專(zhuān)利名稱(chēng)：一種化學(xué)過(guò)濾器使用壽命的在線實(shí)時(shí)檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及空氣過(guò)濾裝置，尤其涉及一種化學(xué)過(guò)濾器使用壽命的在線實(shí)時(shí)檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
化學(xué)過(guò)濾器在目前高性能平板顯示器和半導(dǎo)體IC的制作生產(chǎn)過(guò)程中不可缺少，安裝化學(xué)過(guò)濾器的目的是去除生產(chǎn)環(huán)境中的對(duì)生產(chǎn)不利的化學(xué)氣氛。半導(dǎo)體制造工序及精密產(chǎn)品或電子產(chǎn)品制造工序等，一般在排除了污染物質(zhì)的清潔室內(nèi)進(jìn)行，因此，該清潔室內(nèi)的污染程度是與被制造出來(lái)的產(chǎn)品的產(chǎn)率直接相關(guān)的重要因素。而且，由于最近的半導(dǎo)體裝置高度集成化，用于制造這樣的半導(dǎo)體裝置的晶片口徑也在增加，因此，為了防止上述晶片的不良并提高產(chǎn)率，必須隔斷導(dǎo)致不合格產(chǎn)品的原因物質(zhì)例如ci2、HC1、NOx, SOx, H2S等酸性氣體、氣相中存在的NH3、NMP、三甲胺等堿性氣體及揮發(fā)性有機(jī)金屬化合物(VOCs)以微粒狀態(tài)存在于空氣中，而流入清潔室中。在這里，為了克服上述問(wèn)題點(diǎn)，可以采用用于除去上述酸性氣體、堿性氣體及揮發(fā)性有機(jī)金屬化合物等污染物質(zhì)的各種方法，但作為代表性的方法，可以舉出當(dāng)污染物質(zhì)濃度低至PPb的低濃度時(shí)，可采用設(shè)置在清潔室內(nèi)的化學(xué)過(guò)濾器，除去污染物質(zhì)的方法。
另一方面，為了除去有害氣體中含有的酸性氣體及堿性氣體等污染物質(zhì)，當(dāng)主要使用活性炭及添載活性炭時(shí)，存在因碰撞及磨耗而產(chǎn)生粉塵的二次污染問(wèn)題，與活性炭和對(duì)象氣體的化學(xué)結(jié)合相比，以物理結(jié)合為主的吸附反應(yīng)，存在上述活性炭與氣體結(jié)合力弱的缺點(diǎn)，因此，當(dāng)高濃度氣體流入到填充活性炭的化學(xué)過(guò)濾器內(nèi)時(shí)，因流入氣體與活性炭氣孔內(nèi)的濃度差，氣體被吸附在活性炭氣孔內(nèi)，當(dāng)?shù)蜐舛然蛞话憧諝饬魅霑r(shí)，活性炭氣孔內(nèi)的氣體濃度比流入空氣的氣體濃度高，故活性炭氣孔內(nèi)吸附的氣體被抽出，因此，通過(guò)化學(xué)過(guò)濾器的空氣內(nèi)污染物的濃度增加的問(wèn)題產(chǎn)生。在這里，上述添載活性炭意指是在活性炭中添載Κ0Η、ΚΜη04、Η3Ρ04等酸性及堿性化學(xué)物質(zhì)的材料，或添載Fe (NO3) 2、Cu (NO3) 2、Mn (NO3)等金屬鹽后，于300°C以上的溫度進(jìn)行煅燒，向活性炭氣孔內(nèi)添載？％03、(:11011102等金屬化合物所制成的材料。例如，把IOg KOH溶解在蒸餾水中后，使該溶液與活性炭接觸，使上述溶液吸收在活性炭氣孔內(nèi)，把吸收了溶液的上述活性炭干燥，使蒸餾水蒸發(fā)，借此僅KOH殘留在活性炭氣孔內(nèi)，來(lái)制成添載活性炭。這樣制成的添載活性炭，具體的意指K0H10%的添載活性炭。這樣的添載活性炭是將酸.堿物質(zhì)或金屬鹽添載至活性炭后通過(guò)物理.化學(xué)結(jié)合而去除有害氣體的材料，當(dāng)添載物質(zhì)的量超過(guò)一定水平時(shí)，因活性炭比表面積減少而吸附性能同時(shí)減少，能夠添載至上述活性炭中的污染物質(zhì)的量是有限的，添載物質(zhì)誘導(dǎo)有害氣體的化學(xué)結(jié)合，但活性炭本身的物理結(jié)合比化學(xué)結(jié)合優(yōu)良，故雖然對(duì)高濃度有害氣體的去除顯示有效果，但當(dāng)有害氣體濃度處于低濃度時(shí)不能發(fā)揮充分的性能。特別是在添載了酸 堿的添載活性炭的情況，通過(guò)酸-堿中和反應(yīng)除去有害氣體，但通過(guò)上述酸-堿中和反應(yīng)，由于H+及0H_離子具有活性，故必需含有一定量水分。