帶有水道的半導(dǎo)體靶體燒結(jié)裝置用爐腔的制作方法
【專利說明】
[0001]技術(shù)領(lǐng)域:
[0002]本實用新型涉及機電技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種帶有水道的半導(dǎo)體靶體燒結(jié)裝置用爐腔。
[0003]【背景技術(shù)】:
[0004]近年來隨著平面顯示行業(yè)以及平板顯示器尺寸大型化，性能優(yōu)良化的高速發(fā)展，制造高密度靶體越來越被需要?，F(xiàn)在工業(yè)上應(yīng)用的半導(dǎo)體靶體燒結(jié)裝置，一般都是上法蘭、下法蘭和殼體圍成爐腔，在高溫高壓的情況下加厚殼體，或者選用雙層殼體的結(jié)構(gòu)，這樣子使得爐體花費昂貴并且降溫速率較低，還存在加熱管附近局部過熱，整個爐體內(nèi)部受熱不均勻等問題。
[0005]【實用新型內(nèi)容】:
[0006]本實用新型的目的是提供一種帶有水道的半導(dǎo)體靶體燒結(jié)裝置用爐腔。外側(cè)的水道分布在加熱管兩側(cè)，在加熱管工作的過程中水道一直通冷卻水，管道里的水可以使得加熱管周圍不會局部過熱，保證爐腔內(nèi)部熱場均勻，并起到冷卻降溫的作用；還有在高壓的工作情況水道有加固殼體增加強度的作用，費用相比單純加厚殼體或者使用雙層殼體大大降低，節(jié)約爐腔的制作成本。
[0007]本實用新型為實現(xiàn)上述目的，采取技術(shù)方案如下:
[0008]帶有水道的半導(dǎo)體靶體燒結(jié)裝置用爐腔，包括上法蘭、殼體、水道和下法蘭；上法蘭密封固定連接在殼體的上開口部，下法蘭密封固定連接在殼體的下開口部，水道密封固定連接在殼體外側(cè)表面。
[0009]作為本實用新型的進一步改進，所述水道為不銹鋼密封水道，或者進一步改進所述水道為均勻?qū)ΨQ的安裝在殼體外側(cè)表面；水道可以是U形、0形或梯形等常見的水道形狀。
[0010]作為本實用新型的進一步改進，所述上法蘭為不銹鋼鍛件，用焊接的方式密封固定連接到殼體的上開口部。
[0011]作為本實用新型的進一步改進，所述下法蘭為不銹鋼鍛件，用焊接的方式密封固定連接到殼體的下開口部。
[0012]本實用新型提供的一種帶有水道的半導(dǎo)體靶體燒結(jié)裝置用爐腔，冷卻降溫保證爐腔內(nèi)部受熱均勻、節(jié)約成本、抗壓堅固。
[0013]【附圖說明】:
[0014]附圖1是帶有水道的半導(dǎo)體靶體燒結(jié)裝置用爐腔的正視圖。
[0015]附圖2是帶有水道的半導(dǎo)體靶體燒結(jié)裝置用爐腔的正視圖QQ面的剖視圖。
[0016]附圖3是帶有水道的半導(dǎo)體靶體燒結(jié)裝置用爐腔的軸式圖。
[0017]圖中:殼體1、上法蘭2、下法蘭3、水道4。
[0018]【具體實施方式】:
[0019]帶有水道的半導(dǎo)體燒結(jié)裝置用爐腔，包括上法蘭2、殼體1、水道4和下法蘭3 ;所述殼體1為不銹鋼板材，上法蘭2和下法蘭3均為不銹鋼鍛件，上法蘭2密封焊接在殼體1的上開口部，下法蘭3密封焊接在殼體1的下開口部，水道4為不銹鋼板材折彎而成的U形密封水道4，焊接在殼體1外側(cè)的四個表面上。
