專利名稱：脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)與脆性基板分?jǐn)喾椒?br> 技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于通過(guò)在脆性基板上形成一刻劃線并沿所述刻劃線斷裂脆性基板而分?jǐn)啻嘈曰宓拇嘈曰宸謹(jǐn)嘞到y(tǒng)與脆性基板分?jǐn)喾椒ā?br> 背景技術(shù)：
顯示器包括一個(gè)平面顯示板(例如，一液晶板、一等離子體顯示板、一有機(jī)EL顯示板)。該平面顯示板通過(guò)將兩片脆性基板(如兩片玻璃基板)貼合起來(lái)而制得。當(dāng)加工顯示板時(shí)，需要將脆性基板分?jǐn)喑深A(yù)定尺寸。通常，一刻畫線形成于脆性基板上(劃線步驟)，接下來(lái)脆性基板沿所形成的刻劃線斷裂(斷裂步驟)，從而分?jǐn)啻嘈曰濉?br> WO 02/057192A1揭示了一種具有一對(duì)切割頭的分?jǐn)嘣O(shè)備，其中所述切割頭在上側(cè)和下側(cè)相對(duì)地設(shè)置。每一切割頭包括一個(gè)用于在玻璃基板上形成一刻劃線的刀輪、和一個(gè)平行于由刀輪形成的所述刻劃線而壓緊所述玻璃基板并在玻璃基板上滾動(dòng)的輥?zhàn)?。該分?jǐn)嘣O(shè)備分?jǐn)嗤ㄟ^(guò)貼合所述一對(duì)玻璃基板而制成的貼合基板。
所述公開文獻(xiàn)中公開的所述分?jǐn)嘣O(shè)備在各切割頭的刀輪同步地在構(gòu)成貼合基板的每一玻璃基板上形成一條刻劃線之后，在各輥?zhàn)訅壕o刻劃線兩側(cè)對(duì)每一玻璃基板上的刻劃線施加一剪力(一彎矩)的同時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在上側(cè)和下部側(cè)的各切割頭的輥?zhàn)?。以此方式，各玻璃基板分?jǐn)唷?br> 在所述公開文獻(xiàn)中所述的分?jǐn)嘣O(shè)備中，所述彎矩作用，使得在形成于各玻璃基板上的所述刻劃線的正下方(正上方)延伸的豎直裂紋在玻璃基板的厚度方向上延伸。但是，該彎矩并不對(duì)每一刻劃線施加一個(gè)充足的剪力。因此，當(dāng)構(gòu)成所述形成于各玻璃基板上的刻劃線的豎直裂紋較淺時(shí)，就存在各玻璃基板不能精確分?jǐn)嗟目赡苄浴?br> 當(dāng)玻璃基板的側(cè)邊緣部分被分?jǐn)鄷r(shí)，被分?jǐn)嗟膫?cè)邊部分因未被保持而落下。在分?jǐn)噙^(guò)程中，所述落下的側(cè)邊緣部分施加一不需要的力到玻璃基板上。因此，存在在相對(duì)于刻劃線傾斜的方向上分?jǐn)嗷宓目赡苄浴．?dāng)分?jǐn)嗟膫?cè)邊部分接觸作為玻璃基板分?jǐn)嗖糠值亩嗣鏁r(shí)，也存在在端面處產(chǎn)生碎片、破裂等的可能性。
本發(fā)明是考慮到這樣的問題而提出的。本發(fā)明的目的是提供一種有效地分?jǐn)啻嘈曰宥粫?huì)在脆性基板內(nèi)產(chǎn)生碎片以及破裂等的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)和脆性基板分?jǐn)喾椒ā?br>
發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)包括一個(gè)用于在脆性基板的第一表面上形成一刻劃線的劃線設(shè)備、以及一個(gè)用于沿刻劃線斷裂該脆性基板的斷裂設(shè)備，其中斷裂設(shè)備包括一個(gè)第一壓緊控制裝置，用于當(dāng)脆性基板第一表面被保持時(shí)，沿著所述刻劃線移動(dòng)一個(gè)作用在與脆性基板第一表面相對(duì)的脆性基板第二表面上的壓緊力，從而實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的上述目的。
根據(jù)本發(fā)明一脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，當(dāng)脆性基板第一表面被保持時(shí)，一作用在脆性基板第二表面上的壓緊力沿形成于脆性基板第一表面上的刻劃線移動(dòng)，所述第二表面與脆性基板第一表面相對(duì)。以此方式，當(dāng)壓緊力沿形成于脆性基板第一表面上的刻劃線移動(dòng)時(shí)，該壓緊力被施加到脆性基板的第二表面，該第二表面與脆性基板第一表面相對(duì)。因此，一彎矩被施加到所述脆性基板，使得一從刻劃線延伸的豎直裂紋確定地(positively)在基板的厚部方向上延伸，從而分?jǐn)啻嘈曰濉?br> 根據(jù)本發(fā)明一脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，斷裂設(shè)備可進(jìn)一步包括一個(gè)用于壓緊脆性基板第二表面的壓緊裝置；和一個(gè)用于保持脆性基板第一表面的第一保持裝置，其中第一壓緊控制裝置可以控制壓緊裝置，當(dāng)?shù)谝槐３盅b置和壓緊裝置彼此相對(duì)且脆性基板位于其間時(shí)，使得壓緊裝置沿刻劃線移動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，當(dāng)?shù)谝槐３盅b置保持脆性基板第一表面且所述壓緊裝置壓緊脆性基板第二表面時(shí)，一壓緊裝置沿形成于脆性基板第一表面的刻劃線移動(dòng)。因此，沿脆性基板第二表面上的刻劃線施加一壓緊力，該第二表面與刻劃線形成于其上的脆性基板第一表面相對(duì)。結(jié)果，一彎矩作用于脆性基板，使得一從刻劃線延伸的豎直裂紋確定地在基板厚度方向上延伸，從而分?jǐn)啻嘈曰濉?br> 根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，第一壓緊控制裝置控制壓緊裝置，使得壓緊裝置沿刻劃線滾動(dòng)。
由于第一壓緊控制裝置控制所述壓緊裝置使得所述壓緊裝置沿刻劃線滾動(dòng)，所以第一控制裝置容易地沿刻劃線移動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，所述壓緊裝置可為一個(gè)輥?zhàn)印?br> 由于輥?zhàn)佑米鲏壕o裝置，所以第一壓緊控制裝置容易地沿刻劃線轉(zhuǎn)動(dòng)所述壓緊裝置。
根據(jù)本發(fā)明地脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，該壓緊裝置可為一傳送帶。
由于傳送帶用作壓緊裝置，所以第一壓緊控制裝置容易地沿刻劃線轉(zhuǎn)動(dòng)壓緊裝置。
根據(jù)本發(fā)明一脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，該壓緊裝置可為一軸承。
由于軸承用作壓緊裝置，所以第一壓緊控制裝置容易地沿刻劃線轉(zhuǎn)動(dòng)壓緊裝置。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，一凹槽部分可形成于壓緊裝置內(nèi)，使得壓緊裝置不接觸脆性基板第二表面上一與刻劃線相對(duì)的線。
當(dāng)脆性基板沿著刻劃線被分?jǐn)鄷r(shí)，壓緊裝置保持脆性基板第二表面上一線的兩側(cè)而不接觸所述脆性基板第二表面上的所述與刻劃線相對(duì)的線。因此，在分?jǐn)噙^(guò)程中可防止在分?jǐn)嗝娌糠痔幊霈F(xiàn)碎片。
根據(jù)本發(fā)明一脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，斷裂設(shè)備可進(jìn)一步包括一個(gè)第一保持控制裝置，用于控制第一保持裝置，使得當(dāng)?shù)谝槐３盅b置和壓緊裝置彼此相對(duì)且脆性基板位于其間時(shí)，第一保持裝置沿刻劃線移動(dòng)。
第一壓緊控制裝置沿刻劃線移動(dòng)所述壓緊裝置，而第一保持控制裝置沿刻劃線移動(dòng)第一保持裝置，從而當(dāng)?shù)谝槐３盅b置和壓緊裝置彼此相對(duì)且脆性基板位于其間時(shí)，從脆性基板一端面到脆性基板另一端面循序地分?jǐn)啻嘈曰?。因此，分?jǐn)啻嘈曰迩也恍栊纬啥鄠€(gè)分?jǐn)嚅_始點(diǎn)。結(jié)果，形成分?jǐn)嗝媲掖嘈曰迨瞧教沟摹?br> 根據(jù)本發(fā)明一脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，第一保持控制裝置可控制第一保持裝置使得第一保持裝置沿刻劃線滾動(dòng)。
由于第一保持控制裝置控制第一保持裝置使其沿刻劃線滾動(dòng)，所以第一保持控制裝置容易地沿刻劃線移動(dòng)第一保持裝置。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，該保持裝置可為一輥?zhàn)印?br> 由于輥?zhàn)佑米鞯谝槐３盅b置，第一保持控制裝置可容易地沿刻劃線轉(zhuǎn)動(dòng)第一保持裝置。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，該保持裝置可為一傳送帶。
由于傳送帶用作第一保持裝置，第一保持控制裝置可容易地沿刻劃線轉(zhuǎn)動(dòng)第一保持裝置。
根據(jù)本發(fā)明一脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，該保持裝置可為一軸承。
由于軸承用作第一保持裝置，第一保持控制裝置可容易地沿刻劃線轉(zhuǎn)動(dòng)第一保持裝置。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，一凹槽部分可形成于保持裝置內(nèi)部，使得第一保持裝置不接觸刻劃線。
當(dāng)脆性基板沿刻劃線被分?jǐn)鄷r(shí)，第一保持裝置保持刻劃線的兩側(cè)而不接觸刻劃線。因此，在分?jǐn)噙^(guò)程中可防止分?jǐn)嗝娌糠殖霈F(xiàn)碎片。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，形成于第一保持裝置內(nèi)的凹槽部分的寬度可大于壓緊裝置的寬度。
由于壓緊裝置的一部分進(jìn)入第一保持裝置使得脆性基板可能彎曲，所以移動(dòng)脆性基板被確定地分?jǐn)唷?br> 根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，所述壓緊裝置可進(jìn)一步包括用于沿刻劃線在第一方向上移動(dòng)和保持脆性基板的一個(gè)第二保持裝置和一個(gè)第三保持裝置，所述第一方向就是所述壓緊裝置到所述第二保持裝置和第三保持裝置的方向，而斷裂設(shè)備可進(jìn)一步包括一個(gè)第二保持控制裝置，用于控制第二保持裝置，使得所述第二保持裝置在保持脆性基板的同時(shí)在第一表面上沿刻劃線移動(dòng)，并且控制第三保持裝置，使得所述第三保持裝置在保持脆性基板的同時(shí)在第二表面上沿刻劃線移動(dòng)。
在保持其上形成有所述刻劃線的區(qū)域的未分?jǐn)嗖糠值耐瑫r(shí)，所述保持裝置沿刻劃線移動(dòng)，從而防止向被壓緊裝置所壓緊的區(qū)域施加一不需要的力。結(jié)果，可防止在形成于脆性基板上的分?jǐn)嗝娌糠痔幃a(chǎn)生碎片。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，當(dāng)?shù)诙３盅b置和第三保持裝置彼此相對(duì)且脆性基板位于其間時(shí)，第二保持控制裝置控制第三保持裝置，使得第三保持裝置和壓緊裝置以一預(yù)定速度移動(dòng)，并且第二保持控制裝置控制所述第二保持裝置使得第一保持裝置和第二保持裝置以所述的預(yù)定速度移動(dòng)。
由于第一保持裝置、第二保持裝置和第三保持裝置以相同速度移動(dòng)，所以第二保持裝置和第三保持裝置牢固地保持脆性基板。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，壓緊裝置可進(jìn)一步包括用于沿刻劃線在第一方向上移動(dòng)以及用于保持脆性基板的一個(gè)第四保持裝置和一個(gè)第五保持裝置，第四保持裝置和第五保持裝置與第一方向相反的方向離開壓緊裝置設(shè)置。
當(dāng)?shù)谒谋３盅b置和第五保持裝置保持其上形成有刻劃線的的區(qū)域的分?jǐn)嗖糠謺r(shí)，第一保持裝置沿刻劃線移動(dòng)，從而防止向被壓緊裝置壓緊區(qū)域施加不需要的力。結(jié)果，能夠防止在形成于脆性基板上的分?jǐn)嗝娌糠痔幃a(chǎn)生碎片。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，刻劃線形成裝置可包括一用于向脆性基板第一表面發(fā)射一激光束的激光束發(fā)射裝置和一用于對(duì)脆性基板第一表面被激光束發(fā)射裝置照射部分附近進(jìn)行冷卻的冷卻裝置。
一激光束被發(fā)射至脆性基板第一表面上，并且被激光束照射部分附近被冷卻，所以在那里形成了具有一豎直裂紋的一刻劃線。因此，在分?jǐn)嗝娴倪吘壧幉粫?huì)留有一應(yīng)力變型。結(jié)果，能防止當(dāng)分?jǐn)啻嘈曰鍙拇嘈曰宸謹(jǐn)嘣O(shè)備傳送至一不同設(shè)備時(shí)形成于脆性基板上的分?jǐn)嗝娌糠直涣?，該不同設(shè)備用于分?jǐn)啻嘈曰宓囊缓罄m(xù)步驟。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，冷卻裝置可為一冷卻噴嘴，而該冷卻噴嘴可通過(guò)噴射一冷卻介質(zhì)至脆性基板第一表面上而對(duì)脆性基板第一表面被激光束發(fā)射裝置照射部分的附近進(jìn)行冷卻。
因冷卻介質(zhì)通過(guò)冷卻噴嘴噴射至脆性基板第一表面上，一脆性基板預(yù)定區(qū)域在不接觸脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)情況下被確定地冷卻。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)可包括一激光束/冷卻介質(zhì)接受部件，用于接受由激光束發(fā)射裝置發(fā)射的激光束和由冷卻噴嘴噴射的冷卻介質(zhì)兩者中的至少一種。
因防止激光束和冷卻介質(zhì)兩者中的至少一種擴(kuò)散，脆性基板分?jǐn)嘣O(shè)備的安全性得到改進(jìn)。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，激光束/冷卻介質(zhì)接受部件可相對(duì)于壓緊裝置單獨(dú)地運(yùn)動(dòng)。
當(dāng)壓緊裝置在形成刻劃線時(shí)跟隨刀具前行，其上形成刻劃線的脆性基板被分?jǐn)唷．?dāng)所述刻劃線形成于脆性基板第一表面時(shí)，脆性材料第二表面由壓緊裝置壓緊。因此，劃線步驟和斷裂步驟幾乎同時(shí)進(jìn)行。從而，減少了用于分?jǐn)嗖襟E的時(shí)間。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，冷卻噴嘴可以是能夠沿刻劃線移動(dòng)的。
由于冷卻噴嘴沿刻劃線移動(dòng)，可根據(jù)脆性基板的材料來(lái)設(shè)定劃線條件。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，一刻劃線形成裝置可進(jìn)一步包括一切口形成刀具機(jī)構(gòu)，用于在脆性基板第一表面上刻劃線的開始形成位置處形成一切口。
由于一切口形成于脆性基板第一表面上刻劃線的開始形成位置，一從刻劃線延伸來(lái)的豎直裂紋確定地形成。
根據(jù)本發(fā)明一脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，所述切口形成刀具機(jī)構(gòu)可以與激光束發(fā)射裝置和冷卻裝置一體地移動(dòng)。
所述形成于刻劃線開始形成位置的切口、和激光束照射區(qū)域和冷卻區(qū)域?qū)?zhǔn)。因此，刻劃線沿一條待形成刻劃線的線精確地形成。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，該刻劃線形成裝置可為一刀具。
由于對(duì)形成刻劃線的條件具有廣泛的選擇，所以刻劃線穩(wěn)定地形成。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，所述刀具可為一盤狀刀輪尖(cutter wheel tip)，且一刃部可形成于所述刀輪尖的外圓周邊緣處。
由于當(dāng)該刀輪尖壓緊脆性基板上并在其上轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)形成一刻劃線，所以形成刻劃線的速度(刻劃形成速度)提高。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，可以有多個(gè)槽形部分以一預(yù)定間距形成于所述刃部的脊形部分內(nèi)。
