涂布裝置及涂布器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種能夠?qū)Υ课锏拇勘砻孢M行均勻涂布的涂布器(另稱噴嘴或涂布頭)，同時本發(fā)明還涉及一種包括了該涂布器的涂布裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]涂布器屬于涂布裝置的核心組成，主要用于將選定流體(例如油漆或光阻等)涂布在織物、紙張或板等待涂物的待涂表面上，使得選定流體在涂布表面上形成一種具有特定功能的薄膜。例如，在液晶顯示裝置技術(shù)領(lǐng)域中，涂布器可用于把光阻涂布在玻璃基板的平坦表面上，使得光阻在平坦表面上形成一層用于實施蝕刻技術(shù)的光阻層。
[0003]現(xiàn)有的涂布器包括暫存腔和用于導入選定流體的進入口，以及與暫存腔相連并對準著待涂表面的涂布縫。在工作過程中，選定流體通過進入口流入到暫存腔內(nèi)，并促使暫存腔內(nèi)的選定流體通過涂布縫流出到涂布器的外部。然而，由于涂布縫上的各個部位到進入口的距離不同，使得涂布縫上的各個部位所得到流體壓力不同，導致選定流體在涂布縫上的各個部位的流速相差很大，最終造成現(xiàn)有的涂布器并不能對待涂物的待涂表面進行均勻的涂布。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了解決上述問題，本發(fā)明提供了一種能夠?qū)Υ课锏拇勘砻孢M行均勻涂布的涂布器。同時本發(fā)明還提供了一種包括了該涂布器的涂布裝置。
[0005]根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供了一種涂布器。該涂布器包括:暫存腔；用于把選定流體導入到暫存腔內(nèi)的進入口 ；與暫存腔的相連通的涂布縫；以及設置在暫存腔內(nèi)的活塞。其中，活塞構(gòu)造成當其在暫存腔內(nèi)移動時，能夠使暫存腔內(nèi)的選定流體通過涂布縫流出，并促使選定流體在涂布縫的任意位置上的流速趨近一致。
[0006]在一個實施中，涂布器還包括與暫存腔相連的排氣口。
[0007]在一個實施中，進入口比排氣口更靠近涂布縫。
[0008]在一個實施中，排氣口設置成當活塞移動到遠離涂布縫的最大位置時能夠與活塞的靠近涂布縫的端面相對齊。
[0009]在一個實施中，上述涂布器還包括用于關(guān)閉或打開排氣口的第一閥以及用于關(guān)閉或打開進入口的第二閥。
[0010]在一個實施中，活塞上的靠近涂布縫的端面與涂布縫的橫截面相平行。
[0011]在一個實施中，涂布縫為平直的開口。
[0012]在一個實施中，暫存腔的橫截面形狀和涂布縫的橫截面形狀均為長方形，暫存腔包括恒定部和沿著縱向與恒定部相連的且寬度尺寸朝遠離恒定部的方向逐漸收縮的收縮部，活塞設在恒定部內(nèi)并能夠沿著縱向進行滑動，涂布縫與收縮部的扁頭端匹配接合，進入口與恒定部相連通。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供了一種涂布裝置。該涂布裝置包括根據(jù)本發(fā)明的第一方面的涂布器以及用于控制涂布器的活塞的促動機構(gòu)，促動機構(gòu)構(gòu)造成能夠推動活塞在涂布器的暫存腔內(nèi)運動。當活塞在暫存腔內(nèi)移動時，能夠使暫存腔內(nèi)的選定流體通過涂布縫流出，并促使選定流體在涂布縫的任意位置上的流速趨近一致，保證本發(fā)明的涂布裝置能對待涂物的待涂表面進行均勻涂布，即涂布后所形成涂布層的厚度比較均勻。