因此，當(dāng)干燥了的空氣被持續(xù)供給到添載活性炭時(shí)，產(chǎn)生上述活性炭?jī)?nèi)的水分蒸發(fā)，添載活性炭的活性急速減少的問(wèn)題，此外添載了的活性成分與污染物質(zhì)間通過(guò)酸 堿中和反應(yīng)，在活性炭的氣孔及表面生成鹽，故產(chǎn)生反應(yīng)時(shí)間愈增加，過(guò)濾器的性能越減少，壓力損失越增加等的問(wèn)題。為了克服因該添載活性炭產(chǎn)生的吸附性能的降低，因磨耗產(chǎn)生粉塵及壓力損失等問(wèn)題，最近有人提出采用小粒子狀的離子交換樹(shù)脂及活性炭纖維等的新型化學(xué)過(guò)濾器。目前化學(xué)過(guò)濾器在IC，TFT, OLED，PDP等電子廠房普遍采用。但化學(xué)過(guò)濾器的使用壽命測(cè)試大多還需要在實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行，其原理圖如圖1，測(cè)試裝置通過(guò)連接管道與待測(cè)的過(guò)濾器相連，測(cè)試裝置產(chǎn)生氣體流量，并測(cè)量此氣流的壓力和流量，從而建立起待測(cè)過(guò)濾器的壓損流量曲線，不能實(shí)現(xiàn)在線實(shí)時(shí)測(cè)試。目前常用的檢查方法是分別對(duì)化學(xué)過(guò)濾器的進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口進(jìn)行化學(xué)氣氛的采樣，然后對(duì)采樣的樣本拿到實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行分析。如果分析的結(jié)果顯示進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口的化學(xué)氣氛的濃度基本上沒(méi)變化了，就說(shuō)明該達(dá)到了化學(xué)過(guò)濾器的使用壽命。但是，這種檢測(cè)方式成本高、周期長(zhǎng)并且需要使用昂貴的實(shí)驗(yàn)分析儀器。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的就在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種檢測(cè)成本低、實(shí)時(shí)性好、使用便捷、操作簡(jiǎn)單的化學(xué)過(guò)濾器在線壽命實(shí)時(shí)檢測(cè)裝置。為實(shí)現(xiàn)上述·目的，本實(shí)用新型提供了以下技術(shù)方案:一種化學(xué)過(guò)濾器使用壽命的在線實(shí)時(shí)檢測(cè)裝置，該裝置包括測(cè)試頭、氣泵和氣壓測(cè)試儀。其中，所述的氣壓測(cè)試儀連接有差壓變送器，該壓差變送器的信號(hào)輸出端與處理器連接，在處理器上具有GPRS模塊，處理器通過(guò)GPRS模塊與遠(yuǎn)程控制中心進(jìn)行無(wú)線連接，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)傳輸。其中，所述處理器上連接有RS232模塊，處理器通過(guò)RS232模塊接入互聯(lián)網(wǎng)中并與遠(yuǎn)程控制中心進(jìn)行網(wǎng)絡(luò)連接。有益效果:1、成本低、實(shí)時(shí)性好、使用便攜，操作簡(jiǎn)單。2、本實(shí)用新型的產(chǎn)品小巧，可以用于在線測(cè)量過(guò)濾器的一個(gè)點(diǎn)，而不需要再使用
笨重的流量計(jì)。

圖1現(xiàn)有的實(shí)驗(yàn)室測(cè)過(guò)濾器的壓損和流量的裝置；圖2化學(xué)過(guò)濾器使用壽命檢測(cè)裝置示意圖；其中，I是測(cè)試頭；2是氣泵；3是氣壓測(cè)試儀；4是化學(xué)過(guò)濾器；5是連接管道；6是測(cè)試裝置，7是壓差變送器。
具體實(shí)施方式
