單元，用于將所述脈沖寬度標(biāo)識(shí)值X和所述比例閥開(kāi)啟度標(biāo)識(shí)值Y一一對(duì)應(yīng)，生成脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線。

可選的，所述氣體流量控制系統(tǒng)還包括自動(dòng)零點(diǎn)校準(zhǔn)單元，其中，所述氣體流量傳感器還用于在所述比例閥關(guān)閉且氣路通道內(nèi)部氣體穩(wěn)定時(shí)，獲取氣體流量的原始流量信號(hào)；還用于在所述PWM脈沖的占空比由0變化到1時(shí)，記錄氣體流量；

所述自動(dòng)零點(diǎn)校準(zhǔn)單元用于根據(jù)所述氣體流量的原始流量信號(hào)與所述氣體流量傳感器記錄的所述氣體流量確定校正的預(yù)處理氣體流量信號(hào)，并發(fā)送至所述比例閥數(shù)字預(yù)處理單元；還用于根據(jù)所述氣體流量的原始流量信號(hào)與所述當(dāng)前氣體流量信號(hào)確定校正后的當(dāng)前氣體流量信號(hào)，并發(fā)送至所述比例閥開(kāi)啟度控制單元。

可選的，所述氣體流量控制系統(tǒng)還包括數(shù)字濾波單元，用于對(duì)所述當(dāng)前氣體流量信號(hào)進(jìn)行數(shù)字濾波。

可選的，所述PWM脈沖生成單元產(chǎn)生的所述PWM脈沖為16位PWM脈沖。

可選的，所述比例閥開(kāi)啟度控制單元為PID控制器。

根據(jù)本發(fā)明提供的具體實(shí)施例，本發(fā)明公開(kāi)了以下技術(shù)效果：

本發(fā)明高精度的氣體流量控制系統(tǒng)通過(guò)設(shè)置比例閥數(shù)字預(yù)處理單元對(duì)比例閥的響應(yīng)曲線進(jìn)行數(shù)字化線性預(yù)處理，優(yōu)化了比例閥在低量程的響應(yīng)特性，加快了氣體流量控制的速度；比例閥數(shù)字預(yù)處理單元將比例閥開(kāi)口向上的拋物線響應(yīng)曲線進(jìn)行線性處理，使比例閥的響應(yīng)滿足線性關(guān)系，提高了氣體流量控制系統(tǒng)的控制精度。

本發(fā)明的目的還在于提供一種高精度氣體流量控制方法，可精確的控制氣體流量。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了如下方案：

一種高精度的氣體流量控制方法，所述氣體流量控制方法包括：

根據(jù)比例閥控制端的PWM脈沖的位數(shù)及比例閥的最大開(kāi)啟度，生成脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線并存儲(chǔ)；

根據(jù)所述氣體流量傳感器采集的當(dāng)前氣體流量信號(hào)及設(shè)定氣體流量確定所述比例閥的期望開(kāi)啟度；

調(diào)取所述脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線，并根據(jù)所述期望開(kāi)啟度及所述脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線，確定所述期望開(kāi)啟度對(duì)應(yīng)的期望脈沖寬度值；

根據(jù)所述期望脈沖寬度值生成對(duì)應(yīng)所述期望脈沖寬度值的PWM脈沖；

將所述對(duì)應(yīng)所述期望脈沖寬度值的PWM脈沖輸出給所述比例閥的控制端。

可選的，所述生成脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線的方法包括：

根據(jù)所述PWM脈沖的位數(shù)n將所述PWM脈沖的占空比范圍[0,1]劃分為2ⁿ個(gè)份，生成脈沖寬度標(biāo)識(shí)值X，其中，i＝0,1,2,……,2ⁿ；n≥1；

將所述PWM脈沖的占空比以1/2ⁿ的整數(shù)倍為間隔由0增加到1，根據(jù)氣體流量傳感器記錄的氣體流量確定所述比例閥的最大開(kāi)啟度K；

將所述比例閥的所述最大開(kāi)啟度K劃分為2ⁿ份，生成比例閥開(kāi)啟度標(biāo)識(shí)值Y，

將所述脈沖寬度標(biāo)識(shí)值X和所述比例閥開(kāi)啟度標(biāo)識(shí)值Y一一對(duì)應(yīng)，生成脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線。

