專利名稱：一種減振平臺(tái)及基于該減振平臺(tái)的光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種承載檢測(cè)對(duì)象進(jìn)行性能參數(shù)測(cè)量、檢測(cè)的的載體平臺(tái)，尤其涉及一種可有效減小環(huán)境振動(dòng)對(duì)檢測(cè)效果影響的載體平臺(tái)，同時(shí)涉及一種基于該載體平臺(tái)的光 學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的3自由度平臺(tái)的臺(tái)面的X軸長(zhǎng)度與Y軸寬度設(shè)計(jì)一般不超過(guò)400mmX400mm，其X軸與Y軸方向的移動(dòng)量也一般不會(huì)超過(guò)±200mmX ±200 mm。因?yàn)闇y(cè)量評(píng)價(jià)方面很多參數(shù)是以絕對(duì)量作為評(píng)價(jià)尺度，而不能使用相對(duì)量作為評(píng)價(jià)尺度，所以超過(guò)上述尺寸的大尺寸與大移動(dòng)量會(huì)帶來(lái)臺(tái)面平行度與粗糙度難以控制在很小范圍、臺(tái)面移出后失去平衡、產(chǎn)生傾斜等問題。尤其值得關(guān)注的是傳統(tǒng)的3自由度平臺(tái)設(shè)計(jì)時(shí)，僅解決了小尺寸應(yīng)用條件下的減振問題，無(wú)法對(duì)超過(guò)常規(guī)尺寸的檢測(cè)對(duì)象進(jìn)行精密測(cè)量。近年來(lái)，由于技術(shù)與產(chǎn)業(yè)的不斷進(jìn)步，大尺寸的超精密儀器與設(shè)備，特別是應(yīng)用大尺寸平臺(tái)的需求也越來(lái)越多，而與這種大尺寸平臺(tái)相配合使用的光學(xué)測(cè)量?jī)x器一般都具有占空間較大、自身重量較重、對(duì)環(huán)境要求較苛刻等特點(diǎn)，因?yàn)橐岣邷y(cè)量的精度與分辨率，一般會(huì)使用波長(zhǎng)較短或者是單一波長(zhǎng)純色的光來(lái)進(jìn)行投射，所以結(jié)構(gòu)復(fù)雜、振動(dòng)敏感。光學(xué)測(cè)量?jī)x器一般會(huì)安裝在3自由度平臺(tái)的可移動(dòng)Z軸上，所以大尺寸平臺(tái)的Z軸一般會(huì)出現(xiàn)調(diào)出所需要的景深后下滑，致使所要測(cè)量的物體難于穩(wěn)定在目鏡中，不利于觀察；同吋，X軸與Y軸的大尺寸與大移動(dòng)量也會(huì)使Z軸的結(jié)構(gòu)不利于減少振動(dòng)。這樣的結(jié)果造成一方面為了追求效率要求把平臺(tái)的臺(tái)面變大、把平臺(tái)的移動(dòng)量也變大，而相對(duì)應(yīng)的平臺(tái)自身振動(dòng)量也在變大；另ー方面為了追求質(zhì)量要求把平臺(tái)所承載的光學(xué)測(cè)量?jī)x器變?yōu)榫雀摺⒎直媛室哺叩脑O(shè)備，可是這種高精度、高分辨率又會(huì)反過(guò)來(lái)要求平臺(tái)自身的振動(dòng)量要更小，為了安裝高精度、高分辨率的光學(xué)測(cè)量?jī)x器也會(huì)使平臺(tái)的自身振動(dòng)量變大。為了解決上述矛盾的現(xiàn)象，就必須開發(fā)出適應(yīng)這種要求的3自由度、抑振、大尺寸、大移動(dòng)量的載體平臺(tái)。

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問題
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供ー種可有效減小環(huán)境振動(dòng)及自身振動(dòng)對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響、提高檢測(cè)精度的減振平臺(tái)，基于該技術(shù)方案的減振平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)滿足大尺寸大移動(dòng)量檢測(cè)條件的ニ自由度或者三自由度的減振平臺(tái)，同時(shí)提供一種基于該減振平臺(tái)的光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)。技術(shù)方案
