半導(dǎo)體設(shè)備零件承載臺車的制作方法
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備零件承載臺車，特別是涉及一種涉及可用于承載半導(dǎo)體制程設(shè)備的零件的承載臺車。
【【背景技術(shù)】】
[0002]在半導(dǎo)體制程中，必須定期或不定期地對半導(dǎo)體制程設(shè)備的零件進(jìn)行清洗及再生，以維持半導(dǎo)體制程設(shè)備的效能，并可延長設(shè)備的使用壽命。
[0003]以物理氣相沉積制程為例，物理氣相沉積制程主要是在一基板上沉積一薄膜。首先利用一直流電源分別電性耦接至一背板及一遮覆板，通過該背板及該遮覆板于該反應(yīng)室腔體內(nèi)形成電場將離子槍束擊向金屬靶材。在離子槍束撞擊靶材后，會將該靶材上的金屬濺射在該基板上而形成該薄膜。
[0004]通常，物理氣相沉積之反應(yīng)室腔體在使用一段時(shí)間后，會在反應(yīng)室腔體中該遮覆板及母材的表面形成金屬鍍膜，因此必須對反應(yīng)室腔體進(jìn)行洗凈與再生，防止金屬鍍膜破裂或剝落所產(chǎn)生之微塵粒子散布至該基板而影響良率。所謂洗凈系指針對反應(yīng)室腔體中該遮覆板及該母材之金屬鍍膜的材質(zhì)選用適當(dāng)之方法與材料予以去除，例如以酸性或堿性之化學(xué)溶液浸泡反應(yīng)室腔體，將形成于遮覆板及母材表面之金屬鍍膜溶解分離。所謂再生是指洗凈后再以噴砂及整形等方式恢復(fù)該遮覆板及母材原有外形與表面特性。然而上述洗凈及再生皆會侵蝕與損耗反應(yīng)室腔體中遮覆板及母材的本體厚度，造成使用壽命減短。
[0005]此外，對于反應(yīng)室腔中的螺絲孔，例如鎖固于該母材之間之螺絲孔，上述以化學(xué)溶液浸泡反應(yīng)室腔體、對該遮覆板及該母材噴砂及整形等步驟會使螺絲孔產(chǎn)生擴(kuò)孔現(xiàn)象，因此在多次進(jìn)行洗凈及再生后，會造成螺絲孔尺寸與原先尺寸有所差異，導(dǎo)致螺絲孔與螺絲在組合時(shí)誤差過大而使得鎖固功能不佳甚至無法繼續(xù)使用。
[0006]并且，由于在前述洗凈等過程中，必須使用大量的酸性或堿性之化學(xué)溶液，浸泡遮覆板及母材，以溶解金屬鍍膜，使其與遮覆板及母材分離。由于不可避免地必須使用大量的酸性或堿性之化學(xué)溶液，因而在洗凈的過程中，必須使用大量的清水來沖洗半導(dǎo)體制程的零件。
[0007]再者，在清洗的過程之中，半導(dǎo)體零組件需不斷移動至各清洗步驟之間。因此，適合移動搬運(yùn)以及可承放各種零組件的承載臺車，在半導(dǎo)體零組件的清洗過程中相當(dāng)重要。
【【實(shí)用新型內(nèi)容】】
[0008]本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種半導(dǎo)體設(shè)備零件承載臺車，以承載半導(dǎo)體設(shè)備的零件，所述半導(dǎo)體設(shè)備零件承載臺車包括:
[0009]臺車主體，是以多個(gè)框架所組成，其中所述臺車主體具有多個(gè)框架層，每一所述多個(gè)框架層具有多個(gè)方格，每一所述方格的尺寸是大于所述半導(dǎo)體設(shè)備的所述零件的尺寸，以容納所述零件；
[0010]多個(gè)透明隔板，設(shè)置于所述多個(gè)框架層的周圍；以及
[0011]多個(gè)車輪，設(shè)置于所述臺車主體的下方。
[0012]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述半導(dǎo)體設(shè)備零件承載臺車還包括多個(gè)凸?fàn)顧M架，設(shè)置于所述臺車主體的上方，其中每一所述橫凸?fàn)罴芫哂卸鄠€(gè)凸?fàn)罱Y(jié)構(gòu)。
[0013]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述多個(gè)凸?fàn)罱Y(jié)構(gòu)為多個(gè)連續(xù)的山形凸?fàn)罱Y(jié)構(gòu)。
[0014]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述多個(gè)凸?fàn)罱Y(jié)構(gòu)為多個(gè)不連續(xù)的山形凸?fàn)罱Y(jié)構(gòu)。
[0015]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述多個(gè)方格的尺寸不相同。
