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一種真空鍍膜生產(chǎn)線用密合機(jī)構(gòu)的制作方法

文檔序號:8392697閱讀:316來源:國知局
一種真空鍍膜生產(chǎn)線用密合機(jī)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空鍍膜生產(chǎn)線技術(shù)領(lǐng)域,具體來說,是涉及一種真空鍍膜生產(chǎn)線用密合機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]真空鍍膜是一種產(chǎn)生薄膜材料的技術(shù),其大致流程是在真空室內(nèi)將材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上,從而在被鍍物體表面上產(chǎn)生一層薄膜。真空鍍膜腔室的密封門比較重,普通的門鉸鏈很難承受翻板箱門扇的自重,長期使用后,門扇的鉸鏈容易損壞。真空室的密封門比較特殊,門縫上設(shè)有膠圈,在初關(guān)合時,門和箱體間存在間隙,存在閉合不嚴(yán)實的現(xiàn)象。當(dāng)腔室開始抽真空后,門會被吸上去,膠圈完全壓縮,達(dá)到密封目的,但傳的門鉸鏈僅是單軸設(shè)計,即使在膠圈完全壓縮的情況下,在門框和門體的銜接處仍會出現(xiàn)細(xì)微縫隙,導(dǎo)致門體密封不完全。中國專利CN202031416U公開了一種單晶爐翻板箱的密封門鉸鏈,該技術(shù)方案公開的門鉸鏈主要解決了傳統(tǒng)鉸鏈承載強(qiáng)度不高、易損壞的問題。但是該技術(shù)仍然無法解決門體無縫密合的問題。中國專利申請CN202899859U公開了一種礦用救生艙艙門鉸鏈結(jié)構(gòu)。該技術(shù)方案雖在一定程度上改變了門體的密封效果,但該鉸鏈承載強(qiáng)度不高,仍存在易損壞的問題。因此,現(xiàn)有真空鍍膜生產(chǎn)線的密封門體密封不緊、且門鉸鏈易損壞的問題仍沒有得到解決,如何解決這個技術(shù)難題,是技術(shù)人員亟待考慮的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題,本發(fā)明的目的是提供一種能實現(xiàn)真空鍍膜生產(chǎn)線各腔室門體密封更緊的門密合機(jī)構(gòu),以實現(xiàn)密封性能更佳,且結(jié)構(gòu)穩(wěn)定抗壓能力強(qiáng)。
[0004]為實現(xiàn)上述發(fā)明目的,本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下:
[0005]一種真空鍍膜生產(chǎn)線用密合機(jī)構(gòu),該密合機(jī)構(gòu)包括鉸鏈件和緊鎖件,鉸鏈件連接真空鍍膜生產(chǎn)線中各功能腔室的室門與門框,室門經(jīng)鉸鏈件開合,緊鎖件安裝在門框上。
[0006]更優(yōu)選地,鉸鏈件包括第一鉸鏈件、第二鉸鏈件和輔助鉸鏈件,其中第一鉸鏈件與室門連接,第二鉸鏈件與門框連接,輔助鉸鏈件分別連接第一鉸鏈件和第二鉸鏈件;第一鉸鏈件包括第一鉸鏈座和第一鉸鏈軸,第二鉸鏈件包括第二鉸鏈座和第二鉸鏈軸,第一鉸鏈座和輔助鉸鏈件同第一鉸鏈軸轉(zhuǎn)動,第二鉸鏈座和輔助鉸鏈件同第二鉸鏈軸轉(zhuǎn)動,且第二鉸鏈座與輔助鉸鏈座間設(shè)有軸承,優(yōu)選為平面軸承。
[0007]更優(yōu)選地,為了使得鉸鏈件結(jié)構(gòu)更為緊湊合理,第一鉸鏈座依輔助鉸鏈件形狀去除材料成第一凹槽,輔助鉸鏈件嵌入第一凹槽內(nèi)與第一鉸鏈座同軸轉(zhuǎn)動;相應(yīng)地,第二鉸鏈座依輔助鉸鏈件形狀去除材料成第二凹槽,輔助鉸鏈件嵌入第二凹槽內(nèi)與第二鉸鏈座同軸轉(zhuǎn)動;第一凹槽與第二凹槽開口方向相反。
[0008]更優(yōu)選地,第一鉸鏈座與第二鉸鏈座等高等長,第一鉸鏈座與第二鉸鏈座不等寬,換言之,第二鉸鏈座厚于第一鉸鏈座;此寬度差可實現(xiàn)在真空鍍膜生產(chǎn)線腔室內(nèi)成真空狀態(tài)時,避免外界大氣壓將室門設(shè)有鉸鏈件的一側(cè)無法密閉均勻,使得整個室門的關(guān)合過程受力更為平均,室門密封性能好。