為了解決上述的技術(shù)問題，本發(fā)明技術(shù)方案的減振平臺(tái)包括一可移動(dòng)臺(tái)面和用于驅(qū)動(dòng)移動(dòng)臺(tái)面運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，還包括一減振底座，所述的可移動(dòng)臺(tái)面的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)設(shè)置于減振底座上，所述的減振底座為可移動(dòng)臺(tái)面和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)整體提供減振功能。
所述的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)包括驅(qū)動(dòng)移動(dòng)臺(tái)面進(jìn)行橫向運(yùn)動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)和驅(qū)動(dòng)可移動(dòng)臺(tái)面進(jìn)行縱向運(yùn)動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，所述的第一驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)可移動(dòng)臺(tái)面的橫向運(yùn)動(dòng)亦即實(shí)現(xiàn)X軸方向的運(yùn)動(dòng)，相應(yīng)地，所述的第二驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)移動(dòng)臺(tái)面的縱向運(yùn)動(dòng)亦即實(shí)現(xiàn)Y軸方向的運(yùn)動(dòng)，即可移動(dòng)臺(tái)面因受到驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)而可在X軸方向和Y軸方向運(yùn)動(dòng)?？紤]到X軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)和Y軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)之間的配合關(guān)系，二者之間還設(shè)置有一中間系統(tǒng)。為了實(shí)現(xiàn)本發(fā)明技術(shù)方案的減振平臺(tái)適用于大尺寸大移動(dòng)量的檢測(cè)條件，所述的減振底座包括一支撐平臺(tái)，所述支撐平臺(tái)的下方懸置至少ー個(gè)下垂式抑振器，所述的下垂式抑振器包括包裝體和容納于包裝體中的減振粒狀物，包裝體通過(guò)連接體與支撐平臺(tái)連接。所述的至少ー個(gè)下垂式抑振器組成了ー個(gè)獨(dú)立的抑振系統(tǒng)，考慮到可移動(dòng)臺(tái)面和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)整體與減振底座的關(guān)系為串聯(lián)式抑振的關(guān)系，則下垂式抑振器組成的抑振系統(tǒng)與可移動(dòng)臺(tái)面及驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)整體為并聯(lián)式的抑振關(guān)系，進(jìn)ー步提升了減振效果。更進(jìn)一歩地，所述減振底座的支撐平臺(tái)固定設(shè)置于一減振支架上，所述的減振支架由一組減振管狀物組成，所述的減振管狀物由封閉型管狀物和容納在封閉型管狀物內(nèi)的減振顆粒組成。一般地，為了適應(yīng)減振平臺(tái)通常的形狀為長(zhǎng)方形或正方形的實(shí)際情況，減振支架可做成桌子的形式，頂端用于固定安裝支撐平臺(tái)。而由于減振支架的每個(gè)單元即減振管狀物都具備減振功能，則減振支架與上述的抑振系統(tǒng)協(xié)同工作，為整個(gè)裝置進(jìn)行減振。相應(yīng)地，上述抑振系統(tǒng)中的下垂式抑振器可以選擇安裝在減振支架的減振管狀物上，亦可同時(shí)安裝在支撐平臺(tái)和減振管狀物上。為了使本技術(shù)方案的減振平臺(tái)可進(jìn)行X、Y、Z三個(gè)方向上的自由度，其還包括設(shè)置于減振底座上的減振臂，所述的減振臂包括垂直固定于所述減振底座的第一減振部，以及與第一減振部連接并平行于所述移動(dòng)臺(tái)面的第二減振部。