[0020]半導(dǎo)體坯體燒結(jié)過程中，半導(dǎo)體燒結(jié)裝置的熱場和半導(dǎo)體坯體放置在爐腔內(nèi)，夕卜側(cè)的水道4均勻分布在加熱管兩側(cè)，帶有水道4的半導(dǎo)體靶體燒結(jié)裝置用爐腔在半導(dǎo)體坯燒結(jié)過程中水道4 一直通冷卻水，冷卻水在爐腔周圍被加熱后進入冷卻塔，冷卻后再通入爐腔周圍行使冷卻功能，流動的冷卻水可以使加熱管周圍不會局部過熱，保證爐腔內(nèi)部熱場均勻；還有在高壓的工作情況水道4有增加殼體1強度的作用，費用相比單純加厚殼體或者使用雙層殼體大大降低，節(jié)約爐腔的制作成本。
[0021]爐腔經(jīng)過外面水道4的加固，更為結(jié)實、抗壓，并且水道4里面除了可以通入液體水，也可以通入別的冷卻液體，產(chǎn)生更好的冷卻功效。
[0022]本實用新型的提供的一種帶有水道4的半導(dǎo)體靶體燒結(jié)裝置用爐腔。外側(cè)的水道4不僅有保證爐腔內(nèi)部熱場均勻、冷卻降溫的作用，還有在高壓的工作情況加固殼體1的作用，費用相比單純加厚殼體或者使用雙層殼體大大降低，效果更好。
【主權(quán)項】
1.帶有水道的半導(dǎo)體靶體燒結(jié)裝置用爐腔，其特征在于，包括上法蘭、殼體、水道和下法蘭；上法蘭密封固定連接在殼體的上開口部，下法蘭密封固定連接在殼體的下開口部，水道密封固定連接在殼體外側(cè)表面。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有水道的半導(dǎo)體靶體燒結(jié)裝置用爐腔，其特征在于所述水道為不銹鋼密封水道。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的帶有水道的半導(dǎo)體靶體燒結(jié)裝置用爐腔，其特征在于所述水道均勻?qū)ΨQ的安裝在殼體外側(cè)表面。4.根據(jù)權(quán)利要求1-3所述的任意一款帶有水道的半導(dǎo)體靶體燒結(jié)裝置用爐腔，其特征在于所述殼體選用材料為不銹鋼。5.根據(jù)權(quán)利要求1-3所述的任意一款帶有水道的半導(dǎo)體靶體燒結(jié)裝置用爐腔，其特征在于所述上法蘭用焊接的方式密封固定連接到殼體的上開口部。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的帶有水道的半導(dǎo)體靶體燒結(jié)裝置用爐腔，其特征在于所述上法蘭為不銹鋼鍛件。7.根據(jù)權(quán)利要求1-3所述的任意一款帶有水道的半導(dǎo)體靶體燒結(jié)裝置用爐腔，其特征在于所述下法蘭用焊接的方式密封固定連接到殼體的下開口部。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的帶有水道的半導(dǎo)體靶體燒結(jié)裝置用爐腔，其特征在于所述下法蘭為不銹鋼鍛件。
【專利摘要】本實用新型涉及機電技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種帶有水道的半導(dǎo)體靶體燒結(jié)裝置用爐腔，所述爐腔包括上法蘭、殼體、水道和下法蘭；上法蘭密封固定連接在殼體的上開口部，下法蘭密封固定連接在殼體的下開口部，冷卻密封水道固定連接在殼體外側(cè)表面，半導(dǎo)體靶坯燒結(jié)過程中水道一直通水，流動的冷卻水行使冷卻功能并可以使爐腔內(nèi)部熱場的均勻，水道本身也為爐腔提供抗壓支撐作用、提高爐腔強度，同時降低了爐腔的制作成本降低。
【IPC分類】F27D1/12, F27B5/00
【公開號】CN205079594
【申請?zhí)枴緾N201520789437
【發(fā)明人】劉蘭英
【申請人】劉蘭英
【公開日】2016年3月9日
【申請日】2015年10月14日