多個(gè)槽形部分以一預(yù)定間距形成于刃部的脊形部分內(nèi)，使得在除所述多個(gè)槽形部分形成的部位之外形成多個(gè)突起。當(dāng)一刻劃線形成時(shí)，所述多個(gè)突起向脆性基板第一表面施加點(diǎn)沖擊。因此，形成一延伸至脆性基板厚度大約90％的豎直裂紋。結(jié)果，在斷裂步驟后脆性基板被確定地分?jǐn)唷?br> 根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，該刀具可相對(duì)于壓緊裝置單獨(dú)地運(yùn)動(dòng)。
當(dāng)在刻劃線形成的同時(shí)所述壓緊裝置跟隨刀具運(yùn)動(dòng)時(shí)，一其上形成有刻劃線的脆性基板被分?jǐn)?。?dāng)刻劃線形成于脆性基板第一表面上時(shí)，脆性基板第二表面被壓緊裝置壓緊。因此，劃線步驟和斷裂步驟幾乎同時(shí)進(jìn)行。因而，用于分?jǐn)嗖襟E的時(shí)間減少。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，第一壓緊控制裝置可以控制壓緊裝置，從而在第一保持裝置和壓緊裝置彼此相對(duì)且脆性基板位于其間的同時(shí)以及在刻劃線形成裝置在脆性基板第一表面上形成刻劃線的同時(shí)，使得壓緊裝置沿刻劃線移動(dòng)。
在第一保持裝置和壓緊裝置彼此相對(duì)且有一脆性基板位于其間的同時(shí)以及在刻劃線形成裝置在脆性基板第一表面上形成刻劃線的同時(shí)，壓緊裝置沿形成于脆性基板第一表面上的刻劃線移動(dòng)。因此，對(duì)脆性基板的劃線步驟和斷裂步驟幾乎同時(shí)進(jìn)行。結(jié)果，脆性基板分?jǐn)嗖襟E時(shí)間能減少。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，劃線設(shè)備可包括一刻劃線形成裝置，用于當(dāng)脆性基板第一表面被保持時(shí)在脆性基板第一表面上形成刻劃線，并且斷裂設(shè)備可進(jìn)一步包括一個(gè)用于壓緊與脆性基板第一表面相對(duì)的第二表面的壓緊裝置。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，在刻劃線形成裝置保持脆性基板第一表面的同時(shí)以及在壓緊裝置保持脆性基板第二表面的同時(shí)，壓緊裝置沿形成于脆性基板第一表面上的刻劃線移動(dòng)。因此，一壓緊力沿刻劃線施加于脆性基板的第二表面上，該第二表面與其上形成刻劃線的脆性基板第一表面相對(duì)。結(jié)果，一彎矩施加至脆性基板，使得一從刻劃線延伸的豎直裂紋在基板厚度方向上延伸，從而分?jǐn)啻嘈曰濉?br> 此外，由于，當(dāng)刻劃形成裝置保持脆性基板第一表面以及壓緊裝置壓緊脆性基板第二表面時(shí)，形成所述刻劃線，所以，劃線步驟和斷裂步驟幾乎同時(shí)進(jìn)行。從而，脆性基板分?jǐn)嗖襟E時(shí)間減少。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，脆性基板可以是通過(guò)貼合基板而得到的貼合基板，劃線設(shè)備可包括一用于在貼合基板第一表面上形成一第一刻劃線的第一刻劃線形成裝置以及一用于在與貼合基板第一表面相對(duì)的貼合基板第二表面上形成一第二刻劃線的第二刻劃線形成裝置，而斷裂設(shè)備可沿由第一刻劃線形成裝置形成于貼合基板第一表面上的第一刻劃線斷裂貼合基板，以及沿由第二刻劃線形成裝置形成于貼合基板第二表面上的第二刻劃線斷裂貼合基板，并且當(dāng)貼合基板第一表面保持時(shí)第一壓緊控制裝置可沿刻劃線移動(dòng)一作用在與貼合基板第一表面相對(duì)的貼合基板第二表面上的壓緊力。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，當(dāng)貼合基板第一表面被保持時(shí)，貼合基板第二表面上的一壓緊力沿著形成于貼合基板第一表面上的刻劃線移動(dòng)，貼合基板的該第二表面與貼合基板的第一表面相對(duì)。以此方式，當(dāng)壓緊力沿形成于貼合基板第一表面的刻劃線移動(dòng)時(shí)，該壓緊力被施加到貼合基板的第二表面，該第二表面與貼合基板第一表面相對(duì)。因此，一彎矩被施加到貼合基板，使得從刻劃線延伸的一豎直裂紋在基板厚度方向上延伸，從而分?jǐn)噘N合基板。
根據(jù)本發(fā)明一脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，一斷裂設(shè)備可以包括一用于壓緊貼合基板第一表面的第一貼合基板壓緊裝置；一用于壓緊貼合基板第二表面的第二貼合基板壓緊裝置；一用于保持貼合基板第一表面的第一貼合基板保持裝置；一用于保持貼合基板第二表面的第二貼合基板保持裝置；一用于壓緊裝置的第一控制裝置，用于控制第二貼合基板壓緊裝置，使得第二貼合基板壓力裝置在第一貼合基板保持裝置和第二貼合基板保持裝置彼此相對(duì)且貼合基板位于其間時(shí)沿第一刻劃線移動(dòng)；以及一用于壓緊裝置的第二控制裝置，用于控制第一貼合基板壓緊裝置，使得第一貼合基板壓緊裝置當(dāng)?shù)诙N合基板保持裝置和第一貼合基板保持裝置彼此相對(duì)且貼合基板位于其間時(shí)沿第二刻劃線移動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，當(dāng)保持裝置保持所述貼合基板的第一表面時(shí)以及當(dāng)壓緊裝置壓緊書貼合基板第二表面時(shí)，壓緊裝置當(dāng)沿形成于脆性基板第一表面上的刻劃線移動(dòng)。此外，當(dāng)另一保持裝置保持所述貼合基板第二表面時(shí)以及當(dāng)另一壓緊裝置壓緊貼合基板第一表面時(shí)，另一壓緊裝置沿形成于脆性基板第二表面上的刻劃線移動(dòng)。結(jié)果，一彎矩施加于貼合基板，使得一從刻劃線延伸來(lái)的豎直裂紋在基板厚度方向上延伸，從而分?jǐn)噘N合基板。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，用于壓緊裝置的第一控制裝置可以控制第二貼合基板壓緊裝置，使得第二貼合基板壓緊裝置沿第一刻劃線滾動(dòng)，而用于壓緊裝置的第二控制裝置控制第一貼合基板壓緊裝置，使得第一貼合基板壓緊裝置沿第二刻劃線滾動(dòng)。
控制裝置可沿刻劃線容易地移動(dòng)壓緊裝置，而另一控制裝置可沿著另一刻劃線容易地移動(dòng)另一壓緊裝置。
根據(jù)本發(fā)明一脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，第一貼合基板壓緊裝置和第二貼合基板壓緊裝置可為輥?zhàn)印?br> 由于輥?zhàn)佑米鲏壕o裝置和另一的壓緊裝置，所以控制裝置和另一控制裝置容易地沿刻劃線轉(zhuǎn)動(dòng)壓緊裝置和另一壓緊裝置。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，壓緊裝置可為傳送帶。
由于傳送帶用作壓緊裝置和另一壓緊裝置，所以控制裝置和另一控制裝置可沿刻劃線容易地轉(zhuǎn)動(dòng)壓緊裝置和另一壓緊裝置。
根據(jù)本發(fā)明一脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，壓緊裝置可為軸承。
由于軸承用作壓緊裝置和另一壓緊裝置，控制裝置和另一控制裝置可以沿刻劃線容易地轉(zhuǎn)動(dòng)壓緊裝置和另一壓緊裝置。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，可有一第一凹槽部分形成于第二貼合基板壓緊裝置內(nèi)，使得第二貼合基板壓緊裝置不接觸所述貼合基板第二表面上的一條與第一刻劃線相對(duì)的線；且可有一第二凹槽部分形成于第一貼合基板壓緊裝置內(nèi)，使得第一貼合基板壓緊裝置不接觸貼合基板第一表面上的一條與第二刻劃線相對(duì)的線。
當(dāng)貼合基板沿刻劃線被分?jǐn)鄷r(shí)，該壓緊裝置保持貼合基板表面上該線的兩側(cè)而不接觸與刻劃線相對(duì)的線。因此，可防止分?jǐn)噙^(guò)程中在分?jǐn)嗝娌糠痔幃a(chǎn)生碎片。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，斷裂設(shè)備可進(jìn)一步包括一用于保持裝置的第一控制裝置，用于控制所述第一貼合基板保持裝置，使得當(dāng)?shù)谝毁N合基板保持裝置和第二貼合基板壓緊裝置彼此相對(duì)且其間有貼合基板時(shí)，第一貼合基板保持裝置沿第一刻劃線移動(dòng)，和一用于保持裝置的第二控制裝置，用于控制第二貼合基板保持裝置，使得當(dāng)?shù)诙N合基板保持裝置和第一貼合基板壓緊裝置彼此相對(duì)且其間有貼合基板時(shí)，第二貼合基板保持裝置沿第二刻劃線移動(dòng)。
貼合基板被分?jǐn)喽恍栊纬啥鄠€(gè)分?jǐn)嚅_始點(diǎn)。結(jié)果，形成一分?jǐn)嗝媲以诖嘈曰迳蠠o(wú)凸凹不平。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，所述用于保持裝置的第一控制裝置控制所述第一貼合基板保持裝置，使得第一貼合基板保持裝置沿第一刻劃線滾動(dòng)，而用于保持裝置的第二控制裝置控制所述第二貼合基板保持裝置，使得第二貼合基板保持裝置沿第二刻劃線滾動(dòng)。
控制裝置可沿刻劃線輕易地移動(dòng)保持裝置，而另一控制裝置可沿另一刻劃線容易地移動(dòng)另一保持裝置。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，第一貼合基板保持裝置和第二貼合基板可為輥?zhàn)印?br> 由于輥?zhàn)虞佔(zhàn)佑米鞅３盅b置和另一保持裝置，所述控制裝置和另一控制裝置沿刻劃線容易地轉(zhuǎn)動(dòng)所述保持裝置和另一保持裝置。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，第一貼合基板保持裝置和第二貼合基板可為傳送帶。
由于傳送帶用作保持裝置和另一保持裝置，所述控制裝置和另一控制裝置沿刻劃線容易地轉(zhuǎn)動(dòng)所述保持裝置和另一保持裝置。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，第一貼合基板保持裝置和第二貼合基板可為軸承。
由于軸承用作保持裝置和另一保持裝置，所述控制裝置和另一控制裝置沿刻劃線容易地轉(zhuǎn)動(dòng)所述保持裝置和另一保持裝置。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，可有一第三凹槽部分形成于第一貼合基板保持裝置內(nèi)，使得第一貼合基板保持裝置不接觸第一刻劃線，且可由一第四凹槽部分形成于第二貼合基板保持裝置內(nèi)，使得第二貼合基板保持裝置不接觸第二刻劃線。
當(dāng)貼合基板沿刻劃線被分?jǐn)鄷r(shí)，壓緊裝置保持所述刻劃線的兩側(cè)，而不接觸刻劃線。因此，防止了在分?jǐn)噙^(guò)程中在分?jǐn)嗝娌糠痔幃a(chǎn)生碎片。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，形成于第一貼合基板保持裝置內(nèi)的第三凹槽部分的寬度可大于第二貼合基板壓緊裝置的寬度，而形成于第二貼合基板保持裝置內(nèi)的第四凹槽部分的寬度可大于第一貼合基板壓緊裝置的寬度。
由于壓緊裝置的一部分壓入(go under)保持裝置，使得貼合基板可能彎曲，所以所述貼合基板被確定地分?jǐn)唷?br> 根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，第一貼合基板壓緊裝置和第二基板壓緊裝置可分別沿第一刻劃線和第二刻劃線一個(gè)第一方向上移動(dòng)，而脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)可進(jìn)一步包括從第一貼合基板壓緊裝置和第二貼合基板壓緊裝置在所述第一方向上分別保持脆性基板的一個(gè)第三貼合基板保持裝置和一個(gè)第四貼合基板保持裝置，而斷裂設(shè)備可進(jìn)一步包括一用于保持裝置的第三控制裝置，用于控制第三貼合基板保持裝置，使得當(dāng)?shù)谌N合基板保持裝置保持所述貼合基板時(shí)，第三貼合基板保持裝置在第一表面上沿第一刻劃線移動(dòng)，以及用于控制第四貼合基板保持裝置，使得當(dāng)?shù)谒馁N合基板保持裝置保持所述貼合基板時(shí)，第四貼合基板保持裝置在第二表面上沿第二刻劃線移動(dòng)。
在保持其上形成有刻劃線的區(qū)域的未分?jǐn)嗖糠值耐瑫r(shí)，保持裝置沿刻劃線移動(dòng)，從而防止向被壓緊裝置壓緊的區(qū)域施加不需要的力。結(jié)果，防止了在貼合基板的分?jǐn)嗝娌糠痔幃a(chǎn)生碎片。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，當(dāng)?shù)谌N合基板保持裝置和第四貼合基板保持裝置彼此相對(duì)且貼合基板位于其間時(shí)，所述用于保持裝置的第三控制裝置可以控制第三貼合基板保持裝置，使得第三貼合基板保持裝置、第一貼合基板保持裝置以及第一貼合基板壓緊裝置以一預(yù)定速度移動(dòng)，并且所述用于保持裝置的第三控制裝置可控制第四貼合基板保持裝置，使得使得第四貼合基板保持裝置、第二貼合基板保持裝置以及第二貼合基板壓緊裝置以所述預(yù)定速度移動(dòng)。
由于所述保持裝置和壓緊裝置以相同速度移動(dòng)，貼合基板被壓緊裝置牢牢地保持住。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，第一貼合基板壓緊裝置可沿第二刻劃線在所述第一方向上移動(dòng)，第二貼合基板壓緊裝置可沿第一刻劃線在所述第一方向上移動(dòng)，而脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)可進(jìn)一步包括一個(gè)第五貼合基板保持裝置和一個(gè)第六貼合基板保持裝置，分別用于從第一貼合基板壓緊裝置和第二貼合基板壓緊裝置在與所述第一方向相對(duì)的方向上保持脆性基板。
保持裝置保持其上形成有刻劃線的區(qū)域的分?jǐn)嗖糠郑瑥亩乐瓜虮粔壕o裝置壓緊的區(qū)域施加一不需要的力。結(jié)果，防止在形成于貼合基板上的分?jǐn)嗝娌糠痔幃a(chǎn)生碎片。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，當(dāng)?shù)谝毁N合基板保持裝置和第二貼合基板壓緊裝置彼此相對(duì)且貼合基板位于其間時(shí)，用于壓緊裝置的第一控制裝置可控制第二貼合基板壓緊裝置，使得第二貼合基板壓緊裝置沿第一刻劃線移動(dòng)，并且用于壓緊裝置的第二控制裝置可控制第一貼合基板壓緊裝置，使得第一貼合基板壓緊裝置可沿第二刻劃線移動(dòng)，第一刻劃線形成裝置在貼合基板第一表面上形成第一刻劃線，第二貼合基板保持裝置和第一貼合基板壓緊裝置彼此相對(duì)且貼合基板位于其間，以及第二刻劃線形成裝置在貼合基板第二表面上形成第二刻劃線。
劃線步驟和斷裂步驟幾乎同時(shí)完成。因此，貼合基板分?jǐn)嗖襟E時(shí)間減少。