為了實(shí)現(xiàn)更好的減振效果，所述的第一減振部和第二減振部設(shè)計(jì)為中空結(jié)構(gòu)，其內(nèi)壁設(shè)置有第一加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu)，所述的加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu)為與減振臂結(jié)構(gòu)一體成型得到，形狀可選擇交叉式或斜拉式。更進(jìn)一歩地，所述的第二減振部頂端設(shè)置有沿垂直于可移動(dòng)臺(tái)面方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)的行走機(jī)構(gòu)。一般地，所述可移動(dòng)臺(tái)面在實(shí)際應(yīng)用中主要為水平設(shè)置，相應(yīng)地，所述的行走機(jī)構(gòu)則沿著垂直方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，即實(shí)現(xiàn)了減振平臺(tái)在X、Y、Z三個(gè)方向的自由度。更進(jìn)一歩地，所述的支撐平臺(tái)呈具有厚度的中空平板狀結(jié)構(gòu)，其內(nèi)壁設(shè)置有第二加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu)，與上述減振臂的結(jié)構(gòu)類似，所述的加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu)為與支撐平臺(tái)本體一體成型得到，形狀可選擇交叉式或斜拉式。更進(jìn)一歩地，為了實(shí)現(xiàn)更好的減振效果，還可以與移動(dòng)臺(tái)面相配合工作的第一驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)中增設(shè)至少ー個(gè)振動(dòng)抑制板，該振動(dòng)抑制板的材料可選擇彈性較好的金屬材料。本發(fā)明同時(shí)提供了一種基于上述減振平臺(tái)的光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，即在所述的減振平臺(tái)上固定設(shè)置有ー個(gè)光學(xué)檢測(cè)儀，一般為ー種光學(xué)顯微鏡，其位置一般是固定的，通過(guò)減振平臺(tái)在X軸方向和Y軸方向的運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)檢測(cè)對(duì)象的位置變化，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)檢測(cè)對(duì)象的光學(xué)檢測(cè)。由于減振平臺(tái)還設(shè)置有一減振臂，減振臂的第二減振部頂端的行走機(jī)構(gòu)可帶動(dòng)光學(xué)檢測(cè)儀進(jìn)行垂直于移動(dòng)臺(tái)面的往復(fù)運(yùn)動(dòng)，實(shí)際上實(shí)現(xiàn)了光學(xué)檢測(cè)儀與待檢測(cè)對(duì)象之間的距離可調(diào)，即實(shí)現(xiàn)了三自由度的光學(xué)檢測(cè)。本技術(shù)方案中，考慮到實(shí)際應(yīng)用中光學(xué)檢測(cè)儀的重量較重，不利于其自身的平衡，亦會(huì)產(chǎn)生較大振動(dòng)影響到檢測(cè)效果，其還包括用于平衡光學(xué)檢測(cè)儀位置的重量平衡器，所述的重量平衡器包括一重量平衡器和柔性索，柔性索一端與重量平衡器連接，另一端與光學(xué)檢測(cè)儀連接，亦可與上述的行走機(jī)構(gòu)連接，而行走機(jī)構(gòu)帶動(dòng)光學(xué)檢測(cè)儀在行程范圍內(nèi)上下運(yùn)動(dòng)。有益效果
