一種具有預(yù)加熱功能的氣體加熱設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及氣體輸送領(lǐng)域，尤其涉及一種具有預(yù)加熱功能的氣體加熱設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著全球電子和光伏產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體和光伏制造業(yè)也得到了迅猛的發(fā)展。據(jù)2006年中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)研宄報(bào)告指出:“2006年底，中國(guó)國(guó)內(nèi)有近50家晶圓制造廠，112家IC封裝和IC裝配廠，450家IC設(shè)計(jì)公司。2006年中國(guó)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值807億元人民幣，大約為100億美元，其中封測(cè)350億元，晶圓制造242億元，IC設(shè)計(jì)215億元。中國(guó)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體市場(chǎng)的規(guī)模在2006年超過(guò)600億美元。其中前20大廠家就占有300億美元以上?！惫夥a(chǎn)業(yè)在近兩年快速發(fā)展，是未來(lái)新能源產(chǎn)業(yè)的主力軍。
[0003]目前，在半導(dǎo)體和光伏相關(guān)產(chǎn)業(yè)中，常用的制程中需要使用許多特殊氣體，而某些氣體在通過(guò)減壓后，因?yàn)闇囟冉档投拐{(diào)壓閥及其它部件冷凝結(jié)冰，導(dǎo)致閥門及部件的壽命受損和氣體的不能正常運(yùn)輸和供應(yīng)，從而嚴(yán)重影響產(chǎn)業(yè)的效率，并導(dǎo)致成本的提高。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為了解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種具有預(yù)加熱功能的氣體加熱設(shè)備，利用預(yù)加熱的方式，有效的確保氣體運(yùn)輸和供應(yīng)的正常。
[0005]上述的一種具有預(yù)加熱功能的氣體加熱設(shè)備，包括殼體和預(yù)加熱系統(tǒng)，所述殼體為長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)，所述殼體的頂部設(shè)置有工藝氣出口、工藝氣進(jìn)口以及上蓋板；所述預(yù)加熱系統(tǒng)包括接線柱、鉑熱電阻、過(guò)溫開(kāi)關(guān)、電氣接頭以及電氣接頭預(yù)留口，所述接線柱和過(guò)溫開(kāi)關(guān)均位于鉑熱電阻的周圍，所述接線柱、鉑熱電阻以及過(guò)溫開(kāi)關(guān)均位于上蓋板的下方的殼體內(nèi)；所述電氣接頭和電氣接頭預(yù)留口分別位于殼體的兩個(gè)側(cè)壁上；所述殼體上設(shè)置有電氣接頭的側(cè)壁還設(shè)置有線纜固定座。
[0006]上述設(shè)備中，所述接線柱的數(shù)量為4根。
[0007]上述設(shè)備中，所述4根接線柱按照每組2根的布局分為2組。
[0008]上述設(shè)備中，所述2組接線柱中每組接線柱的功率為600W或1200W。
[0009]上述設(shè)備中，所述過(guò)溫開(kāi)關(guān)的數(shù)量為2個(gè)。
[0010]上述設(shè)備中，所述過(guò)溫開(kāi)關(guān)的保護(hù)溫度為65°C或100°C。
[0011]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于:本實(shí)用新型提供了一種具有預(yù)加熱功能的氣體加熱設(shè)備，通過(guò)在現(xiàn)有加熱設(shè)備的基礎(chǔ)上增加了預(yù)加熱系統(tǒng)，從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)輸送氣體的預(yù)加熱處理，進(jìn)而避免了由于溫度降低而使調(diào)壓閥及其它部件冷凝結(jié)冰等情況的發(fā)生，并最終達(dá)到了確保氣體運(yùn)輸和供應(yīng)正常的目的。
【附圖說(shuō)明】
[0012]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0013]圖1是本實(shí)用新型中氣體加熱設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2是圖1中氣體加熱設(shè)備去除上蓋板后的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例僅用于更加清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而不能以此來(lái)限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
[0016]本實(shí)用新型記載了一種具有預(yù)加熱功能的氣體加熱設(shè)備，包括殼體9和預(yù)加熱系統(tǒng)。
[0017]如圖1所示，殼體9采用了長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)且其頂部設(shè)置有工藝氣出口 6、工藝氣進(jìn)口7以及上蓋板10 ;該工藝氣出口 6則作為待加熱氣體的出口，可選擇3/8與1/2的male或Fmale的VCR ；;而工藝氣進(jìn)口 7作為待加熱氣體的進(jìn)口，同樣可選擇3/8與1/2的male或Fmale的VCR ;至于上蓋板10則負(fù)責(zé)保護(hù)其內(nèi)部的各個(gè)部件。
