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寬距離光束平行性檢測裝置的制作方法

文檔序號:5836043閱讀:276來源:國知局
專利名稱:寬距離光束平行性檢測裝置的制作方法
技術領域
本發(fā)明是寬距離光束平行性檢測裝置,屬于光軸平行性檢測技術 領域。
背景技術
對于寬距離光束平行性的檢測,到目前為止, 一般都使用大口徑 平行光管,將被檢測的兩路平行光包含在平行光管口徑內(nèi),根據(jù)成像 在平行光管焦面上兩點的位置,判斷兩路平行光的平行精度。(參考 文獻多光譜光學系統(tǒng)光學平行性的調校和檢驗方法探測,付躍剛,
王志堅,李博,長春光學精密機械學院學報,2001年12月,第24
巻第4期)現(xiàn)有技術存在以下缺點1、對于實際測量,兩路平行光
束之間的距離很寬,但通光孔徑不大,使用大孔徑平行光管進行檢測,
實屬浪費;2、當被測兩平行光束相對孔徑較大時,大孔徑平行光管 又無法實現(xiàn)這種測試要求;3、自準直平行光管的口徑必須大于被檢 測的兩路平行光束的距離,這就造成平行光管的口徑隨被檢光束距離 而變化,這使得平行光管的制造成本增加,且與口徑增大的三次方乃 至四次方成正比。當增大到500mm左右時就難以加工,成本非常昂貴, 制造過程復雜,且周期長;4、現(xiàn)有檢測設備對于長距基準的引出, 需要利用其它基準導出測量,過程復雜。 發(fā)明內(nèi)容為解決現(xiàn)有平行光束檢測設備存在的不足,本發(fā)明提供寬距離光 束平行性檢測裝置,不需要將被檢測的寬距離的兩路平行光束包含在 自準直平行光管的口徑之內(nèi),這樣能夠實現(xiàn)小口徑的自準直平行光管 能夠檢測寬距離光束平行性。.
如圖1所示,本發(fā)明提供的平行光管擴徑準直裝置由1和擴徑準 直臂2構成,擴徑臂2位于自準直平行光管1的前面,并且可繞自準
直平行光管1轉動;
所述的自準直平行光管1采用傳統(tǒng)的牛頓式結構,由點光源21、 拋物面型主反射鏡23、平面反射鏡24和分光系統(tǒng)17組成;所述的 分光系統(tǒng)17由分光棱鏡18、反射鏡19和二次反射鏡20組成,其中, 反射鏡19鍍有硫化鋅膜層;上述所有的組成部件均置于自準直平行 光管殼體內(nèi);
由點21發(fā)出的光,經(jīng)過反射鏡19和二次反射鏡20、平面反射鏡 24、再經(jīng)過拋物面型主反射鏡23變成平行光束10;平行光束10的 一部分進入擴徑臂2的復合五棱鏡15";所述的點光源21提供可見 光或紅外光;點光源21優(yōu)選為溴鎢燈;
或者,光源采用激光光源22,激光光源22采用光纖擬合的方法 進入分光系統(tǒng),激光透過分光棱鏡18,由反射鏡19反射到二次反射 鏡20,再經(jīng)由平面反射鏡24和拋物面型主反射鏡23以平行光出射;
所述的擴徑臂2由復合五棱鏡15、復合五棱鏡組16、水銀盒8 和水銀盒9組成;上述所有的組成部件均置于擴徑臂的殼體內(nèi);
所述的復合五棱鏡15是由五棱鏡3和光楔6組合而成的,其粘結面鍍有半反半透膜層;復合五棱鏡15位于自準直平行光管1的前 面,將平行光管1發(fā)出的平行光束10的一部分,引入擴徑臂2中, 并將光束分為兩路, 一路用來進行平行光管的自檢, 一路傳給復合五
棱鏡組16;