本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒òㄒ韵虏襟E(a)在一脆性基板第一表面上形成一刻劃線；以及(b)沿刻劃線斷裂脆性基板，而步驟(b)包括步驟(b-1)當(dāng)脆性基板第一表面被保持時(shí)，沿刻劃線移動(dòng)一作用在與脆性基板第一表面相對(duì)的脆性基板第二表面上的壓緊力，籍此實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的上述目標(biāo)。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，步驟(b)可通過(guò)一用于沿刻劃線而斷裂所述脆性基板的斷裂設(shè)備完成，該斷裂設(shè)備可包括一用于壓緊脆性基板第二表面的壓緊裝置；和一用于保持脆性基板第一表面的第一保持裝置，而步驟(b-1)可包括當(dāng)?shù)谝槐３盅b置和壓緊裝置彼此相對(duì)且脆性基板位于其間時(shí)沿刻劃線移動(dòng)壓緊裝置的步驟。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，步驟(b-1)可包括對(duì)壓緊裝置進(jìn)行控制從而使得壓緊裝置沿刻劃線滾動(dòng)的步驟。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，所述壓緊裝置可為輥?zhàn)印?br> 根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，所述壓緊裝置可為傳送帶。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，所述壓緊裝置可為一軸承。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，可有一凹槽部分形成于壓緊裝置內(nèi)使得壓緊裝置不接觸脆性基板第二表面上的一與刻劃線相對(duì)的線。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，步驟(b)可進(jìn)一步包括步驟(b-2)當(dāng)?shù)谝槐３盅b置和壓緊裝置彼此相對(duì)且脆性基板位于位于其間時(shí)，控制第一保持裝置，使得第一保持裝置沿刻劃線移動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，步驟(b-2)可包括對(duì)第一保持裝置進(jìn)行控制，使得第一保持裝置沿刻劃線滾動(dòng)的步驟。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，所述保持裝置可為輥?zhàn)印?br> 根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒ǎ霰３盅b置可為傳送帶。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，所述保持裝置可為軸承。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒ǎ捎幸话疾鄄糠中纬捎诘谝槐３盅b置內(nèi)從而使得第一保持裝置不接觸刻劃線。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒ǎ纬捎诘谝槐３盅b置內(nèi)的凹槽部分的寬度可大于壓緊裝置的寬度。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，壓緊裝置可沿刻劃線在第一方向上移動(dòng)并且可進(jìn)一步包括用于從壓緊裝置在第一方向上保持脆性基板的一第二保持裝置和一第三保持裝置，而步驟(b)可進(jìn)一步包括下一步驟(b-3)控制第二保持裝置，使得在第二保持裝置保持脆性基板的同時(shí)，第二保持裝置在第一表面上沿刻劃線移動(dòng)，以及控制第三保持裝置，使得在第三保持裝置保持脆性基板的同時(shí)，第三保持裝置在第二表面上沿刻劃線移動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，步驟(b-3)可包括以下步驟當(dāng)?shù)诙３盅b置和第三保持裝置彼此相對(duì)且脆性基板位于其間時(shí)，對(duì)第二保持裝置進(jìn)行控制，使得第一保持裝置和第二保持裝置以一預(yù)定速度移動(dòng)，以及對(duì)第三保持裝置進(jìn)行控制，使得第三保持裝置和壓緊裝置以所述預(yù)定速度移動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒ǎ瑝壕o裝置可沿刻劃線在第一方向上移動(dòng)，并且可進(jìn)一步包括用于從壓緊裝置在與第一方向相反的方向上保持脆性基板的一個(gè)第四保持裝置和一個(gè)第五保持裝置。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，步驟(a)可以包括以下步驟(a-1)發(fā)射激光束至脆性基板第一表面；以及(a-2)冷卻由激光束發(fā)射裝置發(fā)射的激光束所照射脆性基板第一表面部位的附近。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，步驟(a-2)可以通過(guò)冷卻介質(zhì)完成，并且冷卻裝置是冷卻噴嘴，并且所述冷卻噴嘴通過(guò)噴射冷卻介質(zhì)至脆性基板第一表面上而對(duì)激光束照射部位的周圍進(jìn)行冷卻。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒ǎ渲胁襟E(a-1)可以通過(guò)一激光束發(fā)射裝置完成，并且可以包括接受由激光束發(fā)射裝置發(fā)射的激光束和由冷卻噴嘴噴射的介質(zhì)兩者中的至少一種的步驟。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，接受由激光束發(fā)射裝置發(fā)射激光束和由冷卻噴嘴噴射的介質(zhì)兩者中的至少一種的步驟可以通過(guò)一激光束/冷卻介質(zhì)接受部分完成，并且該激光束/冷卻介質(zhì)接受部分可以獨(dú)立于緊裝置活動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，冷卻噴嘴可沿著刻劃線活動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒ǎ襟E(a)可以進(jìn)一步包括一個(gè)在脆性基板第一表面上的開始形成刻劃線的位置處形成一切口的步驟。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒ǎ纬梢磺锌诘牟襟E可以由一切口形成刀具機(jī)構(gòu)完成，并且該切口形成刀具機(jī)構(gòu)可以和所述激光束發(fā)射裝置和所述冷卻裝置一體地運(yùn)動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，步驟(a)可以由一刻劃線形成裝置完成，并且該刻劃線形成裝置是一個(gè)刀具。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，該刀具可能是一盤狀刀輪尖，并且一刃部形成于刀輪尖的外部圓周邊緣處。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，可以以一預(yù)定距離在刃部的脊形部分內(nèi)形成多個(gè)凹下部分。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，該刀具可以相?duì)于壓緊裝置獨(dú)立地運(yùn)動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，步驟(b-1)可以對(duì)所述壓緊裝置進(jìn)行控制，當(dāng)?shù)谝槐３盅b置和壓緊裝置彼此相對(duì)且脆性基板位于其間時(shí)以及當(dāng)刻劃線形成裝置在脆性基板第一表面上形成刻劃線時(shí)，使得所述壓緊裝置沿著刻劃線移動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，步驟(a)可以進(jìn)一步下一步驟當(dāng)脆性基板第一表面被保持住時(shí)在脆性基板第一表面上形成刻劃線，而步驟(b)可以進(jìn)一步包括下一步驟壓緊與脆性基板第一表面相對(duì)立的第二表面。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒ǎ龃嘈曰蹇梢允峭ㄟ^(guò)對(duì)基板進(jìn)行貼合而獲得的貼合基板，所述刻劃設(shè)備包括一個(gè)用于在貼合基板第一表面上形成一第一刻劃線的第一刻劃形成裝置以及一個(gè)用于在與貼合基板第一表面相對(duì)的貼合基板第二表面上形成一第二刻劃線的第二刻劃線形成裝置。并且步驟(b-1)可以包括以下步驟沿著由第一刻劃線形成裝置在貼合基板第一表面上形成的第一刻劃線而斷裂貼合基板，以及沿著由第二刻劃線形成裝置在貼合基板第二表面上形成的第二刻劃線而斷裂貼合基板，以及當(dāng)貼合基板第一表面被保持時(shí)沿著所述刻劃線移動(dòng)作用在與貼合基板第一表面相對(duì)的貼合基板第二表面上的壓緊力。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，步驟(b)可通過(guò)用于沿刻劃線斷裂脆性基板的一斷裂設(shè)備完成，該斷裂設(shè)備可包括一用于壓緊貼合基板第一表面的第一貼合基板壓緊裝置；一用于壓緊貼合基板第二表面的第二貼合基板壓緊裝置；一用于保持貼合基板第一表面的第一貼合基板保持裝置；一用于保持貼合基板第二表面的第二貼合基板保持裝置；而步驟(b-1)可包括以下步驟對(duì)第二貼合基板壓緊裝置進(jìn)行控制，使得當(dāng)?shù)谝毁N合基板保持裝置和第二貼合基板保持裝置彼此相對(duì)且貼合基板位于其間時(shí)，第二貼合基板壓緊裝置沿第一刻劃線移動(dòng)；以及對(duì)第一貼合基板壓緊裝置進(jìn)行控制，使得當(dāng)?shù)诙N合基板保持裝置和第一貼合基板保持裝置彼此相對(duì)且貼合基板位于其間時(shí)第一貼合基板壓緊裝置沿第二刻劃線移動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，步驟(b-1)可包括以下步驟控制第二貼合基板壓緊裝置，使得第二貼合基板壓緊裝置沿第一刻劃線滾動(dòng)；以及控制第一貼合基板壓緊裝置，使得第一貼合基板壓緊裝置沿第二刻劃線滾動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，第一貼合基板壓緊裝置和第二貼合基板壓緊裝置可為輥?zhàn)印?br> 根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，所述壓緊裝置可為傳送帶。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒ǎ鰤壕o裝置可為軸承。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒ǎ捎梢坏谝话疾鄄糠中纬捎诘诙N合基板壓緊裝置內(nèi)，使得第二貼合基板壓緊裝置不接觸貼合基板第二表面上一與第一刻劃線相對(duì)的線，并且一第二凹槽部分形成于第一貼合基板壓緊裝置內(nèi)，使得第一貼合基板壓緊裝置不接觸貼合基板第一表面上一與第二刻劃線相對(duì)的線。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，步驟(b)可進(jìn)一步包括下列步驟(b-2)當(dāng)?shù)谝毁N合基板保持裝置和第二貼合基板壓緊裝置彼此相對(duì)且貼合基板位于其間時(shí)，對(duì)第一貼合基板保持裝置進(jìn)行控制，使得第一貼合基板保持裝置沿第一刻劃線移動(dòng)，以及，當(dāng)?shù)诙N合基板保持裝置和第一貼合基板壓緊裝置彼此相對(duì)且貼合基板位于其間時(shí)，對(duì)第二貼合基板保持基板進(jìn)行控制，使得第二貼合基板保持裝置沿第二刻劃線移動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒ǎ襟E(b-2)可包括下列步驟對(duì)第一貼合基板保持裝置進(jìn)行控制，使得第一貼合基板保持裝置沿第一刻劃線滾動(dòng)；以及，對(duì)第二貼合基板保持裝置進(jìn)行控制，使得第二貼合基板保持裝置沿第二刻劃線滾動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒ǎ谝毁N合基板保持裝置和第二貼合基板保持裝置可為輥?zhàn)印?br> 根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，第一貼合基板保持裝置和第二貼合基板保持裝置可為傳送帶。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，第一貼合基板保持裝置和第二貼合基板保持裝置可為軸承。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，可有一第三凹槽部分形成于第一貼合基板保持裝置內(nèi)，使得第一貼合基板保持裝置不接觸第一刻劃線，以及可有一第四凹槽部分形成于第二貼合基板保持裝置內(nèi)，使得第二貼合基板保持裝置不接觸第二刻劃線。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，形成于第一貼合基板保持裝置內(nèi)的第三凹槽部分的寬度可大于第二貼合基板壓緊裝置的寬度，而形成于第二貼合基板保持裝置內(nèi)第四凹槽部分的寬度可大于第一貼合基板壓緊裝置內(nèi)的寬度。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，第一貼合基板壓緊裝置和第二基板壓緊裝置可以分別沿第一刻劃線和第二刻劃線在第一方向上移動(dòng)，而所述脆性基板分?jǐn)喾椒蛇M(jìn)一步包括使用一個(gè)第三貼合基板保持裝置和一個(gè)第四貼合基板保持裝置，分別用于從第一貼合基板壓緊裝置和第二貼合基板壓緊裝置在所述第一方向上保持脆性基板，而步驟(b)可進(jìn)一步包括下一步驟(b-3)對(duì)第三貼合基板保持裝置進(jìn)行控制，使得在第三貼合基板保持裝置保持所述貼合基板的同時(shí)，第三貼合基板保持裝置在第一表面上沿刻劃線移動(dòng)，以及對(duì)第四貼合基板保持裝置進(jìn)行控制，使得在第四貼合基板保持裝置保持貼合基板的同時(shí)，第四貼合基板保持裝置在第二表面上沿第二刻劃線移動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，步驟(b-3)可包括下一步驟當(dāng)?shù)谌N合基板保持裝置和第四貼合基板保持裝置彼此相對(duì)且貼合基板位于其間時(shí)，對(duì)第三貼合基板保持裝置進(jìn)行控制，使得第三貼合基板保持裝置、第一貼合基板保持裝置和第一貼合基板壓緊裝置以一預(yù)定速度移動(dòng)，以及用于所述保持裝置的第三控制裝置對(duì)第四貼合基板保持裝置進(jìn)行控制，使得第四貼合基板保持裝置、第二貼合基板保持裝置和第二貼合基板壓緊裝置以所述預(yù)定速度移動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒?，第一貼合基板壓緊裝置可沿第二刻劃線在第一方向上移動(dòng)，第二貼合基板壓緊裝置沿第一刻劃線在第一方向上移動(dòng)，而脆性基板分?jǐn)喾椒蛇M(jìn)一步包括使用一個(gè)第五貼合基板保持裝置和一個(gè)第六貼合基板保持裝置，分別用于從第一貼合基板壓緊裝置和第二貼合基板壓緊裝置在與第一方向相反的方向上保持所述脆性基板。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)喾椒砂ㄏ乱徊襟E當(dāng)?shù)谝毁N合基板保持裝置和第二貼合基板保持裝置彼此相對(duì)且貼合基板位于其間時(shí)，對(duì)第二貼合基板壓緊裝置進(jìn)行控制，使得第二貼合基板壓緊裝置沿第一刻劃線移動(dòng)，以及對(duì)第一貼合基板壓緊裝置進(jìn)行控制，使得第一貼合基板壓緊裝置沿刻劃線移動(dòng)，第一刻劃線形成裝置在貼合基板第一表面上形成第一刻劃線，第二貼合基板保持裝置和第一貼合基板壓緊裝置彼此相對(duì)且貼合基板位于其間，且第二刻劃線形成裝置在貼合基板第二表面上形成第二刻劃線。


圖1為一透視圖，示意性地示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例1的分?jǐn)嘣O(shè)備100的結(jié)構(gòu)。
圖2為一正視圖，示出劃線單元40和斷裂單元30的結(jié)構(gòu)。
圖3為一示出壓緊機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)的正視圖。
圖4為一示出一基板保持輥?zhàn)拥臋M截面視圖。
圖5為一示出一壓緊機(jī)構(gòu)的橫截面視圖。
圖5A為一示出一壓緊傳送帶機(jī)構(gòu)32a’的透視圖，壓緊傳送帶機(jī)構(gòu)32a’為壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)32的另一例子。
圖6為一示出一種狀態(tài)的視圖，其中，一激光束/冷卻水接受部件35的中心部分與激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)43的光軸相匹配，并且冷卻機(jī)構(gòu)的一噴嘴部件42a由一用于上/下移動(dòng)的氣缸42b移動(dòng)到一個(gè)位于高處的冷卻水噴射位置。
圖7示出斷裂單元30和劃線單元40彼此相對(duì)的狀態(tài)。
圖8為一示出一種狀態(tài)的視圖，其中，位于基板保持輥?zhàn)?5a寬度方向兩側(cè)上的平坦側(cè)邊緣部分，壓在形成于玻璃基板90上的刻劃線兩側(cè)上?；灞３州?zhàn)?5a具有一個(gè)V形凹陷的外圓周表面。
圖9為一示出分?jǐn)嘣O(shè)備100的另一例子的視圖。
圖10示意性示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例2的一斷裂單元30和一劃線單元40。
圖11示出，當(dāng)一壓緊輥?zhàn)?2a循序地緊壓由一基板保持輥?zhàn)?5a所保持的玻璃基板90的刻劃線兩側(cè)部分時(shí)，玻璃基板90沿刻劃線被分?jǐn)唷?br> 圖12為一示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例3的一分?jǐn)嘣O(shè)備的透視圖。
