專(zhuān)利名稱(chēng)：：十字吹掃閥和容器組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種用于存儲(chǔ)和分配高純度工藝化學(xué)制劑的容器和閥-十字吹掃組件。
背景技術(shù)：
：半導(dǎo)體制造工業(yè)中在標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力，例如環(huán)境條件下的存儲(chǔ)和分配中使用一系列在固相、液相和氣相中的化學(xué)制劑?；谒鼈兊幕瘜W(xué)結(jié)構(gòu)，以及它們是否為其純凈的形式或者被包含在溶劑中，這些化學(xué)制劑可以具有在很大程度上變化的蒸氣壓和粘度。無(wú)論所述化學(xué)制劑容器的尺寸，在一些時(shí)間點(diǎn)所述半導(dǎo)體制造者會(huì)替換化學(xué)制劑耗盡的化學(xué)制劑容器，或者移除化學(xué)制劑容器用于其它的操作要求。在半導(dǎo)體制造中化學(xué)制劑容器的移除或替換并不是不重要的動(dòng)作。這些化學(xué)制劑典型地要求在極高純度下并且通常不能曝露在空氣或不受控制的外部條件中，這樣的外部條件可能會(huì)在所述化學(xué)制劑容器的移除或替換過(guò)程中影響所述化學(xué)制劑的純度。本發(fā)明是一種用于存儲(chǔ)和分配高純度工藝化學(xué)制劑的容器和閥h字吹掃組件(containerandvalve-crosspurgeassembly)，包含；(A)用于容納高純度工藝化學(xué)制劑的容器，其具有用于分配高純度工藝化學(xué)制劑和引入栽氣以輔助分配所述高純度工藝化學(xué)制劑的進(jìn)口和出口；(B)閥-十字吹掃配件，其包含；(i)第一閥；和(ii)第二閥，上述閥中的一個(gè)連接到所述容器的進(jìn)口，且上述閥中的另一個(gè)連接到上述容器的出口；并且(iii)在所述第一和第二閥之間的十字吹掃連接(crosspurgeconnection)，其提供了在所迷?xún)砷y之間與所迷容器相獨(dú)立的流體流動(dòng)連接；其中，每個(gè)閥具有；(a)到所述容器的第一孔；(b)到用于所述組件外部的流體流動(dòng)連接的導(dǎo)管的第二孔；以及，(c)到所述十字吹掃連接的第三孔，其在所述閥中與所迷第二孔在軸向間隔第一距離；(d)閥罩；以及(e)閥桿，其能夠在所述閥罩中向以下兩個(gè)位置之一移動(dòng)(1)容器打開(kāi)以及(2)十字吹掃打開(kāi)-容器關(guān)閉；其中，所迷閥桿具有三個(gè)閥密封表面(I)第一閥密封表面，其被配置以相對(duì)第一閥座密封，來(lái)關(guān)閉到所述容器的第一孔；(II)其橫截面相對(duì)于所述主閥桿橫截面有所放大的第二閥密封表面，其被配置以相對(duì)閥罩的內(nèi)壁密封，從而使所述第二孔對(duì)第一孔關(guān)閉；以及，(III)其橫截面相對(duì)于所述主閥桿橫截面有所放大的第三閥密封表面，其被配置以相對(duì)所述閥革的內(nèi)壁密封，從而與所迷第二閥密封表面在所述十字吹掃連接的第三孔和所迷第二孔之間形成流道，其中在所述閥桿上所述第二閥密封表面與所述第三閥密封表面的軸向間距至少與所述第一距離(如在(C)中所述的)一樣大，以便形成所述流道(如在(III)中所述的)。在一個(gè)替代實(shí)施方案中，所述閥桿僅僅具有兩個(gè)密封表面，排除了所迷第一密封表面。圖1A和1B是本發(fā)明實(shí)施方案的透視圖，其說(shuō)明了一種具有閥-十字吹掃配件的高純度化學(xué)制劑容器，所述閥-十字吹掃配件是沿直線(xiàn)定位或"U"形定位的，其中閥的出口分別為彼此面向相反的方向或面向相同的方向。圖2是圖1所述容器和配件的剖視圖。