[0016]相較于現(xiàn)有的半導(dǎo)體設(shè)備零件承載臺車的問題，在本實(shí)用新型的半導(dǎo)體設(shè)備零件承載臺車中，承載臺車可用于承載半導(dǎo)體設(shè)備的零件，而可方便應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備零件的清洗或再生過程中，以搬運(yùn)及放置半導(dǎo)體設(shè)備的零件。此承載臺車可設(shè)有多個(gè)凸?fàn)顧M架，每一凸?fàn)顧M架可具有多個(gè)凸?fàn)罱Y(jié)構(gòu)，以方便放置棍狀或長形的零件，避免棍狀或長形的零組件在搬運(yùn)過程中晃動，而傷及零組件。再者，依據(jù)多個(gè)不同大小的半導(dǎo)體設(shè)備零件，承載臺車可對應(yīng)地具有多個(gè)不同或相同尺寸的方格，以方便收納多個(gè)零件。
[0017]為讓本實(shí)用新型的上述內(nèi)容能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實(shí)施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說明如下:
【【附圖說明】】
[0018]圖1至圖5為本實(shí)用新型的半導(dǎo)體設(shè)備零件承載臺車的一實(shí)施例的示意圖。
【【具體實(shí)施方式】】
[0019]以下各實(shí)施例的說明是參考附加的圖式，用以例示本實(shí)用新型可用以實(shí)施的特定實(shí)施例。本實(shí)用新型所提到的方向用語，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「內(nèi)」、「夕卜」、「側(cè)面」等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本實(shí)用新型，而非用以限制本實(shí)用新型。
[0020]附圖和說明被認(rèn)為在本質(zhì)上是示出性的，而不是限制性的。在圖中，結(jié)構(gòu)相似的單元是以相同標(biāo)號表示。另外，為了理解和便于描述，附圖中示出的每個(gè)組件的尺寸和厚度是任意示出的，但是本實(shí)用新型不限于此。
[0021]在附圖中，為了清晰起見，夸大了層、膜、面板、區(qū)域等的厚度。在附圖中，為了理解和便于描述，夸大了一些層和區(qū)域的厚度。將理解的是，當(dāng)例如層、膜、區(qū)域或基底的組件被稱作“在”另一組件“上”時(shí)，所述組件可以直接在所述另一組件上，或者也可以存在中間組件。
[0022]另外，在說明書中，除非明確地描述為相反的，否則詞語“包括”將被理解為意指包括所述組件，但是不排除任何其它組件。此外，在說明書中，“在......上”意指位于目標(biāo)組件上方或者下方，而不意指必須位于基于重力方向的頂部上。
[0023]請參照圖1，圖1至圖4為本實(shí)用新型的半導(dǎo)體設(shè)備零件承載臺車的一實(shí)施例的示意圖。本實(shí)施例的承載臺車可用于承載半導(dǎo)體設(shè)備的零件，例如可方便應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備零件的清洗或再生過程中，以搬運(yùn)及放置半導(dǎo)體設(shè)備的零件。此承載臺車101可包括臺車主體102、多個(gè)車輪103、及多個(gè)凸?fàn)顧M架104。臺車主體102是以多個(gè)框架105(例如金屬框架或塑料框架)所組成，多個(gè)車輪可設(shè)置于臺車主體102的下方，以方便承載臺車101進(jìn)行移動。凸?fàn)顧M架104是設(shè)置于臺車主體102的上方，其中每一凸?fàn)顧M架104可具有多個(gè)凸?fàn)罱Y(jié)構(gòu)106，以方便放置棍狀或長形的零件，避免棍狀或長形的零組件在搬運(yùn)過程中晃動，而傷及零組件。其中，凸?fàn)顧M架104的多個(gè)凸?fàn)罱Y(jié)構(gòu)106可例如為連續(xù)或不連續(xù)的山形凸?fàn)罱Y(jié)構(gòu)。
[0024]請參照圖4，在一實(shí)施例中，臺車主體102可具有上、下位置的第一框架層107及第二框架層108，第一框架層107及第二框架層108可具有多個(gè)大小不同或相同的方格109，每一方格的尺寸是至少大于半導(dǎo)