基于紅外輻射測(cè)量的激光功率計(jì)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及激光功率測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基于紅外輻射測(cè)量的激光功率 計(jì)。
【背景技術(shù)】
[0002] 現(xiàn)有技術(shù)中，由于在生產(chǎn)、檢驗(yàn)或維修激光設(shè)備和激光儀器時(shí)，均需要對(duì)激光設(shè)備 和激光儀器的激光功率進(jìn)行測(cè)量，所以激光功率計(jì)成為了必不可少的工具。其中，光電型激 光功率計(jì)是測(cè)量激光功率所使用的主要設(shè)備之一。
[0003] 上述光電型激光功率計(jì)通常由光電探測(cè)器和適當(dāng)?shù)碾娐方M成。其中，光電探測(cè)器 用于探測(cè)待測(cè)激光，并將探測(cè)到的待測(cè)激光進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換，生成電信號(hào)，使光電型激光功率 計(jì)可以通過測(cè)量電信號(hào)確定待測(cè)激光的激光功率。
[0004] 但是，由于光電探測(cè)器具有光譜選擇性，也就是說，光電探測(cè)器對(duì)不同波長(zhǎng)范圍內(nèi) 的待測(cè)激光的響應(yīng)度不一樣，使得光電型激光功率計(jì)只能對(duì)特定波長(zhǎng)范圍內(nèi)的待測(cè)激光的 激光功率進(jìn)行測(cè)量，其探測(cè)的光譜范圍較窄，適用性不高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明提供一種基于紅外輻射測(cè)量的激光功率計(jì)，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中光電型激 光功率計(jì)探測(cè)的光譜范圍較窄，適用性不高的技術(shù)問題。
[0006] 為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案：
[0007] 第一方面，本發(fā)明提供一種基于紅外輻射測(cè)量的激光功率計(jì)，所述基于紅外輻射 測(cè)量的激光功率計(jì)包括：紅外輻射轉(zhuǎn)換器、會(huì)聚裝置、斬波器、驅(qū)動(dòng)器、第一探測(cè)器、第二探 測(cè)器和控制處理器；其中，所述驅(qū)動(dòng)器的輸入端與所述控制處理器的第一輸出端連接，所述 驅(qū)動(dòng)器的輸出端與所述斬波器連接，所述控制處理器的第一輸入端與所述第一探測(cè)器的輸 出端連接，所述控制處理器的第二輸入端與所述第二探測(cè)器的輸出端連接；
[0008] 所述會(huì)聚裝置位于所述紅外輻射轉(zhuǎn)換器和所述斬波器之間，用于將接收到的所述 紅外輻射轉(zhuǎn)換器發(fā)射的紅外輻射線會(huì)聚至所述第一探測(cè)器的光敏面；
[0009] 所述斬波器位于所述第一探測(cè)器的光敏面和所述第二探測(cè)器的光敏面的正前方。 [0010] 結(jié)合第一方面，在第一方面的第一種可能的實(shí)施方式中，所述基于紅外輻射測(cè)量 的激光功率計(jì)還包括：第一帶通光學(xué)濾波器和第二帶通光學(xué)濾波器；
[0011] 所述第一帶通光學(xué)濾波器覆蓋在所述第一探測(cè)器的光敏面，所述第二帶通光學(xué)濾 波器覆蓋在所述第二探測(cè)器的光敏面。
[0012] 結(jié)合第一方面或第一方面的第一種可能的實(shí)施方式，在第一方面的第二種可能的 實(shí)施方式中，所述基于紅外輻射測(cè)量的激光功率計(jì)還包括：顯示器；
[0013] 所述顯示器的輸入端與所述控制處理器的第二輸出端連接。
[0014] 結(jié)合第一方面的第二種可能的實(shí)施方式，在第一方面的第三種可能的實(shí)施方式 中，所述紅外輻射轉(zhuǎn)換器的光感應(yīng)區(qū)域設(shè)置有吸光涂層。
[0015] 結(jié)合第一方面的第三種可能的實(shí)施方式，在第一方面的第四種可能的實(shí)施方式 中，所述會(huì)聚裝置為透射式會(huì)聚裝置，所述透射式會(huì)聚裝置用于將所述紅外輻射轉(zhuǎn)換器發(fā) 射的紅外輻射線透射會(huì)聚至所述第一探測(cè)器的光敏面。
