本發(fā)明涉及自動(dòng)化設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置及鍍膜設(shè)備。

背景技術(shù)：

在真空鍍膜設(shè)備的使用過(guò)程中，常出現(xiàn)靶材濺射均勻性波動(dòng)的問(wèn)題。目前，一般采用工藝氣體進(jìn)行微調(diào)。但是，工藝氣體調(diào)節(jié)范圍有限，當(dāng)靶材濺射均勻性出現(xiàn)較大的波動(dòng)時(shí)，只能回氣在大氣狀態(tài)處理，調(diào)節(jié)完后再抽真空回到生產(chǎn)狀態(tài)。然而，回氣在大氣狀態(tài)處理的方法僅限于旋轉(zhuǎn)陰極，對(duì)平面陰極無(wú)能為力。此外，回氣在大氣狀態(tài)處理的方法調(diào)節(jié)周期一般會(huì)超過(guò)24小時(shí)，并且調(diào)節(jié)后不一定能夠達(dá)到預(yù)想的效果，有可能再次回氣調(diào)整，這樣不僅浪費(fèi)時(shí)間，還會(huì)導(dǎo)致交貨和產(chǎn)量問(wèn)題，而且生產(chǎn)成本非常高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置及鍍膜設(shè)備，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中鍍膜中采用工藝氣體調(diào)節(jié)的方法調(diào)節(jié)范圍有限以及回氣在大氣狀態(tài)處理的方法浪費(fèi)時(shí)間且生產(chǎn)成本高的技術(shù)問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案是：電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置，應(yīng)用于鍍膜設(shè)備中，所述鍍膜設(shè)備包括間隔設(shè)置的靶材和基片，所述電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置包括底板、設(shè)于所述底板上方的擋板組件以及設(shè)于所述底板上方與所述擋板組件連接并用于控制所述擋板組件運(yùn)動(dòng)以伸出所述底板外至所述靶材與所述基片之間的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。

進(jìn)一步地，所述擋板組件包括若干依序相互活動(dòng)連接的擋片，且相鄰的所述擋片之間疊層設(shè)置。

進(jìn)一步地，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括若干個(gè)數(shù)量相同的搖臂、轉(zhuǎn)盤(pán)和驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝于所述底板的上方，所述轉(zhuǎn)盤(pán)與所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸連接，各所述搖臂的第一端與對(duì)應(yīng)的一所述轉(zhuǎn)盤(pán)的一側(cè)固定連接，各所述搖臂的第二端與對(duì)應(yīng)的一所述擋片的一側(cè)鉸接。

進(jìn)一步地，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)還包括若干個(gè)數(shù)量與所述搖臂相同的鉸接桿，各所述搖臂的第二端設(shè)有連接孔，所述擋片與所述連接孔對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有安裝孔，所述底板與所述安裝孔對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有沿所述擋片的運(yùn)動(dòng)方向分布的導(dǎo)向槽，所述鉸接桿穿設(shè)所述連接孔、相鄰的兩所述擋片的所述安裝孔和所述導(dǎo)向槽。

進(jìn)一步地，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)為步進(jìn)電機(jī)或者伺服電機(jī)。

進(jìn)一步地，所述電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置還包括設(shè)于所述底板上方并罩設(shè)住所述擋板組件和所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的保護(hù)罩。

進(jìn)一步地，所述電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置還包括套設(shè)于所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)外并與所述保護(hù)罩固定連接的電機(jī)支撐件。

本發(fā)明的有益效果：本發(fā)明的電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置，應(yīng)用于鍍膜設(shè)備中，所述鍍膜設(shè)備包括間隔設(shè)置的靶材和基片，在真空鍍膜過(guò)程中，當(dāng)檢測(cè)到基片上膜層存在不均勻區(qū)域時(shí)，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)控制擋板組件延伸出底板外至靶材與基片之間，使得擋板組件擋住膜層較厚區(qū)域的基片，從而控制該區(qū)域膜層的均勻性。由于本發(fā)明的電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置中的擋板組件可以大范圍的使用，因此可以解決工藝氣體調(diào)節(jié)方法調(diào)節(jié)范圍有限的技術(shù)問(wèn)題；此外，本發(fā)明的電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置可以在真空狀態(tài)下使用，不用回氣在大氣狀態(tài)處理，因此，可以有效避免因回氣調(diào)整均勻性造成的成本和時(shí)間浪費(fèi)。

