一種裝置及該裝置的使用方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種裝置及該裝置的使用方法。
【背景技術(shù)】
[0002]化學(xué)氣相沉積(Chemical Vapor Deposit1n，CVD)維修(Repair)設(shè)備是薄膜晶體管液晶顯不器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，TFT_LCD)面板領(lǐng)域在陣列段主要的維修設(shè)備，對陣列基板的線不良和點(diǎn)不良進(jìn)行查看、判級和維修。其原理是通過激光的熱效應(yīng)和光效應(yīng)，沉積鎢粉對導(dǎo)電金屬線進(jìn)行連接，維修斷路(Open)類不良。CVD維修設(shè)備也可以對基板上導(dǎo)電薄膜的金屬殘留物進(jìn)行切割，切割后可以沉積鎢粉對導(dǎo)電金屬線進(jìn)彳丁跨接，維修殘留(Remain)類不良，提尚廣品的良率。
[0003]如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)的CVD維修設(shè)備包括加熱的鎢粉儲藏罐、與鎢粉儲藏罐連接的氬氣(Ar)的進(jìn)氣管道11，以及加熱管道12、與加熱管道12連接的氣體腔體14、物鏡15、鏡筒透鏡16、分離器17、波長選擇器18和彎曲棱鏡19，該CVD維修設(shè)備可以對陣列基板13的線不良和點(diǎn)不良進(jìn)行查看、判級和維修。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)采用該CVD維修設(shè)備對陣列基板進(jìn)行維修時(shí)，存在以下問題:
[0005]第一、CVD維修設(shè)備中的鎢粉儲藏罐的進(jìn)氣口和出氣口為圓柱形;進(jìn)氣口為圓柱形的設(shè)計(jì)吹氣方向單一，局部氣流量較大，會導(dǎo)致出氣口鎢粉堆積，另外也會導(dǎo)致部分區(qū)域無法吹到，形成飽和鎢蒸氣，引起的鎢粉結(jié)晶和堆積；以上均會引起氣體腔體內(nèi)鎢粉含量降低，鎢粉沉積薄膜變薄。在背光不透光情況下，無法知悉維修狀況，即若鎢粉沉積薄膜后，背光的光會穿透該薄膜，則說明維修失敗，若背光的光不穿透該薄膜，還需要保證該薄膜的厚度在不透光的情況下不能太薄，而在這種情況下，由于鎢粉沉積薄膜變薄，則會導(dǎo)致維修失敗逐漸增加；
[0006]第二、鎢粉在使用過程中，目前只是記錄設(shè)備的運(yùn)行時(shí)間作為鎢粉使用時(shí)間，而在設(shè)備運(yùn)行過程中，多數(shù)時(shí)間鎢粉并沒在使用，而且每臺設(shè)備鎢粉消耗也不同，因此記錄不準(zhǔn)確，按照運(yùn)行時(shí)間更換鎢粉，大大降低了鎢粉使用率，造成鎢粉的浪費(fèi)；
[0007]第三、在設(shè)備保養(yǎng)或異常停電過程中，鎢粉管道或其它位置阻塞以及鎢粉使用末期，反應(yīng)氣體中鎢粉含量會降低，無法監(jiān)控;另外，目前鎢粉儲藏罐的設(shè)計(jì)，即使發(fā)現(xiàn)沉積的薄膜明顯變薄，且透光，采取的手段僅僅是更換鎢粉，方法單一，不能充分確認(rèn)鎢粉狀況，導(dǎo)致鎢粉的浪費(fèi)，影響設(shè)備嫁動(dòng)。
[0008]綜上所述，現(xiàn)有技術(shù)采用CVD維修設(shè)備對陣列基板進(jìn)行維修時(shí)，鎢粉在使用異常時(shí)，如:使用耗盡、管道堵塞、鎢粉結(jié)晶等，鎢粉無法被及時(shí)監(jiān)控到，因此導(dǎo)致鎢粉沉積的薄膜質(zhì)量下降，維修失敗率上升;另外，在鎢粉明顯發(fā)生異常下，無法進(jìn)行有效的調(diào)整，只能從更換鎢粉方面入手，方法單一且影響設(shè)備嫁動(dòng)，影響產(chǎn)能。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種裝置及該裝置的使用方法，用以降低對基板線路維修時(shí)失敗的幾率，提尚基板的品質(zhì)。
[0010]本發(fā)明實(shí)施例提供的一種裝置，包括粉末儲藏罐和氣體腔體，所述粉末儲藏罐設(shè)置有出氣管道，所述出氣管道與所述氣體腔體連接，其中，還包括監(jiān)控裝置、第一開關(guān)和第二開關(guān)，
[0011]所述第一開關(guān)設(shè)置在所述監(jiān)控裝置與所述出氣管道之間，所述第二開關(guān)設(shè)置在所述監(jiān)控裝置與所述氣體腔體之間；
[0012]所述監(jiān)控裝置設(shè)置在所述粉末儲藏罐和所述氣體腔體之間，與所述出氣管道連通，用于在所述第二開關(guān)關(guān)閉，所述第一開關(guān)打開時(shí)，監(jiān)控所述出氣管道中單位體積內(nèi)粉末的含量。