本發(fā)明的減振平臺(tái)的結(jié)構(gòu)在設(shè)計(jì)時(shí)充分考慮到應(yīng)用在大尺寸大移動(dòng)量條件下精密減振的需要，不僅僅是增加了移動(dòng)臺(tái)面的具體尺寸，同時(shí)也在各組成結(jié)構(gòu)中增加了具有減振功能的単元，使得其整體振動(dòng)量較小，可達(dá)0.005_數(shù)量級(jí)。同時(shí)，本發(fā)明的減振平臺(tái)不僅實(shí)現(xiàn)在X、Y兩個(gè)方向上的大尺寸和大移動(dòng)量條件下的精密減振，同時(shí)也實(shí)現(xiàn)在X、Y、Z三個(gè)方向上的大尺寸和大移動(dòng)量條件下的精密減振，尤其適用于尺寸超過(guò)200mmX200 mm的大尺寸光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)?；谠摐p振平臺(tái)的光學(xué)檢測(cè)儀充分考慮到光學(xué)檢測(cè)精密測(cè)量的需要，利用減振平臺(tái)的減振結(jié)構(gòu)，保證了光學(xué)檢測(cè)的精確度。


圖I是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的減振平臺(tái)的主視 圖2是圖I的側(cè)視 圖3是圖I的俯視 圖4是重量平衡器結(jié)構(gòu)示意 圖5是減振臂的主視 圖6是減振臂的仰視 圖7是減振臂的側(cè)視 圖8是圖5 A-A向不意 圖9是減振支架的減振管狀物結(jié)構(gòu)示意 圖10是抑振系統(tǒng)及減振支架結(jié)構(gòu)示意 圖11是支撐平臺(tái)的主視 圖12是支撐平臺(tái)的俯視 圖13是支撐平臺(tái)的側(cè)視 圖14是可移動(dòng)臺(tái)面及中間系統(tǒng)側(cè)視 圖15是可移動(dòng)臺(tái)面及中間系統(tǒng)俯視圖 圖16滾針與三角導(dǎo)軌的側(cè)視 圖17是滾針與三角導(dǎo)軌的立體圖。
具體實(shí)施例方式如圖I所示，本實(shí)施例提供了ー種三自由度減振平臺(tái)，圖示中亦給出了由其提供支持的光學(xué)檢測(cè)儀。本實(shí)施例的三自由度減振平臺(tái)包括可移動(dòng)臺(tái)面2和用于驅(qū)動(dòng)可移動(dòng)臺(tái)面2運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，其還包括減振底座5，所述的可移動(dòng)臺(tái)面2的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)設(shè)置于減振底座5上。所述的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)包括驅(qū)動(dòng)可移動(dòng)臺(tái)面2進(jìn)行橫向運(yùn)動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)2和驅(qū)動(dòng)可移動(dòng)臺(tái)面2進(jìn)行縱向運(yùn)動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)4。第一驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)2和第二驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)4通過(guò)中間系統(tǒng)3相連接。如圖I、圖2、圖10所示，所述的減振底座5包括一支撐平臺(tái)51，所述支撐平臺(tái)51的下方懸置至少ー個(gè)下垂式抑振器7，所述的下垂式抑振器7包括包裝體71和容納于包裝體71中的減振粒狀物72，包裝體71通過(guò)連接體73與支撐平臺(tái)51連接。減振底座5的支撐平臺(tái)51固定設(shè)置于減振支架6上，如圖9、圖10所示，所述的減振支架6由一組減振管狀物600組成，減振支架6包括減振管狀物600、管狀物連接件605及減振腳墊604，所述的減振管狀物600由封閉型管狀物601和容納在封閉型管狀物601內(nèi)的減振顆粒602組成。所述的下垂式抑振器7亦可以選擇懸置于減振支架6的減振管狀物600上。減振管狀物600是由管狀物601、抑振 用不同尺寸規(guī)格不同幾何形狀的粒狀物602、封堵物603組成。管狀物601內(nèi)裝填抑振用不同尺寸規(guī)格不同幾何形狀的粒狀物602后用封堵物603封堵，不讓粒狀物602漏出。然后把減振管狀物600用焊接或者螺紋連接方式連接后再在腿腳墊上減振腳墊604組成減振支架6，圖10中al表示減振支架6支撐的待減振物體。如圖I、圖2、圖3、圖5、圖6、圖7、圖8所示，本實(shí)施例的三自由度減振平臺(tái)還包括設(shè)置于減振底座5上的減振臂8，所述的減振臂8包括垂直固定于所述減振底座5的第一減振部81，以及與第一減振部82連接并平行于所述移動(dòng)臺(tái)面2的第二減振部82。