圖13為一正視圖，示出包含于根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例3分?jǐn)嘣O(shè)備內(nèi)的一斷裂單元30和一劃線單元40。
圖14為一示出一種狀態(tài)的視圖，在所述狀態(tài)中，激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)43的光軸與一切口相匹配，而一激光束/冷卻水接受部件35的中心部分與激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)43的光軸相匹配。
圖15為一正視圖，示出設(shè)置在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例4的分?jǐn)嘣O(shè)備內(nèi)的一斷裂單元30和一劃線單元40。
圖16為一示出一種狀態(tài)的視圖，其中，一壓緊輥?zhàn)?2a和一基板保持輥?zhàn)?5a彼此相對(duì)且一玻璃基板90位于其間。
圖17為一正視圖，示出設(shè)置在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例5的分?jǐn)嘣O(shè)備內(nèi)的一斷裂單元30和一劃線單元40的結(jié)構(gòu)。
圖18示意性地示出根據(jù)實(shí)施例7的分?jǐn)嘣O(shè)備的結(jié)構(gòu)。
圖19圖示根據(jù)實(shí)施例7的分?jǐn)嘣O(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)。
圖20為一流程圖，示出用于分?jǐn)喔鶕?jù)本發(fā)明多個(gè)實(shí)施例的分?jǐn)嗷宓倪^(guò)程。
圖21為一正視圖，示出設(shè)置在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例8的分?jǐn)嘣O(shè)備內(nèi)的斷裂單元30和劃線單元40的結(jié)構(gòu)。
具體實(shí)施例方式
下面，將參考附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例作詳細(xì)說(shuō)明。
<實(shí)施例1>
1.分?jǐn)嘣O(shè)備圖1為一透視圖，示意性地示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例1的分?jǐn)嘣O(shè)備100的結(jié)構(gòu)。
分?jǐn)嘣O(shè)備100例如是用于將一玻璃基板90分?jǐn)嘀令A(yù)定尺寸。玻璃基板90為一用于液晶顯示屏的脆性基板。分?jǐn)嘣O(shè)備100包括一底座18以及一對(duì)設(shè)置在底座18上的底座支撐機(jī)構(gòu)20。待分?jǐn)嗟牟ＡЩ?0呈水平狀態(tài)保持于所述一對(duì)底座支撐機(jī)構(gòu)20之上。玻璃基板90呈橋狀支撐于所述一對(duì)基板支撐機(jī)構(gòu)20之間。
分?jǐn)嘣O(shè)備100進(jìn)一步包括一支撐臺(tái)21和多個(gè)運(yùn)輸輥?zhàn)?2。所述的一對(duì)基板支撐機(jī)構(gòu)20包含呈水平狀態(tài)設(shè)置于底座18上的所述支撐臺(tái)21以及可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置于支撐臺(tái)21上部處的所述多個(gè)運(yùn)輸輥?zhàn)?2。
例如，在所述一對(duì)支撐臺(tái)21的至少一個(gè)內(nèi)形成多個(gè)吸孔(未示出)。一吸附裝置(如，未示出的一真空泵或吸附馬達(dá))通過(guò)多個(gè)吸孔吸住玻璃基板90。這樣玻璃基板90被吸附在支撐臺(tái)21上。因此，玻璃基板90被保持在所述一對(duì)支撐臺(tái)21的至少一個(gè)上。
所述多個(gè)運(yùn)輸輥?zhàn)?2排列成多個(gè)列(圖1中為兩列)。所述多個(gè)列相互平行。每列中的各運(yùn)輸輥?zhàn)右砸活A(yù)定間距排列。所述多個(gè)運(yùn)輸輥?zhàn)?2由一上/下裝置(未示出)上下移動(dòng)。所述多個(gè)運(yùn)輸輥?zhàn)?2向上移動(dòng)，使得所述多個(gè)運(yùn)輸輥?zhàn)拥纳喜糠滞钩鲋粮哂谥闻_(tái)21的上表面。當(dāng)所述多個(gè)運(yùn)輸輥?zhàn)?2的上部分凸出到高于支撐臺(tái)21的上表面時(shí)，所述多個(gè)運(yùn)輸輥?zhàn)?2轉(zhuǎn)動(dòng)，使得玻璃基板90水平地從一個(gè)基板支撐機(jī)構(gòu)20的支撐臺(tái)21傳送到另一基板支撐機(jī)構(gòu)20的支撐臺(tái)21上。所述多個(gè)運(yùn)輸輥?zhàn)?2向下移動(dòng)，使得多個(gè)運(yùn)輸輥?zhàn)?2降低到低于支撐臺(tái)21的上表面。
分?jǐn)嘣O(shè)備100進(jìn)一步包括一斷裂單元30、一劃線單元40、一上導(dǎo)軌12、一下導(dǎo)軌13、一對(duì)支柱11、以及一對(duì)滑動(dòng)件。斷裂單元30和劃線單元40置于所述一對(duì)基板支撐機(jī)構(gòu)20之間用于分?jǐn)嗖ＡЩ?0。斷裂單元30和劃線單元40分別可滑動(dòng)地連接上導(dǎo)軌12和下導(dǎo)軌13。斷裂單元30和刻劃單元40的結(jié)構(gòu)將參考附圖在下文中詳細(xì)說(shuō)明。
上導(dǎo)軌12和下導(dǎo)軌13沿X方向設(shè)置，或者與所述一對(duì)基板支撐機(jī)構(gòu)20輸送玻璃基板的輸送方向垂直。上導(dǎo)軌12的各端部呈水平狀態(tài)跨接于所述一對(duì)支柱11上部之間，所述一對(duì)支柱11以豎直狀態(tài)設(shè)置在底座18上。導(dǎo)軌13的各端部呈水平狀態(tài)跨接于所述一對(duì)支柱11下部之間。例如，斷裂單元30和劃線單元40分別由一線性電機(jī)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)而沿所述上導(dǎo)軌12和下導(dǎo)軌13滑動(dòng)。
所述一對(duì)支柱11中的每一個(gè)都設(shè)置于底座18的上表面上。所述一對(duì)支柱11中的每一個(gè)都能夠沿滑動(dòng)件14而在與上導(dǎo)軌12和下導(dǎo)軌13的縱向垂直的方向上滑動(dòng)。所述一對(duì)支柱11中的每一個(gè)都與上導(dǎo)軌12和下導(dǎo)軌13成一個(gè)整體。當(dāng)由滑動(dòng)件14支撐的所述一對(duì)支柱11滑動(dòng)時(shí)，上導(dǎo)軌12和下導(dǎo)軌11一體地滑動(dòng)。
分?jǐn)嘣O(shè)備100進(jìn)一步包括一用于線性插值(linear interpolation)的驅(qū)動(dòng)部件。用于線性插值的驅(qū)動(dòng)部件縱向地設(shè)置在下導(dǎo)軌13的中心部分之下，下導(dǎo)軌13設(shè)置在各支柱11的下部之間。用于線性插值的驅(qū)動(dòng)部件包括一滾珠絲杠15，滾珠絲杠15沿著與下導(dǎo)軌13的縱向垂直的Y方向。滾珠絲杠15由一馬達(dá)16驅(qū)動(dòng)而前后轉(zhuǎn)動(dòng)。在滾珠絲杠15中，一球狀螺母(未示出)在所述縱向連接至下導(dǎo)軌13的中心部分。該球狀螺母與滾珠絲杠15嚙合。當(dāng)滾珠絲杠15由馬達(dá)16驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，一沿著玻璃基板90傳送方向的力施加至下導(dǎo)軌13。結(jié)果，由滑動(dòng)件14支撐成可滑動(dòng)的所述一對(duì)支柱11沿著與上導(dǎo)軌12和下導(dǎo)軌13縱向垂直的Y方向滑動(dòng)。
分?jǐn)嘣O(shè)備100進(jìn)一步包括一對(duì)定位攝影機(jī)17。所述一對(duì)定位攝影機(jī)17位于上導(dǎo)軌12附近且與在上導(dǎo)軌12的縱向上與導(dǎo)軌12有一適當(dāng)間距。當(dāng)玻璃基板90定位時(shí)，所述一對(duì)定位攝影機(jī)17捕捉設(shè)置在玻璃基板90上的定位標(biāo)記。
圖2為一正視圖，示出劃線單元40和斷裂單元30的結(jié)構(gòu)。
下面，將參考圖2對(duì)劃線單元40的結(jié)構(gòu)作詳細(xì)說(shuō)明。
劃線單元40包括一單元體部41、一用于向上噴射冷卻介質(zhì)的冷卻機(jī)構(gòu)42和一用于向上發(fā)射激光束的激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)43。
單元體部41連接至下導(dǎo)軌13，從而能夠滑動(dòng)。冷卻機(jī)構(gòu)42大致設(shè)置在單元體部41的中心部分處。激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)43設(shè)置在冷卻機(jī)構(gòu)42的一側(cè)。
激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)43發(fā)射激光束至由所述處于跨接狀態(tài)的一對(duì)基板支撐機(jī)構(gòu)20所支撐的玻璃基板90上。一切口形成刀具機(jī)構(gòu)44相對(duì)于激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)43位于冷卻機(jī)構(gòu)42的另一側(cè)。
冷卻機(jī)構(gòu)42噴射冷卻介質(zhì)(如，冷卻液)至激光束照射部位附近，從而冷卻被激光束照射的部分。冷卻機(jī)構(gòu)42包括一用于向上噴射冷卻介質(zhì)的噴嘴部件42a和一氣缸42b。氣缸42b使得噴嘴部件42a在一個(gè)噴射位置和一個(gè)等待位置之間移動(dòng)。所述噴射位置鄰近玻璃基板90，噴嘴部件42a在此處噴射冷卻介質(zhì)。等待位置是一個(gè)位于玻璃基板90下一段距離的位置。
冷卻介質(zhì)并不限于冷卻液，只要冷卻介質(zhì)能夠冷卻被激光束照射的部分即可。冷卻介質(zhì)包括，例如，蒸氣和液體其中的至少一種。所述蒸氣包括，例如，壓縮空氣，氦和氬等。所述液體包括，例如，水和液氦等。例如，冷卻介質(zhì)為這些蒸氣和液體的混合物。
一激光束照射在玻璃基板90上，而被激光束照射部分附近被冷卻，使得形成帶豎直裂紋的刻劃線。因此，在分?jǐn)嗝娴倪吘壧幉粫?huì)留有應(yīng)力形變。結(jié)果，當(dāng)將已分?jǐn)嗟拇嘈曰鍙姆謹(jǐn)嘣O(shè)備100運(yùn)輸?shù)狡渌O(shè)備時(shí)，能夠防止形成于玻璃基板90上的分?jǐn)嗝娌糠炙榱?，所述其它設(shè)備用于分?jǐn)嗖ＡЩ?0之后的步驟。
當(dāng)冷卻介質(zhì)由冷卻噴嘴噴射到玻璃基板90上時(shí)，玻璃基板90一預(yù)定區(qū)域被完全冷卻。
切口形成刀具機(jī)構(gòu)44形成一作為觸發(fā)點(diǎn)(trigger)的切口，該觸發(fā)點(diǎn)用于沿玻璃基板90的待刻劃線形成一豎直裂紋，該切口形成于玻璃基板90的劃線開始位置。切口形成刀具44包括一刃部44a、一支架44b和一用于向上/向下移動(dòng)所述刃部44a的氣缸44c。刃部44a沿劃線單元40的滑動(dòng)方向設(shè)置。刃部44a連接至具有一朝上脊部的支架44b上的刃部。刃部44a由氣缸44c上/下移動(dòng)用于在單元體部41內(nèi)上/下移動(dòng)。
在劃線單元40內(nèi)，有一個(gè)基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)45、一個(gè)第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)46和一個(gè)第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)47相對(duì)于冷卻機(jī)構(gòu)42設(shè)置在激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)43的相對(duì)側(cè)。第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)46位于基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)45和冷卻機(jī)構(gòu)42之間。第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)47相對(duì)于基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)45位于所述第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)46的相對(duì)側(cè)。基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)45和第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)47連接至單元體部41。
基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)45包括一個(gè)輥?zhàn)颖３旨?、一個(gè)基板保持輥?zhàn)?5a和一個(gè)頭部45b?；灞３州?zhàn)訖C(jī)構(gòu)45，例如，具有與下文將要描述的一壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)32相類似的結(jié)構(gòu)。
基板保持輥?zhàn)?5a連接至輥?zhàn)颖３旨埽瑥亩軌蜣D(zhuǎn)動(dòng)?；灞３州?zhàn)?5a的軸向?yàn)榇怪庇趧澗€單元40滑動(dòng)方向(X方向)的Y方向。基板保持輥?zhàn)?5a的結(jié)構(gòu)將參考附圖在下文中詳細(xì)說(shuō)明。頭部45b由一馬達(dá)(未示出)驅(qū)動(dòng)而向上/向下移動(dòng)。
第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)46包括一個(gè)第一輔助輥?zhàn)?6a和一個(gè)用于向上/向下移動(dòng)的氣缸46b。第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)46可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接至用于向上/向下移動(dòng)的氣缸46b的上部末端部分，氣缸46b連接至單元體部41。第一輔助輥?zhàn)?6a的軸向?yàn)榇怪庇诳虅潌卧?0滑動(dòng)方向(X方向)的Y方向。
第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)47包括一個(gè)第二輔助輥?zhàn)?7a和一個(gè)用于向上/向下移動(dòng)的氣缸47b。第二輔助輥?zhàn)?7a可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接至氣缸47b的上部邊緣部分，用于向上/向下移動(dòng)。第二輔助輥?zhàn)?7a的軸向?yàn)榇怪庇诳虅潌卧?0滑動(dòng)方向(X方向)的Y方向。第二輔助輥?zhàn)?7a臨近基板保持輥?zhàn)?5a設(shè)置。第一輔助輥?zhàn)?6a與基板保持輥?zhàn)?5a的距離大于基板保持輥?zhàn)?5a和第二輔助輥?zhàn)?7a之間的間距。
下面，將參考圖2對(duì)斷裂單元30的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
斷裂單元30設(shè)置在上導(dǎo)軌12上。斷裂單元30包括一個(gè)斷裂單元體部31、一個(gè)壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)32、一個(gè)位于壓緊側(cè)的第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)33、以及一個(gè)位于壓緊側(cè)上的第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)34。
