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一種采用主副梁結(jié)構(gòu)的加速度計(jì)的制作方法

文檔序號(hào):6162346閱讀:316來源:國知局
一種采用主副梁結(jié)構(gòu)的加速度計(jì)的制作方法
【專利摘要】一種采用主副梁結(jié)構(gòu)的加速度計(jì),包括封閉的正四邊形外框,外框中心部位有凹形的質(zhì)量塊,質(zhì)量塊的凹陷部位通過主懸臂梁與外框連接,質(zhì)量塊凹陷部位兩邊的凸起部位分別通過一個(gè)副梁與外框連接,主懸臂梁的彈性系數(shù)為副梁彈性系數(shù)的50倍,主懸臂梁的寬度為副梁寬度的50倍,長度為副梁長度的50倍,本發(fā)明能夠在提高靜態(tài)靈敏度的同時(shí)保持固有諧振頻率,從而保證了測量精度。
【專利說明】一種采用主副梁結(jié)構(gòu)的加速度計(jì)
[0001]
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本發(fā)明涉及測量【技術(shù)領(lǐng)域】,特別涉及一種采用主副梁結(jié)構(gòu)的加速度計(jì)。
【背景技術(shù)】
[0003]加速度計(jì)在導(dǎo)航以及汽車工業(yè)中應(yīng)用廣泛,目前的加速度計(jì)有很多種,基本形式有電容式和電阻式,結(jié)構(gòu)都是在外框中用懸臂梁連接一個(gè)質(zhì)量塊,加速度引起外框與質(zhì)量塊的相對(duì)位移,進(jìn)而改變懸臂梁內(nèi)部應(yīng)力,根據(jù)這個(gè)相對(duì)位移和應(yīng)力,就可以得到相應(yīng)的加速度值。不過,現(xiàn)有的這種加速度計(jì)靜態(tài)靈敏度和固有諧振頻率均由一個(gè)懸臂梁決定,而靜態(tài)靈敏度和固有諧振頻率的大小呈反比例關(guān)系,因此使得測量結(jié)果不夠準(zhǔn)確。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明的目的在于提供一種采用主副梁結(jié)構(gòu)的加速度計(jì),具有結(jié)構(gòu)簡單使用方便的特點(diǎn)。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:
一種采用主副梁結(jié)構(gòu)的加速度計(jì),包括封閉的正四邊形外框4,外框4中心部位有凹形的質(zhì)量塊3,質(zhì)量塊3的凹陷部位通過主懸臂梁I與外框4連接,質(zhì)量塊3凹陷部位兩邊的凸起部位分別通過一個(gè)副梁2與外框4連接,主懸臂梁I的彈性系數(shù)為副梁2彈性系數(shù)的50倍。
[0006]所述主懸臂梁I的寬度為副梁2寬度的50倍,長度為副梁2長度的50倍。
[0007]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明能夠在提高靜態(tài)靈敏度的同時(shí)保持固有諧振頻率,從而保證了測量精度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]附圖為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0009]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更詳盡的說明。
[0010]如圖所示,本發(fā)明為一種采用主副梁結(jié)構(gòu)的加速度計(jì),包括封閉的正四邊形外框4,外框4中心部位有凹形的質(zhì)量塊3,質(zhì)量塊3的凹陷部位通過主懸臂梁I與外框4連接,質(zhì)量塊3凹陷部位兩邊的凸起部位分別通過一個(gè)副梁2與外框4連接,主懸臂梁I的彈性系數(shù)為6000N/m,副梁2彈性系數(shù)為120N/m,主懸臂梁I的長度為4000 μ m,副梁2長度為80 μ m,主懸臂梁I的寬度為100 μ m,副梁2寬度為2 μ m,其中副梁2表面設(shè)置有力敏電阻層。
[0011]用來測量加速度時(shí),受到加速度影響,質(zhì)量塊3會(huì)產(chǎn)生一定的偏轉(zhuǎn),此時(shí)兩個(gè)副梁2呈現(xiàn)一根受拉伸,一根被壓縮的情況,力敏電阻層的組織就會(huì)一個(gè)增大,另一個(gè)減小,由此可以獲得相應(yīng)的加速度值。本結(jié)構(gòu)中,靜態(tài)靈敏度主要是由副梁2決定的,而固有諧振頻率是由主懸臂梁I決定的,因此可以保證固有諧振頻率的前提下提高靜態(tài)靈敏度。
【權(quán)利要求】
1.一種采用主副梁結(jié)構(gòu)的加速度計(jì),包括封閉的正四邊形外框(4),其特征在于,外框(4)中心部位有凹形的質(zhì)量塊(3),質(zhì)量塊(3)的凹陷部位通過主懸臂梁(I)與外框(4)連接,質(zhì)量塊(3)凹陷部位兩邊的凸起部位分別通過一個(gè)副梁(2)與外框(4)連接,主懸臂梁(O的彈性系數(shù)為副梁(2)彈性系數(shù)的50倍。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的采用主副梁結(jié)構(gòu)的加速度計(jì),其特征在于,主懸臂梁(I)的寬度為副梁(2)寬度的50倍,長度為副梁(2)長度的50倍。
【文檔編號(hào)】G01P15/12GK103792390SQ201210432898
【公開日】2014年5月14日 申請(qǐng)日期:2012年11月3日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月3日
【發(fā)明者】不公告發(fā)明人 申請(qǐng)人:西安道恒交通設(shè)備科技有限公司
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