所述的第ニ減振部82頂端設(shè)置有沿垂直于移動(dòng)臺(tái)面2方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)的行走機(jī)構(gòu)10。所述的第一減振部81和第二減振部82為中空結(jié)構(gòu)，其內(nèi)壁設(shè)置有第一加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu)802。當(dāng)?shù)诙p振部82前端安裝較重的光學(xué)檢測(cè)儀器時(shí)，則需要在減振臂8內(nèi)安裝重量平衡器9，其結(jié)構(gòu)如圖4所示，即包括一重量平衡單元901和柔性索903,柔性索903 —端與重量平衡單元901連接，另一端與光學(xué)檢測(cè)儀I連接，所述的重量平衡単元901可以是發(fā)條式或者是重錘式重量平衡單元。減振臂8具體包括與行走機(jī)構(gòu)10相連的連接機(jī)構(gòu)801、加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu)802、厚壁U型支撐結(jié)構(gòu)803、與減振底座5連接的連接機(jī)構(gòu)804及重量平衡器9的連接軸件805，減振臂8屬于結(jié)構(gòu)功能性的系統(tǒng)，主要起到連接、支撐、減振、抑振的作用，且結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，所以多采用模具成型エ藝，也可以采用焊接成型エ藝。而模具成型鑄件可以利用材料的配比實(shí)現(xiàn)(例如球墨鑄鐵)減振、抑振的作用。連接機(jī)構(gòu)801主要是完成與行走機(jī)構(gòu)10的連接功能，一般會(huì)采用螺紋連接，而連接機(jī)構(gòu)801上的結(jié)構(gòu)就是若干個(gè)帶螺紋的螺栓孔。加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu)802是為了保證減振臂8具有足夠的強(qiáng)度與剛度而設(shè)計(jì)的互為斜拉的加強(qiáng)筋，加強(qiáng)筋是可以實(shí)現(xiàn)高強(qiáng)度的結(jié)構(gòu)件的理想手段，而互為斜拉的加強(qiáng)筋可以平衡一部分底座上傳的振動(dòng)。厚壁U型支撐結(jié)構(gòu)803是為了保證減振臂8具有足夠的強(qiáng)度與剛度的同時(shí)可以在其內(nèi)部安裝部件，所以設(shè)計(jì)成為U型。與減振底座5的連接機(jī)構(gòu)804是為了保證穩(wěn)定所以設(shè)計(jì)成為寬ロ連接方式。軸件805的功能為重量平衡器9中的柔性索903提供改變方向的支撐點(diǎn)，并使其連接到發(fā)條式或者是重錘式重量平衡単元901上。如圖I、圖2、圖3所示，當(dāng)本實(shí)施例的三自由度減振平臺(tái)安裝上光學(xué)檢測(cè)儀I吋，則減振平臺(tái)需要實(shí)施為光學(xué)檢測(cè)儀I提供支持的功能，光學(xué)檢測(cè)儀I需要在一定的行程內(nèi)上下移動(dòng)，所以行走機(jī)構(gòu)10包括只能單自由度移動(dòng)的雙滾珠絲杠機(jī)構(gòu)、齒輪齒條傳動(dòng)的可以初微調(diào)結(jié)構(gòu)、及與光學(xué)檢測(cè)儀I相連接的機(jī)構(gòu)。上述結(jié)構(gòu)一般采用傳統(tǒng)的常規(guī)結(jié)構(gòu)。單自由度移動(dòng)的雙滾珠絲杠機(jī)構(gòu)是用來(lái)實(shí)現(xiàn)單自由度移動(dòng)。齒輪齒條傳動(dòng)的可以初微調(diào)結(jié)構(gòu)是用來(lái)實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)變直線的垂直于可移動(dòng)臺(tái)面2的方向上的移動(dòng)。在齒輪的固定座上加工出螺紋機(jī)構(gòu)，并使螺栓的端部可以旋擰到齒條的固定座上，這個(gè)結(jié)構(gòu)可以用來(lái)起到保險(xiǎn)自鎖的作用；同吋，為了不使光學(xué)檢測(cè)儀I的鏡頭遭受誤操作所帯來(lái)的碰到可移動(dòng)臺(tái)面2或者待檢測(cè)物品的危險(xiǎn)，還安裝了最下位置的限位機(jī)構(gòu)(圖中未示出)。