所述的復合五棱鏡組16是由五棱鏡4、五棱鏡5和一個光楔7 組成,光楔7與五棱鏡4的粘結面鍍有半反半透膜層,光楔7與五棱 鏡5的粘結面沒有鍍膜,光可以直接透過;復合五棱鏡組16的五棱 鏡4出射的光束13和經(jīng)五棱鏡5出射的光束14始終保持平行;并且 復合五棱鏡組16和水銀盒9隨著機械結構可以一起沿著整個擴徑臂 2的殼體的內(nèi)壁移動,調整復合五棱鏡15和復合五棱鏡組16之間的 距離以調整被檢兩路平行光之間的距離。
調整復合五棱鏡15和復合五棱鏡組16之間的距離以調整被檢兩
路平行光之間的距離同時又不降低檢測精度。這也是本發(fā)明的一個發(fā) 明點。
本發(fā)明中,利用五棱鏡能將光路轉折90。,并且在五棱鏡光軸截 面內(nèi),不產(chǎn)生像偏轉的特性,這就減少了一個引起出射光束偏離原光 束方向的因素,只需要考慮五棱鏡在其它兩個方向的偏轉誤差對出射 光束14的影響。同時,光楔的引入,使得光向中心偏折,補償了五 棱鏡引起的誤差。
對于寬距離光束平行性檢測裝置,當復合五棱鏡15和復合五棱 鏡組16之間的距離改變后,必須對系統(tǒng)進行校準。而且當使用一定 時間后,考慮到擴徑臂的材料變形影響,系統(tǒng)也要進行校準。本裝置的優(yōu)點就在于能夠實現(xiàn)自校準,不需要借助外部其它設備。
對系統(tǒng)進行校準,要利用水銀盒所提供的標準水平面。下面結合
圖2和圖3進一步說明本發(fā)明的光學自檢過程。
首先,對平行光管進行校準。平行光管1發(fā)出平行光10,經(jīng)五棱 鏡3后, 一部分透過光楔6出射,打到水銀盒8的水銀面上,光束 ll按原路返回,成像在平行光管像面上,通過調整復合五棱鏡15, 將所成的像即十字分劃線與平行光管本身的十字分劃線重合。
其次,平行光管出射的光束10經(jīng)過五棱鏡3后,有一部分折轉90° 后即光束12進入復合五棱鏡組16,出射光13打到水銀盒9上,光 按原路返回,被平行光管成像在像面上,看此時的像即十字分劃線與 光管本身的十字分劃線是否重合,同樣通過調整復合五棱鏡15來實 現(xiàn)。因為復合五棱鏡組16事先調好,出射光束13、 14始終平行,所 以當光束13按原路反回到平行光管,通過調試復合五棱鏡15使得出 射光束13與入射光束10平行時,光束14也就與光束10平行了。
動態(tài)檢測過程如下在光學自檢完成后,被檢測平行光束14通過 復合五棱鏡組16折轉90。后,經(jīng)過復合五棱鏡15又被折轉90。進入自 準直平行光管l,在自準直平行光管l的焦面上形成一個光斑;被測 平行光束IO直接射入自準直平行光管1內(nèi),同樣在自準直平行光管 的焦面上形成另一光斑,如果兩個光斑重合,說明平行光束10和14 是平行的,否則根據(jù)平行光束10和14在自準直平行光管1焦面上形 成像點的間距和自準直平行光管1的焦距,就可計算出平行光束10 和14的平行度偏差。本發(fā)明的寬距離光束平行性檢測裝置,還有如下的技術方案
如圖4所示,寬距離光束平行性檢測裝置由小口徑平行光管25 和還有擴徑臂2構成;
所述的小口徑平行光管25由望遠物鏡26和安置在物鏡焦平面上 的分劃板27構成;擴徑臂2的構成與上述的技術方案的圖1所示的 擴徑臂2的結構相同;只是擴徑臂2套在小口徑平行光管25上,通 過緊固件固定,鎖緊在平行光管25上。
結合圖5進一步說明系統(tǒng)的自檢過程。