可選的，所述生成脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線之前還包括：

在所述比例閥關(guān)閉且氣路通道內(nèi)部氣體穩(wěn)定時(shí)，獲取氣體流量的原始流量信號(hào)；

在所述PWM脈沖的占空比由0變化到1時(shí)，獲取通過(guò)所述氣體流量傳感器記錄的氣體流量；

根據(jù)所述氣體流量的原始流量信號(hào)與所述氣體流量傳感器記錄的氣體流量確定校正的預(yù)處理氣體流量信號(hào)；

所述生成脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線，具體包括：

根據(jù)所述校正的預(yù)處理氣體流量信號(hào)生成所述脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線。

可選的，所述確定所述比例閥的期望開(kāi)啟度之前還包括：

在所述比例閥關(guān)閉且氣路通道內(nèi)部氣體穩(wěn)定時(shí)，獲取氣體流量的原始流量信號(hào)；

在所述PWM脈沖的占空比由0變化到1時(shí)，獲取通過(guò)所述氣體流量傳感器記錄的氣體流量；

根據(jù)所述原始流量信號(hào)與所述當(dāng)前氣體流量信號(hào)確定校正后的當(dāng)前氣體流量信號(hào)；

所述確定所述比例閥的期望開(kāi)啟度，具體包括：

根據(jù)所述校正后的當(dāng)前氣體流量信號(hào)及設(shè)定氣體流量確定所述比例閥的期望開(kāi)啟度。

根據(jù)本發(fā)明提供的具體實(shí)施例，本發(fā)明公開(kāi)了以下技術(shù)效果：

本發(fā)明高精度的氣體流量控制方法通過(guò)對(duì)比例閥的響應(yīng)曲線進(jìn)行數(shù)字化線性預(yù)處理，優(yōu)化了比例閥在低量程的響應(yīng)特性，加快了氣體流量控制的速度；通過(guò)將比例閥開(kāi)口向上的拋物線響應(yīng)曲線進(jìn)行線性處理，比例閥的響應(yīng)滿足線性關(guān)系，提高了該控制方法的控制精度。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例1高精度的氣體流量控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)框圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例1中比例閥數(shù)字預(yù)處理單元的結(jié)構(gòu)框圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例2控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖；

圖4為本發(fā)明實(shí)施例2的控制系統(tǒng)與上位機(jī)的通訊接口示意圖；

圖5為本發(fā)明高精度的氣體流量控制方法的流程圖；

圖6為本發(fā)明生成脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線的流程圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

本發(fā)明的目的是提供一種高精度的氣體流量控制系統(tǒng)及方法，通過(guò)比例閥數(shù)字預(yù)處理單元對(duì)比例閥的響應(yīng)曲線進(jìn)行數(shù)字化線性預(yù)處理，優(yōu)化了比例閥在低量程的響應(yīng)特性，加快了氣體流量控制的速度；通過(guò)將比例閥開(kāi)口向上的拋物線響應(yīng)曲線進(jìn)行線性處理，比例閥的響應(yīng)滿足線性關(guān)系，提高了氣體流量控制系統(tǒng)的控制精度。

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。

實(shí)施例1：如圖1所示，本發(fā)明高精度氣體流量控制系統(tǒng)包括：零點(diǎn)校準(zhǔn)單元101、開(kāi)啟度控制單元102，比例閥數(shù)字預(yù)處理單元103、脈沖寬度調(diào)取單元104，PWM脈沖生成單元105。

氣體流量傳感器100首先在所述比例閥106關(guān)閉且所述氣路通道內(nèi)部氣體穩(wěn)定時(shí)，獲取氣體流量的原始流量信號(hào)。當(dāng)所述PWM脈沖的占空比以1/2ⁿ的整數(shù)倍為間隔由0增加到1時(shí)，氣體流量傳感器100記錄氣路通道中的氣體流量，自動(dòng)零點(diǎn)校準(zhǔn)單元101根據(jù)原始流量信號(hào)與氣體流量傳感器100記錄的氣路通道中的氣體流量確定校正的預(yù)處理氣體流量信號(hào)，并發(fā)送至所述比例閥數(shù)字預(yù)處理單元103。本發(fā)明通過(guò)自動(dòng)零點(diǎn)校準(zhǔn)技術(shù)，消除了氣體流量傳感器漂移造成的誤差。