[0016] 結(jié)合第一方面的第四種可能的實(shí)施方式，在第一方面的第五種可能的實(shí)施方式 中，所述透射式會(huì)聚裝置的入射面和出射面均鍍有針對(duì)所述紅外輻射線波長(zhǎng)的增透膜。
[0017] 結(jié)合第一方面的第三種可能的實(shí)施方式，在第一方面的第六種可能的實(shí)施方式 中，所述會(huì)聚裝置為反射式會(huì)聚裝置，所述反射式會(huì)聚裝置用于將所述紅外輻射轉(zhuǎn)換器發(fā) 射的紅外輻射線反射會(huì)聚至所述第一探測(cè)器的光敏面。
[0018] 結(jié)合第一方面的第六種可能的實(shí)施方式，在第一方面的第七種可能的實(shí)施方式 中，所述反射式會(huì)聚裝置的反射面鍍有針對(duì)所述紅外輻射線波長(zhǎng)的反射膜，所述反射膜為 金膜、銀膜、銅膜、鋁膜或高反射介質(zhì)膜；其中，所述高反射介質(zhì)膜為對(duì)所述紅外輻射線的反 射率大于99. 5%的反射介質(zhì)膜。
[0019] 結(jié)合第一方面，在第一方面的第八種可能的實(shí)施方式中，所述第一探測(cè)器和所述 第二探測(cè)器均為銻化銦InSb探測(cè)器，或者，所述第一探測(cè)器和所述第二探測(cè)器均為碲鎘汞 TgCdTe探測(cè)器。
[0020] 本發(fā)明提供的基于紅外輻射測(cè)量的激光功率計(jì)，通過紅外輻射轉(zhuǎn)換器具有的光熱 轉(zhuǎn)換的功能，可以將紫外到遠(yuǎn)紅外光譜區(qū)內(nèi)任一波長(zhǎng)的待測(cè)激光轉(zhuǎn)換為紅外輻射線，進(jìn)而 通過測(cè)量紅外輻射線即可確定待測(cè)激光的激光功率。因此，本發(fā)明提供的基于紅外輻射測(cè) 量的激光功率計(jì)，可以對(duì)紫外到遠(yuǎn)紅外光譜范圍內(nèi)的任一波長(zhǎng)的待測(cè)激光的激光功率進(jìn)行 測(cè)量，提高了激光功率計(jì)的適用性。
【附圖說明】
[0021] 為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn) 有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本 發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以 根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0022] 圖1為本發(fā)明提供的基于紅外輻射測(cè)量的激光功率計(jì)實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023] 圖2為本發(fā)明提供的基于紅外輻射測(cè)量的激光功率計(jì)實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024] 圖3為本發(fā)明提供的基于紅外輻射測(cè)量的激光功率計(jì)實(shí)施例三的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025] 圖4為本發(fā)明提供的基于紅外輻射測(cè)量的激光功率計(jì)實(shí)施例四的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026] 附圖標(biāo)記：
[0027] 101 :紅外輻射轉(zhuǎn)換器； 102 :會(huì)聚裝置；
[0028] 103 :斬波器； 104 :驅(qū)動(dòng)器；
[0029] 105 :第一探測(cè)器； 106 :第二探測(cè)器；
[0030] 107 :控制處理器； 108 :激光發(fā)射源；
[0031] 109 :第一帶通光學(xué)濾波器； 110 :第二帶通光學(xué)濾波器；
[0032] 111 :顯示器； 1041 :驅(qū)動(dòng)器的輸入端；
[0033] 1042 :驅(qū)動(dòng)器的輸出端； 1051 :第一探測(cè)器的輸出端；
[0034] 1052 :第一探測(cè)器的光敏面； 1061 :第二探測(cè)器的輸出端；
[0035] 1062 :第二探測(cè)器的光敏面； 1071 :控制處理器的第一輸入端；
[0036] 1072 :控制處理器的第二輸入端；1073 :控制處理器的第一輸出端；
[0037] 1074 :控制處理器的第二輸出端；1111 :顯示器的輸入端。