圖3A和3B是所述閥-十字吹掃配件的一個(gè)閥在(A)十字吹掃位置和(B)產(chǎn)品分配位置的橫剖面圖。圖4是構(gòu)成所述閥-十字吹掃配件的部件的分解圖。圖6是只具有兩個(gè)密封面的閥-十字吹掃配件的閥的閥桿的替代分離平面圖。具體實(shí)施例方式在半導(dǎo)體制造工業(yè)中，這些容器典型地由玻璃，特別地為石英或金屬，例如不銹鋼所構(gòu)成。鋼容器典型地被電拋光或表面處理以除去顆粒并產(chǎn)生光滑表面，其容易清潔并且可以防止所述工藝化學(xué)制劑不希望的表面吸附。在半導(dǎo)體制造工業(yè)中高純度工藝化學(xué)制劑典型地具有優(yōu)選地不大于十億分之幾(ppb)水平的金屬雜質(zhì)規(guī)范并且優(yōu)選地，其所具有7的其它污染物，例如有機(jī)物，等于或低于在所迷工業(yè)中使用的分析儀器的探測(cè)范圍。高純度工藝化學(xué)制劑可以包括三氯氣化磷(P0Cl3)、四乙基原硅酸酯、磷酸三曱酯、磷酸三乙酯、亞磷酸三曱酯、硼酸三曱酯、硼酸三乙酯、1，2-二(曱基甲硅烷基)乙烷、二乙基硅烷、四曱氧基鍺烷、四曱基環(huán)四硅氧烷、四-二乙基氨基鉿、四-二甲基氨基硅烷、四(二乙基氨基)鈦、四(二曱基氨基)鈦、四氯化鈦、二甲基氫化鋁、二乙基氫化鋁.DMEA、二曱基氫化鋁.TMA、二曱基乙基胺鋁烷、穩(wěn)定化的二甲基乙基胺鋁烷、三乙氧基氟硅烷、1，2-二(甲基二氟甲硅烷基)乙烷，l,2-二(三氟曱硅烷基)乙烷、聚(亞芳基醚)聚合物、五乙氧基鉭、異丙氧基鈦、四乙氧基二甲基氨基乙氧基鉭、鈦酸鍶鋇、叔丁基亞酰胺基三(二乙基酰胺基)鉭、反l，2-二氯乙烯、l,l，l-三氯乙烷、二氯甲烷、三氟乙酸酐、三乙基砷酸酯、三溴化硼、三氧化銻、三溴化磷、三氯化磷、紅磷、砷、三氧化銻、四(二甲基氨基)鈦、四(二乙基氨基)鈦、四(乙基甲基氨基)鈦、四(二曱基氨基)鋯、四(二乙基氨基)鋯、四(乙基甲基氨基)鋯、四(二甲基氨基)鉿、四(二乙基氨基)鉿、四(乙基甲基氨基)鉿、叔丁基亞酰胺基三(二乙基氨基)鉭、叔丁基亞酰胺基三(二甲基氨基)鉭、叔丁基亞酰胺基三(乙基曱基氨基)鉭、乙基亞氨基三(二甲基氨基)鉭、乙基亞胺基三(乙基甲基氨基)鉭、乙基亞酰胺基三(乙基曱基氨基)鉭、叔戊基亞氨基三(二甲基氨基)鉭、叔戊基亞胺基三(二乙基氨基)鉭、五(二曱基氨基)鉭、叔戊基亞胺基三(乙基曱基氨基)鉭、二(叔丁基亞氨基)二(二曱基氨基)鎢、二(叔丁基亞氨基)二(二乙基氨基)鎢、二(叔丁基亞氨基)二(乙基曱基氨基)鎢、三(叔戊氧基)硅烷醇、2,5-降冰片二烯、和二環(huán)-2,2,l-七-2，5-二烯。重要的是，至少一些如上面列舉的高純度工藝化學(xué)制劑和其它用于半導(dǎo)體制造工業(yè)的高純度工藝化學(xué)制劑能夠使充有所述高純度工藝化學(xué)制劑的容器被安裝、分離、調(diào)換或者代替，并且當(dāng)所述高純度工藝化學(xué)制劑對(duì)潮濕敏感、對(duì)氧氣敏感、要求極高純度水平和/或沒(méi)有雜質(zhì)時(shí)，這構(gòu)成了一種技術(shù)挑戰(zhàn)。在與上述的容器分離時(shí)，留存所述閥或管路中的任何高純度工藝化學(xué)制劑在分離期間可能會(huì)接觸到不希望的大氣并產(chǎn)生污染、產(chǎn)生固體副產(chǎn)物或產(chǎn)生腐蝕性的和/或危險(xiǎn)的副產(chǎn)物。本發(fā)明的好處在于所述閥-十字吹掃配件的構(gòu)造容許一種緊湊設(shè)計(jì)的簡(jiǎn)單閥門(mén)，其能夠在分配功能和十字吹掃功能之間進(jìn)行操作，以容許栽氣或推進(jìn)氣體從已經(jīng)暴露于工藝化學(xué)制劑的閥內(nèi)表面除去高純度工藝化學(xué)制劑，并在可能將閥內(nèi)表面暴露到外部大氣的所述容器或閥的任何分離之前吹掃上述的剩余化學(xué)制劑。