專利名稱：氣態(tài)往復(fù)式封存裝置及封存方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種封存裝置，特別是一種氣態(tài)往復(fù)式封存 裝置及封存方法。
背景技術(shù)：
惰性氣體封存裝置應(yīng)用在對(duì)環(huán)境敏感度極高的純水保 存，即周而復(fù)始地循環(huán)動(dòng)作進(jìn)行純水的封存，因此，在每一 次取用純水時(shí)，便必須由裝置外部補(bǔ)充某一特定體積的惰性 氣體來封存，而在補(bǔ)充純水時(shí)，又必須排除某一特定體積的 惰性氣體至封存裝置外部，甚至在最后微調(diào)整封存裝置內(nèi)部 壓力時(shí)，仍需再次補(bǔ)充或是排除部分惰性氣體，以達(dá)到最終 的內(nèi)壓設(shè)定值。而在純水使用率相當(dāng)頻繁的產(chǎn)業(yè)中，如半導(dǎo) 體產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)制程中，為了保持產(chǎn)品的物理、化學(xué)、電性等性 質(zhì)，將純水應(yīng)用在清潔晶圓或是其它組件的情況可說是用量 頗大且操作頻繁，因而，純水每次從純水封存裝置進(jìn)出時(shí)， 必將造成極大量的惰性氣體的浪費(fèi)，不但是耗費(fèi)了資源，更 無謂地增加了生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述缺陷，本發(fā)明提供一種氣態(tài)往復(fù)式封存裝
置及封存方法，該氣態(tài)往復(fù)式封存裝置及封存方法能通過往 復(fù)式的操作以重復(fù)利用封存用氣體，使封存用氣體的用量得 以大幅降低，以達(dá)到節(jié)省生產(chǎn)成本。
本發(fā)明為了解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是至少 一儲(chǔ)存容器，其由第一上容置空間與第一下容置空間構(gòu)成， 第一上容置空間和第一下容置空間相連通；至少一液位感應(yīng) 裝置，液位感應(yīng)裝置與儲(chǔ)存容器的內(nèi)部空間連通；至少一緩 沖容器，其由第二上容置空間與第二下容置空間構(gòu)成，第二
上容置空間與第二下容置空間相連通，第二上容置空間與第 一上容置空間相通；至少一液體控制裝置，液體控制裝置與 緩沖容器相連通。
本發(fā)明所述的液體控制裝置主要由液體儲(chǔ)存容器、輸出 泵及輸入泵組成；輸出泵吸液口與液體儲(chǔ)存容器相通，輸出 泵出液口與緩沖容器相通，輸入泵吸液口與第二下容置空間 相連通，輸入泵出液口與液體儲(chǔ)存容器相通；輸出泵出液口 最好與緩沖容器的第二上容置空間相通，輸入泵出液口最好 與液體儲(chǔ)存容器上部相通；所述的第二上容置空間與第一上 容置空間通過管道相通。
所述的儲(chǔ)存容器上有一低液位控制點(diǎn)和一高液位控制 點(diǎn)，儲(chǔ)存容器的第一下容置空間上設(shè)置液體輸入、輸出裝置。
本發(fā)明還可以在輸出泵與緩沖容器之間設(shè)置一殺菌裝 置，最好為紫外線殺菌裝置；另外，本發(fā)明還可以在儲(chǔ)存容 器的第一上容置空間或緩沖容器的第二上容置空間上設(shè)置一 氣體壓力感應(yīng)裝置、氣體補(bǔ)充裝置及氣體排放裝置。 另外，本發(fā)明還可以增加一液封容器，其通過管體與緩 沖容器的第二上容置空間相通，管體開口置于液封容器的液 面下。
氣態(tài)往復(fù)式封存裝置的封存方法，包括下列步驟當(dāng) 第一下容置空間中的液體存量變化時(shí)，液位感應(yīng)裝置感應(yīng)液位 變化并產(chǎn)生液壓訊號(hào)，并傳遞至液體控制裝置；液體控制裝置 根據(jù)液壓訊號(hào)控制液體在液體控制裝置與第二下容置空間之 間傳輸，從而使氣體在第一上容置空間與第二上容置空間之間 流動(dòng)，從而封存第一下容置空間中的液體。