【具體實(shí)施方式】
[0038] 下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完 整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；?本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他 實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0039] 本發(fā)明提供的基于紅外輻射測(cè)量的激光功率計(jì)可以用于測(cè)量待測(cè)激光的激光功 率。其中，該待測(cè)激光可以為任一激光發(fā)射源所發(fā)射的激光，例如：激光器、激光應(yīng)用設(shè)備 等。
[0040] 本發(fā)明提供的基于紅外輻射測(cè)量的激光功率計(jì)，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中的光電型激 光功率計(jì)探測(cè)的光譜范圍較窄，適用性不高的技術(shù)問題。
[0041] 為了便于對(duì)本發(fā)明提供的基于紅外輻射測(cè)量的激光功率計(jì)進(jìn)行描述，在下述實(shí)施 例中，將基于紅外輻射測(cè)量的激光功率計(jì)簡(jiǎn)稱為激光功率計(jì)，將除待測(cè)激光和"紅外輻射轉(zhuǎn) 換器發(fā)射的紅外輻射線"之外的其他光均稱為雜散光。
[0042] 下面以具體地實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)說明。下面這幾個(gè)具體的實(shí)施 例可以相互結(jié)合，對(duì)于相同或相似的概念或過程可能在某些實(shí)施例不再贅述。
[0043]圖1為本發(fā)明提供的基于紅外輻射測(cè)量的激光功率計(jì)實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖，如 圖1所示，該基于紅外輻射測(cè)量的激光功率計(jì)包括：紅外輻射轉(zhuǎn)換器101、會(huì)聚裝置102、斬 波器103、驅(qū)動(dòng)器104、第一探測(cè)器105、第二探測(cè)器106和控制處理器107 ;其中，驅(qū)動(dòng)器的 輸入端1041與控制處理器的第一輸出端1073連接，驅(qū)動(dòng)器的輸出端1042與斬波器103連 接，控制處理器的第一輸入端1071與第一探測(cè)器的輸出端1051連接，控制處理器的第二輸 入端1072與第二探測(cè)器的輸出端1061連接；會(huì)聚裝置102位于紅外輻射轉(zhuǎn)換器101和斬 波器103之間，用于將接收到的紅外輻射轉(zhuǎn)換器101發(fā)射的紅外輻射線會(huì)聚至第一探測(cè)器 的光敏面1052。斬波器103位于第一探測(cè)器的光敏面1052和第二探測(cè)器的光敏面1062的 正前方。
[0044] 具體的，上述紅外輻射轉(zhuǎn)換器101可以設(shè)置在能夠吸收激光發(fā)射源108發(fā)射的待 測(cè)激光的任一位置，其中，紅外輻射轉(zhuǎn)換器101上設(shè)置有光感應(yīng)區(qū)域，該光感應(yīng)區(qū)域用于吸 收激光發(fā)射源108發(fā)射的待測(cè)激光，并對(duì)吸收的待測(cè)激光進(jìn)行光熱轉(zhuǎn)換，使光感應(yīng)區(qū)域的 溫度升高并向外發(fā)射紅外輻射線，由設(shè)置在紅外輻射轉(zhuǎn)換器101所發(fā)射的紅外輻射線所覆 蓋的范圍內(nèi)的會(huì)聚裝置102接收該部分紅外輻射線，并將接收到的紅外輻射線會(huì)聚至第一 探測(cè)器的光敏面1052。由于上述紅外輻射轉(zhuǎn)換器101具有在紫外到遠(yuǎn)紅外光譜區(qū)響應(yīng)曲線 平坦的特點(diǎn)，因此，上述紅外輻射轉(zhuǎn)換器101可以對(duì)紫外到遠(yuǎn)紅外光譜區(qū)內(nèi)的任一波長(zhǎng)的 待測(cè)激光進(jìn)行光熱轉(zhuǎn)換，并向外發(fā)射紅外輻射線，也就是說，上述紅外輻射轉(zhuǎn)換器101對(duì)其 吸收的待測(cè)激光的波長(zhǎng)沒有限制，因而，本發(fā)明提供的激光功率計(jì)，可以通過紅外輻射轉(zhuǎn)換 器1