比例閥數(shù)字預(yù)處理單元103根據(jù)所述PWM脈沖生成單元105產(chǎn)生的PWM脈沖的位數(shù)及所述校正的預(yù)處理氣體流量信號(hào)，生成脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線并存儲(chǔ)。通過(guò)對(duì)比例閥的響應(yīng)曲線進(jìn)行數(shù)字化線性預(yù)處理，可以優(yōu)化比例閥在低量程的響應(yīng)特性，加快了控制系統(tǒng)的響應(yīng)速度。且經(jīng)過(guò)線性預(yù)處理，比例閥的響應(yīng)曲線由開(kāi)口向上的拋物線優(yōu)化為滿足線性關(guān)系的響應(yīng)曲線，從而提高了氣體流量控制系統(tǒng)的控制精度。

氣體流量傳感器100實(shí)時(shí)采集所述氣路通道中的當(dāng)前氣體流量信號(hào)，自動(dòng)零點(diǎn)校準(zhǔn)單元101根據(jù)所述氣體流量的原始流量信號(hào)與所述當(dāng)前氣體流量信號(hào)確定校正的當(dāng)前氣體流量信號(hào)，開(kāi)啟度控制單元102根據(jù)所述校正的當(dāng)前氣體流量信號(hào)及設(shè)定的氣體流量生成比例閥106的期望開(kāi)啟度。本發(fā)明通過(guò)自動(dòng)零點(diǎn)校準(zhǔn)技術(shù)，消除了氣體流量傳感器漂移造成的誤差?？蛇x地，開(kāi)啟度控制單元102為PID控制器，通過(guò)數(shù)字PID算法實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制。

脈沖寬度調(diào)取單元104從比例閥數(shù)字預(yù)處理單元103中調(diào)取預(yù)先存儲(chǔ)的脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線，并根據(jù)比例閥106的期望開(kāi)啟度及脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線，確定期望開(kāi)啟度對(duì)應(yīng)的期望脈沖寬度值。

PWM脈沖生成單元105根據(jù)期望脈沖寬度值生成對(duì)應(yīng)期望脈沖寬度值的PWM脈沖?？蛇x地，PWM脈沖生成單元105產(chǎn)生的PWM脈沖為16位PWM脈沖，通過(guò)16位PWM脈沖波控制比例閥106，減少輸出控制電路復(fù)雜度；同時(shí)，根據(jù)16位PWM脈沖可以將比例閥的開(kāi)啟程度細(xì)分為65535個(gè)單位，這是實(shí)現(xiàn)精確控制流量的基礎(chǔ)。

比例閥106的控制端與PWM脈沖生成單元105的輸出端電連接，根據(jù)PWM脈沖調(diào)節(jié)比例閥106的開(kāi)啟度，以控制氣體流量。本發(fā)明采用脈寬調(diào)制技術(shù)，即PWM技術(shù)控制比例閥，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)比例閥的快速和高精度控制。

可選地，高精度的氣體流量控制系統(tǒng)還包括數(shù)字濾波單元，用于對(duì)氣體流量傳感器100采集的原始流量信號(hào)、預(yù)先氣體流量信號(hào)及當(dāng)前氣體流量信號(hào)進(jìn)行數(shù)字濾波，通過(guò)數(shù)字濾波提高流量信號(hào)的信噪比，并通過(guò)過(guò)采樣技術(shù)，提高信號(hào)精度。

可選地，高精度的氣體流量控制系統(tǒng)還包括恒壓閥，恒壓閥與控制系統(tǒng)的氣路通道連通，用于保持恒定壓力，使氣體通過(guò)所述恒壓閥以恒定壓力流入所述氣路通道中。例如，可將純氮?dú)鈿庠赐ㄟ^(guò)恒壓閥，接到控制器氣路輸入端。設(shè)定恒壓閥，使氣源輸出壓力在控制系統(tǒng)的正常工作范圍之內(nèi)，并在預(yù)處理過(guò)程中保持氣源供給壓力穩(wěn)定。