斷裂單元體部31能夠相對(duì)于上導(dǎo)軌12滑動(dòng)。壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)32、位于壓緊側(cè)的第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)33和位于壓緊側(cè)的第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)34連接至斷裂單元體部31。壓緊側(cè)的第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)33位于壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)32的一側(cè)。壓緊側(cè)的第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)34相對(duì)于壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)32位于壓緊側(cè)的第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)33的相對(duì)側(cè)。
當(dāng)壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)32移動(dòng)至一個(gè)與基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)45相對(duì)的位置時(shí)，壓緊側(cè)的第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)33設(shè)置在一個(gè)與壓緊側(cè)的第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)47相對(duì)的位置，而壓緊側(cè)的第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)34設(shè)置在一個(gè)與第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)46相對(duì)的位置。在下文中將參考附圖對(duì)壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)32的結(jié)構(gòu)作詳細(xì)說(shuō)明。
壓緊側(cè)的第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)33包括一個(gè)位于壓緊側(cè)的第一輔助輥?zhàn)?3a和一個(gè)氣缸33b。壓緊側(cè)的第一輔助輥?zhàn)?3a可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接至氣缸33b的下邊緣部分。當(dāng)玻璃基板90斷裂時(shí)，壓緊側(cè)的第一輔助輥?zhàn)?3a與第二輔助輥?zhàn)?7a相對(duì)。
壓緊側(cè)的第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)34包括一個(gè)位于壓緊側(cè)的第二輔助輥?zhàn)?4a和一個(gè)氣缸34b，壓緊側(cè)的第二輔助輥?zhàn)?4a可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接至氣缸34b的下邊緣部分。當(dāng)玻璃基板90斷裂時(shí)，壓緊側(cè)的第二輔助輥?zhàn)?4a與第一輔助輥?zhàn)?6a相對(duì)。
斷裂單元30進(jìn)一步包括一個(gè)激光束/冷卻水接受部件35。激光束/冷卻水接受部件35接受由一個(gè)激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)43發(fā)射的激光束和由處在相對(duì)于壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)32位于第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)33的相對(duì)側(cè)的冷卻機(jī)構(gòu)42所噴射的冷卻水。
在本發(fā)明的具體實(shí)施例1中，斷裂單元30至連接上導(dǎo)軌12，能夠滑動(dòng)；而劃線單元40連接至下導(dǎo)軌13，也能夠滑動(dòng)以便滑動(dòng)。但是，分?jǐn)嘣O(shè)備100的結(jié)構(gòu)并不限定為此。斷裂單元30可連接至下導(dǎo)軌13且劃線單元40可連接上導(dǎo)軌12。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)(分?jǐn)嘣O(shè)備100)，當(dāng)?shù)谝槐３盅b置(保持機(jī)構(gòu))保持脆性基板(玻璃基板90)第一表面且壓緊裝置壓緊脆性基板第二表面時(shí)，一壓緊裝置(壓緊機(jī)構(gòu))沿形成于脆性基板第一表面上的刻劃線移動(dòng)。因此，沿著脆性基板第二表面的刻劃線施加一壓緊力，該第二表面與其上形成有刻劃線的脆性基板第一表面相對(duì)。結(jié)果，一彎矩施加于脆性基板，使得一從刻劃線延伸而來(lái)的豎直裂紋在基板厚度方向延伸，從而分?jǐn)啻嘈曰濉?br> 圖3為一示出壓緊機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)的正視圖。
圖3(a)為一示出壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)32的正視圖。
壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)32包括一壓緊輥?zhàn)?2a、一氣缸32b、一頭部32d、一滑動(dòng)塊32e，一輥?zhàn)颖３旨?2f，一支軸32g，一軸承32h和一止擋32k。
滑動(dòng)塊32e可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接至頭部32d。設(shè)置在頭部32d內(nèi)的氣缸32b施加一驅(qū)動(dòng)力至滑動(dòng)塊32e。輥?zhàn)颖３旨?2f由軸承32h連接至滑動(dòng)塊32e，從而能夠繞豎軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
輥?zhàn)颖３旨?2f在滑動(dòng)件32e下方凸出。支軸32g呈水平狀態(tài)設(shè)置在輥?zhàn)颖３旨?2f的下邊緣部分上。
壓緊輥?zhàn)?2a在支軸32g上設(shè)置成可轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)玻璃基板90斷裂時(shí)，壓緊輥?zhàn)?2a和基板保持輥?zhàn)?5a相對(duì)。
所述止擋32k設(shè)置在所述頭部32d內(nèi)。當(dāng)壓緊輥?zhàn)咏佑|玻璃基板90時(shí)，止擋32k檢測(cè)頭部32d的高度。頭部32d由壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)的一馬達(dá)(未示出)向下移動(dòng)。當(dāng)壓緊輥?zhàn)?2a以一預(yù)定的力接觸玻璃基板90的上表面時(shí)，所述止擋32k和滑動(dòng)塊之間有微電流流過(guò)。止擋32k檢測(cè)從滑動(dòng)塊32e和止擋32k接觸的狀態(tài)到滑動(dòng)件32e和止擋32分離的狀態(tài)的變化。止擋32k還用作滑動(dòng)塊32e旋轉(zhuǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)的止擋。
當(dāng)檢測(cè)到所述狀態(tài)變化時(shí)，即從滑動(dòng)件32e和止擋32k接觸的狀態(tài)變化到滑動(dòng)件32e和止擋32k分離的狀態(tài)，頭部32d在z方向的位置由一控制器計(jì)算。該控制器驅(qū)動(dòng)一馬達(dá)，使得馬達(dá)向上/向下移動(dòng)頭部32d。例如，當(dāng)壓緊輥?zhàn)?2a接觸玻璃基板90時(shí)，計(jì)算頭部32d相對(duì)于玻璃基板90一表面在豎直方向(Z方向)的位置(原點(diǎn)位置)。壓緊輥?zhàn)?2a壓入玻璃基板的量(距離)基于該原點(diǎn)位置設(shè)定。
除了基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)45在豎直方向反向之外，基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)45的結(jié)構(gòu)與壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)32的結(jié)構(gòu)類似。
當(dāng)一壓緊裝置(例如，壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)32)沿刻劃線滾動(dòng)時(shí)，壓緊裝置可沿刻劃線容易地移動(dòng)。
當(dāng)壓緊裝置為一輥?zhàn)?，壓緊裝置可沿刻劃線容易地移動(dòng)。
圖3(b)示出一壓緊傳送帶機(jī)構(gòu)32’，壓緊傳送帶機(jī)構(gòu)32’為壓緊機(jī)構(gòu)32的另一例子。
壓緊傳送帶機(jī)構(gòu)32’包括一個(gè)壓緊傳送帶32a’、一個(gè)氣缸32b、一個(gè)頭部32d、滑動(dòng)塊32e，一個(gè)傳送帶保持架32f’、兩根支軸32g’、一軸承32h和一個(gè)止擋32k。除了壓緊傳送帶機(jī)構(gòu)32’包含壓緊傳送帶32’和傳送帶保持架32f’來(lái)代替壓緊輥?zhàn)?2a和輥?zhàn)颖３旨?2f之外，壓緊傳送帶機(jī)構(gòu)32’的結(jié)構(gòu)與壓緊輥?zhàn)咏Y(jié)構(gòu)32的結(jié)構(gòu)相同。
在圖3(b)中，與圖3(a)中相同的元件采用相同的標(biāo)號(hào)指示，且相關(guān)的說(shuō)明將被省略。
由于傳送帶用作壓緊裝置，所以壓緊裝置可容易地沿刻劃線滾動(dòng)。
圖3(c)示出一壓緊軸承機(jī)構(gòu)32”，其為壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)32的另一例子。
壓緊軸承機(jī)構(gòu)32”包括一對(duì)壓緊軸承32x、一個(gè)氣缸32b、一個(gè)頭部32d、一個(gè)滑動(dòng)塊32e、一個(gè)保持架32f”、一根支軸32g”、一個(gè)軸承32h和一個(gè)止擋32k。除了所述壓緊軸承機(jī)構(gòu)32”包括’壓緊裝置32a”來(lái)代替壓緊輥?zhàn)?2a且包括保持架32f’來(lái)代替輥?zhàn)颖３旨?2f之外，所述壓緊軸承機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)與壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)32的結(jié)構(gòu)相同。
在圖3(c)中，和圖3(a)中相同的元件采用相同的標(biāo)號(hào)指示，且相關(guān)的說(shuō)明將被省略。
由于軸承用作壓緊裝置，所以壓緊裝置可容易地沿刻劃線滾動(dòng)。
圖4為一保持機(jī)構(gòu)的橫截面視圖。
圖4(a)為一基板保持輥?zhàn)?5a的橫截面視圖。
基板保持輥?zhàn)?5a的外圓周表面成形為V形，寬度方向上的中心部分凹進(jìn)，但是寬度方向兩側(cè)的側(cè)邊緣部分不凹下而是平的?；灞３州?zhàn)?5a在寬度方向的尺寸在大約8毫米到大約24毫米之間。基板保持輥?zhàn)?5a通過(guò)橋跨刻劃線而保持刻劃線兩側(cè)的部分，所述部分和刻劃線的間距為約4毫米到12毫米。
基板保持輥?zhàn)?5a通過(guò)所述一對(duì)軸承45d連接至所述支軸，此支軸沿一垂直于劃線單元40滑動(dòng)方向的方向設(shè)置。所述一對(duì)軸承45d的各內(nèi)圓周部分分別從基板保持輥?zhàn)?5a的各端面向外凸出。結(jié)果，連接基板保持輥?zhàn)?5a的支軸能夠容易地從輥?zhàn)颖３旨懿鹦丁?br> 基板保持輥?zhàn)?5a的材料為聚縮醛、聚氨酯橡膠(橡膠硬度Hs 20°至90°)，等等。
圖4(b)為第一輥輔助輥?zhàn)?6a的橫截面視圖。
第一輔助輥?zhàn)?6a的外部圓周表面是平坦的。第一輔助輥?zhàn)?6a通過(guò)所述的一對(duì)軸承46d連接至所述支軸，該支軸沿垂直于劃線單元40滑行方向(X方向)的方向(Y方向)設(shè)置。第一輔助輥?zhàn)?6a在寬度方向的尺寸與基板保持輥?zhàn)?5a在寬度方向的尺寸大致相同。所述一對(duì)軸承46d的各內(nèi)圓周部分分別從第一輔助輥?zhàn)?6a的端面向外凸出。結(jié)果，支軸能夠容易地從輥?zhàn)颖３旨懿鹣隆?br> 第二輔助輥?zhàn)?7a、壓緊側(cè)的第一輔助輥?zhàn)?3a、和壓緊側(cè)的第二輔助輥?zhàn)?4a，例如，也具有和第一輔助輥?zhàn)?6a相同的結(jié)構(gòu)。
當(dāng)?shù)谝槐３盅b置和壓緊裝置(壓緊機(jī)構(gòu))彼此相對(duì)且所述脆性基板位于其間時(shí)，第一保持裝置(保持機(jī)構(gòu))移動(dòng)(滾動(dòng))以從脆性基板的一個(gè)端面到脆性基板的另一端面循序地分?jǐn)啻嘈曰?。因此，分?jǐn)啻嘈曰宥恍枰纬啥鄠€(gè)分?jǐn)嚅_始點(diǎn)。結(jié)果，形成于脆性基板上的分?jǐn)嗝媸蔷鶆虻摹?br> 在輥?zhàn)印魉蛶Щ蜉S承作為第一保持裝置(保持機(jī)構(gòu))情況下，第一保持裝置可沿刻劃線容易地滾動(dòng)。
圖5是壓緊機(jī)構(gòu)的橫截面視圖。
圖5(a)是壓緊輥32a的橫截面視圖。
壓緊輥?zhàn)?2a的外圓周表面在寬度方向上的中心部分拱形凸出。一U形凹槽部分45g形成于外部圓周表面在寬度方向上的中心部分內(nèi)。凹槽部分45g在寬度方向上的尺寸在大約2毫米到6毫米的范圍內(nèi)。壓緊輥?zhàn)?2a的外部圓周表面壓緊距離所述刻劃線有1毫米到3毫米間距的部分。
這樣，凹槽部分45g形成于壓緊輥?zhàn)?2a內(nèi)，使得壓緊輥?zhàn)?2a不接觸其上未形成刻劃線的表面上的一條與刻劃線相對(duì)的線。
壓緊輥?zhàn)?2a通過(guò)所述軸承32x之一可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接至支軸32g(見圖3)，該支軸沿垂直于斷裂單元30滑行方向(X方向)的方向(Y方向)設(shè)置。從而，壓緊輥?zhàn)?2a在寬度方向的長(zhǎng)度大約為基板保持輥?zhàn)?5a和相應(yīng)的輔助輥?zhàn)?6a、47a、33a的長(zhǎng)度的一半。軸承32x的內(nèi)圓周部分也分別地從基板保持輥?zhàn)?5a的各端面向外突出。因此，支軸32g可容易地從輥?zhàn)颖３旨?2f(見圖3)拆下。
壓緊輥?zhàn)?2a的材料為聚縮醛、聚氨酯橡膠(橡膠硬度Hs 20°至90°)，等等。當(dāng)玻璃基板90被分?jǐn)鄷r(shí)，壓緊輥?zhàn)?2a與基板保持輥?zhàn)?5a相對(duì)。在這種情況下，壓緊輥?zhàn)?2a在寬度方向上的中心線與基板保持輥?zhàn)?5a在寬度方向上的中心線相匹配。
脆性基板由壓緊輥?zhàn)?2a和基板保持輥?zhàn)訑U(kuò)張，使得位于所述形成于基板上的刻劃線兩側(cè)的區(qū)域相互分離。由此，當(dāng)刻劃線形成時(shí)產(chǎn)生的一豎直裂紋容易地在脆性基板厚度方向延伸。
圖5(b)為一壓緊傳送帶機(jī)構(gòu)32’的一橫截面視圖，壓緊傳送帶機(jī)構(gòu)32’為壓緊機(jī)構(gòu)32的另一例子。
壓緊傳送帶機(jī)構(gòu)32’的外圓周表面是平坦的，其對(duì)應(yīng)圖5A(b)中示出的傳送帶。所述一對(duì)軸承32x由兩根支軸32g’(見圖3(b))支撐于傳送帶保持架內(nèi)。壓緊傳送帶32a’沿?cái)嗔褑卧?0的滑動(dòng)方向(X方向)設(shè)置，從而能夠環(huán)形運(yùn)動(dòng)。
圖5(c)為一壓緊軸承機(jī)構(gòu)32”的一橫截面視圖，壓緊軸承機(jī)構(gòu)32”為壓緊機(jī)構(gòu)32的另一例子。
壓緊軸承機(jī)構(gòu)32”包括一根支軸32g”和一壓緊裝置32a”。
支軸32g”是有彈性的。支軸32g”包括，例如，工程塑料和工程橡膠中的至少一種。支軸32g”的兩側(cè)部分的外直徑小于支軸32g”中心部分的外直徑。
壓緊裝置32a”包括兩個(gè)壓緊軸承32x。所述兩個(gè)壓緊軸承32x各自通過(guò)壓入支軸32g”的兩側(cè)部分而嵌入。
支軸32g”是有彈性的。因此，當(dāng)形成于脆性基板上的所述刻劃線的兩側(cè)被壓緊裝置32a”壓緊時(shí)，壓緊軸承32x可張開位于所述刻劃線兩側(cè)的區(qū)域，使得形成于基板上的所述刻劃線兩側(cè)的區(qū)域相互分離。結(jié)果，在刻劃線形成時(shí)產(chǎn)生的豎直裂紋容易地在脆性基板厚度方向上延伸。
