專利名稱：濾網(wǎng)交錯設(shè)置的過濾結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明關(guān)于一種過濾結(jié)構(gòu)，尤指一種適用于一流體通道且其濾網(wǎng)交錯設(shè)置的過濾 結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在許多機(jī)器設(shè)備中多有各種各樣的管路設(shè)計，以半導(dǎo)體工藝設(shè)備為例，通常以真 空泵對反應(yīng)室進(jìn)行抽氣，以維持反應(yīng)室內(nèi)氣體的組成穩(wěn)定及純凈度。請參閱圖1，其為根據(jù) 現(xiàn)有技術(shù)的一實施例的一真空工藝設(shè)備1的示意圖。真空工藝設(shè)備1包含一反應(yīng)室12、二 氣源14、一抽氣管路16、一真空泵18及一濾網(wǎng)20。一工件2設(shè)置于反應(yīng)室12內(nèi)的載臺上， 工藝所需氣體自氣源14輸入至反應(yīng)室12內(nèi)。為了維持反應(yīng)室12內(nèi)的氣體的組成穩(wěn)定并 排除存在于反應(yīng)室12內(nèi)的雜質(zhì)，氣源14將不斷地提供所需氣體，真空泵18則不斷地抽氣。 真空泵18內(nèi)具有轉(zhuǎn)子，若過多或過大的雜質(zhì)或異物卷入轉(zhuǎn)子間，則極可能造成真空泵18的 損壞，因此濾網(wǎng)20設(shè)置在抽氣管路16內(nèi)，以濾除雜質(zhì)或異物。請參閱圖2，其為圖1中抽氣管路16的局部放大示意圖。如圖2所示，濾網(wǎng)20設(shè) 置于抽氣管路16的入口 162處，該段管路的出口 164處則通往真空泵18;其中在抽氣管路 16中氣體流動的方向以影線箭頭表示。當(dāng)氣體流過濾網(wǎng)20時，被氣體帶來的雜質(zhì)22 (以小 圓圈夸張表示于圖中)便被濾網(wǎng)20篩出，此雜質(zhì)22可能是來自反應(yīng)室12中懸浮的顆粒， 也可能是長時間附著于抽氣管路16內(nèi)壁上剝落下來的片狀雜質(zhì)等。一般而言，為達(dá)到完整的過濾效果，濾網(wǎng)20的輪廓多設(shè)計成與抽氣管路16的內(nèi)壁 輪廓相符。然而，當(dāng)積存于濾網(wǎng)20上的雜質(zhì)22來不及清除，而阻塞住濾網(wǎng)20，致使整個抽 氣管路16有效的抽氣口徑大幅縮減。真空泵18因而無法有效抽氣，使得反應(yīng)室12內(nèi)壓力 上升、氣體純凈度下降，于此狀態(tài)下生產(chǎn)的工件2，其質(zhì)量多無法通過品檢。真空泵18無法 有效抽氣甚至使得抽氣管路16中入口 162與出口 164的壓差大增，極可能使積存于濾網(wǎng)20 上大量的雜質(zhì)22瞬間被吸入真空泵18，反而對真空泵18的轉(zhuǎn)子造成更大的傷害。且，無論 是更換新的真空泵18或是清除真空泵18均對生產(chǎn)排程造成嚴(yán)重的影響。雖然及時的更換濾網(wǎng)20有助于排除上述問題，然而反應(yīng)室12通常供各種條件的 工藝使用，其產(chǎn)生雜質(zhì)22的量不易估算，并且自抽氣管路16內(nèi)壁上剝落的雜質(zhì)22屬隨機(jī) 剝落，而其造成阻塞濾網(wǎng)20的情形又屬嚴(yán)重，非以縮短更換濾網(wǎng)20時間間隔，無法有效避 免前述阻塞問題。因此，在現(xiàn)有技術(shù)中，前述及時更換濾網(wǎng)20的要求在不過度影響生產(chǎn)工 藝的條件下，實難實現(xiàn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的的一在于提供一種濾網(wǎng)交錯設(shè)置的過濾結(jié)構(gòu)，該過濾結(jié)構(gòu)適用于一 流體通道以濾除流體中的雜質(zhì)，并且能避免因濾網(wǎng)上積存過多的雜質(zhì)而阻塞流體通道。