一種磁場(chǎng)旋轉(zhuǎn)磁控柱弧靶的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及真空鍍膜機(jī)的零部件，具體涉及到一種磁場(chǎng)旋轉(zhuǎn)磁控柱弧靶。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的旋轉(zhuǎn)圓柱靶，靶材利用率不高，水冷效果差，消磁快，特別是結(jié)構(gòu)復(fù)雜，制造成本高，裝配不便。中國(guó)實(shí)用新型專利CN 201778105U公布了一種新型磁控濺射圓柱靶，中國(guó)實(shí)用新型專利CN201424502Y公布了一種旋轉(zhuǎn)濺射電弧柱靶裝置，中國(guó)實(shí)用新型專利CN201209166Y公布了一種改良的磁濺射圓柱靶，中國(guó)實(shí)用新型專利CN202347087U公布了一種旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶。但在實(shí)際使用中，這些靶存在部分零件加工難度大；結(jié)構(gòu)復(fù)雜，制造成本升高，裝配難度大；部分結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不合理，故障率大；不利率整體快速更換源頭等缺點(diǎn)。中國(guó)實(shí)用新型專利CN201309962Y公布了一種通過(guò)防護(hù)處理的磁控濺射圓柱靶，采用熱縮管等對(duì)磁鐵進(jìn)行了防護(hù)處理，能夠防止水對(duì)磁鐵的腐蝕。但這種方法所采用的材料及結(jié)構(gòu)是一次性的，不可重復(fù)使用；也不利于頻繁更換，限制了工藝擴(kuò)展范圍；長(zhǎng)期浸在水中的防護(hù)用熱縮管的壽命在一定程度上限制了靶的使用壽命。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種磁場(chǎng)旋轉(zhuǎn)磁控柱弧靶。
[0004]為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是:提供一種磁場(chǎng)旋轉(zhuǎn)磁控柱弧靶，一種磁場(chǎng)旋轉(zhuǎn)磁控柱弧靶，包括靶座，分水套，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，靶管，防水罩和磁軸；
[0005]靶座包括大法蘭，大法蘭下部連接有屏蔽罩，大法蘭上設(shè)有密封環(huán)，密封環(huán)上為密封座，密封座上為絕緣壓環(huán)；
[0006]分水套通過(guò)螺釘與密封座連接，分水套內(nèi)部被分水環(huán)分隔成上進(jìn)水室和下出水室；所述分水環(huán)固定在支架上，支架上開設(shè)有均分的孔；支架固定在密封軸座上，密封軸座與分水套連接，密封軸座內(nèi)裝有帶動(dòng)磁芯部旋轉(zhuǎn)的軸，電極連接片固定在密封軸座上；
[0007]傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的小齒輪與大齒輪嗤合，大齒輪通過(guò)絕緣環(huán)與磁芯旋轉(zhuǎn)軸絕緣，絕緣O環(huán)下的支承環(huán)隔開絕緣環(huán)和軸承壓環(huán)；傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的可逆調(diào)速電機(jī)固定在電機(jī)支承板上，電機(jī)支承板固定在大法蘭上；
[0008]靶體包括圓管狀、結(jié)構(gòu)對(duì)稱的靶材和靶管，靶管上端與密封座連接，靶管下端和靶材螺紋連接用于密封靶管內(nèi)的水；
[0009]防水罩配合不銹鋼管套、管套上端的密封壓墊、磁軛上端和磁軛下端用于密封磁軸；所述磁軸包括磁軛和磁體。
[0010]作為上述實(shí)施例的優(yōu)化方案，整個(gè)柱靶僅僅通過(guò)螺釘實(shí)現(xiàn)大法蘭與真空鍍膜機(jī)對(duì)應(yīng)裝配位的裝卸。
[0011]作為上述實(shí)施例的優(yōu)化方案，大法蘭上的密封環(huán)，起真空密封及靶與真空室之間的絕緣作用。低溫工藝時(shí)一般選聚四氟乙烯材料，高溫工藝時(shí)選精密陶瓷或石英玻璃件。
[0012]作為上述實(shí)施例的優(yōu)化方案，絕緣壓環(huán)通過(guò)螺釘將密封座、密封環(huán)、O型圈壓緊在大法蘭上實(shí)現(xiàn)真空密封。
[0013]作為上述實(shí)施例的優(yōu)化方案，分水套內(nèi)被分水環(huán)分為上進(jìn)水室和下出水室，分別通過(guò)水嘴與外部進(jìn)出水管相接。
[0014]作為上述實(shí)施例的優(yōu)化方案，分水環(huán)固定在分水環(huán)固定架上，該分水環(huán)固定用支架上開有均分的孔。
[0015]作為上述實(shí)施例的優(yōu)化方案，密封軸座通過(guò)螺釘與分水套連接，通過(guò)O型圈實(shí)現(xiàn)密封。
[0016]作為上述實(shí)施例的優(yōu)化方案，帶動(dòng)磁芯部旋轉(zhuǎn)的軸通過(guò)裝在密封軸座內(nèi)的O型圈、墊環(huán)、軸封和壓環(huán)實(shí)現(xiàn)真空動(dòng)密封。