壓緊軸承機(jī)構(gòu)32”可用作第一保持裝置(保持機(jī)構(gòu))。當(dāng)壓緊軸承機(jī)構(gòu)32”用作第一保持裝置(保持機(jī)構(gòu))時(shí)，兩個(gè)壓緊軸承32x起兩個(gè)保持軸承32x的作用。當(dāng)所述一對(duì)保持軸承32x之間的間距大于壓緊裝置的寬度時(shí)，由于壓緊裝置在保持裝置下行進(jìn)，使得受壓的部分彎曲，所以脆性基板更容易被分?jǐn)唷?br> 圖5A(a)示出一保持傳送帶45a’。保持傳送帶45a’于用作用于第一保持裝置(保持機(jī)構(gòu))的傳送帶。保持傳送帶45a’設(shè)置為能夠沿劃線單元40的滑動(dòng)方向(X方向)環(huán)形運(yùn)動(dòng)。在保持傳送帶45a’中，形成所述凹槽部分45g，使得保持傳送帶45a’不接觸所述刻劃線。
保持傳送帶45a’能擴(kuò)張位于刻劃線兩側(cè)的區(qū)域，使得基板上的刻劃線兩側(cè)的區(qū)域相互分離。結(jié)果，在形成刻劃線時(shí)形成的豎直裂紋容易地在脆性基板厚度方向上延伸。
圖5A(b)為示出一壓緊傳送帶機(jī)構(gòu)32’的透視圖，壓緊傳送帶機(jī)構(gòu)32’為壓緊機(jī)構(gòu)32的另一例子。壓緊傳送帶機(jī)構(gòu)32’的外圓周是平坦的。壓緊傳送帶32a’能夠用作保持傳送帶45a’。
圖5A(c)示出一壓緊傳送帶機(jī)構(gòu)32a’的一透視圖，壓緊傳送帶機(jī)構(gòu)32’為壓緊機(jī)構(gòu)32的另一例子。壓緊傳送帶機(jī)構(gòu)32’設(shè)置成能夠沿著劃線單元40的滑動(dòng)方向(X方向)環(huán)形運(yùn)動(dòng)。凹槽部分45g”形成于壓緊傳送帶機(jī)構(gòu)32a’內(nèi)，使得壓緊傳送帶機(jī)構(gòu)32a’不接觸未形成刻劃線表面上的一條與刻劃線相對(duì)的線。
壓緊傳送帶機(jī)構(gòu)32a’能擴(kuò)張位于刻劃線兩側(cè)的區(qū)域，使得位于所述形成于基板上的刻劃線兩側(cè)的區(qū)域相互分離。結(jié)果，在刻劃線形成是形成的豎直裂紋容易地在脆性基板的厚度方向上延伸。
當(dāng)圖5A(c)中示出的壓緊傳送帶32a’用作壓緊裝置時(shí)，圖5A(a)中示出的保持傳送帶機(jī)構(gòu)45a’用作第一保持裝置，且第一保持裝置的凹槽部分45g’寬于壓緊裝置的寬度，由于壓緊裝置運(yùn)行于第一保持裝置下而使受壓部分彎曲，所以脆性基板更容易分?jǐn)唷?br> 圖9為一示意性示出一結(jié)構(gòu)的透視圖，所述為分?jǐn)嘣O(shè)備100的另一例子。
在作為分?jǐn)嘣O(shè)備100的另一例子的分?jǐn)嘣O(shè)備100’中，斷裂單元30連接至下導(dǎo)軌13而能夠滑動(dòng)，且劃線單元40連接至上導(dǎo)軌12而能夠滑動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)(分?jǐn)嘣O(shè)備100和分?jǐn)嘣O(shè)備100’)，當(dāng)脆性基板(玻璃基板)第一表面被保持時(shí)，一作用在脆性基板第二表面上的壓力沿著形成于脆性基板第一表面上的刻劃線移動(dòng)，該脆性基板第二表面與脆性基板第一表面相對(duì)。以此方式，當(dāng)該壓力沿著形成于脆性基板第一表面上的刻劃線移動(dòng)時(shí)，該壓力施加于脆性基板第二表面上，該第二表面與脆性基板第一表面相對(duì)。因此，一彎矩施加于脆性基板，使得一從刻劃線延伸來(lái)的豎直裂紋在基板厚度方向上延伸，從而分?jǐn)啻嘈曰濉?br> 根據(jù)本發(fā)明的分?jǐn)嘣O(shè)備，其上形成有一刻劃線的玻璃基板90沿所述刻劃線確定地分?jǐn)唷６遥捎诓ＡЩ?0在形成刻劃線之后立即被分?jǐn)?，使得工作效率得到提高。此外，?dāng)玻璃基板90被分?jǐn)鄷r(shí)，不需要的力不會(huì)施加到未被分?jǐn)嗟囊豢虅澗€S上。由于分?jǐn)嗷?0沒有彎曲，所以不存在已分?jǐn)嗷宓亩颂幟娈a(chǎn)生碎屑的可能性。
2.基板分?jǐn)喾椒▓D20示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例分?jǐn)嘁换宓倪^(guò)程。
下面，將逐步對(duì)分?jǐn)嘣O(shè)備100分?jǐn)嗖ＡЩ?0的過(guò)程進(jìn)行說(shuō)明。
分?jǐn)嘣O(shè)備100分?jǐn)嗖ＡЩ?0的過(guò)程包括一各劃線步驟和一個(gè)斷裂步驟。適當(dāng)?shù)貓?zhí)行一初始設(shè)定步驟。
步驟501執(zhí)行初始設(shè)定步驟。初始設(shè)定步驟為一在劃線步驟之前為基板分?jǐn)嘣O(shè)備100設(shè)定初始狀態(tài)的步驟。
當(dāng)初始設(shè)定步驟完成后，進(jìn)行步驟502。
步驟502執(zhí)行刻劃步驟?？虅澆襟E為在玻璃基板上形成一刻劃線的步驟。稍后將對(duì)刻劃步驟作詳細(xì)說(shuō)明。
當(dāng)刻劃步驟完成后，進(jìn)行步驟503。
步驟503執(zhí)行斷裂步驟。斷裂步驟為使其上形成有一刻劃線的玻璃基板90沿所述刻劃線斷裂的步驟。稍后將對(duì)斷裂步驟作詳細(xì)說(shuō)明。
當(dāng)斷裂步驟完成后，所述過(guò)程結(jié)束。
2-1.初始設(shè)定步驟和劃線步驟下面，將說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的初始設(shè)定步驟(步驟501)和劃線步驟(步驟502)。
玻璃基板90被輸送到包含于一對(duì)基板支撐機(jī)構(gòu)20中之一內(nèi)的支撐臺(tái)21上。多個(gè)運(yùn)輸輥?zhàn)?2向上移動(dòng)，使得玻璃基板90由多個(gè)運(yùn)輸輥?zhàn)?2支撐。當(dāng)所述多個(gè)運(yùn)輸輥?zhàn)?2轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，玻璃基板90朝所述一對(duì)基板支撐機(jī)構(gòu)20的另一支撐臺(tái)21運(yùn)動(dòng)。
接下來(lái)，玻璃基板90被輸送成橋跨所述一對(duì)基板支撐機(jī)構(gòu)20。當(dāng)玻璃基板90的一預(yù)定分?jǐn)嗑€定位在由位于所述一對(duì)基板支撐機(jī)構(gòu)22之間的劃線單元40所形成的刻劃線附近時(shí)，所述多個(gè)運(yùn)輸輥?zhàn)?2向下移動(dòng)。玻璃基板90被形成于所述一對(duì)基板支撐機(jī)構(gòu)20內(nèi)的多個(gè)吸孔吸住，從而玻璃基板90被保持在所述一對(duì)支撐臺(tái)21上。
基于一對(duì)定位標(biāo)記(alignment mark)的圖像和玻璃基板90的玻璃尺寸具、所述一對(duì)定位標(biāo)記的位置數(shù)據(jù)等等，來(lái)計(jì)算所述玻璃基板90相對(duì)于X方向的傾斜度、在玻璃基板上開始劃線的始位置和結(jié)束劃線的位置，所述一對(duì)定位標(biāo)記在玻璃基板90上形成的圖像由定位攝像機(jī)17捕捉。
接下來(lái)，斷裂單元30從上導(dǎo)軌12的一邊緣位置(+X側(cè))的等待位置向玻璃基板90的-X側(cè)的側(cè)邊緣位置滑動(dòng)到，使得壓緊輥?zhàn)?2a對(duì)著用于為玻璃基板90(見圖2)劃線的初始位置。劃線單元40從下導(dǎo)軌13一邊緣部分(+X側(cè))的一等待位置向玻璃基板90的-X側(cè)的側(cè)邊緣滑動(dòng)。切口形成刀具機(jī)構(gòu)44定位于用于為玻璃基板90劃線的初始位置側(cè)。
接下來(lái)，壓緊輥?zhàn)?2a由包含于壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)內(nèi)的用于向上/向下移動(dòng)的馬達(dá)(未示出)向下移動(dòng)。當(dāng)壓緊輥?zhàn)?2a壓靠玻璃基板90的上表面時(shí)，切口形成刀具機(jī)構(gòu)44由用于向上/向下移動(dòng)的氣缸44b向上移動(dòng)。
接下來(lái)，斷裂單元30和劃線單元40同步在劃線方向(+X方向)上滑動(dòng)一預(yù)定距離，以便在玻璃基板90的劃線初始位置處形成一切口，該切口由包含于切口形成刀具機(jī)構(gòu)44中的刃部44a形成。結(jié)果，切口形成于由壓緊輥?zhàn)?2a保持的玻璃基板90的劃線起始位置處，該切口由切口形成刀具機(jī)構(gòu)44的刃部44a形成。
接下來(lái)，當(dāng)具有一預(yù)定長(zhǎng)度的切口形成于玻璃基板90下表面上的劃線初始位置處時(shí)，壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)33向上移動(dòng)而用于產(chǎn)生一個(gè)切口的刀具機(jī)構(gòu)44向下移動(dòng)。
接下來(lái)，斷裂單元30在所述劃線方向(+X方向)上滑動(dòng)一預(yù)定距離，使得激光束/冷卻水接受部件35的中心部分與激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)43的光學(xué)軸相匹配。冷卻機(jī)構(gòu)42的噴嘴部分42a由用于向上/向下移動(dòng)的氣缸42b移至位于高處的冷卻水噴射位置。
圖6示出一種狀態(tài)，其中，激光束/冷卻水接受部分35與激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)43的光軸相匹配，而冷卻機(jī)構(gòu)42的噴嘴部分42a由用于向上/向下移動(dòng)的氣缸42b移至位于高處的冷卻水噴射位置。
接下來(lái)，斷裂單元30和劃線單元40同步朝劃線方向(+X方向)滑動(dòng)且噴嘴部件42a向上噴射冷卻水。此外，一來(lái)自激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)43的激光束向上照射。當(dāng)激光束沿玻璃基板90的待分?jǐn)嗑€(待刻劃的線)照射時(shí)，激光束照射部分附近由冷卻水冷卻。因此，沿著玻璃基板90將被分?jǐn)嗟牟课粡脑O(shè)置在用于玻璃基板90的劃線開始位置處的切口連續(xù)地形成一豎直裂紋。
驅(qū)動(dòng)用于線性插值的驅(qū)動(dòng)部件，使得由激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)43發(fā)射的激光束沿玻璃基板90的待分?jǐn)嗑€照射。換句話說(shuō)，為了解決玻璃基板90的傾斜，當(dāng)斷裂單元30和刻劃單元40滑動(dòng)時(shí)，上導(dǎo)軌12和下導(dǎo)軌13在垂直于所述滑動(dòng)方向的方向(Y方向)上滑動(dòng)。此后，激光束沿玻璃基板90的待分?jǐn)嗑€照射。
當(dāng)斷裂單元30和劃線單元40從玻璃基板90一個(gè)側(cè)邊緣滑動(dòng)至另一個(gè)側(cè)邊緣時(shí)，沿玻璃基板90的待分?jǐn)嗑€(待刻劃的線)形成一連續(xù)豎直裂紋，從而從玻璃基板90一個(gè)側(cè)邊緣到另一個(gè)側(cè)邊緣形成一刻劃線。
到此為止，已說(shuō)明了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例1的初始設(shè)定步驟(步驟501)和劃線步驟(步驟502)。
2-2.斷裂步驟斷裂步驟為，例如，在其上已經(jīng)在所述刻劃步驟形成刻劃線的玻璃基板90上進(jìn)行。
以下，將對(duì)根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例1的斷裂步驟(步驟503)作詳細(xì)說(shuō)明。
當(dāng)刻劃線形成于玻璃基板90時(shí)，激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)43停止發(fā)射激光束且冷卻機(jī)構(gòu)42停止噴射冷卻水。噴嘴部件42a返回至位于低處的等待位置。
接下來(lái)，位于上側(cè)的斷裂單元30在與劃線方向相反的方向上滑動(dòng)，使得壓緊輥?zhàn)?2a在-X側(cè)與已形成的刻劃線的邊緣部分相對(duì)。下部的劃線單元40滑動(dòng)，使得基板保持輥?zhàn)?5a在-X側(cè)與刻劃線的邊緣部分相對(duì)。
圖7示出斷裂單元30和刻劃單元彼此相對(duì)的狀態(tài)。
接下來(lái)，當(dāng)?shù)谝惠o助輥?zhàn)?6a由用于向上/向下移動(dòng)的氣缸46b向上移動(dòng)時(shí)，第二輔助輥?zhàn)?7a由用于向上/向下移動(dòng)的氣缸47b向上移動(dòng)。第二輔助輥?zhàn)?7a接觸玻璃基板90的下表面。而且，當(dāng)基板保持輥45a由用于向上/向下移動(dòng)所述頭部45b的馬達(dá)(未示出)向上移動(dòng)時(shí)，基板保持輥?zhàn)?5a以一預(yù)定壓力接觸所述玻璃基板90的下表面。
接下來(lái)，壓緊側(cè)的第一輔助輥?zhàn)?3a向下移動(dòng)而接觸玻璃基板90的上表面部分，該上表面部分與接觸第二輔助輥?zhàn)?7a的位置相對(duì)。壓緊輥?zhàn)?2a由一用于向上/向下移動(dòng)所述頭部32d的電機(jī)(未示出)向下移動(dòng)，從而以一預(yù)定壓力接觸玻璃基板90的上表面部分，該上表面部分與基板保持輥?zhàn)?5a相對(duì)。
此外，位于壓緊側(cè)的第二輔助輥?zhàn)?4a在一X側(cè)移動(dòng)到玻璃基板90端面部分附近后向下移動(dòng)。此后，壓緊側(cè)的第二輔助輥?zhàn)?4a接觸玻璃基板90的上表面部分，該上表面部分與第一輔助輥?zhàn)?6a的接觸部位相對(duì)應(yīng)。
圖8示出一種狀態(tài)，其中，壓緊輥?zhàn)?2a以及外圓周表面V形凹進(jìn)且兩側(cè)邊緣部分平坦的基板保持輥?zhàn)?5a，在寬度方向上壓在形成于玻璃基板90上刻劃線的兩側(cè)上。
基板保持輥?zhàn)?5a的U形凹槽部分45g的中心部分與形成于玻璃基板90上的刻劃線相對(duì)，該U形凹槽部分45g在寬度方向上形成于基板保持輥?zhàn)?5a的中心部分。形成于基板保持輥?zhàn)?5a內(nèi)的凹槽部分45g使得基板保持輥?zhàn)?5a不接觸刻劃線S。形成于所述壓緊輥?zhàn)?2a內(nèi)的凹槽部分使得壓緊輥?zhàn)?2a不接觸一條與所述刻劃線S相對(duì)的線。
由于在寬度方向上所述壓緊輥?zhàn)?2a的尺寸小于所述基板保持輥?zhàn)?5a的尺寸(例如，壓緊輥?zhàn)?2a的所述尺寸大約為基板保持輥?zhàn)?5a的一半)，所以所述壓緊輥?zhàn)?2a壓在鄰近刻劃線S的玻璃基板90的上表面上，而不是壓在由基板保持輥?zhàn)?5a兩側(cè)的側(cè)邊緣部分保持的玻璃基板90的下表面部分上。壓緊輥?zhàn)?2a，例如，被設(shè)定為將玻璃基板90的上表面壓下等于或大于0.3毫米的距離。結(jié)果，玻璃基板90彎曲，從而以刻劃線為中心向下凸出。在-X側(cè)的刻劃線S的邊緣部分的豎直裂紋在玻璃基板90的厚度方向上延伸到玻璃基板90的上表面，該豎直裂紋形成于玻璃基板90的下表面處。結(jié)果，玻璃基板90被分?jǐn)唷?br> 以此方式，當(dāng)一凹槽部分形成于壓緊輥?zhàn)?2a內(nèi)使得壓緊輥?zhàn)?2a不接觸玻璃基板90第二表面上的一與刻劃線S相對(duì)的線時(shí)，壓緊輥?zhàn)?2a壓在位于所述玻璃基板90第二表面上的該線的兩側(cè)上而不接觸該線，該線在脆性基板第二表面上，且當(dāng)玻璃基板90沿該刻劃線分?jǐn)鄷r(shí)與所述刻劃線相對(duì)。因此，分?jǐn)噙^(guò)程中可以防止在分?jǐn)嗝娌糠痔幃a(chǎn)生碎屑。
一凹槽部分形成于基板保持輥?zhàn)?5a內(nèi)，從而不接觸所述刻劃線。因此，當(dāng)玻璃基板90沿刻劃線分?jǐn)鄷r(shí)，基板保持輥?zhàn)?5a能保持刻劃線的兩側(cè)而不接觸刻劃線。因此，可以防止在分?jǐn)噙^(guò)程中分?jǐn)嗝娌糠痔幃a(chǎn)生碎屑。
當(dāng)形成于基板保持輥?zhàn)?5a內(nèi)的凹槽部分的寬度大于壓緊輥?zhàn)?2a的寬度時(shí)，由于壓緊輥?zhàn)?2a的一部分進(jìn)入基板保持輥45a凹槽部分，從而玻璃基板90可能彎曲，所以玻璃基板90被沿刻劃線確定地分?jǐn)唷?br> 接下來(lái)，當(dāng)開始在位于-X側(cè)的所述刻劃線的邊緣部分的位置處開始沿著刻劃線斷裂玻璃基板90時(shí)，壓緊輥?zhàn)?2a稍微向上移動(dòng)。結(jié)果，壓緊輥?zhàn)?2a壓入玻璃基板90內(nèi)的量輕微地減小。在此例子中，壓緊輥32a被設(shè)置成到達(dá)距離玻璃基板90上表面等于或小于0.3毫米的位置。
