一種精抽泵機(jī)組及具有其的精抽系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種精抽泵機(jī)組，包括羅茨真空泵，和與羅茨真空泵串聯(lián)的前級(jí)泵；其中，前級(jí)泵包括單級(jí)旋片真空泵和與單級(jí)旋片真空泵并聯(lián)的雙級(jí)旋片真空泵。上述精抽泵機(jī)組，在潮濕工況下，由于雙級(jí)旋片真空泵不受水蒸氣的影響，雙級(jí)旋片真空泵發(fā)揮主要作用，避免了水蒸氣對(duì)整個(gè)精抽泵機(jī)組的真空度的影響；雙級(jí)旋片真空泵與單級(jí)旋片真空泵并聯(lián)，則整個(gè)精抽泵機(jī)組的抽速為雙級(jí)旋片真空泵的抽速與單級(jí)旋片真空泵的抽速的代數(shù)和，提高了整個(gè)精抽泵機(jī)組的抽速。故本發(fā)明提供的精抽泵機(jī)組，避免了水蒸氣對(duì)其真空度的影響，同時(shí)提高了該精抽泵機(jī)組的抽速。本發(fā)明還提供了一種具有上述精抽泵機(jī)組的精抽系統(tǒng)。
【專利說明】一種精抽泵機(jī)組及具有其的精抽系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及抽真空【技術(shù)領(lǐng)域】，更具體地說，涉及一種精抽泵機(jī)組及具有其的精抽系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]需要真空環(huán)境時(shí)，通常采用真空泵進(jìn)行抽真空。對(duì)于一些真空度要求較高的場合，通常采用羅茨真空泵。例如，在充氦檢漏系統(tǒng)中，精抽真空過程采用羅茨真空泵來完成。由于羅茨真空泵的特性，羅茨真空泵不能單獨(dú)使用，需配上前級(jí)泵串聯(lián)組成機(jī)組，以降低羅茨真空泵的排出壓力。
[0003]目前，由羅茨真空泵組成精抽泵機(jī)組有兩種方案:
[0004]第一種方案采用單級(jí)旋片真空泵12為前級(jí)泵，即單級(jí)旋片真空泵12與羅茨真空泵11進(jìn)行串聯(lián)組合，如圖1所示。由于單級(jí)旋片真空泵12抽速較大，所以整個(gè)精抽泵機(jī)組的抽速會(huì)較大，生產(chǎn)效率較高。但是，在潮濕工況下，即連續(xù)在潮濕的環(huán)境中抽真空，親水膜較易附著水蒸氣，空氣含水份較重，在抽空過程中水蒸氣持續(xù)進(jìn)入單級(jí)旋片真空泵12并與油混合，導(dǎo)致單級(jí)旋片真空泵12的油乳化，抽空能力下降，導(dǎo)致無法正常抽空到工藝要求。
[0005]第二種方案采用雙級(jí)旋片真空泵22為前級(jí)泵，即雙級(jí)旋片真空泵22與羅茨真空泵21進(jìn)行串聯(lián)組合，如圖2所示。由于雙級(jí)旋片真空泵22不會(huì)受水蒸氣的影響，且其真空度較低，則該精抽泵機(jī)組的真空度也較低，能夠滿足工藝要求。但是，由于雙級(jí)旋片真空泵22的抽速比較小，則整個(gè)精抽泵機(jī)組的抽速較低，導(dǎo)致生產(chǎn)效率較低。
[0006]有上述兩種方案可知，在潮濕工況下，現(xiàn)有的精抽泵機(jī)組不能同時(shí)具有較低的真空度和較高的抽速。
[0007]綜上所述，如何提供一種精抽泵機(jī)組，以避免水蒸氣對(duì)其真空度的影響，同時(shí)提高該精抽泵機(jī)組的抽速，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的是提供一種精抽泵機(jī)組，以避免水蒸氣對(duì)其真空度的影響，同時(shí)提高該精抽泵機(jī)組的抽速。本發(fā)明的目的是提供一種具有上述精抽泵機(jī)組的精抽系統(tǒng)。
[0009]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:
[0010]一種精抽泵機(jī)組，包括羅茨真空泵，和與羅茨真空泵串聯(lián)的前級(jí)泵；其中，前級(jí)泵包括單級(jí)旋片真空泵和與單級(jí)旋片真空泵并聯(lián)的雙級(jí)旋片真空泵。
[0011]優(yōu)選的，上述精抽泵機(jī)組中，所述單級(jí)旋片真空泵的數(shù)目為一個(gè)，所述雙級(jí)旋片真空泵的數(shù)目為一個(gè)。
