本發(fā)明涉及處理系統(tǒng)和處理方法。

背景技術(shù)：

1、專(zhuān)利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了一種排水處理系統(tǒng)，其包括：處理裝置，其用于使有機(jī)氟化合物等的含有比率降低；陰離子交換柱，其填充有包含陰離子交換體的離子交換體；和分解裝置，其用于對(duì)在陰離子交換柱中流通的再生液進(jìn)行分解處理。

2、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

3、專(zhuān)利文獻(xiàn)

4、專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2010-125352號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題

2、本發(fā)明提供能夠順利地實(shí)施有機(jī)氟化合物的無(wú)毒化處理的處理系統(tǒng)和處理方法。

3、用于解決技術(shù)問(wèn)題的手段

4、本發(fā)明的一個(gè)方式的處理系統(tǒng)包括：濃縮部，其用于對(duì)從半導(dǎo)體制造裝置排出的包含有機(jī)氟化合物的廢液進(jìn)行濃縮；和藥液處理部，其用于使由濃縮部濃縮后的濃縮液分解和揮發(fā)。

5、發(fā)明效果

6、采用本發(fā)明，能夠順利地實(shí)施有機(jī)氟化合物的無(wú)毒化處理。

技術(shù)特征：

1.一種處理系統(tǒng)，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的處理系統(tǒng)，其特征在于：

3.如權(quán)利要求2所述的處理系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

4.如權(quán)利要求3所述的處理系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

5.如權(quán)利要求4所述的處理系統(tǒng)，其特征在于：

6.如權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的處理系統(tǒng)，其特征在于：

7.如權(quán)利要求6所述的處理系統(tǒng)，其特征在于：

8.如權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的處理系統(tǒng)，其特征在于：

9.如權(quán)利要求8所述的處理系統(tǒng)，其特征在于：

10.一種處理方法，其特征在于，包括：

11.如權(quán)利要求10所述的處理方法，其特征在于：

12.如權(quán)利要求10或11所述的處理方法，其特征在于：

13.如權(quán)利要求10或11所述的處理方法，其特征在于：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供能夠順利地實(shí)施有機(jī)氟化合物的無(wú)毒化處理的處理系統(tǒng)和處理方法。PFAS無(wú)毒化系統(tǒng)(1)包括濃縮器(11)，其用于對(duì)從半導(dǎo)體制造裝置(100)的光刻裝置(111)排出的含有PFAS的抗蝕劑廢液進(jìn)行濃縮。另外，PFAS無(wú)毒化系統(tǒng)(1)包括硫酸處理槽(12)，其用于使由濃縮器(11)濃縮后的濃縮液分解和揮發(fā)。

技術(shù)研發(fā)人員：小林真二
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21