本發(fā)明的有益效果是，利用本發(fā)明可提供惰性氣體與壓 控液體在不同液體液壓之變化狀態(tài)下，透過可流動(dòng)于緩沖空 間的方式，以達(dá)成調(diào)整裝置內(nèi)部壓力至一恒定設(shè)定值，不但 達(dá)到了對(duì)液體進(jìn)行封存的目的，同時(shí)使封存用氣體得以重復(fù) 利用，大大降低封存用氣體的用量，從而大大降低了生產(chǎn)成 本。


本發(fā)明將依照附圖來說明
圖1是本發(fā)明氣態(tài)往復(fù)式封存裝置的示意圖； 1.儲(chǔ)存容器 2.第一上容置空間
3.第一下容置空間 4.液位感應(yīng)裝置
5.緩沖容器 6.第二上容置空間
7.第二下容置空間 8.液壓控制裝置
9.液體儲(chǔ)存容器 10.輸出泵
11.輸入泵
13.輸入管體 15.低液位控制點(diǎn) 17.液體輸出裝置 19.氣體壓力感應(yīng)裝置
12.輸出管體 14.殺菌裝置
16.高液位控制點(diǎn) 18.液體輸入裝置 20.氣體補(bǔ)充裝置
21.氣體排放裝置 22.液封容器 23.管體。
具體實(shí)施例方式
實(shí)施例 一種氣態(tài)往復(fù)式封存裝置，至少一儲(chǔ)存容 器l，其由第一上容置空間2與第一下容置空間3構(gòu)成，
第一上容置空間2和第一下容置空間3相連通；至少
一液位感應(yīng)裝置4，液位感應(yīng)裝置4與儲(chǔ)存容器1的第
一下容置空間3連通；至少一緩沖容器5，其由第二上
容置空間6與第二下容置空間7構(gòu)成，第二上容置空 間6與第二下容置空間7相連通，第二上容置空間6 與第一上容置空間2相通；至少一液體控制裝置8，液 體控制裝置8與緩沖容器5相連通。
液體控制裝置8主要由液體儲(chǔ)存容器9、輸出泵 10及輸入泵11組成；輸出泵10吸液口與液體儲(chǔ)存容 器9相通(使用時(shí)，輸出泵10吸液口處于液體儲(chǔ)存容 器9中的液面下)，輸出泵10出液口與緩沖容器5相 通，輸入泵11吸液口與第二下容置空間7相連通，輸 入泵11出液口與液體儲(chǔ)存容器9相通。 輸出泵10出液口最好與緩沖容器5的第二上容置 空間6相通，輸入泵11出液口最好與液體儲(chǔ)存容器9 上部相通。
第二上容置空間6與第一上容置空間2通過管道 相通。
設(shè)置一紫外線殺菌裝置14，其設(shè)置于輸出泵10 與緩沖容器5之間。
儲(chǔ)存容器1上有一低液位控制點(diǎn)15和一高液位控 制點(diǎn)16。
儲(chǔ)存容器1的第一下容置空間3上設(shè)置液體輸入、 輸出裝置。
一氣體壓力感應(yīng)裝置設(shè)置在儲(chǔ)存容器1的第一上 容置空間2或緩沖容器5的第二上容置空間6上(因 第一、二上容置空間是相通的)。
氣體補(bǔ)充、排放裝置設(shè)置在儲(chǔ)存容器1的第一上 容置空間2或緩沖容器5的第二上容置空間6上(因 第一、二上容置空間是相通的)。
一液封容器通過管體23與緩沖容器5的第二上容
置空間6相通，所述管體23開口置于液封容器的液面
下。(防止產(chǎn)生負(fù)壓而損壞緩沖容器5)
氣態(tài)往復(fù)式封存裝置的封存方法，包括下列步驟當(dāng) 第一下容置空間中的液體存量變化時(shí)，液位感應(yīng)裝置感應(yīng)液位
變化并產(chǎn)生液壓訊號(hào)，并傳遞至液體控制裝置；液體控制裝置 根據(jù)液壓訊號(hào)控制液體在液體控制裝置與第二下容置空間之間傳輸，從而使氣體在第一上容置空間與第二上容置空間之間 流動(dòng)，從而封存第一下容置空間中的液體。 本發(fā)明的動(dòng)作原理是-
