背景技術(shù)：

1、本發(fā)明大體上涉及形成基于氧化錳的涂層或?qū)拥姆椒?。具體地，本發(fā)明涉及化學(xué)氣相沉積（cvd）工藝，用于在玻璃基材上方形成基于氧化錳的涂層。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、以下描述用于形成氧化錳涂層的化學(xué)氣相沉積工藝的實(shí)施方案。在一實(shí)施方案中，用于形成氧化錳涂層的化學(xué)氣相沉積工藝包括提供移動(dòng)的玻璃基材。氣態(tài)混合物包含含錳化合物和含有氧的分子。一種或多種含錳化合物選自以下：雙(環(huán)戊二烯基)錳(ii)，雙(乙基環(huán)戊二烯基)錳(ii)，(甲基環(huán)戊二烯基)三羰基錳(i)，及其衍生物，而一種或多種含氧前體選自以下：有機(jī)含氧化合物和分子氧。朝向并沿著玻璃基材引導(dǎo)氣態(tài)混合物。氣態(tài)混合物在玻璃基材上方反應(yīng)以在玻璃基材上方形成氧化錳涂層。

2、在一些實(shí)施方案中，玻璃基材是浮法玻璃制造工藝中的玻璃帶。

3、在其他實(shí)施方案中，在處于基本大氣壓力下的玻璃基材的沉積表面上形成氧化錳涂層。

4、在一些實(shí)施方案中，提供涂覆設(shè)備，并在玻璃基材上方形成氧化錳涂層之前通過(guò)該涂覆設(shè)備供入氣態(tài)混合物。

5、當(dāng)氣態(tài)混合物反應(yīng)形成氧化錳涂層時(shí)，可在處于基本大氣壓力下的玻璃基材的沉積表面上形成氧化錳涂層。

6、在一些實(shí)施方案中，氧化錳涂層在玻璃基材上方形成連續(xù)層。在其他實(shí)施方案中，氧化錳涂層在玻璃基材上方形成不連續(xù)層，其中氧化錳覆蓋玻璃基材上方一些區(qū)域并且沒(méi)有覆蓋其他區(qū)域。

7、可優(yōu)選沉積氧化錳涂層，使得其具有0.10?μg/cm2以下的錳表面濃度。

8、可存在實(shí)施方案，其中在玻璃基材上預(yù)先形成的涂層上方形成氧化錳涂層。因此，在一些實(shí)施方案中，在玻璃基材上方預(yù)先形成的基于氧化硅的涂層上方形成氧化錳涂層。在其他實(shí)施方案中，在玻璃基材上方預(yù)先形成的基于氧化錫的涂層上方形成氧化錳涂層。基于氧化錫的涂層可為未摻雜的或例如摻雜有氟。

9、在一些實(shí)施方案中，當(dāng)在其上形成氧化錳涂層并且氧化錳涂層是熱解的時(shí)，玻璃基材在1100°f（593℃）和1400°f（760℃）之間的溫度下。

10、在一實(shí)施方案中，氣態(tài)混合物中包括有機(jī)含氧化合物，并且有機(jī)含氧化合物包含一種或多種羰基化合物。在具體的實(shí)施方案中，有機(jī)含氧化合物是酯，還可以是具有帶β-氫的烷基基團(tuán)的酯。有機(jī)含氧化合物可為乙酸乙酯、甲酸乙酯、丙酸乙酯、甲酸異丙酯、乙酸異丙酯、乙酸正丁酯和乙酸叔丁酯中的一種或多種。在尤其優(yōu)選的實(shí)施方案中，有機(jī)含氧化合物是乙酸乙酯。

11、在一些實(shí)施方案中，氣態(tài)混合物包含分子氧。

12、在一些實(shí)施方案中，氣態(tài)混合物包含(甲基環(huán)戊二烯基)三羰基錳(i)或其衍生物或兩者。在優(yōu)選實(shí)施方案中，氣態(tài)混合物包含(甲基環(huán)戊二烯基)三羰基錳(i)。

13、在特別優(yōu)選的實(shí)施方案中，氣態(tài)混合物包含(甲基環(huán)戊二烯基)三羰基錳(i)和有機(jī)含氧化合物包含乙酸乙酯。

技術(shù)特征：

1.用于在玻璃基材上方形成氧化錳涂層的化學(xué)氣相沉積工藝，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的化學(xué)氣相沉積工藝，其中玻璃基材是浮法玻璃制造工藝中的玻璃帶。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2中所述的化學(xué)氣相沉積工藝，還包括提供涂覆設(shè)備，并在玻璃基材上方形成氧化錳涂層之前通過(guò)該涂覆設(shè)備供入氣態(tài)混合物。

