熱式流量計的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種熱式流量計。
【背景技術(shù)】
[0002]作為與本技術(shù)領(lǐng)域相關(guān)的【背景技術(shù)】，有日本專利特開2012-112979號公報(專利文獻(xiàn)1)中所記載的流量傳感器模塊。
[0003]在專利文獻(xiàn)1中記載有如下內(nèi)容:“利用樹脂MR密封除流量檢測部FDU及其附近以外的半導(dǎo)體芯片CHP1的表面、導(dǎo)線W1、引線RD1、導(dǎo)線W2、半導(dǎo)體芯片CHP2的整個主面、導(dǎo)線W3以及引線RD2的一部分”。此外，記載有如下內(nèi)容:“利用上模具UM和下模具BM以隔著第1空間的方式包夾搭載有半導(dǎo)體芯片CHP1及半導(dǎo)體芯片CHP2的引線框LF” (參考段落0142及圖18)。
[0004]進(jìn)而，記載有如下內(nèi)容:“結(jié)構(gòu)為，使設(shè)置在上模具UM內(nèi)的鑲塊IPU的頂端的尺寸LR1大于半導(dǎo)體芯片CHP1的尺寸LC1，由此，在氣體(空氣)的流動方向上的截面上，半導(dǎo)體芯片CHP1的上部局部未被樹脂MR覆蓋”(參考段落0279及圖45)。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2012-112979號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

發(fā)明要解決的問題
[0006]在專利文獻(xiàn)1中所揭示的技術(shù)中，為了防止流量檢測部被樹脂覆蓋，將模具隔著彈性體膜而按壓在半導(dǎo)體芯片的上表面上。在半導(dǎo)體芯片上形成有膜片，并且在膜片的背側(cè)形成有空腔。該空腔由相對于半導(dǎo)體芯片的上表面而傾斜的傾斜面形成。
[0007]在專利文獻(xiàn)1中，并未考慮應(yīng)如何對膜片、空腔及傾斜面(下面，稱為膜片結(jié)構(gòu)部)設(shè)定模具的按壓位置。膜片結(jié)構(gòu)部制造得較為脆弱。在施加有模具的按壓力的情況下，彎曲力會施加至半導(dǎo)體芯片，其結(jié)果為，該脆弱部有可能破損。
[0008]在專利文獻(xiàn)1的圖45中，以按壓力施加至膜片結(jié)構(gòu)部的外側(cè)的方式來設(shè)定鑲塊。但是，在專利文獻(xiàn)1的圖18或圖27中，以按壓力施加至膜片結(jié)構(gòu)部的內(nèi)側(cè)的方式來設(shè)定上模具。并且，在專利文獻(xiàn)1中，并未考慮應(yīng)如何對膜片結(jié)構(gòu)部配置由上模具或鑲塊所形成的按壓力。
[0009]本發(fā)明的目的在于，在膜片結(jié)構(gòu)部的附近具有使用模具而形成的樹脂部的結(jié)構(gòu)的熱式流量計中，防止膜片結(jié)構(gòu)部在模具按壓時被破壞。
解決問題的技術(shù)手段
[0010]為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的熱式流量計以模具按壓區(qū)域不落在膜片結(jié)構(gòu)部上的方式使用模具在膜片結(jié)構(gòu)部的附近成形樹脂部。
發(fā)明的效果
[0011]根據(jù)本發(fā)明，可防止模具按壓時所產(chǎn)生的膜片結(jié)構(gòu)部的破壞。進(jìn)而，由于可使流量檢測部的周圍的結(jié)構(gòu)部的高度、大小固定，因此可提供一種測量精度較高的熱式流量計。
[0012]除上述以外的課題、構(gòu)成及效果將通過以下實(shí)施方式的說明而加以明確。
【附圖說明】
[0013]圖1A為表示本發(fā)明的熱式空氣流量計的上表面的俯視圖。
圖1B為去掉本發(fā)明的熱式空氣流量計的側(cè)面所設(shè)置的蓋體構(gòu)件而表示側(cè)面的俯視圖。
圖2A為表示本發(fā)明的電路封裝的樹脂密封后的安裝構(gòu)成的俯視圖。
圖2B為表示電路封裝的引線框以及引線框的電路芯片、傳感器芯片的搭載狀態(tài)的俯視圖。
圖3為本發(fā)明的空氣流量傳感器的一實(shí)施例的縱向剖視圖(圖2中的A-A截面)。
圖4為本發(fā)明的空氣流量傳感器的一實(shí)施例的橫向剖視圖(圖2中的B-B截面)。
圖5A為表示本發(fā)明的空氣流量傳感器的一實(shí)施例的制造方法的縱向剖視圖，對于圖2中的A-A截面，為表示利用樹脂的模塑被實(shí)施之前的狀態(tài)的圖。
圖5B為表示將在引線框上安裝空氣流量測定元件和LSI而成的組件安設(shè)在模具中的狀態(tài)的剖視圖。
圖5C為放大表示圖5B中的鑲塊及空氣流量測定元件的附近的剖視圖。
圖6為本發(fā)明的空氣流量傳感器的一實(shí)施例的模具按壓時的橫向剖視圖。
圖7為表示流量檢測部容易被破壞的安裝結(jié)構(gòu)、模具配置的剖視圖。
圖8為表示流量檢測部被破壞時的機(jī)理的圖。
圖9為表示流量檢測部因粘接帶變形而被破壞時的機(jī)理的圖。