本發(fā)明的另一技術(shù)方案是：一種鍍膜設(shè)備，包括間隔設(shè)置的靶材和基片，所述鍍膜設(shè)備還包括至少一個(gè)位于所述靶材和所述基片同一側(cè)的上述的電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置。

進(jìn)一步地，所述鍍膜設(shè)備還包括與所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的電動(dòng)部件連接以用于控制所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)工作的控制器。

進(jìn)一步地，所述電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置有兩個(gè)，且兩個(gè)所述電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置分別位于所述靶材和所述基片的兩側(cè)。

本發(fā)明的鍍膜設(shè)備，由于使用有至少一個(gè)上述的電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置，從而不必回大氣進(jìn)行處理，可以在真空狀態(tài)下對(duì)基片的膜層均勻性進(jìn)行大范圍的調(diào)節(jié)，進(jìn)而有效地節(jié)約時(shí)間和成本。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置的結(jié)構(gòu)分解示意圖。

圖3為圖2中A處的局部結(jié)構(gòu)放大示意圖。

圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置的局部結(jié)構(gòu)剖切圖。

附圖標(biāo)記包括：

10—底板 11—導(dǎo)向槽 20—擋板組件

21—擋片 30—調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu) 31—搖臂

32—轉(zhuǎn)盤(pán) 33—驅(qū)動(dòng)電機(jī) 34—鉸接桿

40—保護(hù)罩 50—電機(jī)支撐件 211—安裝孔

311—連接孔。

具體實(shí)施方式

下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖1～4描述的實(shí)施例是示例性的，旨在用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。

在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“長(zhǎng)度”、“寬度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。

此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本發(fā)明的描述中，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上，除非另有明確具體的限定。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語(yǔ)應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通或兩個(gè)元件的相互作用關(guān)系。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。

如圖1～4所示，本發(fā)明實(shí)施例提供的電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置，應(yīng)用于鍍膜設(shè)備中，鍍膜設(shè)備包括間隔設(shè)置的靶材(圖未示)和基片(圖未示)，電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置包括底板10、設(shè)于底板10上方的擋板組件20以及設(shè)于底板10上方與擋板組件20連接并用于控制擋板組件20運(yùn)動(dòng)以伸出底板10外至靶材與基片之間的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)30。

本發(fā)明實(shí)施例的電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置，應(yīng)用于鍍膜設(shè)備中，鍍膜設(shè)備包括間隔設(shè)置的靶材和基片，在真空鍍膜過(guò)程中，當(dāng)檢測(cè)到基片上膜層存在不均勻區(qū)域時(shí)，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)30控制擋板組件20延伸出底板10外至靶材與基片之間，使得擋板組件20擋住膜層較厚區(qū)域的基片，從而控制該區(qū)域膜層的均勻性。由于本發(fā)明實(shí)施例的電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置中的擋板組件20可以大范圍的使用，因此可以解決工藝氣體調(diào)節(jié)方法調(diào)節(jié)范圍有限的技術(shù)問(wèn)題；此外，本發(fā)明實(shí)施例的電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置可以在真空狀態(tài)下使用，不用回氣在大氣狀態(tài)處理，因此，可以有效避免因回氣調(diào)整均勻性造成的成本和時(shí)間浪費(fèi)。