[0012]基于上述提供的精抽栗機(jī)組，本發(fā)明還提供了 一種精抽系統(tǒng)，該精抽系統(tǒng)包括待抽真空的待抽部件，和與所述待抽部件相連通的精抽泵機(jī)組；其中，該精抽泵機(jī)組為上述任意一項(xiàng)所述的精抽泵機(jī)組。
[0013]優(yōu)選的，上述精抽系統(tǒng)中，所述待抽部件為蒸發(fā)器。[0014]優(yōu)選的，上述精抽系統(tǒng)中，所述待抽部件為冷凝器。
[0015]本發(fā)明提供的精抽泵機(jī)組，在潮濕工況下，最初單級(jí)旋片真空泵抽速較大，隨著受水蒸氣的影響，單級(jí)旋片真空泵的抽真空能力逐漸下降，由于雙級(jí)旋片真空泵不受水蒸氣的影響，此時(shí)雙級(jí)旋片真空泵發(fā)揮主要作用，從而避免了水蒸氣對(duì)整個(gè)精抽泵機(jī)組的真空度的影響；同時(shí)，由于雙級(jí)旋片真空泵與單級(jí)旋片真空泵并聯(lián)，則整個(gè)精抽泵機(jī)組的抽速為雙級(jí)旋片真空泵的抽速與單級(jí)旋片真空泵的抽速的代數(shù)和，很顯然，提高了整個(gè)精抽泵機(jī)組的抽速。故本發(fā)明提供的精抽泵機(jī)組，避免了水蒸氣對(duì)其真空度的影響，同時(shí)提高了該精抽泵機(jī)組的抽速。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0017]圖1為現(xiàn)有技術(shù)提供的精抽泵機(jī)組的一種結(jié)構(gòu)框圖；
[0018]圖2為現(xiàn)有技術(shù)提供的精抽泵機(jī)組的另一種結(jié)構(gòu)框圖；
[0019]圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的精抽泵機(jī)組的結(jié)構(gòu)框圖。
[0020]上圖1-3 中:
[0021]羅茨真空泵11、單級(jí)旋片真空泵12、羅茨真空泵21、雙級(jí)旋片真空泵22、羅茨真空泵31、單級(jí)旋片真空泵32、雙級(jí)旋片真空泵33。
【具體實(shí)施方式】
[0022]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種精抽泵機(jī)組，避免了水蒸氣對(duì)其真空度的影響，同時(shí)提高了該精抽泵機(jī)組的抽速。
[0023]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0024]請參考附圖3，圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的精抽泵機(jī)組的結(jié)構(gòu)框圖。
[0025]本發(fā)明實(shí)施例提供的精抽泵機(jī)組，包括羅茨真空泵31，和與羅茨真空泵31串聯(lián)的前級(jí)泵；其中，前級(jí)泵包括單級(jí)旋片真空泵32和與單級(jí)旋片真空泵32并聯(lián)的雙級(jí)旋片真空泵33。
[0026]上述實(shí)施例提供的精抽泵機(jī)組，單級(jí)旋片真空泵32與雙級(jí)旋片真空泵33并聯(lián)形成一個(gè)組合泵體，作為前級(jí)泵與羅茨真空泵31進(jìn)行串聯(lián)組合。需要抽真空時(shí)，同時(shí)開啟單級(jí)旋片真空泵32和雙級(jí)旋片真空泵33進(jìn)行精抽作業(yè)，二者進(jìn)行功能互補(bǔ)。氣體先經(jīng)過羅茨真空泵31，再經(jīng)過前級(jí)泵。當(dāng)待抽部件內(nèi)的壓強(qiáng)高于40Pa時(shí)，單級(jí)旋片真空泵32發(fā)揮主要作用，解決雙級(jí)旋片真空泵33抽速慢的問題，即使在空氣濕度較大時(shí)，亦可將待抽部件內(nèi)的壓強(qiáng)迅速降至接近40Pa，之后雙級(jí)旋片真空泵33發(fā)揮主要作用，解決單級(jí)旋片真空泵32的真空度受水蒸氣影響的問題，將壓力降至40Pa以下。