圖10為表示熱式空氣流量計的流量檢測電路的電路圖。
圖11為表示圖10所示的流量檢測部的電路配置的電阻圖案的構(gòu)成圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面，對本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說明。再者，在本實(shí)施例中，對如下情況進(jìn)行說明:熱式流量計搭載在汽車的內(nèi)燃機(jī)中，并且，作為被測量氣體30，是以空氣為對象。但對空氣以外的氣體也可使用本發(fā)明的熱式流量計300。
[0015]首先，使用圖1A及圖1B，對熱式空氣流量計的整體構(gòu)成進(jìn)行說明。圖1A為表示熱式空氣流量計300的上表面的俯視圖。圖1B為表示去掉熱式空氣流量計300的側(cè)面所設(shè)置的蓋體構(gòu)件302、303而表示側(cè)面的俯視圖。再者，圖1B表示的是圖1A的右側(cè)面。此外，圖1B所示的箭頭30表示在吸氣管(未圖示)中流動的空氣的流向。
[0016]熱式空氣流量計300的圖1A所示的一面是朝向在吸氣管中流動的空氣流的上游側(cè)而設(shè)置。下面，以如下方式進(jìn)行說明:關(guān)于熱式空氣流量計300中的上下方向，是以相對于在吸氣管中流動的空氣流而位于上游側(cè)的一方為上，以相對于在吸氣管中流動的空氣流而位于下游側(cè)的一方為下。該上下方向并非意指熱式空氣流量計300安裝在汽車等的內(nèi)燃機(jī)中的安裝狀態(tài)下的上下方向。此外，像圖1的箭頭所示那樣定義熱式空氣流量計300的長度方向300L、寬度方向300W。進(jìn)而，將垂直于長度方向300L及寬度方向300W的方向定義為高度方向。300C表示寬度方向300L上的中心線。
[0017]如圖1A所示，在熱式空氣流量計300的殼體(本體)301的兩側(cè)面安裝有薄板狀的蓋體構(gòu)件302、303。熱式空氣流量計300的法蘭部(安裝部)304固定在吸氣管的壁面上，在殼體301的頂端側(cè)設(shè)置有導(dǎo)入在吸氣管中流動的空氣的一部分的副通道305。305a為副通道305的入口開口。入口開口 305a是以跨及殼體301的整個寬度方向300L的方式設(shè)置。副通道305的入口側(cè)通道部分305i隨著從入口開口 305a向下游側(cè)前進(jìn)而朝中心線300C的左側(cè)收窄。在入口側(cè)通道部分305i的中心線300C的左側(cè)的部分，在入口側(cè)通道部分305i的進(jìn)深側(cè)形成有副通道305的出口側(cè)通道部分305ο。出口側(cè)通道部分305ο因無法表示在圖1Α上，所以加上括弧，且指引線也是以虛線表示。副通道305由如下構(gòu)件構(gòu)成:入口側(cè)通道部分305i ;出口側(cè)通道部分305ο ;以及流量測量通道部分305s (將在后文中敘述)，其在空氣的流動方向上設(shè)置在入口側(cè)通道部分305i與出口側(cè)通道部分305ο之間，供配置電路封裝400的流量檢測部200a。
[0018]在法蘭部304上，在設(shè)置副通道305的一側(cè)的相反側(cè)設(shè)置有接頭部307。在該接頭部307上連接有與外部裝置(例如發(fā)動機(jī)控制裝置)連接的信號線(通信線)。
[0019]如圖1B所示，在本體301的頂端側(cè)(紙面下側(cè))設(shè)置有構(gòu)成副通道305的出口側(cè)通道部分305ο和流量測量通道部分305s。雖然圖1B中未加以表示，但在出口側(cè)通道部分305ο的進(jìn)深側(cè)設(shè)置有副通道305的入口側(cè)通道部分305i。流量測量通道部分305s是以隔著圖1A所示的中心線300C跨在寬度方向兩側(cè)的方式形成，相對于中心線300C而形成于一(左)側(cè)面?zhèn)鹊娜肟趥?cè)通道部分305i的下游端與相對于中心線300C而形成于另一(右)側(cè)面?zhèn)鹊某隹趥?cè)通道部分305ο的上游端通過該流量測量通道部分305s而連通。
[0020]在副通道305與法蘭部304之間配置有電路封裝100。在本實(shí)施例中，電路封裝100通過形成殼體301的樹脂而利用固定部306固定在殼體301上。在電路封裝100的供露出流量檢測部200a的表面及其相反側(cè)的背面，分別在與流量測量通道部分305s的壁面之間設(shè)置有供空氣流動的間隙。即，電路封裝100在寬度方向300L上配置在流量測量通道部分305s的中間部。此外，如圖1B所示，電路封裝100以其流量檢測部200a面朝形成熱式空氣流量計300中的出口側(cè)通道部分305ο的側(cè)面?zhèn)鹊姆绞竭M(jìn)行配置。
[0021]在接頭部307中設(shè)置有連接端子307a，該連接端子307a用以將熱式空氣流量計300與信號線(通信線)電連接而進(jìn)行通信，該信號線(通信線)與外部裝置(例如發(fā)動機(jī)控制裝置)連接。連接端子307a與露出于殼體301的內(nèi)部的端子307b電連接，并