如圖11、圖12、圖13所示，所述的支撐平臺(tái)51呈具有厚度的中空平板狀結(jié)構(gòu)，其內(nèi)壁設(shè)置有第二加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu)503。如圖11所示，支撐平臺(tái)具體包括厚壁臺(tái)面支撐結(jié)構(gòu)501、與第二驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)4相連的連接結(jié)構(gòu)502、加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu)503、搬運(yùn)用機(jī)構(gòu)504、與減振臂8相連的連接結(jié)構(gòu)505、與下垂式抑制器7組成的抑振系統(tǒng)相連的連接結(jié)構(gòu)506、與發(fā)條式或者是重錘式重量平衡單元901相連的連接結(jié)構(gòu)507。支撐平臺(tái)51主要起到支撐、連接、減振、抑振的作用，且結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，所以多采用模具成型エ藝，也可以采用焊接成型エ藝。而模具成型鑄件可以利用材料的配比實(shí)現(xiàn)(例如球墨鑄鐵)減振、抑振的作用。厚壁臺(tái)面支撐結(jié)構(gòu)501主要起到連接、支撐、減振、抑振的作用，臺(tái)面重量重、結(jié)構(gòu)復(fù)雜，且臺(tái)面上平面501-1、501-2,501-3既要求自身的平面度有要求相互之間的平行度。與第二驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)4的連接結(jié)構(gòu)502的連接功能一般采用螺紋連接，而連接結(jié)構(gòu)502上的結(jié)構(gòu)就是若干個(gè)帶螺紋的螺栓孔。加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu)503是為了保證減振底座系統(tǒng)具有足夠的強(qiáng)度與剛度而設(shè)計(jì)的互為斜拉的加強(qiáng)筋，加強(qiáng)筋是可以實(shí)現(xiàn)高強(qiáng)度的結(jié)構(gòu)件的理想手段，而互為斜拉的加強(qiáng)筋可以平衡一部分底座上傳的振動(dòng)。搬運(yùn)用機(jī)構(gòu)504是較大尺寸的螺紋孔，在搬運(yùn)時(shí)安裝上與之相配的螺栓作為把手以提高操作的便利性。與減振臂8的連接結(jié)構(gòu)505為螺栓孔，在安裝時(shí)，將支撐平臺(tái)和減振臂相対的兩個(gè)平面涂膠對(duì)正后用螺栓鎖緊即可。與抑振系統(tǒng)的連接結(jié)構(gòu)506、與發(fā)條式或者是重錘式重量平衡単元901的連接結(jié)構(gòu)507也采用螺紋連接
如圖14、圖15所示，所述的第一驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)I包括與可移動(dòng)臺(tái)面2相連接的至少ー個(gè)振動(dòng)抑制板2010。第一驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)I實(shí)際上包括X軸移動(dòng)臺(tái)面201即可移動(dòng)臺(tái)面2、與中間系統(tǒng)3連接的連接結(jié)構(gòu)202、連接螺栓203、固定螺栓204、固定螺栓205、固定板206、推桿螺栓208、推桿固定板209及振動(dòng)抑制板2010。而上述結(jié)構(gòu)在X軸移動(dòng)臺(tái)面201下面是成對(duì)對(duì)稱存在的。固定螺栓205把X軸移動(dòng)臺(tái)面201與振動(dòng)抑制板2010固定在一起。傳統(tǒng)的振動(dòng)抑制板2010只是在正在兩只固定板206的中間所加入的起加強(qiáng)筋作用的。本發(fā)明的振動(dòng)抑制板2010是根據(jù)有限元計(jì)算的結(jié)果，在X軸移動(dòng)臺(tái)面201彎曲振動(dòng)劇烈的地方多加入一到兩只振動(dòng)抑制板2010，使振動(dòng)在其他條件相同時(shí)，振動(dòng)量明顯減小。