平行光管25發(fā)出平行光28完全被復合五棱鏡15接收,分成兩 路即光束29和光束30;光束29被水銀面反射,按原路返回,透過 復合五棱鏡15,傳到平行光管,成像在焦面處,通過調整復合五棱 鏡15使得所成像即十字分劃線與光管本身十字線重合,這就是平行 光管25的自檢;光束30傳給復合五棱鏡組16,經(jīng)過復合五棱鏡組 16后,又分為兩路;光束31經(jīng)水銀面反射,按原路返回,被五棱鏡 折轉90°后,進入復合五棱鏡15,再折轉90°,傳到平行光管,同樣成 像在焦面處,同樣,通過調整復合五棱鏡15使得所成像即十字分劃 線與光管本身十字線重合,這樣,就完成了整個檢測裝置的自檢;這 時光束31和光束28就平行了 ,也即光束32和光束28平行。
因為在實際檢測過程中,光路與自檢時一樣,只是方向相反,所 以這里將被檢測光束的代號同樣定為光束32和光束28。
實施檢測過程如下在光學自檢完成后,被檢測光束32經(jīng)過復 合五棱鏡組16折轉90。后,經(jīng)過復合五棱鏡15又被折轉90°進入小口徑自準直平行光管25,在其焦面上形成一個光斑;被測平行光束28 經(jīng)過復合五棱鏡15直接進入平行光管25,也在焦面上形成一個光斑; 如果這兩個光斑重合,說明平行光束28和32是平行的,否則根據(jù)平 行光束28和32在自準直平行光管25焦面上形成像點的間距和自準 直平行光管25的焦距,就可計算出平行光束28和32的平行度偏差。
這個技術方案提供的寬距離光束平行性檢測裝置,采用與上述的 圖1和圖2相同的擴徑臂2的結構和光路,區(qū)別在于是其完全利用平 行光管發(fā)出的光,或者說,從外界進入檢測裝置,經(jīng)過復合五棱鏡 15的光束完全被平行光管接收。同時,該裝置體積小,檢測時也極 為方便。這個技術方案提供的寬距離光束平行性檢測裝置,適用于小 口徑寬距離光光束平行性的檢測。
有益效果本發(fā)明裝置能夠檢測寬距離平行光束的平行性,其距 離能夠達到1.5m,不需要將被檢測的兩路平行光束包含在自準直平 行光管的口徑之內(nèi),這樣能夠減小自準直平行光管的口徑,并且大大 降低了制造自準直平行光管的成本。同時,五棱鏡和光楔的使用,使 得對五棱鏡的加工精度要求大大降低,但這并不影響整個裝置的檢測 精度,反而提供了很高的精度。本發(fā)明的成本很低,且制作過程簡單, 周期短,能夠檢測寬距離平行光束的平行性,且精度高。
自準直平行光管中分光系統(tǒng)的引入,使得本裝置的檢測波段由白 光光譜段擴展至激光和紅外光光譜段,成為多光譜光學系統(tǒng),增加了 儀器的使用范圍。


圖l是寬距離光束平行性檢測裝置的結構示意圖。其也是摘要附圖。
圖2是寬距離光束平行性檢測裝置中擴徑臂的結構及光路示意圖。
圖3是寬距離光束平行性檢測裝置動態(tài)檢測時光路示意圖。
圖4是實施例2的一種寬距離光束平行性檢測裝置結構示意圖。 圖5是實施例2的一種寬距離光束平行性檢測裝置的光路示意圖。
具體實施例方式
實施例1
如圖1所示,本發(fā)明提供的平行光管擴徑準直裝置由1和擴徑準 直臂2構成,擴徑臂2位于自準直平行光管1的前面,并且可繞自準
直平行光管l轉動;
所述的自準直平行光管1采用傳統(tǒng)的牛頓式結構,由點光源21、 拋物面型主反射鏡23、平面反射鏡24和分光系統(tǒng)17組成;所述的 分光系統(tǒng)17由分光棱鏡18、反射鏡19和二次反射鏡20組成,其中, 反射鏡19鍍有硫化鋅膜層;上述所有的組成部件均置于自準直平行 光管殼體內(nèi);