本發(fā)明的過濾結(jié)構(gòu)適用于一流體通道。該流體通道具有一入口及一出口，該過濾 結(jié)構(gòu)設(shè)置于該流體通道內(nèi)的該入口及該出口之間。該過濾結(jié)構(gòu)包含一第一濾網(wǎng)及一第二濾網(wǎng)。該第一濾網(wǎng)具有一第一側(cè)邊及相對該第一側(cè)邊的一第二側(cè)邊，該第一濾網(wǎng)以該第一側(cè) 邊設(shè)置于該流體通道的內(nèi)壁的上并朝向該入口傾斜延伸，該第二側(cè)邊與該流體通道的內(nèi)壁 最遠(yuǎn)相隔一第一間隙。該第二濾網(wǎng)與該第一濾網(wǎng)分離且相對設(shè)置，該第一濾網(wǎng)相較于該第 二濾網(wǎng)更鄰近于該入口，該第二濾網(wǎng)具有一第三側(cè)邊及相對該第三側(cè)邊的一第四側(cè)邊，且 以該第三側(cè)邊設(shè)置于該流體通道的內(nèi)壁上并朝向該入口傾斜延伸，該第四側(cè)邊與該流體通 道的內(nèi)壁最遠(yuǎn)相隔一第二間隙。相較于現(xiàn)有技術(shù)，由于該第一濾網(wǎng)及該第二濾網(wǎng)是傾斜設(shè)置，因此積存于該第一 濾網(wǎng)及該第二濾網(wǎng)上的雜質(zhì)可自然向下滑落而收集于該第一側(cè)及該第三側(cè)，該第一濾網(wǎng)及 該第二濾網(wǎng)不易被積存的雜質(zhì)阻塞，且可增加雜質(zhì)的收集量；又由于該第一間隙及該第二 間隙分別存在于該第一濾網(wǎng)及該第二濾網(wǎng)分別與該流體通道的內(nèi)壁之間，因此縱使當(dāng)積存 的雜質(zhì)阻塞該第一濾網(wǎng)或該第二濾網(wǎng)，氣流仍可經(jīng)由該第一間隙及該第二間隙順暢流動， 該流體通道于該入口及該出口處的壓力差不會太大而產(chǎn)生積存的雜質(zhì)瞬間被真空泵吸入， 造成真空泵轉(zhuǎn)子更嚴(yán)重?fù)p壞的問題。關(guān)于本發(fā)明的優(yōu)點與精神可以藉由以下的發(fā)明詳述及所附圖式得到進(jìn)一步的了解。


圖1為根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的一實施例的一真空工藝設(shè)備的示意圖； 圖2為圖1中抽氣管路的局部放大示意圖； 圖3為根據(jù)本發(fā)明的一較佳實施例的一過濾結(jié)構(gòu)的示意圖； 圖4為圖3的俯視圖5為該過濾結(jié)構(gòu)的第一濾網(wǎng)的平面示意圖； 圖6為根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的一過濾結(jié)構(gòu)的示意圖。主要組件符號說明1真空工藝設(shè)備2工件
3、5過濾結(jié)構(gòu)4流體通道
12反應(yīng)室14氣體源
16抽氣管路18真空泵
20濾網(wǎng)22雜質(zhì)
32圍壁34第一濾網(wǎng)
36第二濾網(wǎng)42入口
44出口46管壁內(nèi)徑
162入口164出口
322缺口342第一側(cè)邊
344第二側(cè)邊346第一間隙
348夾角362第三側(cè)邊
364第四側(cè)邊366第二間隙
368夾角
具體實施例方式請參閱圖3，其為根據(jù)本發(fā)明的一較佳實施例的一過濾結(jié)構(gòu)3的示意圖。過濾結(jié)構(gòu) 3適用于一流體通道4，流體通道4具有一入口 42及一出口 44，過濾結(jié)構(gòu)3設(shè)置于流體通道 4內(nèi)的入口 42及出口 44之間。流體將自入口 42進(jìn)入，經(jīng)過過濾結(jié)構(gòu)3以濾除雜質(zhì)(以小 圓圈夸張表示于圖3中)，最后由出口 44流出，流體的流動以影線箭頭表示，流體流動的動 力可由與流體通道4連接的泵產(chǎn)生壓力差來提供，也就是說，出口 44處可通往泵。