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一種晶圓測試用amp板卡的制作方法

文檔序號:10317879閱讀:719來源:國知局
一種晶圓測試用amp板卡的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及晶圓測試技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種晶圓測試用AMP板卡。
【背景技術(shù)】
[0002]晶圓是半導(dǎo)體芯片制造的載體,呈圓形,有4寸、6寸、8寸、12寸等尺寸,每片晶圓上有一定數(shù)量的芯片,每顆芯片可以在后續(xù)加工中做成封裝芯片使用。晶圓測試顧名思義就是在芯片還在晶圓上時(shí)的早期測試,主要為了監(jiān)督晶圓制造廠的良率,有了晶圓測試就可以篩選出早期失效的芯片,避免后期進(jìn)入封裝階段后不必要的成本損失。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中,晶圓測試用AMP板卡通常通過電容充放電方式來燒斷熔絲,主要原理是在探針卡端連接一個電容,且此電容與所有需要燒斷的熔絲分別通過繼電器相連,如果某個熔絲需要燒斷,則AMP板卡通過程序選擇與該熔絲對應(yīng)的繼電器導(dǎo)通,這樣事先充電的電容就放電了,在放電過程中通過電流燒斷該熔絲,達(dá)到熔斷的目的。但是上述現(xiàn)有技術(shù)中,一個電容需要與所有的繼電器連接,每次只能燒斷一個熔絲,從而降低測試效率。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]有鑒于此,本實(shí)用新型提供一種晶圓測試用AMP板卡,其電路結(jié)構(gòu)簡單,設(shè)計(jì)合理,使用效果好,提高了測試效率,且能夠保護(hù)探針控制單元。
[0005]本實(shí)用新型通過以下技術(shù)手段解決上述問題:
[0006]本實(shí)用新型的一種晶圓測試用AMP板卡,所述晶圓包括若干個第一熔絲,所述晶圓測試用AMP板卡包括:電源單元、主控芯片、若干個供電切換單元、以及與若干個供電切換單元--對應(yīng)連接的若干個探針控制單元;所述主控芯片分別與所述電源單元、每個所述供電切換單元和每個所述探針控制單元連接,所述電源單元還與每個所述供電切換單元連接,所述探針控制單元包括第一繼電器和第二熔絲,所述第一繼電器通過所述第二熔絲與所述供電切換單元連接,所述第一繼電器還與對應(yīng)的探針連接,所述探針與對應(yīng)的所述第一恪絲連接。
[0007]進(jìn)一步,所述供電切換單元包括第二繼電器。
[0008]進(jìn)一步,所述第一繼電器包括型號為TQ2-5V的繼電器芯片Ul,所述繼電器芯片Ul的第3引腳與所述主控芯片的第3引腳連接,所述繼電器芯片Ul的第10引腳與所述主控芯片的第74引腳連接。
[0009]進(jìn)一步,所述第二繼電器包括型號為TQ2-5V的繼電器芯片U2,所述繼電器芯片U2的第10引腳與所述主控芯片的第I引腳連接,所述繼電器芯片U2的第3引腳和第8引腳均與所述電源單元的輸出端連接,所述繼電器芯片U2的第4引腳通過所述第二熔絲與所述繼電器芯片Ul的第2引腳連接。
[0010]本實(shí)用新型的一種晶圓測試用AMP板卡具有以下有益效果:
[0011]1.本實(shí)用新型的晶圓測試用AMP板卡的電路結(jié)構(gòu)簡單,設(shè)計(jì)合理且使用效果好;
[0012]2.本實(shí)用新型的晶圓測試用AMP板卡中的主控芯片能夠根據(jù)預(yù)設(shè)規(guī)則控制供電切換單元的導(dǎo)通與關(guān)斷,進(jìn)而控制探針控制單元中的第一繼電器的導(dǎo)通與關(guān)斷,當(dāng)與第一熔絲對應(yīng)的第一繼電器導(dǎo)通時(shí),則與第一熔絲連接的探針供電,實(shí)現(xiàn)對第一熔絲的熔斷,由于主控芯片能夠同時(shí)控制多個供電切換單元和多個探針控制單元工作,則可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)多個第一熔絲的熔斷,提高了測試效率。
[0013]3.本實(shí)用新型的晶圓測試用AMP板卡中的探針控制單元包括第二熔絲,當(dāng)電源單元過流至一定值時(shí),第二恪絲自動斷開,從而能夠保護(hù)探針控制單元。
[0014]綜上所述,本實(shí)用新型的晶圓測試用AMP板卡的電路結(jié)構(gòu)簡單,設(shè)計(jì)合理,使用效果好,提高了測試效率,且能夠保護(hù)探針控制單元。
【附圖說明】
[0015]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述。
[0016]圖1為本實(shí)用新型的一種晶圓測試用AMP板卡的電路原理框圖;
[0017]圖2為本實(shí)用新型的一種晶圓測試用AMP板卡的具體電路連接圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]以下將結(jié)合附圖對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明,如圖1所示:所述晶圓包括若干個第一熔絲101,所述晶圓測試用AMP板卡包括:電源單元102、主控芯片103、若干個供電切換單元104、以及與若干個供電切換單元104--對應(yīng)連接的若干個探針控制單元105。
[0019]所述主控芯片103分別與所述電源單元102、每個所述供電切換單元104和每個所述探針控制單元105連接,所述電源單元102還與每個所述供電切換單元104連接,所述探針控制單元105包括第一繼電器1051和第二熔絲1052,所述第一繼電器1051通過所述第二熔絲1052與所述供電切換單元104連接,所述第一繼電器1051還與對應(yīng)的探針106連接,所述探針106與對應(yīng)的所述第一熔絲1I連接。
[0020]本實(shí)施例中,所述供電切換單元104包括第二繼電器。
[0021]實(shí)際使用時(shí),所述第一繼電器1051包括型號為TQ2-5V的繼電器芯片Ul,所述繼電器芯片Ul的第3引腳與所述主控芯片103的第3引腳連接,所述繼電器芯片Ul的第10引腳與所述主控芯片103的第74引腳連接。
[0022]其中,繼電器芯片Ul的第I引腳為電源端,與供電電源連接,用于給繼電器供電,使其正常工作;繼電器芯片Ul的第2引腳為燒壓端,負(fù)責(zé)提供燒斷第一熔絲101的穩(wěn)定的5V電壓;繼電器芯片Ul的第3引腳為接口端,用于接收主控芯片103發(fā)送的需要燒斷的第一熔絲101的信號;繼電器芯片Ul的第10引腳為控制端,用于接收主控芯片103發(fā)送的第一繼電器導(dǎo)通信號或第一繼電器關(guān)斷信號,當(dāng)接收到第一繼電器導(dǎo)通信號時(shí),繼電器芯片Ul的第3引腳與第2引腳導(dǎo)通,則將穩(wěn)定的5V電壓提供給探針106,使得探針106燒斷與其連接的第一熔絲 1lo
[0023]實(shí)際使用時(shí),所述第二繼電器包括型號為TQ2-5V的繼電器芯片U2,所述繼電器芯片U2的第10引腳與所述主控芯片103的第I引腳連接,所述繼電器芯片U2的第3引腳和第8引腳均與所述電源單元102的輸出端連接,所述繼電器芯片U2的第4引腳通過所述第二熔絲1052與所述繼電器芯片Ul的第2引腳連接。
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