在再連接之后并在高純度工藝化學(xué)制劑的流通過(guò)所迷閥內(nèi)部之前，從所述閥內(nèi)部對(duì)上述的大氣氣氛的類(lèi)似吹掃是可能的，其中上述的大氣氣氛可能會(huì)在再連接時(shí)被捕獲。下面將結(jié)合附圖用特別的實(shí)施方案來(lái)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說(shuō)明。在圖2中，顯示了圖l的容器和閥-十字吹掃組件的橫截面，其中容器10安裝有閥-十字吹掃配件3，其包含閥7和閥11。閥7具有連接到所述容器10的第一孔27，其容許在所述閥7和所述容器10的內(nèi)部之間通過(guò)連接到汲取管(diptube)23的容器進(jìn)口19的流體流動(dòng)連接，所迷汲取管的末端鄰近所述容器10的底部25。在這些構(gòu)造中，容許栽氣或推進(jìn)氣體進(jìn)入閥7的第二孔5，所述第二孔能夠連接到加壓載氣或推進(jìn)氣體的源，以使所述氣體從汲取管23的末端鼓出并優(yōu)選地將液體高純度工藝化學(xué)制劑夾帶到所述氣體之中，從而通過(guò)容器出口21進(jìn)行分配。閥7還在其閥罩17上具有第三孔13a，其形成了在所述兩個(gè)閥7和11之間的十字吹掃連接13c的一部分。閥ll具有類(lèi)似的鏡象特征，其包括外殼15，連接到容器出口21的第一孔29，第二孔9，其典型地連接到在所述半導(dǎo)體裝置(例如集成電路或太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu))制造中消耗所述高純度工藝化學(xué)制劑的反應(yīng)器的下游，在閥罩15中的第三孔13b，其形成了在所述兩個(gè)閥7和11之間的十字吹掃連接13c的一部分。圖3A和3B獨(dú)立顯示了閥11的橫截面，但應(yīng)當(dāng)注意在結(jié)構(gòu)上閥11是閥7的鏡象，除了其連接到容器10和外部管路源(未顯示)以外。9閥11具有閥體15和閥桿31。閥ll具有能夠連接到容器出口21的第一孔29、能夠連接到用于流體流動(dòng)連接至外部組件進(jìn)而連接到用于消費(fèi)所述高純度工藝化學(xué)制劑的反應(yīng)器的第二孔9、以及能夠連接到圖2中所示的十字吹掃連接13c的第三孔13b。第二孔9沿所述閥罩距所述第三孔13b的軸向距離為"第一距離"，從而使兩者在所述閥罩中不是互相面對(duì)的或互相并列的關(guān)系。所述閥桿31具有第一閥密封表面33，其被配置以相對(duì)所述閥罩15的第一閥座35密封，從而能夠密封或關(guān)閉來(lái)自所述容器出口21通過(guò)所述閥到第二孔9的流體流動(dòng)。閥桿31具有第二閥密封表面37,其橫截面相對(duì)于所迷最初的閥桿的橫截面31有所放大，其被調(diào)整尺寸且被配置以相對(duì)所述閥罩15的內(nèi)壁38密封以使所述第二孔9對(duì)所述第一孔29關(guān)閉，如圖3A所述位置，以及使所述第二孔9對(duì)所述第三孔13b關(guān)閉，如圖3B所迷位置。閥桿31具有第三閥密封表面39,其橫截面相對(duì)于所迷主閥桿橫截面31有所放大，其被調(diào)整尺寸且被配置以相對(duì)所述閥罩15的內(nèi)壁38密封來(lái)將所述閥密封在接近螺紋段43的密封39之上。所述第二閥密封表面37與第三閥密封表面39的軸向間距至少與如上所述的第二孔9和第三孔13b的軸向間距"第一距離，，相同。這樣，所述第二孔9的開(kāi)口6和第三孔13b的開(kāi)口14的軸心所具有的沿所述閥罩15軸向長(zhǎng)度的間距優(yōu)選地與在所述閥桿31上第二閥密封表面37以及第三閥密封表面39彼此最接近的邊緣的距離相等，以便在所述十字吹掃連接13c的第三孔13b和所迷第二孔9之間形成流體流動(dòng)通道40。