一種霍爾測(cè)試儀的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于霍爾測(cè)試領(lǐng)域，尤其涉及一種霍爾測(cè)試儀。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有測(cè)試半導(dǎo)體外延片的霍爾測(cè)試儀，大多采用大型穩(wěn)壓電源用來提供穩(wěn)定的磁場，這類測(cè)試儀對(duì)磁場電源要求極高，否則會(huì)造成磁場不穩(wěn)定從而導(dǎo)致測(cè)試誤差，而高質(zhì)量的電磁場電源需大量穩(wěn)壓、濾波及補(bǔ)償電路，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，價(jià)格昂貴，體積笨重。
[0003]而且現(xiàn)有技術(shù)需通過焊錫連結(jié)半導(dǎo)體樣品與金屬電極，高溫錫焊過程可能會(huì)損害樣品，而且錫可能導(dǎo)致半導(dǎo)體樣品與金屬間的接觸類型為肖特基接觸，造成不可消除的測(cè)試誤差，此外錫焊電極不能穩(wěn)定附著在樣品上，測(cè)試過程中容易出現(xiàn)掉電極現(xiàn)象。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型為上述技術(shù)問題之一，提供一種霍爾測(cè)試儀，該霍爾測(cè)試儀無需大型電源提供磁場，極大縮小了裝置的體積，測(cè)試方便。
[0005]本實(shí)用新型提供一種霍爾測(cè)試儀，包括:殼體，所述殼體包括上殼體和下殼體，上殼體和下殼體之間形成有檢測(cè)腔，所述上殼體嵌設(shè)有第一永磁鐵，所述下殼體嵌設(shè)有與第一永磁鐵相對(duì)的第二永磁鐵，所述第一永磁鐵和第二永磁鐵極性相反且在所述檢測(cè)腔內(nèi)形成有磁場；支架，所述支架設(shè)置在檢測(cè)腔中，支架上固定有測(cè)試件。
[0006]進(jìn)一步地，所述下殼體的兩端設(shè)有支撐上殼體的支撐件，所述上殼體、下殼體和支撐件包圍形成側(cè)面具有開口的檢測(cè)腔。
[0007]進(jìn)一步地，所述支撐件設(shè)有卡合所述支架的缺口。
[0008]進(jìn)一步地，所述支架包括:平板，所述平板上設(shè)有容納測(cè)試件的凹槽，所述凹槽內(nèi)設(shè)有電極；用于固定測(cè)試件的固定部，所述固定部設(shè)置在平板上。
[0009]進(jìn)一步地，所述固定部包括:旋轉(zhuǎn)件，所述旋轉(zhuǎn)件為長條狀，旋轉(zhuǎn)件的一端通過螺釘固定在平板上使得旋轉(zhuǎn)件可繞螺釘轉(zhuǎn)動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)件的另一端設(shè)有壓緊測(cè)試件的壓片部。
[0010]進(jìn)一步地，所述旋轉(zhuǎn)件的一端設(shè)有通孔，通孔中設(shè)有彈簧，所述螺釘穿過通孔中的彈簧將旋轉(zhuǎn)件固定在平板上。
[0011 ] 進(jìn)一步地，所述平板的背面設(shè)有與電極相連接的導(dǎo)線。
[0012]進(jìn)一步地，所述測(cè)試件為半導(dǎo)體外延片。
[0013]進(jìn)一步地，所述半導(dǎo)體外延片上設(shè)有銦球，所述銦球與所述電極接觸。
[0014]本實(shí)用新型提供的霍爾測(cè)試儀，通過在殼體上設(shè)置相對(duì)的永磁鐵形成穩(wěn)定的磁場，無需大型電源提供磁場，極大縮小了裝置的體積，測(cè)試方便。
【附圖說明】
[0015]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的霍爾測(cè)試儀的殼體的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的霍爾測(cè)試儀的支架的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的霍爾測(cè)試儀的支架的正面示意圖；
[0018]圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的霍爾測(cè)試儀的支架的背面示意圖；
[0019]圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的霍爾測(cè)試儀的固定部的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面詳細(xì)描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，旨在用于解釋本實(shí)用新型，而不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
[0021]在本實(shí)用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”、“順時(shí)針”、“逆時(shí)針”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
[0022]在本實(shí)用新型中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通或兩個(gè)元件的相互作用關(guān)系。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義。
[0023]在本實(shí)用新型中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接觸，也可以包括第一和第二特征不是直接接觸而是通過它們之間的另外的特征接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0024]如圖1-圖5所示，本實(shí)用新型提供一種霍爾測(cè)試儀，包括殼體10和支架20，所述殼體10包括上殼體11和下殼體12，上殼體11和下殼體12之間形成檢測(cè)腔14，所述上殼體11嵌設(shè)有第一永磁鐵110，所述下殼體12嵌設(shè)有與第一永磁鐵110相對(duì)的第二永磁鐵120，所述第一永磁鐵110和第二永磁鐵120極性相反；支架上固定有測(cè)試件30，將支架設(shè)置在檢測(cè)腔中進(jìn)行霍爾測(cè)試。
[0025]本實(shí)用新型提供的霍爾測(cè)試儀，通過在殼體上設(shè)置相對(duì)的永磁鐵形成穩(wěn)定的磁場，無需大型電源提供磁場，極大縮小了裝置的體積，測(cè)試方便。
[0026]在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，上殼體11和下殼體12均為水平的面板，在下殼體12的兩端設(shè)有支撐上殼體11的支撐件13，所述上殼體11、下殼體12和支撐件13包圍形成側(cè)面具有開口的檢測(cè)腔14。也即是說，上殼體11、下殼體12和位于下殼體12兩端的支撐件構(gòu)成一個(gè)長方體，該長方體的兩側(cè)具有開口，支架20可從開口處插入長方體內(nèi)進(jìn)行霍爾測(cè)試。優(yōu)選地，所述支撐件13設(shè)有卡合支架20的缺口 130，該缺口 130和支架20的邊緣卡接，防止支架20在檢測(cè)腔14中移動(dòng)。
[0027]如圖3所示，所述支架20包括平板21和用于固定測(cè)試件30的固定部22，所述固定部22設(shè)置在平板21上，所述平板21上設(shè)有容納測(cè)試件30的凹槽210，所述