進(jìn)一步地，擋板組件20包括若干依序相互活動(dòng)連接的擋片21，且相鄰的擋片21之間疊層設(shè)置。擋片21形狀可以為長(zhǎng)方形、圓角矩形或橢圓形等。由于擋片21為活動(dòng)連接，相鄰擋片21之間可以相互運(yùn)動(dòng)，因此，在基片上膜層不均勻的區(qū)域，可通過(guò)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)30控制相鄰擋片21之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，從而改變擋片21之間開(kāi)口大小，實(shí)現(xiàn)基片上膜層厚度在同一水平。

如圖2～4所示，進(jìn)一步地，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)30包括若干個(gè)數(shù)量相同的搖臂31、轉(zhuǎn)盤(pán)32和驅(qū)動(dòng)電機(jī)33，驅(qū)動(dòng)電機(jī)33安裝于底板10的上方，轉(zhuǎn)盤(pán)32與驅(qū)動(dòng)電機(jī)33的輸出軸連接，各搖臂31的第一端與對(duì)應(yīng)的一轉(zhuǎn)盤(pán)32的一側(cè)固定連接，各搖臂31的第二端與對(duì)應(yīng)的一擋片21的一側(cè)鉸接。使用時(shí)，根據(jù)基片膜層均勻性確定所需調(diào)節(jié)的位置，然后，啟動(dòng)相應(yīng)位置的驅(qū)動(dòng)電機(jī)33，通過(guò)相應(yīng)位置的驅(qū)動(dòng)電機(jī)33旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)32轉(zhuǎn)動(dòng)，由于搖臂31與轉(zhuǎn)盤(pán)32連接，且搖臂31會(huì)跟隨著轉(zhuǎn)盤(pán)32運(yùn)動(dòng)，那么當(dāng)驅(qū)動(dòng)電機(jī)33控制轉(zhuǎn)盤(pán)32作正反轉(zhuǎn)時(shí)，即可實(shí)現(xiàn)控制搖臂31作前進(jìn)后后退的運(yùn)動(dòng)，從而通過(guò)搖臂31推動(dòng)擋板組件20中的其中至少一個(gè)擋片21移動(dòng)或者整個(gè)擋板組件20的整體移動(dòng)，以此來(lái)實(shí)現(xiàn)膜層均勻性調(diào)整。

如圖2～4所示，進(jìn)一步地，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)30還包括若干個(gè)數(shù)量與搖臂31相同的鉸接桿34，各搖臂31的第二端設(shè)有連接孔311，擋片21與連接孔311對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有安裝孔211，底板10與安裝孔211對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有沿?fù)跗?1的運(yùn)動(dòng)方向分布的導(dǎo)向槽11，鉸接桿34穿設(shè)連接孔311、相鄰的兩擋片21的安裝孔211和導(dǎo)向槽11。具體地，搖臂31在轉(zhuǎn)盤(pán)32的帶動(dòng)下作前后方向運(yùn)動(dòng)，由于搖臂31的前端開(kāi)設(shè)的連接孔311連接有鉸接桿34，且鉸接桿34同時(shí)連接單個(gè)擋片21或者疊層設(shè)置的擋片21，這樣，鉸接桿34隨著搖臂31動(dòng)作時(shí)就可以實(shí)現(xiàn)帶動(dòng)擋片21動(dòng)作。又由于鉸接桿34是穿設(shè)在導(dǎo)向槽11內(nèi)的，那么通過(guò)該導(dǎo)向槽11的設(shè)置限制了鉸接桿34的運(yùn)動(dòng)行程和方向，如此就可以確保控制擋片21在設(shè)定的區(qū)域內(nèi)動(dòng)作，確保生產(chǎn)的穩(wěn)定性。

如圖2所示，進(jìn)一步地，驅(qū)動(dòng)電機(jī)33為步進(jìn)電機(jī)或者伺服電機(jī)。優(yōu)選地，驅(qū)動(dòng)電機(jī)33為步進(jìn)電機(jī)。本發(fā)明實(shí)施例通過(guò)計(jì)算步進(jìn)電機(jī)的脈沖數(shù)，可精確控制擋板組件20中的擋片21的移動(dòng)距離，進(jìn)而精確控制擋板組件20的開(kāi)口大小，以實(shí)現(xiàn)高效解決真空狀態(tài)下調(diào)節(jié)鍍膜均勻性的問(wèn)題。

