本技術(shù)涉及微電子封裝與測試領(lǐng)域,特別涉及一種芯片老化測試溫箱。
背景技術(shù):
1、隨著智能化普及及半導(dǎo)體市場的持續(xù)增長,芯片、電路板等已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于智能穿戴、手機、車載電子、臺式電腦等電子產(chǎn)品中,對芯片的抗老化性能的要求也越來越高,因此在芯片、pcb等產(chǎn)品在量產(chǎn)上市前,需要進(jìn)行高溫老化測試以判斷產(chǎn)品熱可靠性,而這就需要一個能夠使測試產(chǎn)品處于與工作狀態(tài)相似的溫度環(huán)境的溫箱。
2、市場現(xiàn)有的常規(guī)恒溫箱,在測試半導(dǎo)體老化產(chǎn)品時,存在內(nèi)部溫度不均勻的問題。比如,申請?zhí)枮椤癱n202022600766.7”的中國專利公開了一種芯片老化測試箱,包括具有試驗腔的箱體、箱門、箱體內(nèi)部的送風(fēng)系統(tǒng)和風(fēng)道,熱風(fēng)進(jìn)入試驗腔之后僅有少量流動至試驗腔的底部,使得試驗腔內(nèi)的上下兩端具有較大的溫差,測試溫度不均勻,影響測試結(jié)果的準(zhǔn)確性。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本實用新型的主要目的是提出一種芯片老化測試溫箱,旨在解決現(xiàn)有的芯片老化測試溫箱中的試驗腔內(nèi)測試溫度不均勻的技術(shù)問題。
2、為實現(xiàn)上述目的,本實用新型提出一種芯片老化測試溫箱,該芯片老化測試溫箱包括:
3、箱體,所述箱體內(nèi)設(shè)有測試腔,所述測試腔用于放置待測芯片,所述箱體具有與所述測試腔連通的進(jìn)風(fēng)口、出風(fēng)口;
4、風(fēng)機,所述風(fēng)機的氣體出口與所述進(jìn)風(fēng)口連通;
5、分流件,所述分流件位于所述箱體內(nèi)且處于所述進(jìn)風(fēng)口處,所述分流件對從所述進(jìn)風(fēng)口進(jìn)入的風(fēng)進(jìn)行分流,以使風(fēng)分別流向所述測試腔的頂部和底部。
6、在一些實施例中,所述進(jìn)風(fēng)口位于所述測試腔的腔側(cè)壁且鄰近所述測試腔的頂部設(shè)置。
7、在一些實施例中,所述分流件包括分隔板和與所述分隔板呈夾角設(shè)置的導(dǎo)流板,所述分隔板的一端對接于所述進(jìn)風(fēng)口,所述分隔板的另一端連接于所述導(dǎo)流板的一端,所述導(dǎo)流板的另一端朝向所述測試腔的腔底壁延伸設(shè)置且與所述測試腔的腔底壁之間形成供風(fēng)通過的出口。
8、在一些實施例中,所述箱體包括外箱體和位于所述外箱體中的內(nèi)箱體,所述內(nèi)箱體的內(nèi)腔形成所述測試腔,所述進(jìn)風(fēng)口和所述出風(fēng)口均位于所述內(nèi)箱體上,所述內(nèi)箱體的外壁與所述外箱體的內(nèi)壁之間構(gòu)成與所述出風(fēng)口連通的回流通道;
9、所述風(fēng)機的氣體入口與所述回流通道連通,所述回流通道中設(shè)有換熱器,所述換熱器對經(jīng)所述出風(fēng)口排出的風(fēng)進(jìn)行熱量交換。
10、在一些實施例中,所述風(fēng)機為離心風(fēng)機;
11、所述離心風(fēng)機設(shè)于所述外箱體的外壁上,所述離心風(fēng)機的氣體入口朝向所述回流通道,所述離心風(fēng)機的氣體出口朝向所述進(jìn)風(fēng)口,或者,所述離心風(fēng)機設(shè)于所述內(nèi)箱體的外壁上,所述離心風(fēng)機的氣體入口朝向所述回流通道,所述離心風(fēng)機的氣體出口朝向所述進(jìn)風(fēng)口。
12、在一些實施例中,所述測試腔內(nèi)設(shè)有測試架,所述測試架上設(shè)有多個放置層,每一個所述放置層用于放置可搭載待測芯片的老化測試板;
13、所述測試腔內(nèi)設(shè)有過風(fēng)板,所述過風(fēng)板位于所述分流件與所述測試架之間,所述過風(fēng)板上設(shè)置有過風(fēng)孔。
14、在一些實施例中,所述過風(fēng)孔間隔設(shè)有多排,每一個所述放置層與至少一排所述過風(fēng)孔位置對應(yīng)。
15、在一些實施例中,所述出風(fēng)口包括多排出風(fēng)孔,每一個所述放置層與至少一排所述出風(fēng)孔對應(yīng)。
16、在一些實施例中,所述分流件為可運動設(shè)置;所述芯片老化測試溫箱還包括:
17、驅(qū)動組件,所述驅(qū)動組件與所述分流件連接,用以驅(qū)動所述分流件運動以調(diào)節(jié)分流比例。
18、本實用新型芯片老化測試溫箱通過在進(jìn)風(fēng)口處設(shè)置分流件,以將風(fēng)機從進(jìn)風(fēng)口吹入測試腔內(nèi)的風(fēng)分流成兩部分,一部分被引導(dǎo)流向測試腔的頂部,另一部分被引導(dǎo)流向測試腔的底部,大大降低了測試腔內(nèi)上下兩端的溫差,使得測試腔內(nèi)的溫度更加均勻,有助于提高芯片老化測試結(jié)果的準(zhǔn)確性。
1.一種芯片老化測試溫箱,其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片老化測試溫箱,其特征在于,
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的芯片老化測試溫箱,其特征在于,
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片老化測試溫箱,其特征在于,
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的芯片老化測試溫箱,其特征在于,
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的芯片老化測試溫箱,其特征在于,
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的芯片老化測試溫箱,其特征在于,
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的芯片老化測試溫箱,其特征在于,
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片老化測試溫箱,其特征在于,