由點21發(fā)出的光,經(jīng)過反射鏡19和二次反射鏡20、平面反射鏡 24、再經(jīng)過拋物面型主反射鏡23變成平行光束10;平行光束10的 一部分進入擴徑臂2的復合五棱鏡15";所述的點光源21提供可見 光或紅外光;點光源21優(yōu)選為溴鎢燈;或者,光源采用激光光源22,激光光源22采用光纖擬合的方法 進入分光系統(tǒng),激光透過分光棱鏡18,由反射鏡19反射到二次反射 鏡20,再經(jīng)由平面反射鏡24和拋物面型主反射鏡23以平行光出射;
所述的擴徑臂2由復合五棱鏡15、復合五棱鏡組16、水銀盒8
和水銀盒9組成;上述所有的組成部件均置于擴徑臂的殼體內(nèi);
所述的復合五棱鏡15是由五棱鏡3和光楔6組合而成的,其粘 結面鍍有半反半透膜層;復合五棱鏡15位于自準直平行光管1的前 面,將平行光管1發(fā)出的平行光束10的一部分,引入擴徑臂2中, 并將光束分為兩路, 一路用來進行平行光管的自檢, 一路傳給復合五 棱鏡組16;
所述的復合五棱鏡組16是由五棱鏡4、五棱鏡5和一個光楔7 組成,光楔7與五棱鏡4的粘結面鍍有半反半透膜層,光楔7與五棱 鏡5的粘結面沒有鍍膜,光可以直接透過;復合五棱鏡組16的五棱 鏡4出射的光束13和經(jīng)五棱鏡5出射的光束14始終保持平行;并且 復合五棱鏡組16和水銀盒9隨著機械結構可以一起沿著整個擴徑臂 2的殼體的內(nèi)壁移動,調整復合五棱鏡15和復合五棱鏡組16之間的 距離以調整被檢兩路平行光之間的距離。
調整復合五棱鏡15和復合五棱鏡組16之間的距離以調整被檢兩 路平行光之間的距離同時又不降低檢測精度。這也是本發(fā)明的一個發(fā) 明點。
本發(fā)明中,利用五棱鏡能將光路轉折90。,并且在五棱鏡光軸截 面內(nèi),不產(chǎn)生像偏轉的特性,這就減少了一個引起出射光束偏離原光束方向的因素,只需要考慮五棱鏡在其它兩個方向的偏轉誤差對出射 光束14的影響。同時,光楔的引入,使得光向中心偏折,補償了五 棱鏡引起的誤差。
對于寬距離光束平行性檢測裝置,當復合五棱鏡15和復合五棱 鏡組16之間的距離改變后,必須對系統(tǒng)進行校準。而且當使用一定 時間后,考慮到擴徑臂的材料變形影響,系統(tǒng)也要進行校準。本裝置 的優(yōu)點就在于能夠實現(xiàn)自校準,不需要借助外部其它設備。
對系統(tǒng)進行校準,要利用水銀盒所提供的標準水平面。下面結合 圖2和圖3進一步說明本發(fā)明的光學自檢過程。
首先,對平行光管進行校準。平行光管1發(fā)出平行光10,經(jīng)五棱 鏡3后, 一部分透過光楔6出射,打到水銀盒8的水銀面上,光束 ll按原路返回,成像在平行光管像面上,通過調整復合五棱鏡15, 將所成的像即十字分劃線與平行光管本身的十字分劃線重合。
其次,平行光管出射的光束10經(jīng)過五棱鏡3后,有一部分折轉90。 后即光束12進入復合五棱鏡組16,出射光13打到水銀盒9上,光 按原路返回,被平行光管成像在像面上,看此時的像即十字分劃線與 光管本身的十字分劃線是否重合,同樣通過調整復合五棱鏡15來實 現(xiàn)。因為復合五棱鏡組16事先調好,出射光束13、 14始終平行,所 以當光束13按原路反回到平行光管,通過調試復合五棱鏡15使得出 射光束13與入射光束10平行時,光束14也就與光束10平行了 。
