紅外線溫度傳感器及利用紅外線溫度傳感器的裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種對(duì)來自檢測對(duì)象物的紅外線進(jìn)行檢測，來測定檢測對(duì)象物的溫度的紅外線溫度傳感器及利用所述紅外線溫度傳感器的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]先前，例如，作為對(duì)復(fù)印機(jī)的定影裝置中所使用的加熱定影輥等檢測對(duì)象物的溫度進(jìn)行測定的溫度傳感器，是使用以非接觸方式對(duì)來自檢測對(duì)象物的紅外線進(jìn)行檢測來測定檢測對(duì)象物的溫度的紅外線溫度傳感器。
[0003]這種紅外線溫度傳感器中，除了紅外線檢測用熱敏元件以外，還設(shè)置有溫度補(bǔ)償用熱敏元件，以改善伴隨著周圍溫度的變化的追隨性，補(bǔ)償周圍溫度的變化。
[0004]并且，紅外線檢測用熱敏元件及溫度補(bǔ)償用熱敏元件配置在熱吸收性的膜上，所述膜通過罩體而保持為密閉狀態(tài)(參照專利文獻(xiàn)I至專利文獻(xiàn)3)。
[0005][現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]
[0006][專利文獻(xiàn)]
[0007]專利文獻(xiàn)1:國際公開2013/014707號(hào)
[0008]專利文獻(xiàn)2:日本專利特開2003-194630號(hào)公報(bào)
[0009]專利文獻(xiàn)3:日本專利特開2004-612834號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]發(fā)明所要解決的問題
[0011]然而，在如上所述的現(xiàn)有的紅外線溫度傳感器中，如果紅外線溫度傳感器的周圍溫度升高，那么被設(shè)為密閉狀態(tài)的空間部的空氣會(huì)膨脹而使內(nèi)壓上升，從而產(chǎn)生膜鼓起變形的問題。并且，當(dāng)空間部的空氣過度膨脹時(shí)，有時(shí)會(huì)產(chǎn)生因?yàn)槟さ淖冃味乖谀ど喜季€的布線圖案被切斷等故障。此外，由于膜變形，還會(huì)產(chǎn)生紅外線的入射量或來自膜的散熱量產(chǎn)生變化，從而紅外線溫度傳感器的輸出發(fā)生變動(dòng)的問題。
[0012]本發(fā)明是鑒于所述問題而完成的，目的在于提供一種可減輕膜的變形并實(shí)現(xiàn)高精度化，從而能夠確?？煽啃缘募t外線溫度傳感器及利用所述紅外線溫度傳感器的裝置。
[0013]解決問題的技術(shù)手段
[0014]技術(shù)方案I所述的紅外線溫度傳感器的特征在于包括:膜，吸收紅外線;罩體，覆蓋并保持所述膜，并且與膜之間形成密閉的空間部，包括具有開口部而引導(dǎo)紅外線的導(dǎo)光部以及具有遮蔽壁而遮蔽紅外線的遮蔽部;透氣部件，容許所述空間部與外部的透氣性;紅外線檢測用熱敏元件，配置在所述膜上，并且配設(shè)在與所述導(dǎo)光部相對(duì)應(yīng)的位置上；以及溫度補(bǔ)償用熱敏元件，配置在所述膜上，并且配設(shè)在與所述遮蔽部相對(duì)應(yīng)的位置上。
[0015]透氣部件是容許空間部與外部的透氣性的部件，對(duì)其形成位置及形態(tài)沒有特別限定。
[0016]作為紅外線檢測用熱敏元件及溫度補(bǔ)償用熱敏元件，優(yōu)選使用薄膜熱敏電阻(thin film thermistor)或片式熱敏電阻(chip thermistor)，但并不限定于這些，而可使用例如熱電偶(thermocoup 1 e)或測溫電阻體等。
[0017]根據(jù)所述發(fā)明，可減輕膜的變形并實(shí)現(xiàn)高精度化，從而能夠確?？煽啃?。
[0018]技術(shù)方案2所述的紅外線溫度傳感器根據(jù)技術(shù)方案1所述的紅外線溫度傳感器，其特征在于:所述透氣部件是形成在罩體上的貫通孔。
[0019]當(dāng)罩體例如包含第1罩體及第2罩體時(shí)，在所述第1罩體及第2罩體中的至少一者上形成貫通孔即可。
[0020]技術(shù)方案3所述的紅外線溫度傳感器根據(jù)技術(shù)方案1所述的紅外線溫度傳感器，其特征在于:所述透氣部件形成在罩體與膜之間。
[0021]技術(shù)方案4所述的紅外線溫度傳感器根據(jù)技術(shù)方案1所述的紅外線溫度傳感器，其特征在于:所述透氣部件是形成在與導(dǎo)光部及遮蔽部相對(duì)應(yīng)的膜上的貫通孔。