流體通 道4可由多段管路組成，過濾結(jié)構(gòu)30可設(shè)置鄰近于某一段管路的入口處，以便于更換。較佳 地，于真空工藝中，流體通道4可真空泵本身前端的管路的一部分；但本發(fā)明不以此為限。本發(fā)明的過濾結(jié)構(gòu)3可包含一第一濾網(wǎng)34及一第二濾網(wǎng)36。第一濾網(wǎng)34具有一 第一側(cè)邊342及相對第一側(cè)邊342的一第二側(cè)邊344，第一濾網(wǎng)34以第一側(cè)邊342設(shè)置于 流體通道4的內(nèi)壁的上并朝向入口 42傾斜延伸，第二側(cè)邊344與流體通道4的內(nèi)壁最遠(yuǎn)相 隔一第一間隙346。第二濾網(wǎng)36與第一濾網(wǎng)34分離且相對設(shè)置，第一濾網(wǎng)34相較于第二 濾網(wǎng)36更鄰近于入口 42，第二濾網(wǎng)36具有一第三側(cè)邊362及相對第三側(cè)邊362的一第四 側(cè)邊364，且以第三側(cè)邊362設(shè)置于流體通道4的內(nèi)壁上并朝向入口 42傾斜延伸，第四側(cè)邊 364與流體通道4的內(nèi)壁最遠(yuǎn)相隔一第二間隙366。請并參閱圖3、圖4及圖5，圖4為圖3的俯視圖，圖5為第一濾網(wǎng)34的平面示意 圖。于本實施例中，流體通道4可呈圓管狀，具有一圓形截面，因此傾斜設(shè)置的第一濾網(wǎng)34 具有一不完整的橢圓輪廓以局部配合流體通道4的內(nèi)壁；并且本實施例的第一濾網(wǎng)34與第 二濾網(wǎng)36對稱設(shè)置，因此第二濾網(wǎng)36亦具有一不完整的橢圓輪廓以局部配合流體通道4 的內(nèi)壁。其中，第一側(cè)邊342可呈一橢圓弧，而第二側(cè)邊344則可呈一直線，以與流體通道 4的內(nèi)壁間形成第一間隙346，同樣地第三側(cè)邊362可呈一橢圓弧，而第四側(cè)邊364則可呈 一直線，以與流體通道4的內(nèi)壁間形成第二間隙366 ；但本發(fā)明不以此為限。此外，第一濾網(wǎng)34的孔目尺寸自第一側(cè)邊342至第二側(cè)邊344漸增，同樣地第二 濾網(wǎng)36的孔目尺寸自第三側(cè)邊362至第四側(cè)邊364漸增。由于第一濾網(wǎng)34及第二濾網(wǎng)36 均是傾斜設(shè)置，被第一濾網(wǎng)34及第二濾網(wǎng)36篩出的雜質(zhì)可能因重力或氣流導(dǎo)引而滑落至 第一側(cè)邊342及第三側(cè)邊362，因此第一濾網(wǎng)34接近第一側(cè)邊342處以及第二濾網(wǎng)36接 近第三側(cè)邊362處使用較小的孔目尺寸以能承載這些雜質(zhì)；反之，第二側(cè)邊344及第四側(cè)邊 364均接近流體通道4的中心部分，第一濾網(wǎng)34接近第二側(cè)邊344處及第二濾網(wǎng)36接近第 四側(cè)邊364處的功能主要以過濾流體為主，因此第一濾網(wǎng)34接近第二側(cè)邊344處及第二濾 網(wǎng)36接近第四側(cè)邊364處使用較大的孔目尺寸，以兼具過濾流體又容許流體流通的目的。于本實施例中，第一濾網(wǎng)34的孔目尺寸可介于1毫米至3毫米，舉例來說第一濾 網(wǎng)34的孔目尺寸自第一側(cè)邊342至第二側(cè)邊344可以1毫米至3毫米漸增，同樣地第二 濾網(wǎng)36的孔目尺寸可介于1毫米至3毫米，舉例來說第二濾網(wǎng)36的孔目尺寸自第三側(cè)邊 362至第四側(cè)邊364可以1毫米至3毫米漸增；但本發(fā)明不以此為限。于實作上，第一濾網(wǎng) 34及第二濾網(wǎng)36得分別以一邊框固定紗網(wǎng)來制作，亦得以一板材并于其上鏤空成多個通 孔制作；另第一濾網(wǎng)34及第二濾網(wǎng)36的孔目尺寸可依可能存在的雜質(zhì)的特征進(jìn)行設(shè)計； 又第一濾網(wǎng)34及第二濾網(wǎng)36的孔目配置、幾何形態(tài)均不以實施例所揭露者為限。