進(jìn)一步地，步進(jìn)電機(jī)上設(shè)有減速器(圖未示)。減速器可以在降速的同時(shí)提高輸出扭矩，并降低負(fù)載的慣量。

進(jìn)一步地，步進(jìn)電機(jī)上設(shè)有扭力放大器(圖未示)。扭力放大器又稱扭矩倍增器，是一種將力矩放大的裝置。

在其他實(shí)施例中，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)30還可以是氣缸或者電缸。調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)30為氣缸時(shí)，可以將氣缸的缸體固定在底板10上，氣缸的活塞桿與擋板組件20連接，這樣通過(guò)氣缸的活塞桿的伸縮來(lái)控制擋板組件20的運(yùn)動(dòng)。調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)30為電缸時(shí)，電缸的外殼固定在底板10上，電缸的滑塊與擋板組件20通過(guò)傳動(dòng)件連接，那么電缸的滑塊動(dòng)作時(shí)即可帶動(dòng)擋板組件20動(dòng)作。

如圖1和圖4所示，電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置還包括設(shè)于底板10上方并罩設(shè)住擋板組件20和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)30的保護(hù)罩40。通過(guò)設(shè)置保護(hù)罩40，可有效地防止在鍍膜過(guò)程中擋板組件20和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)30被污染。其中，保護(hù)罩40可以與底板10可拆卸連接，例如采用扣接或者通過(guò)緊固件連接。當(dāng)然，還可以將保護(hù)罩40與底板10焊接連接。根據(jù)實(shí)際情況的需要，選擇合適的連接方式以連接保護(hù)罩40和底板10。

如圖2和圖4所示，電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置還包括套設(shè)于驅(qū)動(dòng)電機(jī)33外并與保護(hù)罩40固定連接的電機(jī)支撐件50。電機(jī)支撐件50可有效地固定驅(qū)動(dòng)電機(jī)33，以使驅(qū)動(dòng)電機(jī)33在運(yùn)行時(shí)平穩(wěn)性高。

本發(fā)明實(shí)施例還提供一種鍍膜設(shè)備，包括間隔設(shè)置的靶材(圖未示)和基片(圖未示)，鍍膜設(shè)備還包括至少一個(gè)位于靶材和基片同一側(cè)的上述的電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置。

本發(fā)明實(shí)施例的鍍膜設(shè)備，由于使用有至少一個(gè)上述的電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置，從而不必回大氣進(jìn)行處理，可以在真空狀態(tài)下對(duì)基片的膜層均勻性進(jìn)行大范圍的調(diào)節(jié)，進(jìn)而有效地節(jié)約時(shí)間和成本。本發(fā)明實(shí)施例的鍍膜設(shè)備可以是磁控濺射鍍膜系統(tǒng)、脈沖激光沉積系統(tǒng)等。

進(jìn)一步地，鍍膜設(shè)備還包括與調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)30的電動(dòng)部件電性連接以用于控制調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)30工作的控制器(圖未示)。具體地，通過(guò)控制器可以協(xié)調(diào)控制各個(gè)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)30的驅(qū)動(dòng)電機(jī)33工作，以實(shí)現(xiàn)控制各個(gè)擋片21的工作。其中，控制器可以是PLC控制器或者計(jì)算機(jī)等。

進(jìn)一步地，電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置有兩個(gè)，且兩個(gè)電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置分別位于靶材和基片的兩側(cè)。本發(fā)明實(shí)施例通過(guò)在靶材和基片的兩側(cè)分別設(shè)置電動(dòng)可調(diào)鍍膜擋板裝置，使得膜層均勻性調(diào)節(jié)范圍更廣，更靈活。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的思想和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換或改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。