[0013]由本發(fā)明實(shí)施例提供的裝置，由于該裝置包括監(jiān)控裝置，用于在第二開關(guān)關(guān)閉，第一開關(guān)打開時(shí)，監(jiān)控出氣管道中單位體積內(nèi)粉末的含量。本發(fā)明具體實(shí)施例通過監(jiān)控裝置監(jiān)控粉末的含量和使用狀況，與現(xiàn)有技術(shù)只能記錄設(shè)備運(yùn)行時(shí)間和觀察鎢粉沉積薄膜透光性記錄鎢粉使用狀況相比，大大提高了輸出的粉末的含量穩(wěn)定性，保證了維修過程中薄膜的質(zhì)量，提升了維修的成功率。
[0014]較佳地，所述監(jiān)控裝置包括:粉末收集裝置、彈簧和壓力傳感器；
[0015]所述粉末收集裝置用于，在所述第一開關(guān)打開，所述第二開關(guān)關(guān)閉時(shí)，收集所述出氣管道中的氣態(tài)物，并將收集到的氣態(tài)物凝固為固態(tài)物；
[0016]所述壓力傳感器通過所述彈簧與所述粉末收集裝置連接，用于在氣態(tài)物凝固為固態(tài)物時(shí)，通過檢測彈簧的壓力，得到隨時(shí)間變化的壓力轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號的數(shù)值，根據(jù)預(yù)先建立的壓力與單位體積的粉末含量的對應(yīng)關(guān)系，得到出氣管道中單位體積內(nèi)粉末的含量。
[0017]較佳地，所述粉末收集裝置包括:用于收集固態(tài)物的空心柱狀收集器，以及與所述空心柱狀收集器連接的溫度調(diào)節(jié)裝置，
[0018]所述溫度調(diào)節(jié)裝置，用于在所述第一開關(guān)打開，所述第二開關(guān)關(guān)閉時(shí)，對所述空心柱狀收集器進(jìn)行降溫，使得氣態(tài)物凝固為固態(tài)物。
[0019]較佳地，所述溫度調(diào)節(jié)裝置還用于，在所述第一開關(guān)關(guān)閉，所述第二開關(guān)打開時(shí)，對所述空心柱狀收集器進(jìn)行升溫，使得收集在該空心柱狀收集器中的固態(tài)物升華為氣態(tài)物。
[0020]較佳地，所述溫度調(diào)節(jié)裝置為裝有水的容器，
[0021 ]在所述第一開關(guān)打開，所述第二開關(guān)關(guān)閉時(shí)，將水的溫度設(shè)置為第一預(yù)設(shè)溫度，在第一預(yù)設(shè)溫度下，氣態(tài)物凝固為固態(tài)物；
[0022]在所述第一開關(guān)關(guān)閉，所述第二開關(guān)打開時(shí)，將水的溫度設(shè)置為第二預(yù)設(shè)溫度，在第二預(yù)設(shè)溫度下，固態(tài)物升華為氣態(tài)物。
[0023 ]較佳地，所述監(jiān)控裝置中設(shè)置有回收栗，用于對所述監(jiān)控裝置進(jìn)行清潔。
[0024]較佳地，所述監(jiān)控裝置包括:降溫裝置、采樣室和顆粒濃度檢測儀；
[0025]所述降溫裝置緊鄰所述采樣室設(shè)置，用于在所述第一開關(guān)打開，所述第二開關(guān)關(guān)閉時(shí)，將出氣管道中的氣態(tài)物凝固為固態(tài)物；
[0026]所述采樣室，用于收集所述固態(tài)物；
[0027]所述顆粒濃度檢測儀設(shè)置在所述采樣室內(nèi)，用于檢測所述固態(tài)物的濃度。
[0028]較佳地，所述粉末儲藏罐的底端設(shè)置為一移動(dòng)結(jié)構(gòu)，該移動(dòng)結(jié)構(gòu)用于調(diào)節(jié)所述粉末儲藏罐的體積；
[0029]還包括:與粉末儲藏罐和所述監(jiān)控裝置連接的報(bào)警調(diào)節(jié)裝置，所述報(bào)警調(diào)節(jié)裝置用于接收所述監(jiān)控裝置反饋的出氣管道中單位體積內(nèi)粉末的含量，將單位體積內(nèi)粉末的含量值與預(yù)設(shè)范圍比較，當(dāng)所述單位體積內(nèi)粉末的含量值超出所述預(yù)設(shè)范圍時(shí)，發(fā)出警報(bào)，并控制所述移動(dòng)結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)，直到警報(bào)消除。
[0030]較佳地，所述移動(dòng)結(jié)構(gòu)為一活塞。
[0031]較佳地，所述出氣管道與所述粉末儲藏罐連接的出氣口的截面形狀為梯形。
[0032]較佳地，所述粉末儲藏罐設(shè)置有進(jìn)氣管道，所述進(jìn)氣管道用于通入惰性氣體，所述進(jìn)氣管道與所述粉末儲藏罐連接的進(jìn)氣口的截面形狀為梯形。
[0033]較佳地，所述