另外，第 一濾網(wǎng)34及第二濾網(wǎng)36傾斜設(shè)置的角度將影響第一濾網(wǎng)34及第二濾網(wǎng)36收集雜質(zhì)的效 果。于本實施例中，第一濾網(wǎng)34的延伸方向與流體通道4的內(nèi)壁的夾角348實質(zhì)介于30度至60度之間，第二濾網(wǎng)36的延伸方向與流體通道4的內(nèi)壁的夾角368實質(zhì)介于30度至 60度之間。另外，請并參閱圖3及圖4。于本實施例中，流體通道4具有一截面，即圖4所示的 圓形截面(另以雙虛線表示于圖3中)，該截面大致垂直流體的流動方向。第一濾網(wǎng)34投 影(以虛線表示于圖3中)于流體通道4的該截面上的投影面可超過該截面面積的一半，第 二濾網(wǎng)36投影(以虛線表示于圖3中)于流體通道4的該截面上的投影面亦可超過該截 面面積的一半，亦即此二投影面可局部重疊，以能涵蓋整個流體通道4的截面并有效過濾。 換言之，經(jīng)由第一間隙346流通的流體仍會被第二濾網(wǎng)36過濾。各濾網(wǎng)34、36的投影面可 藉由設(shè)計間隙346、366來控制，雖本實施例的第一濾網(wǎng)34與第二濾網(wǎng)36對稱設(shè)計，但本發(fā) 明不以此為限。于實作上，第一間隙346與第二間隙366可依不同條件設(shè)計，又或第一濾網(wǎng) 34與第二濾網(wǎng)36的傾斜設(shè)置角度亦可不同，原則上僅需達(dá)到二投影面能局部重疊，以涵蓋 整個流體通道4的截面即可。此外，若第一濾網(wǎng)34被雜質(zhì)布滿而被阻塞時，因第一濾網(wǎng)34的第二側(cè)邊344與流 體通道4的內(nèi)壁間尚有第一間隙346存在，故第一濾網(wǎng)34不會阻塞流體通道4，流體仍能在 流體通道4順暢流動；同理，若第二濾網(wǎng)36被雜質(zhì)布滿而被阻塞時，流體仍能在流體通道4 順暢流動。因此，現(xiàn)有技術(shù)中因濾網(wǎng)被雜質(zhì)阻塞，使得管路內(nèi)濾網(wǎng)兩側(cè)壓力差過大，造成積 存的雜質(zhì)瞬間被真空泵吸入，嚴(yán)重?fù)p壞真空泵轉(zhuǎn)子的問題，不會發(fā)生。如圖4所示，于本實 施例中，流體通道4具有一管壁內(nèi)徑46，第一間隙346的長度實質(zhì)介于管壁內(nèi)徑46的0. 1 至0. 4，同樣地第二間隙366的長度實質(zhì)介于管壁內(nèi)徑46的0. 1至0. 4 ；但本發(fā)明不以此為 限，原則上，只需有第一間隙346及第二間隙366存在，即有助于避免前述瞬間吸入的問題。前述實施例雖以過濾結(jié)構(gòu)3設(shè)置于具有圓形截面的流體通道4為例，但本發(fā)明不 以此為限。本發(fā)明的過濾結(jié)構(gòu)可經(jīng)由修改其輪廓而得輕易地適用于其它具有異形截面的流 體通道，不待贅述。另外，前述實施例的過濾結(jié)構(gòu)3的第一濾網(wǎng)34與第二濾網(wǎng)36是各別設(shè) 置于內(nèi)壁上，于實作上得以多種方式實施，例如可在流體通道4的內(nèi)壁上設(shè)有卡點或卡座 以直接卡住第一濾網(wǎng)34與第二濾網(wǎng)36，或?qū)⒌谝粸V網(wǎng)34與第二濾網(wǎng)36產(chǎn)生些微的彎曲以 設(shè)置于流體通道4內(nèi)，前述彎曲使得第一濾網(wǎng)34與第二濾網(wǎng)36產(chǎn)生彈性的回復(fù)力，此回復(fù) 力將施加于流體通道4的內(nèi)壁，進(jìn)而使該內(nèi)壁對第一濾網(wǎng)34與第二濾網(wǎng)36的邊緣產(chǎn)生摩 擦力以固定第一濾網(wǎng)34與第二濾網(wǎng)36。本發(fā)明均不以此為限。