[0027]本發(fā)明實(shí)施例提供的精抽泵機(jī)組，在潮濕工況下，最初單級(jí)旋片真空泵32抽速較大，隨著受水蒸氣的影響，單級(jí)旋片真空泵32的抽真空能力逐漸下降，由于雙級(jí)旋片真空泵33不受水蒸氣的影響，此時(shí)雙級(jí)旋片真空泵33發(fā)揮主要作用，從而避免了水蒸氣對(duì)整個(gè)精抽泵機(jī)組的真空度的影響；同時(shí)，由于雙級(jí)旋片真空泵33與單級(jí)旋片真空泵32并聯(lián)，則整個(gè)精抽泵機(jī)組的抽速為雙級(jí)旋片真空泵33的抽速與單級(jí)旋片真空泵32的抽速的代數(shù)和，很顯然，提高了整個(gè)精抽泵機(jī)組的抽速。故，本發(fā)明提供的精抽泵機(jī)組，避免了水蒸氣對(duì)其真空度的影響，同時(shí)提高了該精抽泵機(jī)組的抽速。
[0028]同時(shí)，本發(fā)明實(shí)施例提供的精抽泵機(jī)組，在正常工況下，單級(jí)旋片真空泵32的抽速較大，可使壓力快速降至40Pa左右，雙級(jí)旋片真空泵33可使壓力進(jìn)一步降低，降低整個(gè)精抽泵機(jī)組的真空度。
[0029]優(yōu)選的，上述實(shí)施例提供的精抽泵機(jī)組中，單級(jí)旋片真空泵32的數(shù)目為一個(gè)，雙級(jí)旋片真空泵33的數(shù)目為一個(gè)。當(dāng)然，在一些特殊場合，單級(jí)旋片真空泵32的數(shù)目和雙級(jí)旋片真空泵33的數(shù)目還可為其他值，例如，需要大幅提高精抽泵機(jī)組的抽速時(shí)，可優(yōu)先選擇增加單級(jí)旋片真空泵32的數(shù)目。本發(fā)明實(shí)施例對(duì)單級(jí)旋片真空泵32的數(shù)目以及雙級(jí)旋片真空泵33的數(shù)目不作具體地限定。
[0030]基于上述實(shí)施例提供的精抽栗機(jī)組，本發(fā)明實(shí)施例還提供了 一種精抽系統(tǒng)，該精抽系統(tǒng)包括待抽真空的待抽部件,和與待抽部件相連通的精抽泵機(jī)組；其中，該精抽泵機(jī)組為上述實(shí)施例所述的精抽泵機(jī)組。
[0031]由于本發(fā)明實(shí)施例提供的精抽系統(tǒng)具有上述實(shí)施例提供的精抽泵機(jī)組，上述實(shí)施例提供的精抽泵機(jī)組具有上述技術(shù)效果，則本發(fā)明實(shí)施例提供的精抽系統(tǒng)也具有相應(yīng)的技術(shù)效果，本文不再贅述。
[0032]由于上述實(shí)施例提供的精抽泵機(jī)組能夠避免水蒸氣對(duì)其真空度的影響，所以內(nèi)部具有水蒸氣的待抽部件優(yōu)先選擇本發(fā)明實(shí)施例提供的精抽泵機(jī)組。具體的，待抽部件為蒸發(fā)器或者冷凝器。當(dāng)然，待抽部件還可為其他部件，例如，內(nèi)部沒有水蒸氣的部件。本發(fā)明實(shí)施例對(duì)待抽部件的類型不作具體地限定。
[0033]對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種精抽泵機(jī)組，包括羅茨真空泵，和與所述羅茨真空泵串聯(lián)的前級(jí)泵；其特征在于，所述前級(jí)泵包括單級(jí)旋片真空泵和與所述單級(jí)旋片真空泵并聯(lián)的雙級(jí)旋片真空泵。
2.如權(quán)利要求1所述的精抽泵機(jī)組，其特征在于，所述單級(jí)旋片真空泵的數(shù)目為一個(gè)，所述雙級(jí)旋片真空泵的數(shù)目為一個(gè)。
3.—種精抽系統(tǒng)，包括待抽真空的待抽部件，和與所述待抽部件相連通的精抽泵機(jī)組；其特征在于，所述精抽泵機(jī)組為如權(quán)利要求1-2中任意一項(xiàng)所述的精抽泵機(jī)組。
4.如權(quán)利要求3所述的精抽系統(tǒng)，其特征在于，所述待抽部件為蒸發(fā)器。
5.如權(quán)利要求3所述的精抽系統(tǒng)，其特征在于，所述待抽部件為冷凝器。
【文檔編號(hào)】F04C23/00GK103925214SQ201310012081
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2013年1月11日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月11日
【發(fā)明者】李井泉, 毛立宏, 溫子新 申請人:珠海格力電器股份有限公司