一種輕便式高剛性磁鋼芯軸的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種輕便式高剛性磁鋼芯軸，所述磁鋼芯軸為雙層不銹鋼管結構，包括磁鐵、磁鐵調節(jié)機構、芯軸外鋼管、芯軸內(nèi)鋼管和芯軸軸頭，所述芯軸外鋼管套設在芯軸內(nèi)鋼管外，所述芯軸外鋼管上設置磁鐵，所述芯軸外鋼管和芯軸內(nèi)鋼管的兩端均固定安裝有芯軸軸頭，所述芯軸外鋼管和芯軸內(nèi)鋼管與磁鐵之間設有多組磁鐵調節(jié)機構，所述芯軸外鋼管和芯軸內(nèi)鋼管均為不銹鋼鋼管，所述芯軸外鋼管和芯軸內(nèi)鋼管之間為空心密封結構，本實用新型解決了冷卻效果提升的問題，又解決了芯軸笨重且剛性不好的問題，提升設備性能，創(chuàng)造了很好的效益。
【專利說明】
一種輕便式高剛性磁鋼芯軸
技術領域
[0001]本實用新型涉及磁控濺射鍍膜設備腔體領域，具體是一種輕便式高剛性磁鋼芯軸。
【背景技術】
[0002]目前的磁鋼芯軸是放置在旋轉靶材的內(nèi)部，是最原始的一種設計方案，冷卻靶材的冷卻水不是在最需要冷卻的等離子體輝光區(qū)域，導致整體重量偏大，剛性不足，尤其是磁鋼表面的磁場強度對位置及其敏感，原設計導致磁場因磁鋼芯軸剛性不足變形引起磁場變化，導致鍍膜不均勻，且冷卻效果不佳。針對這一情況，需要設計需要設計一種剛性好，重量輕，且保證冷卻水正對等離子體輝光區(qū)域的磁鋼芯軸。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的在于提供一種可以有效的解決磁鋼芯軸的剛性及冷卻效果的輕便式高剛性磁鋼芯軸，以解決上述【背景技術】中提出的問題。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案:
[0005]—種輕便式高剛性磁鋼芯軸，所述磁鋼芯軸為雙層不銹鋼管結構，包括磁鐵、磁鐵調節(jié)機構、芯軸外鋼管、芯軸內(nèi)鋼管和芯軸軸頭，所述芯軸外鋼管套設在芯軸內(nèi)鋼管外，所述芯軸外鋼管上設置磁鐵，所述芯軸外鋼管和芯軸內(nèi)鋼管的兩端均固定安裝有芯軸軸頭，所述芯軸外鋼管和芯軸內(nèi)鋼管與磁鐵之間設有多組磁鐵調節(jié)機構，所述磁鋼芯軸的外端設有靶材。
[0006]作為本實用新型進一步的方案:所述芯軸外鋼管和芯軸內(nèi)鋼管均為不銹鋼鋼管。
[0007]作為本實用新型再進一步的方案:所述芯軸外鋼管和芯軸內(nèi)鋼管使用的不銹鋼鋼管采用薄壁材料。
[0008]作為本實用新型再進一步的方案:所述芯軸外鋼管和芯軸內(nèi)鋼管之間為空心密封結構。
[0009]與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的有益效果是:解決了冷卻效果提升的問題，又解決了芯軸笨重且剛性不好的問題，提升設備性能，創(chuàng)造了很好的效益。
【附圖說明】
[0010]圖1為現(xiàn)有技術的芯軸磁鋼的結構示意圖。
[0011]圖2為現(xiàn)有技術的芯軸磁鋼左視圖。
[0012]圖3為輕便式高剛性磁鋼芯軸的結構示意圖。
[0013]圖4為輕便式高剛性磁鋼芯軸的左視圖。
【具體實施方式】
[0014]下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0015]請參閱圖3?4，本實用新型實施例中，一種輕便式高剛性磁鋼芯軸，包括磁鐵1、磁鐵調節(jié)機構2、芯軸外鋼管3、芯軸內(nèi)鋼管4和芯軸軸頭5，所述芯軸外鋼管3套設在芯軸內(nèi)鋼管4外，所述芯軸外鋼管3上設置磁鐵I，所述芯軸外鋼管3和芯軸內(nèi)鋼管4的兩端均固定安裝有芯軸軸頭5，所述芯軸外鋼管3和芯軸內(nèi)鋼管4與磁鐵I之間設有多組磁鐵調節(jié)機構2，所述磁鋼芯軸的外端設有靶材6。
[0016]本實用新型的工作原理是:本實用新型的的磁鋼，其磁鋼芯軸為雙層不銹鋼管結構，芯軸外鋼管3套芯軸內(nèi)鋼管4，芯軸外鋼管3和芯軸內(nèi)鋼管4采用不銹鋼管薄壁材料，這樣的結構強度即得到了加強，本身重量也得到了減輕；同時由于芯軸外鋼管3和芯軸內(nèi)鋼管4之間為空心密封結構，其本身起到了填充靶材內(nèi)部空間的作用，冷卻水的重量大減;整體重量大大減輕，冷卻水僅存在于靶材內(nèi)壁的四周，水流速度加快，冷卻效果得到提升。
[0017]對于本領域技術人員而言，顯然本實用新型不限于上述示范性實施例的細節(jié)，而且在不背離本實用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實現(xiàn)本實用新型。因此，無論從哪一點來看，均應將實施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實用新型的范圍由所附權利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實用新型內(nèi)。不應將權利要求中的任何附圖標記視為限制所涉及的權利要求。
[0018]此外，應當理解，雖然本說明書按照實施方式加以描述，但并非每個實施方式僅包含一個獨立的技術方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領域技術人員應當將說明書作為一個整體，各實施例中的技術方案也可以經(jīng)適當組合，形成本領域技術人員可以理解的其他實施方式。
【主權項】
1.一種輕便式高剛性磁鋼芯軸，其特征在于，所述磁鋼芯軸為雙層不銹鋼管結構，包括磁鐵(I)、磁鐵調節(jié)機構(2)、芯軸外鋼管(3)、芯軸內(nèi)鋼管(4)和芯軸軸頭(5)，所述芯軸外鋼管(3)套設在芯軸內(nèi)鋼管(4)外，所述芯軸外鋼管(3)上設置磁鐵(I)，所述芯軸外鋼管(3)和芯軸內(nèi)鋼管(4)的兩端均固定安裝有芯軸軸頭(5)，所述芯軸外鋼管(3)和芯軸內(nèi)鋼管(4)與磁鐵(I)之間設有多組磁鐵調節(jié)機構(2)，所述磁鋼芯軸的外端設有靶材(6)。2.根據(jù)權利要求1所述的輕便式高剛性磁鋼芯軸，其特征在于，所述芯軸外鋼管(3)和芯軸內(nèi)鋼管(4)均為不銹鋼鋼管。3.根據(jù)權利要求2所述的輕便式高剛性磁鋼芯軸，其特征在于，所述芯軸外鋼管(3)和芯軸內(nèi)鋼管(4)使用的不銹鋼鋼管采用薄壁材料。4.根據(jù)權利要求1或2所述的輕便式高剛性磁鋼芯軸，其特征在于，所述芯軸外鋼管(3)和芯軸內(nèi)鋼管(4)之間為空心密封結構。
【文檔編號】C23C14/35GK205616947SQ201620370038
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2016年4月28日
【發(fā)明人】閆乃明
【申請人】深圳市金耀玻璃機械有限公司