第一上容置空間2和第二上容置空間6中的氣體為氮?dú)猓?第一下容置空間3中的液體為純水，第二下容置空間7和液 體儲(chǔ)存容器9的液體為逆滲透水。在圖1中，當(dāng)?shù)谝幌氯葜?空間3的純水自液體輸出裝置17取出，氮?dú)庾跃彌_容器5的 第二上容置空間6流動(dòng)至儲(chǔ)存容器1的第一上容置空間2;隨 著氮?dú)獾牧鲃?dòng)達(dá)到一定程度，液位感應(yīng)裝置4產(chǎn)生液壓訊號(hào) 傳送至輸出泵10并激活輸出泵10，將壓控液體儲(chǔ)存容器9內(nèi) 之逆滲透水通過輸出管體12輸出至緩沖容器5的第二下容置 空間7，隨著逆滲透水流入緩沖容器5的第二下容置空間7， 儲(chǔ)存容器1與緩沖容器5內(nèi)部的壓力逐漸回復(fù)至氣體壓力感 應(yīng)裝置19原始之設(shè)定值；當(dāng)內(nèi)部壓力已達(dá)到設(shè)定值時(shí)，液位 感應(yīng)裝置4不再送出液壓訊號(hào)，輸出泵即停止動(dòng)作而不再輸 送逆滲透水至緩沖容器5的第二下容置空間7中。當(dāng)液位感 應(yīng)裝置4偵測(cè)到純水之液位低于設(shè)定之低液位控制點(diǎn)15時(shí)， 純水經(jīng)由液體輸入裝置18自動(dòng)輸入至儲(chǔ)存容器1，氮?dú)馐艿?擠壓而由儲(chǔ)存容器1的第一上容置空間2流動(dòng)至緩沖容器5 的第二上容置空間6;液位感應(yīng)裝置4將液壓訊號(hào)傳送至輸入 泵11以開啟輸入泵11，以進(jìn)行抽取緩沖容器5內(nèi)的逆滲透水， 通過輸入管體13回傳至液體儲(chǔ)存容器9，以維持緩沖容器5 與儲(chǔ)存容器1內(nèi)部之壓力，當(dāng)純水回復(fù)至設(shè)定之高液位控制 點(diǎn)16時(shí)，液體輸入裝置18將停止注入純水于儲(chǔ)存容器1中， 并且液位感應(yīng)裝置4不再送出液壓訊號(hào)，輸入泵11亦停止抽 取緩沖容器5中之逆滲透水。通過以上所述的往復(fù)式操作， 以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的。
權(quán)利要求
1.一種氣態(tài)往復(fù)式封存裝置，其特征是至少一儲(chǔ)存容器(1)，其由第一上容置空間(2)與第一下容置空間(3)構(gòu)成，第一上容置空間(2)和第一下容置空間(3)相連通；至少一液位感應(yīng)裝置(4)，液位感應(yīng)裝置(4)與儲(chǔ)存容器(1)的內(nèi)部空間連通；至少一緩沖容器(5)，其由第二上容置空間(6)與第二下容置空間(7)構(gòu)成，第二上容置空間(6)與第二下容置空間(7)相連通，第二上容置空間(6)與第一上容置空間(2)相通；至少一液體控制裝置(8)，液體控制裝置(8)與緩沖容器(5)相連通。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣態(tài)往復(fù)式封存裝置， 其特征是液體控制裝置(8)主要由液體儲(chǔ)存容器(9)、 輸出泵(10)及輸入泵(11)組成；輸出泵(10)吸 液口與液體儲(chǔ)存容器(9)相通，輸出泵(10)出液口 與緩沖容器(5)相通，輸入泵(11)吸液口與第二下容置空間(7)相連通，輸入泵(11)出液口與液體儲(chǔ) 存容器(9)相通。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣態(tài)往復(fù)式封存裝置， 其特征是輸出泵(10)出液口與緩沖容器(5)的第 二上容置空間(6)相通，輸入泵(11)出液口與液體 儲(chǔ)存容器(9)上部相通。