[0009]更優(yōu)選地,第一凹槽設(shè)置在第一鉸鏈座的中段,同樣地,第二凹槽設(shè)置在第二鉸鏈座的中段。
[0010]更優(yōu)選地,為了,使得整個室門的關(guān)合過程受力更為平均,第一鉸鏈座與輔助鉸鏈件間通過一螺栓固定,且該螺栓與室門連接,通過該螺栓調(diào)整輔助鉸鏈件,使輔助鉸鏈件在轉(zhuǎn)動過程中不左右擺動,且在轉(zhuǎn)動過程中,限制室門隨著輔助鉸鏈件與第一鉸鏈座的間隙擺動,而是使室門隨著輔助鉸鏈件轉(zhuǎn)動,該螺栓優(yōu)選為沉頭螺栓。
[0011]優(yōu)選地,緊鎖件包括固定座、固定元件和壓緊螺釘,固定座通過螺栓固定在鍍膜生產(chǎn)線各功能腔室的門框上,固定元件通過壓緊螺釘活動安裝在固定座上。
[0012]更優(yōu)選地,壓緊螺釘與固定元件之間活動連接,固定元件經(jīng)壓緊螺釘安裝在門框上時可旋轉(zhuǎn)。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明中密合機(jī)構(gòu)采用雙軸承設(shè)計能保證門鉸鏈的靈活轉(zhuǎn)動,使門鉸鏈不易損壞;在配合門緊鎖裝置一并使用時,雙軸的設(shè)計能推動門體和門框整體像腔室內(nèi)部平移,使得門體與門框之間不會產(chǎn)生大范圍的間隙,從而門體能更為緊密的與門框貼合,真空腔室的密封效果也更佳。因此,本發(fā)明具有廣闊的市場前景。
【附圖說明】
[0014]圖1為本發(fā)明提供的一種真空鍍膜生產(chǎn)線用密合機(jī)構(gòu)用于真空鍍膜生產(chǎn)線腔室的不意圖;
[0015]圖2為本發(fā)明提供的一種真空鍍膜生產(chǎn)線用密合機(jī)構(gòu)中鉸鏈件的一種優(yōu)選實施方式立體圖;
[0016]圖3為本發(fā)明提供的一種真空鍍膜生產(chǎn)線用密合機(jī)構(gòu)中鉸鏈件的一種優(yōu)選實施方式透視圖;
[0017]圖4為本發(fā)明提供的一種真空鍍膜生產(chǎn)線用密合機(jī)構(gòu)中緊鎖件的一種優(yōu)選實施方式結(jié)構(gòu)圖。
【具體實施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖及【具體實施方式】對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)、完整地說明。
[0019]圖1至圖4,為本發(fā)明提供的一種真空鍍膜生產(chǎn)線用門密合機(jī)構(gòu)的示意圖。真空鍍膜生產(chǎn)線包括基片傳送流水線和鍍膜流水線,鍍膜流水線進(jìn)一步包括至少7個腔室,該門密合機(jī)構(gòu)用于將各腔室的室門緊固安裝在各腔室上,保持各腔室的密封性。如圖1至圖4所示,該門密合機(jī)構(gòu)包括一鉸鏈件10和緊鎖件20,鉸鏈件10連接真空鍍膜生產(chǎn)線中各功能腔室的室門與門框,室門經(jīng)鉸鏈件10開合,緊鎖件20安裝在門框上。
[0020]圖2為本發(fā)明提供的一種真空鍍膜生產(chǎn)線用密合機(jī)構(gòu)中鉸鏈件的一種優(yōu)選實施方式立體圖;圖3為本發(fā)明提供的一種真空鍍膜生產(chǎn)線用密合機(jī)構(gòu)中鉸鏈件的一種優(yōu)選實施方式透視圖。如圖2和圖3所示,鉸鏈件10包括第一鉸鏈件11、第二鉸鏈件12和輔助鉸鏈件13,其中第一鉸鏈件11與室門連接,第二鉸鏈件12與門框連接,輔助鉸鏈件13分別連接第一鉸鏈件11和第二鉸鏈件12 ;第一鉸鏈件11進(jìn)一步包括第一鉸鏈座111和第一鉸鏈軸112,第二鉸鏈件12包括第二鉸鏈座121和第二鉸鏈軸122,第一鉸鏈座111和輔助鉸鏈件13同第一鉸鏈軸112轉(zhuǎn)動,第二鉸鏈座121和輔助鉸鏈件13同第二鉸鏈軸122轉(zhuǎn)動,且第二鉸鏈座122與輔助鉸鏈件13間設(shè)有軸承14,優(yōu)選為平面軸承。
[0021]為了使得鉸鏈件10結(jié)構(gòu)更為緊湊合理,第一鉸鏈座111依輔助鉸鏈件13形狀去除材料成第一凹槽111,輔助鉸鏈件13嵌入第一凹槽11
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