當(dāng)過濾結(jié)構(gòu)3的第一濾網(wǎng)34與第二濾網(wǎng)36以一連接結(jié)構(gòu)連接時，可增加過濾結(jié) 構(gòu)3整體的強(qiáng)度，進(jìn)而強(qiáng)化第一濾網(wǎng)34與第二濾網(wǎng)36的固定。請參閱圖6，其為根據(jù)本發(fā) 明的另一實施例的一過濾結(jié)構(gòu)5的示意圖。過濾結(jié)構(gòu)5與過濾結(jié)構(gòu)3不同之處在于過濾結(jié) 構(gòu)5更包含一圍壁32，圍壁32與流體通道4的內(nèi)壁鄰接，第一濾網(wǎng)34及第二濾網(wǎng)36藉由 配置于圍壁32上而設(shè)置于流體通道4的內(nèi)壁上。此設(shè)計便于使用者迅速地取出或放置過 濾結(jié)構(gòu)5于流體通道4內(nèi)。流體通道4的入口 42的入口方向(可參照入口 42處的流體流 動箭頭)與出口 44的出口方向(可參照出口 44處的流體流動箭頭)實質(zhì)垂直，因此圍壁 32可具有一缺口 322，缺口 322對著出口 44，以使流體的流動能順暢。若圍壁32直接以網(wǎng) 結(jié)構(gòu)制作，例如較大孔目的鐵絲網(wǎng)，則前述缺口 322可不必制作，因具有網(wǎng)結(jié)構(gòu)的圍壁32即 具有孔隙可供流體順暢流通；同時，具有網(wǎng)結(jié)構(gòu)的圍壁32亦具有過濾功能。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明利用交錯設(shè)置的第一濾網(wǎng)及第二濾網(wǎng)以構(gòu)成完整的過濾通道，并于流體通道的內(nèi)壁與第一濾網(wǎng)及第二濾網(wǎng)留有間隙，以避免因濾網(wǎng)被完全阻塞而 使整個流體通道也因而被阻塞的情形，亦即解決了現(xiàn)有技術(shù)中濾網(wǎng)被阻塞造成壓力差過大 而使積存于濾網(wǎng)上的雜質(zhì)瞬間被泵吸入而造成泵損壞的問題。此外，本發(fā)明利用第一濾網(wǎng) 及第二濾網(wǎng)的傾斜設(shè)置來自然地收集被過濾出的雜質(zhì)于相對較低的側(cè)邊，可增加濾網(wǎng)濾除 雜質(zhì)的量，亦可延遲整個濾網(wǎng)被完全阻塞的時間，解決了現(xiàn)有技術(shù)中若有突然大量的雜質(zhì) 造成濾網(wǎng)無法負(fù)擔(dān)而被阻塞的問題。因此，本發(fā)明的過濾結(jié)構(gòu)解決了抽氣管路(或其它流 體形態(tài)的抽取管路)被阻塞的問題并提升濾網(wǎng)濾除雜質(zhì)的量，進(jìn)而保護(hù)后端的泵系統(tǒng)，亦 使整個生產(chǎn)工藝條件得以穩(wěn)定維持。 雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，在不背離本發(fā) 明精神及其實質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的改變和 變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
一種過濾結(jié)構(gòu)，適用于一流體通道，該流體通道具有一入口及一出口，該過濾結(jié)構(gòu)設(shè)置于該流體通道內(nèi)的該入口及該出口的間，該過濾結(jié)構(gòu)包含一第一濾網(wǎng)，該第一濾網(wǎng)具有一第一側(cè)邊及相對該第一側(cè)邊的一第二側(cè)邊，該第一濾網(wǎng)以該第一側(cè)邊設(shè)置于該流體通道的內(nèi)壁上并朝向該入口傾斜延伸，該第二側(cè)邊與該流體通道的內(nèi)壁最遠(yuǎn)相隔一第一間隙；以及一第二濾網(wǎng)，該第二濾網(wǎng)與該第一濾網(wǎng)分離且相對設(shè)置，該第一濾網(wǎng)相較于該第二濾網(wǎng)更鄰近于該入口，該第二濾網(wǎng)具有一第三側(cè)邊及相對該第三側(cè)邊的一第四側(cè)邊，且以該第三側(cè)邊設(shè)置于該流體通道的內(nèi)壁上并朝向該入口傾斜延伸，該第四側(cè)邊與該流體通道的內(nèi)壁最遠(yuǎn)相隔一第二間隙。