其它的軸向間距也是可以預(yù)料的，只要其仍然容許所述閥在其閥表面以及閥密封表面的若干位置的功能，從而比所述第一距離更大的或更小的軸向間距是可以想象的，例如如圖3A所示的。該流體流動(dòng)通道40容許栽氣或推進(jìn)氣體從所迷第一閥7的第二孔5分別通過(guò)每個(gè)閥的第三孔13a和13b以及十字吹掃連接13c，來(lái)流過(guò)閥ll,從而在所述容器和閥-十字吹掃組件分離或調(diào)換之前促進(jìn)了對(duì)來(lái)自?xún)蓚€(gè)閥的高純度工藝化學(xué)制劑的沖洗，并且同樣促進(jìn)了在再連接和高純度工藝化學(xué)制劑分配開(kāi)始之后在高純度工藝化學(xué)制劑流之前除去環(huán)境大氣。優(yōu)選第二閥密封表面37的軸向尺寸使得當(dāng)?shù)谝婚y密封表面33接觸第一閥座35時(shí)，第二密封表面37容許開(kāi)口6與開(kāi)口14經(jīng)由流體流動(dòng)通道40具有流動(dòng)連通。可以想象第二閥密封表面37可以具有足夠完全清潔開(kāi)口6的軸向尺寸，或者任何更大的或更小的尺寸，其能夠容許開(kāi)口6和14當(dāng)在圖3A所述的位置時(shí)有足夠的流動(dòng)連通。對(duì)于給出的第二閥密封表面37相對(duì)于閥罩15尺寸的軸向長(zhǎng)度來(lái)說(shuō)，閥桿31的螺紋部分43的移動(dòng)優(yōu)選足夠容許第二閥密封表面37從圖3B顯示的位置軸向地移動(dòng)到圖3A顯示的位置。圖4是閥11的部件分解圖(閥7是閥11的鏡象)，其顯示了具有第一孔29、第二孔9和第三孔13b的閥罩15，所述第二孔9具有壓緊螺帽8以與用于流體流動(dòng)到反應(yīng)器的管道或者管路可密封地連接，且所述第三孔13b具有壓緊螺帽16以與十字吹掃連接13c可密封地連接，閥桿31具有螺紋段43,其與閥罩15的類(lèi)似的螺紋段相嚙合，以容許閥桿31相對(duì)于閥罩15的軸向運(yùn)動(dòng)，清楚地顯示了第一閥密封表面33、第二閥密封表面37的橫截面相對(duì)于所述主閥桿橫截面31有所放大，并且清楚地顯示了第三閥密封表面39的橫截面相對(duì)于所述主閥桿橫截面31有所放大。第二閥密封表面37和第三閥密封表面39—起限定了閥桿31的區(qū)域53，其與閥罩15共同形成了流體流動(dòng)通道40。區(qū)域53可以具有與閥桿31同樣或者類(lèi)似的橫截面尺寸，或者區(qū)域53可以具有比閥桿31更少地橫截面尺寸以產(chǎn)生更大的總流體流動(dòng)通道40?？梢灶A(yù)期區(qū)域53具有比閥桿31更大的橫截面尺寸，只要區(qū)域53的橫截面尺寸小于第二閥密封表面37和第三閥密封表面39，以形成具有能起到相關(guān)作用的足夠尺寸的流體流動(dòng)通道40。閥桿31通過(guò)開(kāi)縫墊圏49和壓緊螺帽47可密封地被置于于閥罩15的腔內(nèi)。閥桿31通過(guò)手柄45繞其軸旋轉(zhuǎn)，手柄45穿過(guò)閥桿31中的孔51并且在其內(nèi)居中，如圖5和6所示。閥7或者11的閥桿31可以裝配有破壞式密封穿刺錐41,當(dāng)所述閥桿起先向在其進(jìn)口和/或出口具有破壞式密封的容器10下降時(shí)，其將會(huì)沖破所述易碎的密封并暫時(shí)阻塞所述進(jìn)口和/或出口，從而存儲(chǔ)在所述容器中的高純度工藝化學(xué)制劑可以經(jīng)過(guò)閥7和11的結(jié)構(gòu)而被分配。