專利名稱：氣敏傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本設(shè)計(jì)屬于一種化學(xué)傳感器。
目前國際上通常采用的朗繆—布洛基特(Langmuir—Blodgett縮寫LB)薄膜有機(jī)氣敏傳感器的原理為電導(dǎo)型，LB薄膜與被測(cè)氣體相互作用使得LB薄膜的平面電導(dǎo)發(fā)生變化，通過測(cè)量電導(dǎo)變化探測(cè)被測(cè)氣體。一般采用的結(jié)構(gòu)是在玻璃或硅襯底上制備叉指電極，在叉指電極上利用LB技術(shù)沉積有機(jī)敏感材料作為敏感層。由于這種結(jié)構(gòu)傳感器的敏感層暴露在外界，自然環(huán)境中的有害氣體，例如蒸汽等直接進(jìn)入敏感層，影響其使用壽命和穩(wěn)定性。
本設(shè)計(jì)的目的是提供一種可提高使用壽命和穩(wěn)定性的氣敏傳感器。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本設(shè)計(jì)采用的技術(shù)方案是在由襯底、叉指電極和敏感層組成的傳感器的敏感層外至少有一層修飾保護(hù)層。該保護(hù)層是由具有較好的成膜特性，適合生長(zhǎng)LB薄膜的雙親性有機(jī)分子采用LB薄膜有機(jī)分子組裝技術(shù)沉積面成。由于各種氣體的分子尺寸不同，其在保護(hù)層中的擴(kuò)散行為也不同，通過修飾保護(hù)層材料的選擇可以實(shí)現(xiàn)敏感層的保護(hù)作用，使有害氣體不能進(jìn)入敏感層而被測(cè)氣體可以擴(kuò)散進(jìn)入敏感層中，從而提高器件的使用壽命和穩(wěn)定性。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本設(shè)計(jì)作詳細(xì)描述。


圖1是本設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中(1)-玻璃或硅片；(2)-叉指電極；(3)-敏感層；(4)-修飾保護(hù)層。
實(shí)施例在玻璃襯底(1)上制備平面叉指電極(2)，在叉指電極上利用LB薄膜技術(shù)沉積酞菁敏感材料為敏感層(3)，在敏感層上采用LB薄膜有機(jī)分子組裝技術(shù)沉積一層花生酸和硬脂酸修飾保護(hù)層(4)。該結(jié)構(gòu)在探測(cè)氨氣時(shí)有效的防止了潮氣進(jìn)入敏感層。
權(quán)利要求1.一種氣敏傳感器，由襯底、叉指電極和敏感層組成，其特征是在敏感層外至少有一層修飾保護(hù)層。
專利摘要一種氣敏傳感器由襯底、叉指電極和敏感層組成的傳感器的敏感層外至少有一層修飾保護(hù)層。該保護(hù)層是由適合生長(zhǎng)LB薄膜的雙親性有機(jī)分子，具有較好的成膜特性。通過修飾保護(hù)層材料的選擇可以實(shí)現(xiàn)敏感層的保護(hù)作用，使有害氣體不能進(jìn)入而被測(cè)氣體可以擴(kuò)散進(jìn)入敏感層中，從而提高器件的使用壽命和穩(wěn)定性。
文檔編號(hào)G01N27/12GK2226302SQ95204569
公開日1996年5月1日 申請(qǐng)日期1995年3月2日 優(yōu)先權(quán)日1995年3月2日
發(fā)明者蔣大鵬, 張立功, 呂安德, 范翊, 李亞君 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院長(zhǎng)春物理研究所