4.根據(jù)任何前述權(quán)利要求中所述的化學(xué)氣相沉積工藝，其中當(dāng)氣態(tài)混合物反應(yīng)形成氧化錳涂層時(shí)，在處于基本大氣壓力下的玻璃基材的沉積表面上形成氧化錳涂層。

5.根據(jù)任何前述權(quán)利要求中所述的化學(xué)氣相沉積工藝，其中氧化錳涂層在玻璃基材上方形成連續(xù)涂覆層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的化學(xué)氣相沉積工藝，其中氧化錳涂層在玻璃基材上方形成非連續(xù)涂覆層。

7.根據(jù)任何前述權(quán)利要求中所述的化學(xué)氣相沉積工藝，其中氧化錳涂層具有0.10?μg/cm2以下的錳表面濃度。

8.根據(jù)任何前述權(quán)利要求中所述的化學(xué)氣相沉積工藝，其中在玻璃基材上預(yù)先形成的涂層上方形成氧化錳涂層。

9.根據(jù)任何前述權(quán)利要求中所述的化學(xué)氣相沉積工藝，其中在玻璃基材上方預(yù)先形成的基于氧化硅的涂層上方形成氧化錳涂層。

10.根據(jù)任何前述權(quán)利要求中所述的化學(xué)氣相沉積工藝，其中在玻璃基材上方預(yù)先形成的基于氧化錫的涂層上方形成氧化錳涂層。

11.根據(jù)權(quán)利要求10中所述的化學(xué)氣相沉積工藝，其中基于氧化錫的涂層摻雜有氟。

12.根據(jù)任何前述權(quán)利要求中所述的化學(xué)氣相沉積工藝，其中在其上形成氧化錳涂層時(shí)，玻璃基材在1100°f（593℃）和1400°f（760℃）之間的溫度下。

13.根據(jù)任何前述權(quán)利要求中所述的化學(xué)氣相沉積工藝，其中氧化錳涂層是熱解的。

14.根據(jù)任何前述權(quán)利要求中所述的化學(xué)氣相沉積工藝，其中氣態(tài)混合物中包括有機(jī)含氧化合物，并且有機(jī)含氧化合物包含一種或多種羰基化合物。

15.根據(jù)權(quán)利要求14中所述的化學(xué)氣相沉積工藝，其中有機(jī)含氧化合物是酯。

16.根據(jù)權(quán)利要求15中所述的化學(xué)氣相沉積工藝，其中有機(jī)含氧化合物是具有帶β-氫的烷基基團(tuán)的酯。

17.根據(jù)權(quán)利要求14或權(quán)利要求15中所述的化學(xué)氣相沉積工藝，其中有機(jī)含氧化合物是乙酸乙酯、甲酸乙酯、丙酸乙酯、甲酸異丙酯、乙酸異丙酯、乙酸正丁酯和乙酸叔丁酯中的一種或多種。

18.根據(jù)權(quán)利要求14、15和17中任一項(xiàng)所述的化學(xué)氣相沉積工藝，其中有機(jī)含氧化合物是乙酸乙酯。

19.根據(jù)任何前述權(quán)利要求中所述的化學(xué)氣相沉積工藝，其中氣態(tài)混合物包含分子氧。

20.根據(jù)任何前述權(quán)利要求中所述的化學(xué)氣相沉積工藝，其中氣態(tài)混合物包含(甲基環(huán)戊二烯基)三羰基錳(i)或其衍生物或者兩者。

21.根據(jù)任何前述權(quán)利要求中所述的化學(xué)氣相沉積工藝，其中氣態(tài)混合物包含(甲基環(huán)戊二烯基)三羰基錳(i)。

技術(shù)總結(jié)
提供了化學(xué)氣相沉積工藝用于在玻璃基材上方形成基于氧化錳的層。氣態(tài)混合物形成并包括一種或多種選自以下的含錳化合物：雙(環(huán)戊二烯基)錳(II)，雙(乙基環(huán)戊二烯基)錳(II)，(甲基環(huán)戊二烯基)三羰基錳(I)，及其衍生物，和一種或多種選自以下的含氧前體：有機(jī)含氧化合物和分子氧。朝向并沿著玻璃基材引導(dǎo)氣態(tài)混合物，并在玻璃基材上方反應(yīng)以在其上形成氧化錳涂層。

技術(shù)研發(fā)人員：P·M·哈里斯,J·倪,D·雷茲貝克,S·瓦拉納西
受保護(hù)的技術(shù)使用者：皮爾金頓集團(tuán)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/9/26