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣態(tài)往復(fù)式封存裝置， 其特征是第二上容置空間(6)與第一上容置空間(2) 通過管道相通。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣態(tài)往復(fù)式封存裝置，其特征是設(shè)置一紫外線殺菌裝置(14)，其設(shè)置于輸出泵(10)與緩沖容器(5)之間。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的氣態(tài)往復(fù)式封存裝置， 其特征是儲(chǔ)存容器(1)上有一低液位控制點(diǎn)(15) 和一高液位控制點(diǎn)(16)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的氣態(tài)往復(fù)式封存裝置，其特征是儲(chǔ)存容器(1)的第一下容置空間(3)上設(shè)置液體輸入、輸出裝置。
8. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的氣態(tài)往復(fù)式封存裝置，其特征是 一氣體壓力感應(yīng)裝置設(shè)置在儲(chǔ)存容器(1)的第一上容置空間(2)或緩沖容器(5)的第二上容 置空間(6)上。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣態(tài)往復(fù)式封存裝置， 其特征是氣體補(bǔ)充、排放裝置設(shè)置在儲(chǔ)存容器(1) 的第一上容置空間(2)或緩沖容器(5)的第二上容 置空間(6)上。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣態(tài)往復(fù)式封存裝置， 其特征是 一液封容器通過管體(23)與緩沖容器(5) 的第二上容置空間(6)相通，所述管體(23)開口置于 液封容器的液面下。
11. 一種權(quán)利要求1所述的氣態(tài)往復(fù)式封存裝置的封存方法，其特征是包括下列步驟當(dāng)?shù)谝幌氯葜每臻g(3) 中的液體存量變化時(shí)，液位感應(yīng)裝置(4)感應(yīng)液位變化并產(chǎn) 生液壓訊號(hào)，并傳遞至液體控制裝置(8);液體控制裝置(8) 根據(jù)液壓訊號(hào)控制液體在液體控制裝置與第二下容置空間(7 ) 之間傳輸，從而使氣體在第一上容置空間(2)與第二上容置空間(6)之間流動(dòng)，從而封存第一下容置空間(3)中的液體。全文摘要
本發(fā)明公開了一種氣態(tài)往復(fù)式封存裝置及封存方法，它至少一儲(chǔ)存容器，其由第一上容置空間與第一下容置空間構(gòu)成，第一上容置空間和第一下容置空間相連通；至少一液位感應(yīng)裝置，液位感應(yīng)裝置與儲(chǔ)存容器的內(nèi)部空間連通；至少一緩沖容器，其由第二上容置空間與第二下容置空間構(gòu)成，第二上容置空間與第二下容置空間相連通，第二上容置空間與第一上容置空間相通；至少一液體控制裝置，液體控制裝置與緩沖容器相連通。它主要用在環(huán)境敏感度極高的液體保存領(lǐng)域。本例通過往復(fù)式的操作以重復(fù)利用封存用氣體，降低封存用氣體的用量，從而降低生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)B65D81/20GK101164836SQ20061009695
公開日2008年4月23日 申請(qǐng)日期2006年10月18日 優(yōu)先權(quán)日2006年10月18日
發(fā)明者飛 鄒, 鄭宗杰 申請(qǐng)人:昆山中辰矽晶有限公司