破壞式密封典型地是工廠(chǎng)安裝的易碎玻璃或石英膜，其穿過(guò)所述被裝填的容器的進(jìn)口和/或出口，當(dāng)閥必須要周期性地在所述容器和閥-十字吹掃組件的分配、吹掃和關(guān)閉狀態(tài)間切換時(shí)向用戶(hù)提供額外的安全和純度措施在圖5中顯示了孔51，其說(shuō)明了所迷閥桿31的平面圖，單獨(dú)顯示了與閥罩15類(lèi)似部分嚙合的螺紋段43、區(qū)域53和密封表面33、37和39。圖6說(shuō)明了閥桿31的另一實(shí)施方案的平面圖，其單獨(dú)顯示了與閥革15中類(lèi)似部分嚙合的螺紋段43、區(qū)域53并且只具有密封表面37(對(duì)于該實(shí)施方案為下閥密封表面)和39(對(duì)于該實(shí)施方案為上閥密封表面)。該替代實(shí)施方案沒(méi)有使用密封表面33,并且所述容器的密封依賴(lài)密封表面37。如前面所述的，特別參照閥ll對(duì)所述閥-十字吹掃配件進(jìn)行描述，但很明顯閥7具有類(lèi)似的特征，其只不過(guò)是以閥ll的鏡象來(lái)布置，因此不必對(duì)其中起到類(lèi)似或同樣功能的特征進(jìn)行單獨(dú)描述。盡管已經(jīng)描述和說(shuō)明了該容器和閥十字吹掃組件是用于液體高純度工藝化學(xué)制劑的存儲(chǔ)和分配，其中閥7經(jīng)過(guò)汲取管23引入栽氣到容器10以鼓入所述液體高純度工藝化學(xué)制劑，并在所述氣體通過(guò)閥ll排出之前將化學(xué)制劑夾帶到所述氣體之中來(lái)用于蒸氣分配；還可預(yù)期到所述容器和閥-十字吹掃組件可以被操作以使用推進(jìn)氣體通過(guò)閥U引入到容器10在液體高純度工藝化學(xué)制劑上面的頂部空間中，來(lái)推動(dòng)液體化學(xué)制劑從汲取管23向上以從閥7外進(jìn)行液體分配。這可以?xún)H僅通過(guò)切換閥7和11的第二孔在彼此之間的的連接而實(shí)現(xiàn)。所述載體或推動(dòng)氣體典型地是惰性氣體例如氮?dú)?、氦氣、氬氣或其混合物，具有足夠的高壓以從容器移除所述高純度工藝化學(xué)制劑。反應(yīng)性的氣體也是可以預(yù)期的例如氬氣。在一個(gè)實(shí)施方案中，本發(fā)明由1.5L石英吹泡容器(bubblerconUiner)組成，在所述吹泡容器的進(jìn)口和出口管莖上設(shè)置有相同的三向閥(彼此為鏡象)。每個(gè)三向閥具有與相對(duì)的閥經(jīng)由十字吹掃連接器管道連接的十字吹掃孔。當(dāng)兩個(gè)閥都在其完全閉合的位置時(shí)，所述十字吹掃連接器與所述閥的第二孔相連通，其構(gòu)成了所述吹泡容器和閥-十字吹掃組件的進(jìn)口和出口。這構(gòu)成了用于惰性氣體流動(dòng)的路徑，所述流動(dòng)是從所述組件的進(jìn)口或附著于所述吹泡容器進(jìn)口的閥的第二孔開(kāi)始，穿過(guò)所述十字吹掃連接器，并排出到所述組件的出口或附著于所述吹泡容器出口的閥的第二孔的外面。當(dāng)所述進(jìn)口閥手柄向打開(kāi)位置(反時(shí)針)旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述閥桿的移動(dòng)將首先充分地阻塞與所述十字吹掃連接相連的第三孔，并且其進(jìn)一步移動(dòng)到所述打開(kāi)位置，然后充分地打開(kāi)穿過(guò)閥從所述吹泡容器進(jìn)口到所迷汲取管的路徑。當(dāng)所述連接到所述吹泡容器出口的閥手柄向打開(kāi)位置(反時(shí)針)旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述閥桿的移動(dòng)將首先充分地阻塞與所述十字吹掃連接相連的第三孔，然后其進(jìn)一步移動(dòng)到完全打開(kāi)的位置，然后從所述吹泡容器出口的通道，從而提供所述吹泡容器的頂部空間(蒸氣空間)出口的完全流通。