具體地，如圖2所示，比例閥數(shù)字預(yù)處理單元103包括：脈沖寬度劃分單元200，比例閥開(kāi)啟度確定單元201，開(kāi)啟度劃分單元202，響應(yīng)曲線生成單元203。

脈沖寬度劃分單元200根據(jù)所述PWM脈沖的位數(shù)n將PWM脈沖的占空比范圍[0,1]劃分為2ⁿ個(gè)份，生成脈沖寬度標(biāo)識(shí)值X，其中，i＝0,1,2,……,2ⁿ；n≥1；

當(dāng)所述PWM脈沖的占空比以1/2ⁿ的整數(shù)倍為間隔由0增加到1時(shí)，比例閥開(kāi)啟度確定單元201根據(jù)氣體流量傳感器記錄的氣體流量確定所述比例閥的最大開(kāi)啟度K；

開(kāi)啟度劃分單元202將比例閥106的最大開(kāi)啟度K劃分為2ⁿ份，生成比例閥開(kāi)啟度標(biāo)識(shí)值Y，

響應(yīng)曲線生成單元203將脈沖寬度標(biāo)識(shí)值X和比例閥開(kāi)啟度標(biāo)識(shí)值Y一一對(duì)應(yīng)，生成脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線。

實(shí)施例2：如圖3所示為高精度的氣體流量控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖，控制系統(tǒng)包括CPU控制模塊303，CPU控制模塊303包括比例閥數(shù)字預(yù)處理單元、比例閥開(kāi)啟度控制單元、脈沖寬度調(diào)取單元和PWM脈沖生成單元。

CPU控制模塊303和數(shù)字式氣流傳感器304、比例閥305位于底座上，氣源氣體通過(guò)不銹鋼兩通接頭302進(jìn)入控制系統(tǒng)的氣路通道，然后通過(guò)數(shù)字式氣流傳感器304的進(jìn)氣口進(jìn)入數(shù)字式氣流傳感器304，數(shù)字式氣流傳感器304采集氣路通道中的氣體流量后，通過(guò)數(shù)字式氣流傳感器304的出氣口流入比例閥305，比例閥305的控制端與CPU控制模塊303的輸出端電連接，根據(jù)CPU控制模塊303中的的PWM脈沖生成單元產(chǎn)生的PWM脈沖調(diào)節(jié)比例閥305的開(kāi)啟度，以控制氣體流量，通過(guò)A型流量計(jì)閥體301可以顯示當(dāng)前的氣體流量。

本發(fā)明通過(guò)采用數(shù)字式氣體流量傳感器讀取氣體流量信號(hào)，減少信號(hào)采集部分的模擬電路，在提高電路可靠性的同時(shí)，減少了電路的復(fù)雜度；通過(guò)對(duì)氣路通道進(jìn)行設(shè)計(jì)，減小氣體在控制器內(nèi)的流通路徑，從而減少控制器對(duì)氣體的阻力和干擾。

如圖4所示，通過(guò)數(shù)字通訊接口401如RS485，上位機(jī)402與CPU控制模塊303可以實(shí)時(shí)通訊，上位機(jī)402可以對(duì)控制系統(tǒng)的參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)整，其中數(shù)字通訊接口401可設(shè)置在CPU控制模塊303上。

本申請(qǐng)的軟件設(shè)計(jì)采用嵌入式實(shí)時(shí)操作系統(tǒng)(RTOS)，在滿足大運(yùn)算量的同時(shí)，能夠保障各種控制任務(wù)的實(shí)時(shí)性要求。將周期性的計(jì)算任務(wù)和各種控制任務(wù)通過(guò)操作系統(tǒng)的調(diào)度，可以實(shí)現(xiàn)各個(gè)任務(wù)的并行運(yùn)行。

