基板水分檢測(cè)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種在顯示器制造過(guò)程中用于對(duì)基板的吹干效果進(jìn)行檢測(cè)的基板水分檢測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管顯示器)陣列基板在制造工藝中，玻璃基板在進(jìn)行濕法刻蝕(Wet Etch)之后，要進(jìn)入干法刻蝕(Dry Etch)設(shè)備內(nèi)進(jìn)行灰化刻蝕(Ashing Etch)、有源層刻蝕(Active Etch)。玻璃基板在濕法刻蝕工藝段清洗后，會(huì)經(jīng)過(guò)氣刀(Air Knife)吹干再進(jìn)入干法刻蝕設(shè)備內(nèi)。如果吹干效果不好，玻璃基板背面將帶有水漬進(jìn)入干法刻蝕設(shè)備，這將引起玻璃基板在PC內(nèi)損壞。若玻璃基板在PC內(nèi)發(fā)生損壞后，干法刻蝕設(shè)備需要降溫、通風(fēng)(Vent For Atmosphere)、開(kāi)腔、取走基板、清潔、重啟等過(guò)程，會(huì)嚴(yán)重影響產(chǎn)能，給企業(yè)帶來(lái)極大損失。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的就在于提供一種基板水分檢測(cè)裝置，能夠?qū)穹涛g之后的基板在吹干之后，進(jìn)入干法刻蝕設(shè)備之前，進(jìn)行水分檢測(cè)，有效防止帶有水漬基板進(jìn)入干法刻蝕設(shè)備，而提高干法刻蝕設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性，提高設(shè)備壽命。
[0004]本實(shí)用新型所提供的技術(shù)方案如下:
[0005]一種基板水分檢測(cè)裝置，包括:
[0006]用于與基板表面接觸，并傳送基板的滾輪；
[0007]用于獲取滾輪外周面上水分信息的水分檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述水分檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括至少一個(gè)水分檢測(cè)儀，所述水分檢測(cè)儀具有第一狀態(tài)和第二狀態(tài)；
[0008]用于對(duì)所述水分檢測(cè)儀進(jìn)行干燥處理的干燥機(jī)構(gòu)；
[0009]用于控制所述水分檢測(cè)儀在所述第一狀態(tài)和所述第二狀態(tài)之間切換的切換機(jī)構(gòu)；
[0010]其中在所述第一狀態(tài)，所述水分檢測(cè)儀移動(dòng)至與所述滾輪的外周面相接觸的第一位置，以獲取滾輪外周面上水分信息；在所述第二狀態(tài)，所述水分檢測(cè)儀移動(dòng)至位于所述干燥機(jī)構(gòu)內(nèi)的第二位置，以進(jìn)行干燥處理。
[0011]進(jìn)一步的，所述水分檢測(cè)儀包括:
[0012]用于與滾輪外周面相接觸的電阻器件，所述電阻器件能夠根據(jù)從滾輪所吸收的水量不同，而電阻值發(fā)生變化；
[0013]以及，用于檢測(cè)所述電阻器件的電阻值的電阻檢測(cè)部件。
[0014]進(jìn)一步的，所述干燥機(jī)構(gòu)包括:
[0015]干燥室，所述干燥室上設(shè)有用于供所述水分檢測(cè)儀進(jìn)入的活動(dòng)門(mén)；
[0016]以及，用于對(duì)所述干燥室進(jìn)行抽真空處理的真空栗，所述真空栗與所述干燥室連接。
[0017]進(jìn)一步的，所述干燥機(jī)構(gòu)還包括:用于向所述干燥室內(nèi)吹送氣流的吹風(fēng)噴頭，所述吹風(fēng)噴頭設(shè)置于所述干燥室內(nèi)。
[0018]進(jìn)一步的，所述吹風(fēng)噴頭有多個(gè)，且多個(gè)所述吹風(fēng)噴頭分布于所述干燥室內(nèi)的不同位置，以使多個(gè)所述吹風(fēng)噴頭能夠分別從不同預(yù)定方向吹送氣流。
[0019]進(jìn)一步的，所述干燥機(jī)構(gòu)還包括:用于改變所述吹風(fēng)噴頭的吹風(fēng)角度的角度調(diào)整結(jié)構(gòu)，所述吹風(fēng)噴頭通過(guò)所述角度調(diào)整結(jié)構(gòu)活動(dòng)連接在所述干燥室內(nèi)。
[0020]進(jìn)一步的，所述滾輪設(shè)置于所述干燥機(jī)構(gòu)的上方，并與所述干燥機(jī)構(gòu)之間留有預(yù)定距離；所述切換機(jī)構(gòu)包括:
[0021]設(shè)置于所述滾輪與所述干燥機(jī)構(gòu)之間的第一旋轉(zhuǎn)軸；
[0022]以及，套設(shè)在所述第一旋轉(zhuǎn)軸上的連接部，所述連接部包括用于安裝所述水分檢測(cè)儀的第一端，所述連接部能夠在所述第一旋轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，以使所述第一端在所述第一位置和所述第二位置之間切換。
[0023]進(jìn)一步的，所述連接部還包括與所述第一端相對(duì)的第二端，且所述連接部能夠在所述第一旋轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，以使所述第一端和所述第二端在所述第一位置和所述第二位置之間相互交換位置；