在傳統(tǒng)的條件下，振動(dòng)量在0. Imm數(shù)量級(jí),現(xiàn)在的振動(dòng)量在0. 005mm數(shù)量級(jí)。如圖15、圖16、圖17所示，可移動(dòng)臺(tái)面2與中間系統(tǒng)3通過(guò)ー連接結(jié)構(gòu)202相連接，具體包括三角導(dǎo)軌202a、滾針固定器202b、滾針202c ;固定螺栓303把中間系統(tǒng)3的中間臺(tái)面301與固定板302固定在一起，固定螺栓把三角導(dǎo)軌202a固定在固定板302上的凹槽中，滾針固定器202b把滾針202c分為間隔，滾針202c針面與三角導(dǎo)軌202a面貼合。固定螺栓203把可移動(dòng)臺(tái)面2固定在一起，固定螺栓把三角導(dǎo)軌202d固定在固定板206上。固定螺栓204把推桿固定板209與X軸移動(dòng)臺(tái)面201固定在一起，推桿螺栓208的松緊就可以調(diào)節(jié)固定板206、三角導(dǎo)軌202d所組成的結(jié)構(gòu)與固定板302、三角導(dǎo)軌202a、固定器202b、滾針202c之間的間隙，一般調(diào)節(jié)到滾針202c與三角導(dǎo)軌202d的軌面與滾針202c針面貼合。這樣推動(dòng)X軸移動(dòng)臺(tái)面201，滾針202c的針面就會(huì)在三角導(dǎo)軌202d與三角導(dǎo)軌202a的軌面間滾動(dòng)。
權(quán)利要求
1.一種減振平臺(tái)，包括可移動(dòng)臺(tái)面(2)和用于驅(qū)動(dòng)可移動(dòng)臺(tái)面(2)運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，還包括減振底座(5)，所述的可移動(dòng)臺(tái)面(2)的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)設(shè)置于減振底座(5)上。
2.如權(quán)利要求I所述的減振平臺(tái)，其特征在于，所述的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)包括驅(qū)動(dòng)可移動(dòng)臺(tái)面(2)進(jìn)行橫向運(yùn)動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(2)和驅(qū)動(dòng)可移動(dòng)臺(tái)面(2)進(jìn)行縱向運(yùn)動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)⑷。
3.如權(quán)利要求2所述的減振平臺(tái)，其特征在于，所述的第一驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(2)和第二驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(4)通過(guò)中間系統(tǒng)(3)相連接。
4.如權(quán)利要求I所述的減振平臺(tái)，其特征在于，所述的減振底座(5)包括一支撐平臺(tái)(51)，所述支撐平臺(tái)(51)的下方懸置至少一個(gè)下垂式抑振器(7)，所述的下垂式抑振器(7)包括包裝體(71)和容納于包裝體(71)中的減振粒狀物(72)，包裝體(71)通過(guò)連接體(73)與支撐平臺(tái)(51)連接。
5.如權(quán)利要求4所述的減振平臺(tái)，其特征在于，減振底座(5)的支撐平臺(tái)(51)固定設(shè)置于減振支架(6)上，所述的減振支架(6)由一組減振管狀物(600)組成，所述的減振管狀物(600)由封閉型管狀物(601)和容納在封閉型管狀物(601)內(nèi)的減振顆粒(602)組成。
6.如權(quán)利要求5所述的減振平臺(tái)，所述的減振支架(6)上懸置至少一個(gè)下垂式抑振器(7),所述的下垂式抑振器(7)包括包裝體(71)和容納于包裝體(71)中的粒狀物(72)，包裝體(71)通過(guò)連接體(73)與減振管狀物(600)連接。
7.如權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的減振平臺(tái)，其特征在于，還包括設(shè)置于減振底座(5)上的減振臂(8)，所述的減振臂(8)包括垂直固定于所述減振底座(5)的第一減振部(81)，以及與第一減振部(82)連接并平行于所述移動(dòng)臺(tái)面(2)的第二減振部(82)。