本發(fā)明的控制系統(tǒng)自帶顯示器，在控制器外殼上安裝小型(0.96寸)OLED顯示屏。由于OLED屏具有功耗低、集成度高、可運(yùn)行的溫度范圍廣等特點(diǎn)，因此可以和控制系統(tǒng)完美結(jié)合?？刂葡到y(tǒng)的應(yīng)用現(xiàn)場(chǎng)能夠?qū)崟r(shí)看到當(dāng)前流量值、設(shè)定流量值以及其他參數(shù)。OLED體積小，且具有很好的柔性，便于安裝在小型控制器上。

本發(fā)明還提供一種高精度的氣體流量控制方法。如圖5所示，本發(fā)明高精度的氣體流量控制方法包括：

步驟501：獲取比例閥控制端的PWM脈沖的位數(shù)；

步驟502：獲取比例閥的最大開(kāi)啟度；

步驟503：根據(jù)PWM脈沖的位數(shù)與比例閥的最大開(kāi)啟度生成脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線并存儲(chǔ)；

步驟504：獲取氣體流量的原始流量信號(hào)；

步驟505：獲取氣路通道中的當(dāng)前氣體流量信號(hào)；

步驟506：根據(jù)所述氣體流量的原始流量信號(hào)與所述當(dāng)前氣體流量信號(hào)確定校正的當(dāng)前氣體流量信號(hào)；

步驟507：根據(jù)所述校正的當(dāng)前氣體流量信號(hào)及設(shè)定的氣體流量生成比例閥的期望開(kāi)啟度；

步驟508：調(diào)取預(yù)先存儲(chǔ)的脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線，并根據(jù)所述期望開(kāi)啟度及脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線，確定期望開(kāi)啟度對(duì)應(yīng)的期望脈沖寬度值；

步驟509：根據(jù)期望脈沖寬度值生成對(duì)應(yīng)期望脈沖寬度值的PWM脈沖；

步驟510：將所述對(duì)應(yīng)期望脈沖寬度值的PWM脈沖輸出給比例閥的控制端。

具體地，如圖6所示，步驟503的生成脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線包括：

步驟601：根據(jù)所述PWM脈沖的位數(shù)n將所述PWM脈沖的占空比范圍[0,1]劃分為2ⁿ個(gè)份，生成脈沖寬度標(biāo)識(shí)值X，其中，i＝0,1,2,……,2ⁿ；n≥1；

步驟602：將所述PWM脈沖的占空比以1/2ⁿ的整數(shù)倍為間隔由0增加到1，根據(jù)氣體流量傳感器記錄的氣體流量確定所述比例閥的最大開(kāi)啟度K；

步驟603：將所述比例閥的所述最大開(kāi)啟度K劃分為2ⁿ份，生成比例閥開(kāi)啟度標(biāo)識(shí)值Y，

步驟604：將所述脈沖寬度標(biāo)識(shí)值X和所述比例閥開(kāi)啟度標(biāo)識(shí)值Y一一對(duì)應(yīng)，生成脈沖寬度-比例閥開(kāi)啟度響應(yīng)曲線。

本發(fā)明通過(guò)自動(dòng)零點(diǎn)校準(zhǔn)技術(shù)，在每次上電時(shí)或上位機(jī)發(fā)出響應(yīng)指令時(shí)，控制系統(tǒng)將比例閥關(guān)閉，等待一段時(shí)間(如3秒)，控制系統(tǒng)的氣路通道內(nèi)部氣體穩(wěn)定后，讀取傳感器的原始值，并以此原始值為零流量值。

本說(shuō)明書(shū)中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見(jiàn)即可。對(duì)于實(shí)施例公開(kāi)的方法而言，由于其與實(shí)施例公開(kāi)的系統(tǒng)相對(duì)應(yīng)，所以描述的比較簡(jiǎn)單，相關(guān)之處參見(jiàn)系統(tǒng)部分說(shuō)明即可。

本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本發(fā)明的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想；同時(shí)，對(duì)于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本發(fā)明的思想，在具體實(shí)施方式及應(yīng)用范圍上均會(huì)有改變之處。綜上所述，本說(shuō)明書(shū)內(nèi)容不應(yīng)理解為對(duì)本發(fā)明的限制。