[0024]所述水分檢測(cè)機(jī)構(gòu)中包括兩個(gè)所述水分檢測(cè)儀，且兩個(gè)水分檢測(cè)儀分別安裝在所述連接部的第一端和第二端，以使得當(dāng)兩個(gè)水分檢測(cè)儀中一個(gè)水分檢測(cè)儀處于第一狀態(tài)時(shí)，另一個(gè)水分檢測(cè)儀處于第二狀態(tài)。
[0025]進(jìn)一步的，所述基板水分檢測(cè)裝置還包括:
[0026]用于將所述水分檢測(cè)儀的水分信息與預(yù)設(shè)值進(jìn)行比較，并根據(jù)比較結(jié)果控制所述切換機(jī)構(gòu)的工作狀態(tài)的控制機(jī)構(gòu)。
[0027]進(jìn)一步的，所述基板水分檢測(cè)裝置包括:多個(gè)所述滾輪，其中多個(gè)所述滾輪通過(guò)第二旋轉(zhuǎn)軸連接，并在所述第二旋轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)下滾動(dòng)。
[0028]本實(shí)用新型所帶來(lái)的有益效果如下:
[0029]本實(shí)用新型所提供的基板水分檢測(cè)裝置，可以在滾輪上傳送基板，而使?jié)L輪的外周面獲取到基板的表面上的水分含量，而滾輪外周面相接觸的水分檢測(cè)儀，可以檢測(cè)滾輪外周面上水分含量，以對(duì)基板表面的水漬進(jìn)行檢測(cè)，并且，水分檢測(cè)儀可以在干燥機(jī)構(gòu)和滾輪外周面接觸的兩種位置之間切換，利用干燥機(jī)構(gòu)來(lái)對(duì)水分檢測(cè)儀進(jìn)行干燥，而保證水分檢測(cè)儀的工作可靠性和準(zhǔn)確性，由此，該基板水分檢測(cè)裝置實(shí)現(xiàn)對(duì)進(jìn)入干法刻蝕設(shè)備之前的基板的干燥效果進(jìn)行檢測(cè)的目的，而有效地防止帶有水漬的基板進(jìn)入干法刻蝕設(shè)備，提高干法刻蝕設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性，提高設(shè)備壽命。
【附圖說(shuō)明】
[0030]圖1表示本實(shí)用新型實(shí)施例中提供的基板水分檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0031]以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本實(shí)用新型，并非用于限定本實(shí)用新型的范圍。
[0032]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中進(jìn)入干法刻蝕設(shè)備之間的基板干燥效果不好會(huì)導(dǎo)致影響干法刻蝕設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性，影響產(chǎn)能的技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種基板水分檢測(cè)裝置，可以有效防止帶有水漬基板進(jìn)入干法刻蝕設(shè)備，而提高干法刻蝕設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性，提高設(shè)備壽命O
[0033]如圖1所示，本實(shí)用新型所提供的基板檢測(cè)裝置包括:
[0034]用于與基板10表面接觸，并傳送基板10的滾輪100 ;
[0035]用于獲取滾輪100外周面上水分信息的水分檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述水分檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括至少一個(gè)水分檢測(cè)儀200，所述水分檢測(cè)儀200具有第一狀態(tài)和第二狀態(tài)；
[0036]用于對(duì)所述水分檢測(cè)儀200進(jìn)行干燥處理的干燥機(jī)構(gòu)300 ;
[0037]用于控制所述水分檢測(cè)儀200在所述第一狀態(tài)和所述第二狀態(tài)之間切換的切換機(jī)構(gòu)；
[0038]其中在所述第一狀態(tài)，所述水分檢測(cè)儀200移動(dòng)至與所述滾輪100的外周面相接觸的第一位置，以獲取滾輪100外周面上水分信息；在所述第二狀態(tài)，所述水分檢測(cè)儀200移動(dòng)至位于所述干燥機(jī)構(gòu)300內(nèi)的第二位置，以進(jìn)行干燥處理。
[0039]本實(shí)用新型所提供的基板水分檢測(cè)裝置，可以在滾輪100上傳送基板10，而使?jié)L輪100的外周面獲取到基板10的表面上的水分含量，而滾輪100外周面相接觸的水分檢測(cè)儀200，可以檢測(cè)滾輪100外周面上水分含量，以對(duì)基板10表面的水漬進(jìn)行檢測(cè)，并且，水分檢測(cè)儀200可以在干燥機(jī)構(gòu)300和滾輪100外周面接觸的兩種位置之間切換，利用干燥機(jī)構(gòu)300來(lái)對(duì)水分檢測(cè)儀200進(jìn)行干燥，而保證水分檢測(cè)儀200的工作可靠性和準(zhǔn)確性，由此，該基板水分檢測(cè)裝置實(shí)現(xiàn)對(duì)進(jìn)入干法刻蝕設(shè)備之前的基板10的干燥效果進(jìn)行檢測(cè)的目的，而有效地防止帶有水漬的基板10進(jìn)入干法刻蝕設(shè)備，提高干法刻蝕設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性，提