8.如權(quán)利要求7所述的減振平臺(tái)，其特征在于，所述的第二減振部(82)頂端設(shè)置有沿垂直于移動(dòng)臺(tái)面(2 )方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)的行走機(jī)構(gòu)(10 )。
9.如權(quán)利要求7所述的減振平臺(tái)，其特征在于，所述的第一減振部(81)和第二減振部(82 )為中空結(jié)構(gòu)，其內(nèi)壁設(shè)置有第一加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu)(802 )。
10.如權(quán)利要求5所述的減振平臺(tái)，其特征在于，所述的支撐平臺(tái)(51)呈具有厚度的中空平板狀結(jié)構(gòu)，其內(nèi)壁設(shè)置有第二加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu)(503 )。
11.如權(quán)利要求2所述的減振平臺(tái)，其特征在于，所述的第一驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(I)包括與移動(dòng)臺(tái)面(2)相連接的至少一個(gè)振動(dòng)抑制板(2010)。
12.一種包括權(quán)利要求I至11任一項(xiàng)權(quán)利要求所述減振平臺(tái)的光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述的減振平臺(tái)上固定設(shè)置有光學(xué)檢測(cè)儀(I )。
13.如權(quán)利要求12所述的光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述的光學(xué)檢測(cè)儀(I)通過(guò)行走機(jī)構(gòu)(10)與減振臂(8)的第二減振部(82)連接。
14.如權(quán)利要求13所述的光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，還包括用于平衡光學(xué)檢測(cè)儀(I)位置的重量平衡器(9)，所述的重量平衡器(9)包括一重量平衡單元(901)和柔性索(903)，柔性索(903 ) —端與重量平衡單元(901)連接，另一端與光學(xué)檢測(cè)儀(I)連接。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種減振平臺(tái)，包括可移動(dòng)臺(tái)面和用于驅(qū)動(dòng)可移動(dòng)臺(tái)面運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，還包括減振底座，所述的可移動(dòng)臺(tái)面的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)設(shè)置于減振底座上。同時(shí)公開了一種基于該減振平臺(tái)的光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)。本發(fā)明的減振平臺(tái)充分考慮到應(yīng)用在大尺寸大移動(dòng)量條件下精密減振的需要，其整體振動(dòng)量較小，可達(dá)0.005mm數(shù)量級(jí)。不僅實(shí)現(xiàn)在X、Y兩個(gè)方向上的大尺寸和大移動(dòng)量條件下的精密減振，同時(shí)也實(shí)現(xiàn)在X、Y、Z三個(gè)方向上的大尺寸和大移動(dòng)量條件下的精密減振，尤其適用于尺寸超過(guò)200mm×200mm的大尺寸光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)?；谠摐p振平臺(tái)的光學(xué)檢測(cè)儀充分考慮到光學(xué)檢測(cè)精密測(cè)量的需要，利用減振平臺(tái)的減振結(jié)構(gòu)，保證了光學(xué)檢測(cè)的精確度。
文檔編號(hào)G01N21/01GK102621064SQ201210069960
公開日2012年8月1日 申請(qǐng)日期2012年3月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月16日
發(fā)明者張建輝 申請(qǐng)人:無(wú)錫正慈機(jī)電科技有限公司