[0018]如圖2所示，本實(shí)用新型中的預(yù)加熱系統(tǒng)包括接線柱1、鉑熱電阻2、過(guò)溫開(kāi)關(guān)3、電氣接頭4以及電氣接頭預(yù)留口 8，該接線柱I和過(guò)溫開(kāi)關(guān)3位于鉑熱電阻2的周圍，且接線柱1、鉑熱電阻2以及過(guò)溫開(kāi)關(guān)3均位于上蓋板10下方的殼體9的內(nèi)部；
[0019]其中，接線柱I主要負(fù)責(zé)加熱電源的接入，且共有四根，該4根接線柱I按照每組2根的布局分為2組。單組的功率為600W或1200W，如兩組全接時(shí)則功率翻倍；而鉑熱電阻2則主要用于測(cè)量系統(tǒng)的溫度，該鉑熱電阻2為PT100型電阻，它的阻值會(huì)隨著溫度的變化而改變，PT后的100即表示它在0°C時(shí)阻值為100歐姆，在100°C時(shí)它的阻值約為138.5歐姆。
[0020]同時(shí)，上述的過(guò)溫開(kāi)關(guān)3可以根據(jù)氣體的性質(zhì)來(lái)工作，一般情況下會(huì)被限制在650C (動(dòng)作溫度65±5°C，復(fù)位溫度50±10°C )以下，而部分冷卻效應(yīng)過(guò)高的氣體則會(huì)限制在100 °C (動(dòng)作溫度100±5°C，復(fù)位溫度85± 10°C )，從而可以在系統(tǒng)達(dá)到動(dòng)作溫度時(shí)進(jìn)行自我保護(hù)。
[0021]優(yōu)選的，為了達(dá)到更好的保護(hù)效果，本實(shí)用新型中的過(guò)溫開(kāi)關(guān)3的數(shù)量為2個(gè)，且均設(shè)置在鉑熱電阻2的周圍。
[0022]此外，利用上述的電氣接頭4，可以將系統(tǒng)里的電源與信號(hào)與外部控制器相結(jié)合，以便進(jìn)行控制；
[0023]至于電氣接頭4和電氣接頭預(yù)留口 8分別位于殼體9的兩個(gè)側(cè)壁上，且在設(shè)置有電氣接頭4的一側(cè)還設(shè)有線纜固定座5，該線纜固定座5可以將電氣接頭4出來(lái)的線纜固定在一起，以便減小設(shè)備的使用空間；
[0024]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種具有預(yù)加熱功能的氣體加熱設(shè)備，其特征在于，包括殼體和預(yù)加熱系統(tǒng)，所述殼體為長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)，所述殼體的頂部設(shè)置有工藝氣出口、工藝氣進(jìn)口以及上蓋板；所述預(yù)加熱系統(tǒng)包括接線柱、鉑熱電阻、過(guò)溫開(kāi)關(guān)、電氣接頭以及電氣接頭預(yù)留口，所述接線柱和過(guò)溫開(kāi)關(guān)均位于鉑熱電阻的周圍，所述接線柱、鉑熱電阻以及過(guò)溫開(kāi)關(guān)均位于上蓋板的下方的殼體內(nèi)；所述電氣接頭和電氣接頭預(yù)留口分別位于殼體的兩個(gè)側(cè)壁上；所述殼體上設(shè)置有電氣接頭的側(cè)壁還設(shè)置有線纜固定座。
2.如權(quán)利要求1所述的一種具有預(yù)加熱功能的氣體加熱設(shè)備，其特征在于，所述接線柱的數(shù)量為4根。
3.如權(quán)利要求2所述的一種具有預(yù)加熱功能的氣體加熱設(shè)備，其特征在于，所述4根接線柱按照每組2根的布局分為2組。
4.如權(quán)利要求3所述的一種具有預(yù)加熱功能的氣體加熱設(shè)備，其特征在于，所述2組接線柱中每組接線柱的功率為600W或1200W。
5.如權(quán)利要求1所述的一種具有預(yù)加熱功能的氣體加熱設(shè)備，其特征在于，所述過(guò)溫開(kāi)關(guān)的數(shù)量為2個(gè)。
6.如權(quán)利要求5所述的一種具有預(yù)加熱功能的氣體加熱設(shè)備，其特征在于，所述過(guò)溫開(kāi)關(guān)的保護(hù)溫度為65°C或100°C。
【專利摘要】本實(shí)用新型記載了一種具有預(yù)加熱功能的氣體加熱設(shè)備，包括殼體和預(yù)加熱系統(tǒng)，該殼體為長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)且頂部設(shè)置有工藝氣出口、工藝氣進(jìn)口以及上蓋板；而預(yù)加熱系統(tǒng)則包括接線柱、鉑熱電阻、過(guò)溫開(kāi)關(guān)、電氣接頭以及電氣接頭預(yù)留口，該接線柱和過(guò)溫開(kāi)關(guān)均位于鉑熱電阻的周圍，且接線柱、鉑熱電阻以及過(guò)溫開(kāi)關(guān)均位于上蓋板下方的殼體內(nèi)；同時(shí)，在殼體的側(cè)壁上還設(shè)置有線纜固定座。由于采用了上述技術(shù)，本實(shí)用新型通過(guò)在現(xiàn)有加熱設(shè)備的基礎(chǔ)上增加了預(yù)加熱系統(tǒng)，從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)輸送氣體的預(yù)加熱處理，進(jìn)而避免了由于溫度降低而使調(diào)壓閥及其它部件冷凝結(jié)冰等情況的發(fā)生，并最終達(dá)到了確保氣體運(yùn)輸和供應(yīng)正常的目的。
【IPC分類】H05B3-02, F24H9-18, F24H3-00
【公開(kāi)號(hào)】CN204574466
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520253683
【發(fā)明人】甘萬(wàn)
【申請(qǐng)人】上海盛韜半導(dǎo)體科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年8月19日
【申請(qǐng)日】2015年4月23日