[0022]技術(shù)方案5所述的紅外線溫度傳感器根據(jù)技術(shù)方案1所述的紅外線溫度傳感器，其特征在于:所述透氣部件是形成在與遮蔽部相對(duì)應(yīng)的膜上的貫通孔及形成在罩體上的貫通孔。
[0023]技術(shù)方案6所述的紅外線溫度傳感器根據(jù)技術(shù)方案1至技術(shù)方案5中任一項(xiàng)所述的紅外線溫度傳感器，其特征在于:所述導(dǎo)光部及遮蔽部以將所述導(dǎo)光部及遮蔽部隔開的區(qū)劃壁為軸而形成為大致對(duì)稱的形態(tài)。
[0024]技術(shù)方案7所述的紅外線溫度傳感器根據(jù)技術(shù)方案1至技術(shù)方案6中任一項(xiàng)所述的紅外線溫度傳感器，其特征在于:在所述膜上，形成有連接紅外線檢測用熱敏元件及溫度補(bǔ)償用熱敏元件的布線圖案，在與所述布線圖案連接的外部引出端子與外部導(dǎo)線的連接部中封入有混合著微粒的填料的具有絕緣性的加熱硬化物。
[0025]技術(shù)方案8所述的紅外線溫度傳感器根據(jù)技術(shù)方案7所述的紅外線溫度傳感器，其特征在于:所述微粒的填料的一次粒徑為5nm?80nm。
[0026]技術(shù)方案9所述的紅外線溫度傳感器根據(jù)技術(shù)方案7或技術(shù)方案8所述的紅外線溫度傳感器，其特征在于:所述加熱硬化物為環(huán)氧樹脂，微粒的填料是二氧化娃(si 1 ica)、碳酸I丐、碳納米管(carbon nanotube)或石墨(graphite)。
[0027]技術(shù)方案10所述的紅外線溫度傳感器根據(jù)技術(shù)方案1至技術(shù)方案6中任一項(xiàng)所述的紅外線溫度傳感器，其特征在于:在所述膜上，形成有連接紅外線檢測用熱敏元件及溫度補(bǔ)償用熱敏元件的布線圖案，與所述布線圖案連接的外部引出端子與外部導(dǎo)線經(jīng)由中繼端子而連接。
[0028]利用根據(jù)技術(shù)方案11所述的紅外線溫度傳感器的裝置的特征在于:包括根據(jù)技術(shù)方案1至技術(shù)方案10中任一項(xiàng)所述的紅外線溫度傳感器。
[0029]紅外線溫度傳感器例如可用于復(fù)印機(jī)的定影裝置、電池單元、電磁爐等各種裝置。對(duì)所應(yīng)用的裝置沒有特別限定。
[0030]發(fā)明的效果
[0031]根據(jù)本發(fā)明，可提供一種可減輕膜的變形并實(shí)現(xiàn)高精度化，從而能夠確?？煽啃缘募t外線溫度傳感器及利用所述紅外線溫度傳感器的裝置。
【附圖說明】
[0032]圖1是表示本發(fā)明的第I實(shí)施方式的紅外線溫度傳感器的立體圖。
[0033]圖2表示所述紅外線溫度傳感器，(a)是平面圖，(b)是前視圖，(C)是側(cè)視圖，(d)是后視圖。
[0034]圖3中，圖3(a)是圖2(a)中沿X-X線的剖視圖，(b)是沿Y-Y線的剖視圖。
[0035]圖4是表示所述紅外線溫度傳感器的布線連接關(guān)系的平面圖。
[0036]圖5表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的紅外線溫度傳感器，(a)是平面圖，(b)是前視圖，(C)是側(cè)視圖，(d)是后視圖。
[0037]圖6中，圖6(a)是圖5(a)中沿X-X線的剖視圖，(b)是沿Y-Y線的剖視圖。
[0038]圖7是表示所述紅外線溫度傳感器的布線連接關(guān)系的平面圖。
[0039]圖8表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式的紅外線溫度傳感器，(a)是平面圖，(b)是前視圖，(C)是側(cè)視圖，(d)是后視圖。
[0040]圖9中，圖9(a)是圖8(a)中沿X-X線的剖視圖，(b)是沿Y-Y線的剖視圖。
[0041]圖10是表示所述紅外線溫度傳感器的布線連接關(guān)系的平面圖。
[0042]圖11表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的紅外線溫度傳感器，(a)是平面圖，(b)是前視圖，(C)是側(cè)視圖，(d)是后視圖。
[0043]圖12中，圖12(a)是圖11(a)中沿X-X線的剖視圖，(b)是沿Y-Y線的剖視圖。
[0044]圖13是表示所述紅外線溫度傳感器的布線連接關(guān)系的平面圖。
[0045]圖14表示本發(fā)明的第5實(shí)施方式的紅外線溫度傳感器，(a)是平面圖，(b)是前視圖，(C)是側(cè)視圖，(d)是后視圖。
[0046]圖15中，圖15(a)是圖14(a)中沿X-X線的剖視圖，(b)是沿Y-Y線的剖視圖。
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