[0014]在一個實施例中，促動機構(gòu)包括動力源以及由動力源所驅(qū)動并能推動活塞的絲杠機構(gòu)、曲柄連桿機構(gòu)或齒輪齒條機構(gòu)。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的涂布器通過活塞的運動促使暫存腔內(nèi)的選定流體通過涂布縫流出到涂布器的外部，并且能夠促使選定流體在涂布縫上的各個部位的流速趨近一致，從而保證涂布器能對待涂物的待涂表面進行均勻的涂布。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的涂布器的結(jié)構(gòu)簡單，加工容易，使用安全穩(wěn)定，便于實施推廣應用。
【附圖說明】
[0017]在下文中將基于實施例并參考附圖來對本發(fā)明進行更詳細的描述。其中:
[0018]圖1為根據(jù)本發(fā)明的實施例的涂布器的立體圖；
[0019]圖2為根據(jù)本發(fā)明的實施例的涂布器的剖視圖；以及
[0020]圖3顯示了包括圖1或圖2所示的涂布器的涂布裝置。
[0021]在附圖中相同的部件使用相同的附圖標記。附圖并未按照實際的比例繪制。
【具體實施方式】
[0022]下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步說明。
[0023]圖1為根據(jù)本發(fā)明的實施例的涂布器，圖2為根據(jù)本發(fā)明的實施例的涂布器的剖視圖。如圖1和圖2所示，根據(jù)本發(fā)明的涂布器10包括形成有暫存腔6的本體4。本體4可由金屬材料制成。本體4的外形構(gòu)造或設置成不應影響涂布器10的正常工作。
[0024]在本實施例中，暫存腔6的橫截面形狀為長方形。暫存腔6包括長度和寬度尺寸都不變的恒定部6a和沿著縱向L與恒定部6a相連的且寬度尺寸朝遠離恒定部6a的方向逐漸縮減的收縮部6b。
[0025]根據(jù)本發(fā)明，涂布器10包括開設在本體4上并與暫存腔6相連通的進入口 5。如圖2所示，進入口 5可與恒定部6a相連通。進入口 5用于把選定流體導入到暫存腔6內(nèi)。涂布器10包括開設在本體4上并與暫存腔6相連通的涂布縫3。涂布縫3的橫截面形狀呈現(xiàn)為長方形。涂布縫3與收縮部6b的扁頭端匹配接合，即涂布縫3的形狀和尺寸分別與開設在收縮部6b的扁頭端的開口的形狀和尺寸相同。在涂布時，涂布縫3與待涂物的待涂表面相平行，以便對待涂表面進行均勻的涂布。
[0026]涂布器10還包括設置在暫存腔6內(nèi)的活塞2。具體地講，活塞2被設置在暫存腔6的恒定部6a內(nèi)并能夠沿著縱向L進行滑動?；钊?的橫截面(T方向的截面)與恒定部6a的橫截面相匹配，即活塞2的橫截面形狀和尺寸分別與恒定部6a的橫截面形狀和尺寸相同，以防止暫存腔6內(nèi)的選定流體通過活塞2與暫存腔6之間的縫隙進行來回串動。
[0027]在本實施例中，當活塞2在暫存腔6內(nèi)移動時，活塞2能夠促使暫存腔6內(nèi)的選定流體通過涂布縫3流出，并促使選定流體在涂布縫3的任意位置上的流速趨近一致。然而由于選定流體在涂布縫3的任意位置上的流速趨近一致，使得該涂布器10能夠?qū)Υ勘砻孢M行均勻涂布。
[0028]在該實施例中，活塞2上的靠近涂布縫3的端面與涂布縫3的橫截面相平行，以保證選定流體在涂布縫3的任意位置上的流速趨近一致。當涂布縫3與待涂物的待涂表面相平行時，本實施例的涂布器10便可對待涂表面進行均勻的涂布。待涂物的待涂表面通常為平坦表面，因此當涂布縫3選為平直的開口時，涂布器10能夠?qū)ζ教贡砻孢M行均勻的涂布。例如，待涂物選為玻璃基板時，