接下來(lái)，斷裂單元30和劃線單元40在刻劃方向(+X方向)上同步滑動(dòng)。結(jié)果，壓緊輥?zhàn)?2a壓在位于刻劃線S兩側(cè)的部分上，所述部分由基板保持輥?zhàn)?5a保持，使得基板保持輥?zhàn)?5a和壓緊輥?zhàn)?2a分別在玻璃基板的上表面和下表面上滾動(dòng)，以便從位于-X側(cè)的刻劃線S的邊緣部分位置開始沿著刻劃線S來(lái)持續(xù)地分?jǐn)嗖ＡЩ?0。
通過(guò)從兩個(gè)方向壓緊，位于壓緊側(cè)的第一輔助輥?zhàn)?3a和在滑動(dòng)方向上位于壓緊輥32a之前的第二輔助輥?zhàn)?7a保持住待分?jǐn)嗟目虅澗€的前部區(qū)域。因此，當(dāng)玻璃基板90由于壓緊輥?zhàn)?2a的壓力而沿著刻劃線斷裂時(shí)，防止出現(xiàn)碎屑、碎片等等——所述碎屑、碎片等等會(huì)引起玻璃基板被分?jǐn)嗪蟮漠a(chǎn)品缺點(diǎn)。防止在玻璃基板90內(nèi)有不必要的力影響被斷裂部分。
沿刻劃線S分?jǐn)嗟牟ＡЩ?0在斷裂時(shí)由從基板保持輥?zhàn)?5a以一預(yù)定間距排列的第一輔助輥?zhàn)?6a以及壓緊側(cè)的第二輔助輥?zhàn)?4a保持。因此，可防止分?jǐn)嗖ＡЩ鍙澢?。由于沒有不必要的力作用于斷裂部分上，所以不存在出現(xiàn)導(dǎo)致玻璃基板90分?jǐn)嗪蟮漠a(chǎn)品缺陷的碎片、破裂等的可能性。
以此方式，當(dāng)斷裂單元30和刻劃單元40在劃線方向(+X方向)滑動(dòng)并到達(dá)位于+X側(cè)的玻璃基板90側(cè)邊緣時(shí)，玻璃基板90被沿整個(gè)刻劃線S分?jǐn)唷?br> 接下來(lái)，第二輔助輥?zhàn)?7a向下移動(dòng)，基板保持輥?zhàn)?5a向下移動(dòng)，然后第一輔助輥?zhàn)?6a向下移動(dòng)，使得所有這些輥?zhàn)佣纪ＡЩ?0的下表面分離。壓緊側(cè)的第一輔助輥?zhàn)?3a向上移動(dòng)，壓緊側(cè)的壓緊輥?zhàn)?2a和第二輔助輥?zhàn)?4a向上移動(dòng)，使得所有這些輥?zhàn)油ＡЩ?0分離。
接下來(lái)，斷裂單元30和劃線單元40分別滑動(dòng)到上導(dǎo)軌12和下導(dǎo)軌13邊緣部分的等待位置。
到此為止，已經(jīng)詳細(xì)說(shuō)明了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的斷裂步驟(步驟503)。
根據(jù)本發(fā)明的分?jǐn)喾椒ǎ虅澗€形成于其上的玻璃基板90沿刻劃線確定地分?jǐn)?。而且，由于在刻劃線形成之后立即分?jǐn)嗖ＡЩ?0，所以一工作效率得到提升。此外，當(dāng)玻璃基板90被分?jǐn)鄷r(shí)，無(wú)不需要的力施加至未分?jǐn)嗟目虅澗€S上。由于分?jǐn)嗖ＡЩ?0沒有彎曲，所以沒有在分?jǐn)嗖ＡЩ宥嗣嫣幃a(chǎn)生碎片的可能。
<實(shí)施例2>
圖10為一示意性地示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例2的斷裂單元30和劃線單元40的視圖。
在本發(fā)明的實(shí)施例2中，在劃線單元40中沒有設(shè)置本發(fā)明實(shí)施例1所設(shè)置的激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)43和冷卻機(jī)構(gòu)42。設(shè)置了一劃線刀具機(jī)構(gòu)48而不是切口形成刀具機(jī)構(gòu)44。
在劃線刀具機(jī)構(gòu)48中，一刀輪尖48a可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在一刀頭48b的上端部分處，該刀頭48b能夠向上/向下移動(dòng)且連接至劃線單元體部41。作為一刀輪尖48a，優(yōu)選地使用一個(gè)輪刀具，在該輪刀具中以預(yù)定距離在外圓周背脊上設(shè)置有凹進(jìn)部分，其中所述輪刀具在日本專利公開文獻(xiàn)09-188534中已經(jīng)公開。然而，也可使用普通刀輪尖。
作為刀輪尖48a的替代，能夠使用一刀輪，在所述刀輪中通過(guò)施加一個(gè)與一擺式執(zhí)行機(jī)構(gòu)(oscillating actuator)周圍的彈性相關(guān)且周期性變化的一振蕩力(負(fù)載)施加至一刀具，籍此此刀具壓在一脆性材料基板的表面上，將點(diǎn)沖擊(pinpoint shock)施加至所述脆性材料基板。一個(gè)例子在日本專利2954566中公開。所以，該例在這里不做詳細(xì)說(shuō)明。
刀頭48b由一個(gè)具有馬達(dá)48m的滾珠絲杠機(jī)構(gòu)向上/向下移動(dòng)。
在刀具用作刻劃線形成裝置的情況下，因?yàn)橛糜谛纬煽虅澗€的狀態(tài)具有寬的選擇范圍，所以刻劃線可以穩(wěn)定地形成。在盤狀刀輪尖用作刀具且刃部形成于刀輪尖外圓周邊緣的情況下，當(dāng)?shù)遁喖鈮涸诖嘈曰迳锨以诖嘈曰迳闲D(zhuǎn)時(shí)，形成一刻劃線。因此，形成刻劃線的速度(刻劃線形成速度)提高。
在有多個(gè)凹進(jìn)部分以一預(yù)定間距形成于刃部的脊形部分中的情況下，在除所述多個(gè)凹進(jìn)部分形成部位之外的位置處形成多個(gè)突起。當(dāng)形成刻劃線時(shí)，所述多個(gè)突起向脆性基板的第一表面施加點(diǎn)沖擊。因此，形成一條延伸達(dá)脆性基板大約90％厚度的豎直裂紋。結(jié)果，在斷裂步驟后，脆性基板被確定地分?jǐn)唷?br> 在刀具能夠相對(duì)于壓緊裝置分離地運(yùn)動(dòng)的情況下，在刻劃線形成的同時(shí)當(dāng)所述壓緊裝置隨刀具運(yùn)動(dòng)時(shí)，其上形成有刻劃線的脆性基板被分?jǐn)唷．?dāng)刻劃線形成于脆性基板第一表面上時(shí)，脆性基板第二表面被壓緊裝置壓緊。因此，刻劃步驟和斷裂步驟幾乎同時(shí)完成。從而，用于分?jǐn)嗖襟E的時(shí)間減少。
與根據(jù)實(shí)施例1的分?jǐn)嘣O(shè)備的劃線單元40類似，在根據(jù)實(shí)施例2的劃線單元體部41中，一第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)46設(shè)置于一用于劃線的刀具機(jī)構(gòu)48的附近，并且一基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)45和一第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)47置于第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)46的附近。在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例2的分?jǐn)嘣O(shè)備中，基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)45由具有馬達(dá)45m的滾珠絲杠機(jī)構(gòu)向上/向下移動(dòng)。其它用于劃線單元體部41的結(jié)構(gòu)基本上和先前描述的劃線單元體部40相同。
與根據(jù)實(shí)施例1分?jǐn)嘣O(shè)備的斷裂單元30類似，在根據(jù)實(shí)施例2的斷裂單元30中，一壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)32、一位于壓緊側(cè)的第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)33以及位于壓緊側(cè)的一第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)34設(shè)置在斷裂單元體部31中。壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)32由一具有一馬達(dá)32m的滾珠絲杠機(jī)構(gòu)向上/向下移動(dòng)。采用實(shí)施例2的斷裂單元30的結(jié)構(gòu)基本上與采用實(shí)施例1的斷裂單元30相同。
在帶有根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例2那樣結(jié)構(gòu)的斷裂單元30和劃線單元40的分?jǐn)嘣O(shè)備中，當(dāng)?shù)遁喖?8a定位于形成一刻劃線的開始位置(在玻璃基板90的+X側(cè))的側(cè)邊緣處，壓緊輥?zhàn)?2a定位成與刀輪尖48a相對(duì)。斷裂單元30和劃線單元40在劃線方向(-X方向)上同步滑動(dòng)，然后，分?jǐn)噍喖舛?8a受壓并沿著玻璃基板90的待分?jǐn)嗑€(待刻劃的線)滾動(dòng)。因此，沿著所述待分?jǐn)嗑€(待刻劃的線)形成所述刻劃線。
當(dāng)刻劃線在玻璃基板90上形成時(shí)，斷裂單元30和劃線單元40同步地由分?jǐn)噍伡舛?8a在與所述刻劃方向相對(duì)的方向(+X方向)上滑動(dòng)。
圖11示出，當(dāng)壓緊輥?zhàn)?2a循序地壓在由所述基板保持輥?zhàn)?5a所保持的玻璃基板90的刻劃線兩側(cè)上時(shí)，玻璃基板90沿著所述刻劃線分?jǐn)唷?br> 第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)47沿著所述刻劃線在所述玻璃基板90的表面上移動(dòng)，同時(shí)保持所述玻璃基板90；而位于所述壓緊側(cè)的第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)33沿著所述刻劃線在玻璃基板90的表面上運(yùn)動(dòng)，同時(shí)保持玻璃基板90。
所述保持裝置沿著所述刻劃線運(yùn)動(dòng)，同時(shí)保持其上未形成有刻劃線的區(qū)域的未分?jǐn)嗖糠?，籍此防止有不必要的力作用到由所述壓緊裝置壓住的區(qū)域。結(jié)果，防止在形成于玻璃基板90上的分?jǐn)嗝嫣幊霈F(xiàn)碎屑。
由于所述基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)45、第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)47、第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)46以及所述壓緊裝置以相同的速度運(yùn)動(dòng)，所以，玻璃基板90由所述第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)47及第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)46牢固地保持。
在保持所述其上形成有刻劃線的區(qū)域的分?jǐn)嗖糠值耐瑫r(shí)，第一輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)46沿著所述刻劃線在玻璃基板90的表面上移動(dòng)，而且，在第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)34在壓緊側(cè)保持玻璃基板90的同時(shí)，第一保持裝置沿著所述刻劃線移動(dòng)，籍此防止有不必要的力施加到將由所述基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)45壓緊的區(qū)域。結(jié)果，防止在形成于脆性基板上的分?jǐn)嗝嫣幊霈F(xiàn)碎屑。
<實(shí)施例3>
圖12為一透視圖，示出一個(gè)根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例3的分?jǐn)嘣O(shè)備。
圖13為一正視圖，示出包括在一個(gè)根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例3的分?jǐn)嘣O(shè)備內(nèi)的一個(gè)斷裂單元30和一個(gè)劃線單元40。
所述包括在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例3分?jǐn)嘣O(shè)備內(nèi)的斷裂單元30包括一個(gè)第一上部單元30a和一個(gè)第二上部單元30b。第一上部單元30a包括所述壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)32、位于壓緊側(cè)的第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)33和根據(jù)實(shí)施例1的位于斷裂單元30壓緊側(cè)的第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)34。第二上部單元30b包括一激光束/冷卻水接受部件35。由于激光束/冷卻水接受部件35防止所述激光束和冷卻介質(zhì)兩者中的至少一種擴(kuò)散，因此提高了分?jǐn)嘣O(shè)備100的安全性。第一上部單元30a和第二上部單元30b分別由一線性馬達(dá)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)而沿著上導(dǎo)軌12單獨(dú)地滑動(dòng)。
所述包括在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例3分?jǐn)嘣O(shè)備內(nèi)的劃線單元40包括一個(gè)第一下部單元40a和一個(gè)第二下部單元40b。第一下部單元40a整體地包括一個(gè)第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)46、一個(gè)基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)45和一個(gè)根據(jù)實(shí)施例1的劃線單元40的第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)47。第二下部單元40b整體地包括一個(gè)切口形成刀具機(jī)構(gòu)44和一個(gè)激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)43以及一冷卻機(jī)構(gòu)42。第一下部單元40a和第二下部單元40b分別由一線性馬達(dá)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)而沿著下導(dǎo)軌13獨(dú)立地滑動(dòng)。
以此方式，基于根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例3分?jǐn)嘣O(shè)備的斷裂單元30和劃線單元40，能夠?yàn)楦鞣N脆性材料基板的加工條件選擇設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)方式(劃線步驟運(yùn)轉(zhuǎn)和斷裂步驟運(yùn)轉(zhuǎn))。
實(shí)施例3的其它結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1相同。
在根據(jù)實(shí)施例3的分?jǐn)嘣O(shè)備內(nèi)，當(dāng)一刻劃線形成于玻璃基板90上時(shí)，類似于實(shí)施例1，第一上部單元30a和第二下部單元40b從各自的等待位置滑動(dòng)并移動(dòng)到位于-X側(cè)的玻璃基板90的側(cè)邊緣部分，使得壓緊輥?zhàn)?0a與玻璃90的邊緣部分相對(duì)且切口形成刀具機(jī)構(gòu)44定位于用于形成刻劃線的開始位置一側(cè)，所述開始位置位于玻璃基板90的-X側(cè)的邊緣部分處。
接下來(lái)，壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)32向下移動(dòng)，且壓緊輥?zhàn)?2a以一預(yù)定壓力接觸玻璃基板90的上表面。切口形成刀具機(jī)構(gòu)44由一用于向上/向下移動(dòng)的氣缸44c向上移動(dòng)。接下來(lái)，第一上部單元30a和第二下部單元40b在劃線方向(+X方向)上滑動(dòng)一預(yù)定距離，以便由切口形成刀具機(jī)構(gòu)44的刃部44a在玻璃基板90刻劃線的開始形成位置處形成一個(gè)切口。結(jié)果，由切口形成刀具機(jī)構(gòu)44的刃部44a在玻璃基板90的刻劃開始位置處形成所述切口。