[0017]作為上述實(shí)施例的優(yōu)化方案，傳動(dòng)用大齒輪通過(guò)絕緣環(huán)與磁芯旋轉(zhuǎn)軸絕緣。
[0018]作為上述實(shí)施例的優(yōu)化方案，支承環(huán)隔開絕緣環(huán)和軸承壓環(huán)，避免轉(zhuǎn)動(dòng)中的碰撞。
[0019]作為上述實(shí)施例的優(yōu)化方案，電機(jī)支承板通過(guò)螺桿固定在大法蘭上，方便快捷地進(jìn)行整體換靶。
[0020]作為上述實(shí)施例的優(yōu)化方案，管靶被設(shè)計(jì)成兩端裝配位對(duì)稱結(jié)構(gòu)，方便兩端調(diào)換使用，提高靶材利用率。
[0021]作為上述實(shí)施例的優(yōu)化方案，磁軸外套有可拆卸的不銹鋼防水罩。
[0022]作為上述實(shí)施例的優(yōu)化方案，防水罩的不銹鋼管套下端部焊接有環(huán)狀板，與磁軛下端配合壓O型圈實(shí)現(xiàn)防水罩的下部密封。
[0023]作為上述實(shí)施例的優(yōu)化方案，采用密封壓墊與磁軛上端間壓一 O型圈實(shí)現(xiàn)防水罩的上部密封。
[0024]作為上述實(shí)施例的優(yōu)化方案，在磁軛兩端安裝相對(duì)于中部長(zhǎng)條形區(qū)域磁場(chǎng)強(qiáng)度略低的磁體
[0025]作為上述實(shí)施例的優(yōu)化方案，在磁軛中安裝3級(jí)磁場(chǎng)強(qiáng)度的磁體，其中最強(qiáng)的磁體被安裝在3路間隔的長(zhǎng)條狀槽中，中等強(qiáng)度的磁體被安裝另外3路間隔的長(zhǎng)條狀槽中，相對(duì)最弱的磁體被安裝在兩端。
[0026]作為上述實(shí)施例的優(yōu)化方案，所安裝的磁路使得靶管表面的整體磁場(chǎng)強(qiáng)度降低到磁控濺射與離子鍍技術(shù)所需求的磁場(chǎng)強(qiáng)度的臨界區(qū)域內(nèi)。
[0027]作為上述實(shí)施例的優(yōu)化方案，磁軛下端安放在推力球軸承上，推力球軸承又安裝在靶管下端內(nèi)，既可減小靶管旋轉(zhuǎn)時(shí)的阻力，又可調(diào)心限位。
[0028]本實(shí)用新型靶材利用率提高；極大地降低故障率，延長(zhǎng)單次使用壽命；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，方便裝配及檢修；融入一體化設(shè)計(jì)理念，利于快捷更換靶。
【附圖說(shuō)明】
[0029]圖1為本實(shí)用新型的裝配圖；
[0030]圖2為磁軛截面示意圖。
[0031 ] 圖3為磁軛的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0032]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)的說(shuō)明。
[0033]本實(shí)用新型提供一種磁場(chǎng)旋轉(zhuǎn)磁控柱弧靶，包括靶座，分水套，齒輪傳動(dòng)部，靶體，防水罩，磁軸。
[0034]靶座的基礎(chǔ)是連接真空室的大法蘭1，整個(gè)柱靶通過(guò)螺釘就能實(shí)現(xiàn)大法蘭I與真空鍍膜機(jī)對(duì)應(yīng)裝配位的裝卸，利于根據(jù)不同的鍍膜工藝要求快捷地?fù)Q靶。大法蘭I下部連接有屏蔽罩2。大法蘭上有密封環(huán)3，起真空密封及靶與真空室之間的絕緣作用。低溫工藝時(shí)一般選聚四氟乙烯材料，高溫工藝時(shí)選精密陶瓷或石英玻璃件，可防止高溫下因聚四氟乙烯材料件損壞造成的設(shè)備故障。密封環(huán)3上為密封座4，密封座4通過(guò)O型圈5實(shí)現(xiàn)靶管內(nèi)的水密封，通過(guò)O型圈6實(shí)現(xiàn)真空密封；絕緣壓環(huán)7通過(guò)螺釘8將密封座4、密封環(huán)3、O型圈9壓緊在大法蘭I上而實(shí)現(xiàn)真空密封。
[0035]分水套10通過(guò)螺釘11同密封座4相連，并通過(guò)O型圈12實(shí)現(xiàn)水密封；分水套10內(nèi)被分水環(huán)13分為上進(jìn)水室和下出水室，分別通過(guò)水嘴14與外部進(jìn)出水管相接；擋水環(huán)15用于擋住固定分水環(huán)的螺釘處滲水。分水環(huán)固定在支架16上，支架16上開有均分的孔，以便上進(jìn)水室的水能流入磁芯管內(nèi)，支架16固定在密封軸座17上。密封軸座17通過(guò)螺釘18與分水套10連接，通過(guò)O型圈19實(shí)現(xiàn)密封。密封軸座17內(nèi)裝有帶動(dòng)磁芯部旋轉(zhuǎn)的軸20。軸20通過(guò)裝在密封軸座17內(nèi)的O型圈21、墊環(huán)22、墊環(huán)23、軸封24和壓環(huán)25實(shí)現(xiàn)真空動(dòng)密封；軸承26起調(diào)心作用。電極連接片27固定在密封軸座17上。
[0036]大齒輪28固定在絕緣環(huán)29上，并與軸20絕緣，絕緣環(huán)29與軸20間用鍵帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)。支承環(huán)30用于隔開絕緣環(huán)29和軸承壓環(huán)25，避