2.如權(quán)利要求1所述的過濾結(jié)構(gòu)，其特征在于，該第一濾網(wǎng)在該流體通道的一截面上 的投影面與該第二濾網(wǎng)在該流體通道的該截面上的投影面局部重疊。
3.如權(quán)利要求1所述的過濾結(jié)構(gòu)，其特征在于，該第一濾網(wǎng)在該流體通道的一截面上 的投影面超過該截面面積的一半，且該第二濾網(wǎng)在該流體通道的該截面上的投影面超過該 截面面積的一半。
4.如權(quán)利要求1所述的過濾結(jié)構(gòu)，其特征在于，該第一濾網(wǎng)的孔目尺寸自該第一側(cè)邊 至該第二側(cè)邊漸增，且該第二濾網(wǎng)的孔目尺寸自該第三側(cè)邊至該第四側(cè)邊漸增。
5.如權(quán)利要求1所述的過濾結(jié)構(gòu)，其特征在于，該第一濾網(wǎng)的孔目尺寸介于1毫米至3 毫米，且該第二濾網(wǎng)的孔目尺寸介于1毫米至3毫米。
6.如權(quán)利要求1所述的過濾結(jié)構(gòu)，其特征在于，該第一濾網(wǎng)的延伸方向與該流體通道 的內(nèi)壁的夾角實質(zhì)介于30度至60度之間，且該第二濾網(wǎng)的延伸方向與該流體通道的內(nèi)壁 的夾角實質(zhì)介于30度至60度之間。
7.如權(quán)利要求1所述的過濾結(jié)構(gòu)，其特征在于，該流體通道具有一管壁內(nèi)徑，該第一間 隙的長度實質(zhì)介于該管壁內(nèi)徑的0. 1至0.4，且該第二間隙的長度實質(zhì)介于該管壁內(nèi)徑的 0. 1 至 0. 4。
8.如權(quán)利要求1所述的過濾結(jié)構(gòu)，其特征在于，該流體通道具有一圓形截面，該第一濾 網(wǎng)和第二濾網(wǎng)分別具有一不完整的橢圓輪廓以局部配合該流體通道的內(nèi)壁。
9.如權(quán)利要求1所述的過濾結(jié)構(gòu)，該過濾結(jié)構(gòu)更包含一圍壁，該圍壁與該流體通道的 內(nèi)壁鄰接，該第一濾網(wǎng)及該第二濾網(wǎng)藉由配置于該圍壁上而設(shè)置于該流體通道的內(nèi)壁上。
10.如權(quán)利要求9所述的過濾結(jié)構(gòu)，其特征在于，該流體通道的該入口的入口方向與該 出口的出口方向?qū)嵸|(zhì)垂直，該圍壁具有一缺口，該缺口對著該出口。全文摘要
本發(fā)明公開了一種過濾結(jié)構(gòu)，適用于一流體通道。該過濾結(jié)構(gòu)包含一第一濾網(wǎng)及一第二濾網(wǎng)。該第一濾網(wǎng)以其第一側(cè)邊設(shè)置于該流體通道的內(nèi)壁之上并朝向該流體通道的入口傾斜延伸，該第一濾網(wǎng)以其第二側(cè)邊與該流體通道的內(nèi)壁最遠(yuǎn)相隔一間隙。該第二濾網(wǎng)與該第一濾網(wǎng)分離且相對設(shè)置，該第一濾網(wǎng)相較于該第二濾網(wǎng)更鄰近于該入口，該第二濾網(wǎng)以其第三側(cè)邊設(shè)置于該流體通道的內(nèi)壁上并朝向該入口傾斜延伸，該第二濾網(wǎng)以其第四側(cè)邊與該流體通道的內(nèi)壁最遠(yuǎn)相隔一間隙。傾斜設(shè)置的濾網(wǎng)可實現(xiàn)雜質(zhì)收集的功能；又該等間隙的存在可避免雜質(zhì)塞住濾網(wǎng)的問題。
文檔編號B01D46/12GK101920148SQ201010241219
公開日2010年12月22日 申請日期2010年7月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月27日
發(fā)明者李智凱, 蔡宗達(dá), 蔡旻錦, 陳偉政 申請人:友達(dá)光電股份有限公司