在所述閥桿從完全閉合到完全打開(kāi)的位置的過(guò)程中，不存在所有的三個(gè)閥孔同時(shí)流體流動(dòng)連通的情況。這種不希望的所有三個(gè)孔同時(shí)流體流動(dòng)連通的情況將會(huì)容許一個(gè)以上的穿過(guò)所迷閥的路徑，其可以容許液體化學(xué)制劑從所述汲取管被推動(dòng)到所述進(jìn)口或十字吹掃連接。在所述閥桿或十字吹掃連接中的液體將難以移除，并且可以在吹泡容器分離時(shí)產(chǎn)生化學(xué)制劑的危險(xiǎn)的釋放。這個(gè)問(wèn)題為現(xiàn)有技術(shù)容器和閥組件所固有，如上所述，已經(jīng)被本發(fā)明克服。本發(fā)明組件的部件可以可替換地用MoneT"1、Incoloy"、Hastelloy'"金屬合金來(lái)制造，如下面表l所示。表l城歸<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>HasteUoyX0.10:1,5022.09.0rest/bal-0.60—一18.5-Mn0.6;Si0*60Incoloy800'0'04—21.0一32,0一—0,3—-0.445.0一Incoloy800H0.08—21.0—32.0—-0.445.0■Incoloy則0,05—20.5-32.0--—-—1.145.0—Incoloy8020,35.-21.0—32.0-—0.6-一0.745.0-Incoloy8040.05—29.5-41,0一—0,3-—0.625.4一Incoloy8050.12-7,50.5036.0——-0.10--rest/balMn0,60;Si0.50:Incoloy8100.25-21.0-32.0一—一0.50一-rest/balMn0.90;Si0,80Incoloy8250.(H一21.03.042.0一--2.0-1.030.0Incoloy825Cp0.04一21,53.042,0———2.2NbO.9;-30.0Incoloy8400.08-20.0—20,0—-一一--rest/balMn1,0;SI1.0i1Incoloy9010,05-12.56.0rest/bal一一0.1—一，2.7034.0Mn0.24;Si0.12;B0.015:Incoloy901Mod0.05-12.55.80rest/bal2.934.0MnO.映Si0.08;BO.015:Incoloy9030.0215.0--38,0一-0.7—m>3.01.441.0-Incoloy9040.02R0--33.01.750.0-IncoloyDS0.06-18.0一37.0一一—--'-42.0.Mn1.0;Si2.3IncoloyMa956一'一20.0-一--4.5—10,574.4Y2.030.5Incoloy6000.05—15.5一75.0-一—--;一8.0—;Incoloy6010.05-23,0—60,0一一一，-14.0—Incoloy6(H0.(M—15.8—rest/bal一——0.10Nb2.0:-7.20Mn0.20;Si0.20Incoloy6100.20-15,S—rest/bal-一—0.50Nb1.0'-9.0MnO.卯;Si2.0;ncoloy6170.0712，22.59.0HO—-1,0一--一-lneoloy625incoloy6710,050.05一21.59,061.0—-0.40一Nb3.650.402.5Mn0.50;Si0.50—48.051,0一一一一—0.35—-15<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>此外，在表l中沒(méi)有列出的一種Hastelloy合金是HastelloyB3，其組成為Ni—65%;Mo-28.5%;Cr-1.5%;Fe-1.5%;Co-3%;W-3%;Mn-3%;Al-0.5%;Ti-0.2%;Si-0.1%以及C-0.01%(wt%)本發(fā)明所述的組件還可以被完全地制造或?yàn)槎喾N組分，例如密封表面，其可以為包含聚偏二氟乙烯、聚氯三氟乙烯、聚醚-醚酮、聚酰亞胺、聚四氟乙烯、四氟乙烯和全氟烷氧基樹(shù)脂的共聚物的聚合物/塑料。