[0024]一種化學(xué)過(guò)濾器使用壽命的在線實(shí)時(shí)檢測(cè)裝置，該裝置包括測(cè)試頭、氣泵和氣壓測(cè)試儀。其中，所述的氣壓測(cè)試儀連接有差壓變送器，該壓差變送器的信號(hào)輸出端與處理器連接，在處理器上具有GPRS模塊，處理器通過(guò)GPRS模塊與遠(yuǎn)程控制中心進(jìn)行無(wú)線連接，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)傳輸。其中，所述處理器上連接有RS232模塊，處理器通過(guò)RS232模塊接入互聯(lián)網(wǎng)中并與遠(yuǎn)程控制中心進(jìn)行網(wǎng)絡(luò)連接。最后應(yīng)說(shuō)明的是:顯然，上述實(shí)施例僅僅是為清楚地說(shuō)明本申請(qǐng)所作的舉例，而并非對(duì)實(shí)施方式的限定。對(duì)于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在上述說(shuō)明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動(dòng)。這里無(wú)需也無(wú)法對(duì)所有的實(shí)施方式予以窮舉。而由此所引申出的顯而易見(jiàn) 的變化或變動(dòng)仍處于本申請(qǐng)型的保護(hù)范圍之中。
權(quán)利要求1.一種化學(xué)過(guò)濾器使用壽命的在線實(shí)時(shí)檢測(cè)裝置，其特征在于:該裝置包括測(cè)試頭、氣泵和氣壓測(cè)試儀。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)裝置，其特征在于:所述的氣壓測(cè)試儀連接有差壓變送器，該壓差變送器的信號(hào)輸出端與處理器連接，在處理器上具有GPRS模塊，處理器通過(guò)GPRS模塊與遠(yuǎn)程控制中心進(jìn)行無(wú)線連接，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)傳輸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測(cè)裝置，其特征在于:所述處理器上連接有RS232模塊，處理器 通過(guò)RS232模塊接入互聯(lián)網(wǎng)中并與遠(yuǎn)程控制中心進(jìn)行網(wǎng)絡(luò)連接。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種化學(xué)過(guò)濾器在線壽命實(shí)時(shí)檢測(cè)裝置，目前化學(xué)過(guò)濾器在IC，TFT，OLED，PDP等電子廠房普遍采用，但化學(xué)過(guò)濾器的壽命目前還沒(méi)合適的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試的辦法。不能進(jìn)行在線檢測(cè)，并且檢測(cè)成本高、周期長(zhǎng)并且需要使用昂貴的實(shí)驗(yàn)分析儀器。本實(shí)用新型包括測(cè)試頭、氣泵和氣壓測(cè)試儀。其中，所述的氣壓測(cè)試儀連接有差壓變送器，該壓差變送器的信號(hào)輸出端與處理器連接，在處理器上具有GPRS模塊，處理器通過(guò)GPRS模塊與遠(yuǎn)程控制中心進(jìn)行無(wú)線連接，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)傳輸。述處理器上連接有RS232模塊，處理器通過(guò)RS232模塊接入互聯(lián)網(wǎng)中并與遠(yuǎn)程控制中心進(jìn)行網(wǎng)絡(luò)連接。本實(shí)用新型的目的就在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種檢測(cè)成本低、實(shí)時(shí)性好、使用便捷、操作簡(jiǎn)單的化學(xué)過(guò)濾器壽命檢測(cè)裝置。
文檔編號(hào)G01M99/00GK203132853SQ20132002163
公開(kāi)日2013年8月14日 申請(qǐng)日期2013年1月16日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月16日
發(fā)明者李衛(wèi), 李強(qiáng), 黃文勝 申請(qǐng)人:世源科技工程有限公司