動態(tài)檢測過程如下在光學自檢完成后,被檢測平行光束14通過 復合五棱鏡組16折轉90°后,經(jīng)過復合五棱鏡15又被折轉90。進入自準直平行光管l,在自準直平行光管l的焦面上形成一個光斑;被測 平行光束10直接射入自準直平行光管1內(nèi),同樣在自準直平行光管 的焦面上形成另一光斑,如果兩個光斑重合,說明平行光束10和14 是平行的,否則根據(jù)平行光束10和14在自準直平行光管1焦面上形 成像點的間距和自準直平行光管1的焦距,就可計算出平行光束10 和14的平行度偏差。
整個檢測只是利用了平行光管提供的一部分光束,但不影響檢測 精度,只是光斑強度變小而已。本實施例的方案適用于多光譜多軸集 中平行與離散光軸平行性的檢測。 實施例2
本發(fā)明除了實施例l外,還可以有如下的這種形式。
如圖4所示,寬距離光束平行性檢測裝置由小口徑平行光管25 和還有擴徑臂2構成;
所述的小口徑平行光管25由望遠物鏡26和安置在物鏡焦平面上 的分劃板27構成;擴徑臂2的構成與上述的技術方案的圖1所示的 擴徑臂2的結構相同;只是擴徑臂2套在小口徑平行光管25上,通 過緊固件固定,鎖緊在平行光管25上。
結合圖5進一步說明系統(tǒng)的自檢過程。
平行光管25發(fā)出平行光28完全被復合五棱鏡15接收,分成兩 路即光束29和光束30;光束29被水銀面反射,按原路返回,透過 復合五棱鏡15,傳到平行光管,成像在焦面處,通過調整復合五棱 鏡15使得所成像即十字分劃線與光管本身十字線重合,這就是平行光管25的自檢;光束30傳給復合五棱鏡組16,經(jīng)過復合五棱鏡組 16后,又分為兩路;光束31經(jīng)水銀面反射,按原路返回,被五棱鏡 折轉90。后,進入復合五棱鏡15,再折轉90°,傳到平行光管,同樣成
像在焦面處,同樣,通過調整復合五棱鏡15使得所成像即十字分劃 線與光管本身十字線重合,這樣,就完成了整個檢測裝置的自檢;這 時光束31和光束28就平行了,也即光束32和光束28平行。
因為在實際檢測過程中,光路與自檢時一樣,只是方向相反,所 以這里將被檢測光束的代號同樣定為光束32和光束28。
實施檢測過程如下在光學自檢完成后,被檢測光束32經(jīng)過復 合五棱鏡組16折轉90。后,經(jīng)過復合五棱鏡15又被折轉90°進入小口 徑自準直平行光管25,在其焦面上形成一個光斑;被測平行光束28 經(jīng)過復合五棱鏡15直接進入平行光管25,也在焦面上形成一個光斑; 如果這兩個光斑重合,說明平行光束28和32是平行的,否則根據(jù)平 行光束28和32在自準直平行光管25焦面上形成像點的間距和自準 直平行光管25的焦距,就可計算出平行光束28和32的平行度偏差。
這個技術方案提供的寬距離光束平行性檢測裝置,采用與上述的 圖1和圖2相同的擴徑臂2的結構和光路,區(qū)別在于是其完全利用平 行光管發(fā)出的光,或者說,從外界進入檢測裝置,經(jīng)過復合五棱鏡 15的光束完全被平行光管接收。同時,該裝置體積小,檢測時也極 為方便。這個技術方案提供的寬距離光束平行性檢測裝置,適用于小 口徑寬距離光光束平行性的檢測。
權利要求