其它的可能的結(jié)構(gòu)材料包括不銹鋼、黃銅、鎳、銅、玻璃、石英和其組合。權(quán)利要求1.一種用于存儲(chǔ)和分配高純度工藝化學(xué)制劑的容器和閥-十字吹掃組件，包含；(A)用于容納所述高純度工藝化學(xué)制劑的容器，其具有用于分配所述高純度工藝化學(xué)制劑以及引入載氣以輔助分配所述高純度工藝化學(xué)制劑的進(jìn)口和出口；(B)閥-十字吹掃配件，其包含；(i)第一閥；和(ii)第二閥，上述閥中的一個(gè)連接到所述容器的進(jìn)口，并且上述閥的另一個(gè)連接到上述容器的出口；以及，(iii)在所述第一和第二閥之間的十字吹掃連接，其在所述兩閥之間提供了與所述容器獨(dú)立的流體流動(dòng)連接；其中，每個(gè)閥具有；(a)到所述容器的第一孔；(b)到用于所述組件外部的流體流動(dòng)連接的導(dǎo)管的第二孔；和，(c)到所述十字吹掃連接的第三孔，其在所述閥中與所述第二孔在軸向間隔第一距離；(d)閥罩；和(e)閥桿，其能夠在所述閥罩中向如下兩個(gè)位置之一移動(dòng)(1)容器打開(kāi)和(2)十字吹掃打開(kāi)-容器關(guān)閉；其中，所述閥桿具有三個(gè)閥密封表面(I)第一閥密封表面，其被配置來(lái)相對(duì)第一閥座密封以關(guān)閉到所述容器的第一孔；(II)其橫截面相對(duì)于所述主閥桿橫截面有所放大的第二閥密封表面，其被配置以相對(duì)閥罩的內(nèi)壁密封，而使所述第二孔對(duì)第一孔關(guān)閉；和，(III)其橫截面相對(duì)于所述主閥桿橫截面有所放大的第三閥密封表面，其被配置以相對(duì)所述閥罩的內(nèi)壁密封，從而與所述第二閥密封表面在所述十字吹掃連接的第三孔和所述第二孔之間形成流道，其中所述第二閥密封表面在所述閥桿上與所述第三閥密封表面的軸向距離至少與在(c)中所述的第一距離一樣大，形成(III)中所述的流道。2.權(quán)利要求1所述的組件，其中所述閥桿在所述閥桿鄰近所述第一孔的端部上具有破壞式密封活塞。3.權(quán)利要求1所迷的組件，其中所述閥桿螺紋嚙合到所述閥罩，以通過(guò)所迷閥桿在所迷閥罩中的旋轉(zhuǎn)而在所述閥革內(nèi)軸向地移動(dòng)到(1)容器打開(kāi)和(2)十字吹掃打開(kāi)-容器關(guān)閉的位置。4.權(quán)利要求l所述的組件，其中所述閥罩結(jié)構(gòu)材料選自不銹鋼、塑料、聚四氟乙烯、四氟乙烯和全氟烷氧基樹(shù)脂的共聚物、聚偏二氟乙烯、聚氯三氟乙烯、聚醚-醚酮或者聚酰亞胺、Mone廣金屬合金、Hastelloy^金屬合金、Incoloy11"金屬合金；黃銅、鎳、銅、玻璃、石英及其組合。5.權(quán)利要求l所述的組件，其中所述閥桿結(jié)構(gòu)材料選自不銹鋼、塑料、聚四氟乙烯、四氟乙烯和全氟烷氧基樹(shù)脂的共聚物、聚偏二氟乙烯、聚氯三氟乙烯、聚醚-醚酮或者聚酰亞胺、Mone廣金屬合金、Hastelloylm金屬合金、Incoloylm金屬合金；黃銅、鎳、銅、玻璃、石英及其組合。6.權(quán)利要求1所述的組件，其中所述容器結(jié)構(gòu)材料選自不銹鋼、塑料、聚四氟乙烯、Moner金屬合金、Hastelloyt"金屬合金、Incoloy1"1金屬合金；黃銅、鎳、銅、玻璃、石英和其組合。7.權(quán)利要求1所述的組件，其中所迷容器進(jìn)口具有汲取管，其伸入到所述容器之中并且其末端接近所迷容器的底部。