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一種高純高α相氮化硅粉體的制備方法與流程

文檔序號:11122500閱讀:1094來源:國知局

本發(fā)明屬于高端無機(jī)非金屬材料領(lǐng)域,更具體地說,涉及一種高純高α相氮化硅粉體的制備方法。



背景技術(shù):

氮化硅是新材料領(lǐng)域中一顆耀眼的明珠,它具有非常顯著的耐磨損、耐高溫、抗腐蝕、抗氧化、電絕緣等性能。高純高α相氮化硅粉體性能優(yōu)異,應(yīng)用范圍廣泛,目前主要應(yīng)用于精密陶瓷等高性能陶瓷行業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè)。α相氮化硅制得的陶瓷具有更高的密度、強(qiáng)度和硬度,高純氮化硅陶瓷性能更為優(yōu)異;光伏產(chǎn)業(yè)中要求α相含量達(dá)到95% 以上,高純度氮化硅粉體使得太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換的效率更高。

主要應(yīng)用范圍:

(1)精密陶瓷 高性能氮化硅陶瓷具有優(yōu)異的機(jī)械性能、熱學(xué)性能及化學(xué)穩(wěn)定性,可以承受金屬或高分子材料難以承受的嚴(yán)酷工作環(huán)境。高純高α相氮化硅粉體主要應(yīng)用于高速軸承、高溫發(fā)熱點(diǎn)火器、航天器反雷達(dá)罩等精密陶瓷材料;

(2)光伏產(chǎn)業(yè) 太陽能是最被看好的清潔能源,光伏發(fā)電是最主要的太陽能利用途徑。光伏發(fā)電的最基本部件是多晶硅,高純高α相氮化硅粉體是多晶硅鑄錠作業(yè)的重要材料,可以大幅度提高太陽能電池的效率,同時(shí)降低生產(chǎn)成本。

目前,市場上高純高α相氮硅粉體極度緊缺,目前世界上只有日本和德國掌握成熟的生產(chǎn)技術(shù),其余國內(nèi)廠家生產(chǎn)的氮化硅要么是α相低,要么是純度低。因此,擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的高純高α相氮化硅粉體的制備技術(shù),將打破國外企業(yè)對我國氮化硅市場的壟斷,對我國高端非金屬材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大。因此,研制出一種高純高α相氮化硅粉體的制備技術(shù),從而打破國外企業(yè)對國內(nèi)氮化硅市場的壟斷地位,是本領(lǐng)域科研人員亟需解決的技術(shù)問題。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明針對于現(xiàn)有技術(shù)制備出的氮化硅粉體存在高α相與高純度難以共存的問題,提出一種高純高α相氮化硅粉體的制備技術(shù),制備出高純度高α相的氮化硅粉體,。

一種高純高α相氮化硅粉體的制備方法,依次按照以下步驟進(jìn)行:

(1)選用高純度硅粉作為原料,對其表面進(jìn)行活化處理;

(2)由高純硅粉與氮化硅粉混合均勻,壓塊,裝爐;

(3)抽真空達(dá)到(1.0~4.0)×10-2 Pa;

(4)向爐內(nèi)通入氮?dú)夂蜌錃猓?/p>

(5)優(yōu)化溫度曲線,在1100~1400℃長時(shí)間脈沖點(diǎn)式增溫,更精確的控制反應(yīng)溫度和速度;

(6)多級凈化純化貫穿工藝流程,使生產(chǎn)過程中引入的雜質(zhì)得到有效清除,從而獲得高純高α相氮化硅粉體。

優(yōu)選的,上述高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,所述高純硅粉的純度為99.999%~99.9999%。

優(yōu)選的,上述高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,所述活化處理方式為粒子高速對撞。

優(yōu)選的,上述高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,所述氮化硅粉的純度為99.99~99.999%。

優(yōu)選的,上述高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,所述高純硅粉與氮化硅粉的比例為100:(5~20)。

優(yōu)選的,上述高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,所述硅粉的粒徑≤20um。

優(yōu)選的,上述高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,所述氮化硅粉體的粒徑≤5um。

優(yōu)選的,上述高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,所述氮?dú)馀c氫氣的體積比為100:(1~15)。

優(yōu)選的,上述高純高α相氮化硅粉體的制備方法中,所述燒結(jié)溫度為1400~1480℃。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合實(shí)施例對本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步說明。

實(shí)施例1

一種高純高α相氮化硅粉體的制備方法,依次按照以下步驟進(jìn)行:

(1)選用99.999%的高純硅粉作為原料,通過粒子高速對撞對其表面進(jìn)行活化處理;

(2)由高純硅粉與氮化硅粉,混合均勻,壓塊,裝爐,其中,高純硅粉的粒徑≤12um,氮化硅粉的粒徑≤4um,氮化硅粉的純度為99.999%,高純硅粉與氮化硅粉的比例為100:8;

(3)抽真空達(dá)到1.0×10-2 Pa;

(4)向爐內(nèi)通入氮?dú)夂蜌錃?,其中,氮?dú)馀c氫氣的體積比為100:12;

(5)優(yōu)化溫度曲線,在1100~1400℃長時(shí)間脈沖點(diǎn)式增溫,更精確的控制反應(yīng)溫度和速度;

(6)多級凈化純化貫穿工藝流程,使生產(chǎn)過程中引入的雜質(zhì)得到有效清除,從而獲得高純高α相氮化硅粉體。

實(shí)施例2

一種高純高α相氮化硅粉體的制備方法,依次按照以下步驟進(jìn)行:

(1)選用99.999%的高純硅粉作為原料,通過粒子高速對撞對其表面進(jìn)行活化處理;

(2)由高純硅粉與氮化硅粉,混合均勻,壓塊,裝爐,其中,高純硅粉的粒徑≤15um,氮化硅粉的粒徑≤5um,氮化硅粉的純度為99.999%,高純硅粉與氮化硅粉的比例為100:10;

(3)抽真空達(dá)到1.0×10-2 Pa;

(4)向爐內(nèi)通入氮?dú)夂蜌錃?,其中,氮?dú)馀c氫氣的體積比為100:15;

(5)優(yōu)化溫度曲線,在1100~1400℃長時(shí)間脈沖點(diǎn)式增溫,更精確的控制反應(yīng)溫度和速度;

(6)多級凈化純化貫穿工藝流程,使生產(chǎn)過程中引入的雜質(zhì)得到有效清除,從而獲得高純高α相氮化硅粉體。

實(shí)施例3

一種高純高α相氮化硅粉體的制備方法,依次按照以下步驟進(jìn)行:

(1)選用99.9999%的高純硅粉作為原料,通過粒子高速對撞對其表面進(jìn)行活化處理;

(2)由高純硅粉與氮化硅粉,混合均勻,壓塊,裝爐,其中,高純硅粉的粒徑≤10um,氮化硅粉的粒徑≤4um,氮化硅粉的純度為99.99%,高純硅粉與氮化硅粉的比例為100:6;

(3)抽真空達(dá)到2.0×10-2 Pa;

(4)向爐內(nèi)通入氮?dú)夂蜌錃?,其中,氮?dú)馀c氫氣的體積比為100:15;

(5)優(yōu)化溫度曲線,在1100~1400℃長時(shí)間脈沖點(diǎn)式增溫,更精確的控制反應(yīng)溫度和速度;

(6)多級凈化純化貫穿工藝流程,使生產(chǎn)過程中引入的雜質(zhì)得到有效清除,從而獲得高純高α相氮化硅粉體。

實(shí)施例4

一種高純高α相氮化硅粉體的制備方法,依次按照以下步驟進(jìn)行:

(1)選用99.9999%的高純硅粉作為原料,通過粒子高速對撞對其表面進(jìn)行活化處理;

(2)由高純硅粉與氮化硅粉,混合均勻,壓塊,裝爐,其中,高純硅粉的粒徑≤8um,氮化硅粉的粒徑≤3um,氮化硅粉的純度為99.99%,高純硅粉與氮化硅粉的比例為100:9;

(3)抽真空達(dá)到2.0×10-2 Pa;

(4)向爐內(nèi)通入氮?dú)夂蜌錃?,其中,氮?dú)馀c氫氣的體積比為100:12;

(5)優(yōu)化溫度曲線,在1100~1400℃長時(shí)間脈沖點(diǎn)式增溫,更精確的控制反應(yīng)溫度和速度;

(6)多級凈化純化貫穿工藝流程,使生產(chǎn)過程中引入的雜質(zhì)得到有效清除,從而獲得高純高α相氮化硅粉體。

對上述說明中所公開的實(shí)施例,是為了使本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。顯然,上述所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分事實(shí)例,而不是全部的實(shí)施例。對本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,對上述這些實(shí)施例多做出多種修改將是輕而易舉的,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下,在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此,本發(fā)明將不會被限制于本文所示的這些實(shí)施例,而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍?;诒景l(fā)明的實(shí)施例,本領(lǐng)域技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

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