1、寬距離光束平行性檢測裝置,其特征在于,其由自準直平行光管(1)和擴徑準直臂(2)構成,擴徑臂(2)位于自準直平行光管(1)的前面,并且可繞自準直平行光管(1)轉動;所述的自準直平行光管(1)采用傳統(tǒng)的牛頓式結構,由點光源(21)、拋物面型主反射鏡(23)、平面反射鏡(24)和分光系統(tǒng)(17)組成;所述的分光系統(tǒng)(17)由分光棱鏡(18)、反射鏡(19)和二次反射鏡(20)組成,其中,反射鏡(19)鍍有硫化鋅膜層;上述所有的組成部件均置于自準直平行光管殼體內(nèi);由點21發(fā)出的光,經(jīng)過反射鏡19和二次反射鏡20、平面反射鏡24、再經(jīng)過拋物面型主反射鏡23變成平行光束10;平行光束10的一部分進入擴徑臂2的復合五棱鏡15”;所述的點光源21提供可見光或紅外光;點光源21優(yōu)選為溴鎢燈;或者,光源采用激光光源22,激光光源22采用光纖擬合的方法進入分光系統(tǒng),激光透過分光棱鏡18,由反射鏡19反射到二次反射鏡20,再經(jīng)由平面反射鏡24和拋物面型主反射鏡23以平行光出射;所述的擴徑臂(2)由復合五棱鏡(15)、復合五棱鏡組(16)、水銀盒(8)和水銀盒(9)組成;所述的復合五棱鏡(15)是由五棱鏡(3)和光楔(6)組合而成的,其粘結面鍍有半反半透膜層;復合五棱鏡(15)位于自準直平行光管(1)的前面,將平行光管1發(fā)出的平行光束(10)的一部分,引入擴徑臂(2)中,并將光束分為兩路,一路用來進行平行光管的自檢,一路傳給復合五棱鏡組(16);所述的復合五棱鏡組(16)是由五棱鏡(4)、五棱鏡(5)和一個光楔(7)組成,光楔(7)與五棱鏡(4)的粘結面鍍有半反半透膜層,光楔(7)與五棱鏡(5)的粘結面沒有鍍膜,光可以直接透過;復合五棱鏡組(16)的五棱鏡(4)出射的光束(13)和經(jīng)五棱鏡(5)出射的光束(14)始終保持平行;并且復合五棱鏡組(16)和水銀盒(9)隨著機械結構可以一起沿著整個擴徑臂(2)的殼體的內(nèi)壁移動,調整復合五棱鏡(15)和復合五棱鏡組(16)之間的距離以調整被檢兩路平行光之間的距離。
2、寬距離光束平行性檢測裝置,其特征在于,其由小口徑平行 光管(25)和擴徑臂(2)構成;所述的小口徑平行光管(25)由望遠物鏡(26)和安置在物鏡焦 平面上的分劃板(27)構成;所述的擴徑臂(2)的構成與權利要求(1)的擴徑臂(2)的結構相同;所述的擴徑臂(2)套在小口徑平 行光管(25)上,通過緊固件固定,鎖緊在平行光管(25)上。
全文摘要
本發(fā)明涉及寬距離光束平行性檢測裝置,其由自準直平行光管和擴徑準直臂構成;本發(fā)明裝置能夠檢測寬距離平行光束的平行性,其距離能夠達到1.5m,不需要將被檢測的兩路平行光束包含在自準直平行光管的口徑之內(nèi),這樣能夠減小自準直平行光管的口徑,并且大大降低了制造自準直平行光管的成本。同時,五棱鏡和光楔的使用,使得對五棱鏡的加工精度要求大大降低,但這并不影響整個裝置的檢測精度,反而提供了很高的精度。自準直平行光管中分光系統(tǒng)的引入,使得本裝置的檢測波段由白光光譜段擴展至激光和紅外光光譜段,成為多光譜光學系統(tǒng)。
文檔編號G01B11/26GK101408413SQ20081005149
公開日2009年4月15日 申請日期2008年11月28日 優(yōu)先權日2008年11月28日
發(fā)明者付躍剛, 劉智穎, 磊 張, 露 張, 源 胡, 鄭建平 申請人:長春理工大學
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