8.權(quán)利要求l所述的組件，其具有水平傳感機(jī)構(gòu)，所述機(jī)構(gòu)能夠指示在所述容器中高純度工藝化學(xué)制劑的水平。9.權(quán)利要求1所迷的組件，其中所述第二孔9的開(kāi)口和第三孔的開(kāi)口的軸向中心沿所述閥軍的軸向長(zhǎng)度的間距與所述第二閥密封表面與第三閥密封表面在所述閥桿上彼此最接近的邊緣的距離相等。10.權(quán)利要求7所迷的組件，其中所迷第一閥在所迷第一閥的第一孔處與所述容器進(jìn)口相連，并且所述第一閥的第二孔與栽氣源相連。11.權(quán)利要求10所述的組件，其中所述第二閥在所述第二閥的第一孔處與所述容器的出口相連，并且所述第二閥的第二孔與能夠消耗所述高純度化學(xué)制劑的反應(yīng)器相連。12.—種用于存儲(chǔ)和分配高純度工藝化學(xué)制劑的容器和閥-十字吹掃組件，包舍；(A)用于容納高純度工藝化學(xué)制劑的容器，其具有用于分配高純度工藝化學(xué)制劑以及引入栽氣以輔助分配所述高純度工藝化學(xué)制劑的進(jìn)口和出口；(B)閥-十字吹掃配件，其包含；(i)第一閥；和(ii)第二閥，上述閥中的一個(gè)連接到所述容器的進(jìn)口，并且上迷閥的另一個(gè)連接到上迷容器的出口；以及，(iii)在所述第一和第二閥之間的十字吹掃連接，其在所述兩閥之間提供了與所述容器獨(dú)立的流體流動(dòng)連接；其中，每個(gè)閥具有；(a)到所述容器的第一孔；(b)到用于所述組件外部的流體流動(dòng)連接的導(dǎo)管的第二孔；和，(c)到所述十字吹掃連接的第三孔，其在所述閥中與所述第二孔在軸向間隔第一距離；(d)閥罩;和(e)閥桿，其能夠在所述閥罩中向如下兩個(gè)位置之一移動(dòng)(1)容器打開(kāi)和(2)十字吹掃打開(kāi)-容器關(guān)閉；其中，所述閥桿具有兩個(gè)閥密封表面(I)其橫截面相對(duì)于所述主閥桿橫截面有所放大的下閥密封表面，其被配置以相對(duì)閥革的內(nèi)壁密封，來(lái)使所述第二孔對(duì)第一孔關(guān)閉；和，(II)其橫截面相對(duì)于所述主閥桿橫截面有所放大的上閥密封表面，其被配置以相對(duì)所述閥罩的內(nèi)壁密封，從而與所述下閥密封表面在所述十字吹掃連接的第三孔和所述第二孔之間形成流道，其中所述下閥密封表面在所述閥桿上與所述上閥密封表面的軸向距離至少與在(c)中所述的第一距離一樣大，形成(III)中所述的流道。全文摘要本發(fā)明涉及一種十字吹掃閥和容器組件，更具體地為一種具有十字吹掃能力的石英吹泡容器。所述十字吹掃允許用戶(hù)容易地從所述閥進(jìn)口和出口通過(guò)簡(jiǎn)單的惰性氣體流動(dòng)來(lái)吹掃空氣和化學(xué)制劑，并且避免了對(duì)于更復(fù)雜的真空吹掃裝置的需求。所述設(shè)計(jì)結(jié)合了兩個(gè)設(shè)置在所述吹泡容器進(jìn)口和出口連接器上的小印跡三路閥。每個(gè)閥的第三閥口在所述閥之間以管道連接到一起從而具有十字吹掃線(xiàn)路。所述閥耐腐蝕、防漏、免維修、無(wú)雜質(zhì)侵入，并且可以容納任選的破壞式密封破碎器，其將會(huì)貫穿(在所述安瓿的進(jìn)口和出口上的)石英破壞式密封。本發(fā)明也預(yù)期了不同的結(jié)構(gòu)材料的液體用容器。文檔編號(hào)B65D83/00GK101654171SQ20091016664公開(kāi)日2010年2月24日申請(qǐng)日期2009年8月24日優(yōu)先權(quán)日2008年8月22日發(fā)明者C·M·伯特徹,J·E·巴克,T·A·斯泰德?tīng)柹暾?qǐng)人:氣體產(chǎn)品與化學(xué)公司