當(dāng)切口以一預(yù)定長(zhǎng)度形成于用于形成刻劃線的開始位置時(shí)，然后第二下部單元40b的切口形成刀具機(jī)構(gòu)44向下移動(dòng)。
接下來(lái)，第二下部單元40b滑動(dòng)并定位成使得所述激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)43的光軸與所述切口匹配。當(dāng)?shù)谝簧喜繂卧?0a滑動(dòng)到所述等待位置后，第二上部單元30b滑離等待位置，使得所述激光束/冷卻水接受部件35的中心部分在滑動(dòng)方向上與所述激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)43的光軸相匹配。
在所述冷卻噴嘴能夠沿刻劃線移動(dòng)的情況下，冷卻噴嘴沿刻劃線移動(dòng)。因此，能根據(jù)脆性基板的材料設(shè)定劃線條件。
由切口形成刀具機(jī)構(gòu)在用于在玻璃基板90形成刻劃線的開始位置處確定地形成一個(gè)切口。在所述切口形成刀具機(jī)構(gòu)能夠與所述激光束發(fā)射光學(xué)裝置一同運(yùn)動(dòng)的情況下，所述形成于開始形成刻劃線的位置處的切口、以及激光束照射區(qū)域與冷卻水區(qū)域彼此對(duì)準(zhǔn)。因此，所述刻劃線精確地沿著一待形成的刻劃線而形成。
圖13示出一種狀態(tài)，在該狀態(tài)中，所述激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)43的光軸與所述切口相匹配，而所述激光束/冷卻水接受部件35的中心部分在滑動(dòng)方向上與所述激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)43的光軸相匹配。
接下來(lái)，第二上部單元30b和第二下部單元40b同步地在劃線方向(+X方向)上移動(dòng)，使得通過(guò)激光束的照射和冷卻水的噴射而形成所述刻劃線。
接下來(lái)，當(dāng)?shù)谝簧喜繂卧?0b和第二下部單元40b滑動(dòng)到位于刻劃線的開始形成位置一側(cè)的等待位置時(shí)，第一上部單元30a和第一下部單元40a在相同的方向滑動(dòng)。在刻劃線的開始形成位置處，當(dāng)壓緊輥?zhàn)?2a壓在刻劃線的兩側(cè)上時(shí)，基板保持輥?zhàn)?5a壓緊玻璃基板90的下表面。
接下來(lái)，當(dāng)只有第二上部單元30a和第一下部單元40a同步在與劃線方向相同的方向(+X方向)滑動(dòng)時(shí)，玻璃基板90由一壓緊力沿所述刻劃線斷裂，該壓緊力如圖14所示由與上述的實(shí)施例1線相類似的第一上部單元30a的壓緊輥?zhàn)?2a和第一下部單元40a的基板保持輥?zhàn)?5a施加。
<實(shí)施例4>
圖15為一正視圖，示出設(shè)置在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例4的分?jǐn)嘣O(shè)備內(nèi)的一個(gè)斷裂單元30和一個(gè)劃線單元40的結(jié)構(gòu)。
根據(jù)實(shí)施例4的分?jǐn)嘣O(shè)備內(nèi)的劃線單元40包括一個(gè)第一下部單元40a和一個(gè)第二下部單元40b。第一下部單元40a包括一個(gè)第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)46、一個(gè)基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)45和一個(gè)根據(jù)實(shí)施例2的劃線單元40的第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)47。第二下部單元40b包括一個(gè)與第一下部單元40a分離的劃線刀具機(jī)構(gòu)48。
第一下部單元40a和第二下部單元40b分別由一線性電機(jī)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)而沿著下導(dǎo)軌13單獨(dú)地滑動(dòng)。
以此方式，基于根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例4的分?jǐn)嘣O(shè)備，能夠?yàn)楦鞣N脆性材料基板的加工條件選擇設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)方式(劃線步驟運(yùn)轉(zhuǎn)和斷裂步驟運(yùn)轉(zhuǎn))。
實(shí)施例4的其它結(jié)構(gòu)與實(shí)施例2相同。
在根據(jù)實(shí)施例4的分?jǐn)嘣O(shè)備中，當(dāng)刻劃線形成于玻璃基板90時(shí)，第一、第二下部單元40b從位于下導(dǎo)軌13的一邊緣部分處的等待位置滑動(dòng)到位于+X方向的玻璃基板90側(cè)邊緣的刻劃線形成開始位置處，使得劃線刀輪機(jī)構(gòu)48的刀輪尖48a與形成刻劃線的開始位置相對(duì)。一斷裂單元32a同樣地滑動(dòng)，使得斷裂單元30的壓緊輥?zhàn)?2a定位成與刀輪尖48a相對(duì)(見圖5)。
接下來(lái)，當(dāng)斷裂單元30和劃線單元40同步地在劃線方向(-X方向)上滑動(dòng)時(shí)，壓緊輥?zhàn)雍偷遁喖?8a分別沿著待分?jǐn)嗟木€(待刻劃的線)壓緊玻璃基板的上表面和下表面。籍此，沿著待分?jǐn)嗟木€(待刻劃的線)在玻璃基板90上形成一刻劃線。
接下來(lái)，第二下部單元40b在與滑動(dòng)方向相同的方向(-X方向)上滑動(dòng)至定位在等待位置，該等待位置位于玻璃基板90的一側(cè)。
接下來(lái)，第一下部單元40a在定位于刻劃線一端面位置處的斷裂單元30的壓緊輥?zhàn)?2a的下方滑動(dòng)，使得壓緊輥?zhàn)?2a和基板保持輥?zhàn)?5a彼此相對(duì)且玻璃基板90位于其間。
圖16示出壓緊輥?zhàn)?2a和基板保持輥?zhàn)?5a彼此相對(duì)且玻璃基板90位于其間的狀態(tài)。
接下來(lái)，當(dāng)壓緊輥?zhàn)?2a和基板保持輥?zhàn)?5a接觸玻璃基板90時(shí)，壓緊側(cè)的一個(gè)第一輔助輥?zhàn)?2a和一個(gè)第二輔助輥?zhàn)?7a分別接觸所述玻璃基板90，且第一輔助輥?zhàn)?6a向上移動(dòng)。斷裂單元30和第一下部單元40a同步地在與刀輪尖48a刻劃方向相反的方向(+X方向)上滑動(dòng)。
壓緊側(cè)的第二輔助輥?zhàn)?4a向下移動(dòng)并且在移動(dòng)至位于-X側(cè)的玻璃基板90端面部分附近后與所述玻璃基板90接觸。
根據(jù)與本發(fā)明的實(shí)施例4相對(duì)應(yīng)的分?jǐn)嘣O(shè)備，當(dāng)斷裂單元30和第一下部單元40a沿整個(gè)刻劃線滑動(dòng)時(shí)，壓緊輥?zhàn)?2a循序地壓緊位于由基板保持輥?zhàn)?5a所保持的玻璃基板90的刻劃線的兩側(cè)部分，并在所述部分上轉(zhuǎn)動(dòng)，使得玻璃基板90沿刻劃線分?jǐn)唷?br> <實(shí)施例5>
圖17為一正視圖，示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例5的一個(gè)斷裂單元30和一個(gè)刻劃單元40的結(jié)構(gòu)。
在根據(jù)實(shí)施例5的分?jǐn)嘣O(shè)備中，根據(jù)實(shí)施例1的劃線單元40內(nèi)的冷卻機(jī)構(gòu)的噴嘴部件42a能夠在劃線單元40的滑動(dòng)方向上滑動(dòng)(見圖17)。實(shí)施例5的其它結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1相同。
在實(shí)施例5中，當(dāng)形成刻劃線時(shí)，斷裂單元30的一壓緊輥?zhàn)?2a壓靠玻璃基板90的上表面(見圖17)。因此，其上正在形成刻劃線的部分向下彎曲。
接下來(lái)，劃線單元40的噴嘴部件42a滑動(dòng)，使得冷卻水能循序地噴射到由壓緊輥?zhàn)?2a的壓緊力所彎曲的部分。
當(dāng)冷卻水噴射到由被激光束所照射部分的附近時(shí)，該被冷卻水噴射部分向下彎曲。因此，由于激光束的照射和冷卻水的噴射，形成一豎直裂紋，該豎直裂紋從玻璃基板90的下表面向上延伸到玻璃基板90的上表面附近。
接下來(lái)，玻璃基板90采用與于實(shí)施例1相同的方法分?jǐn)唷?br> 根據(jù)根據(jù)實(shí)施例5的分?jǐn)嘣O(shè)備，形成于刻劃線正下方的豎直裂紋到達(dá)玻璃基板90上表面的附近。因此，玻璃基板90在使用根據(jù)本發(fā)明的輥?zhàn)拥臄嗔巡襟E后確定地分?jǐn)唷?br> <實(shí)施例6>
在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例2的分?jǐn)嘣O(shè)備中，當(dāng)由一刀輪尖48a在玻璃基板90上形成一刻劃線時(shí)，當(dāng)斷裂單元30的壓緊輥?zhàn)?2a壓緊玻璃基板90時(shí)，壓緊輥?zhàn)?2a對(duì)玻璃基板90的壓緊力大于刀輪48a對(duì)玻璃基板90的壓緊力。以此方式，當(dāng)玻璃基板90沿待刻劃的線被刀輪尖48a刻劃時(shí)，隨著玻璃基板90向下彎曲，位于刻劃線正下方的豎直裂紋延伸到達(dá)玻璃基板90的上表面。
在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例1的分?jǐn)嘌b置中，當(dāng)通過(guò)激光束的照射和冷卻水的噴射而形成所述刻劃線時(shí)，通過(guò)使設(shè)置在斷裂單元30中位于壓緊側(cè)的輔助輥?zhàn)?3a和壓緊輥?zhàn)?2a壓在玻璃基板90上，所述玻璃基板能向下彎曲。
<實(shí)施例7>
圖18示意性地示出一根據(jù)實(shí)施例7的分?jǐn)嘣O(shè)備的結(jié)構(gòu)。
根據(jù)實(shí)施例7的分?jǐn)嘣O(shè)備用于分?jǐn)嘁挥梢粚?duì)玻璃基板90貼合而得到的貼合玻璃基板91。
根據(jù)實(shí)施例7的分?jǐn)嘣O(shè)備包括一個(gè)上導(dǎo)軌12、一個(gè)第一上部單元51、一個(gè)第二上部單元52、一個(gè)第三上部單元53、一個(gè)下導(dǎo)軌13、一個(gè)第一下部單元61、一個(gè)第二下部單元62和一個(gè)第三下部單元63。
第一上部單元51、第二上部單元52和第三上部單元53連接至上導(dǎo)軌12，從而能夠單獨(dú)地滑動(dòng)。第一下部單元61、第二下部單元62和第三下部單元63連接至下導(dǎo)軌13，從而能夠單獨(dú)地滑動(dòng)。
第一上部單元51包括一個(gè)壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51a、一個(gè)第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51b、一個(gè)基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51c和一個(gè)第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51d。壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51a的結(jié)構(gòu)與根據(jù)實(shí)施例3的第一上部單元30a內(nèi)的壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)32的結(jié)構(gòu)相同。第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51b的結(jié)構(gòu)與根據(jù)實(shí)施例3第一上部單元30a內(nèi)的位于壓緊側(cè)的第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)33的結(jié)構(gòu)相同?；灞３州?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51c設(shè)置在壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51a和第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51b之間。基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51c的結(jié)構(gòu)與根據(jù)實(shí)施例3的基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)45的結(jié)構(gòu)相同。第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51d設(shè)置在相對(duì)于壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51a與基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51c相對(duì)的一側(cè)。第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51d的結(jié)構(gòu)與第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51b的結(jié)構(gòu)相同。
第二上部單元52具有一個(gè)結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)中根據(jù)實(shí)施例3的第二下部單元40b在豎直方向上反轉(zhuǎn)。一冷卻機(jī)構(gòu)52b、一個(gè)激光束發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)52c和一個(gè)切口形成刀具機(jī)構(gòu)52d從第一上部單元51的一側(cè)順序地設(shè)置。
一個(gè)第三上部單元53包括一個(gè)與根據(jù)實(shí)施例3的第二上部單元30b具有類似結(jié)構(gòu)的激光束/冷卻水接受部件53a。
第一下部單元61的結(jié)構(gòu)與第一上部單元51在垂直和水平方向上反向。一個(gè)第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)61d、一個(gè)壓緊輥?zhàn)?1a、一個(gè)基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)61c和一個(gè)第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)61b從第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51b的一側(cè)順序地設(shè)置。
第二下部單元62具有一與根據(jù)實(shí)施例3的第二下部單元40b相類似的結(jié)構(gòu)。一個(gè)冷卻機(jī)構(gòu)62d、一個(gè)激光束發(fā)射關(guān)學(xué)系統(tǒng)62c和一個(gè)切口形成刀具機(jī)構(gòu)62d從第一下部單元61的一側(cè)順序地設(shè)置。
第三下部單元63具有一與第三上部單元53在垂直方向上反向的結(jié)構(gòu)。第三下部單元63包括一個(gè)激光束/冷卻水接受部件63a。
圖19圖示根據(jù)實(shí)施例7的分?jǐn)嘣O(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)。
下面，將參考附圖19對(duì)根據(jù)實(shí)施例7的分?jǐn)嘣O(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)進(jìn)行說(shuō)明。
一刻劃線形成于貼合基板的一下玻璃基板上。為了形成所述刻劃線，首先，第三下部單元63滑動(dòng)到一個(gè)等待位置，該等待位置在劃線方向上位于端面部分一側(cè)(見圖19(a))，此后，通過(guò)使用第二下部單元62和第三上部單元53在所述下玻璃基板上形成所述刻劃線。這種形成刻劃線的方法與在根據(jù)實(shí)施例3的玻璃基板90上形成一刻劃線的方法相同。
接下來(lái)，首先，上部單元50內(nèi)的第三下部單元53滑動(dòng)到一等待位置，該等待位置在劃線方向上是端面部分的一側(cè)(見圖19(b))，通過(guò)使用上部單元50內(nèi)的第二上部單元52和下部單元60內(nèi)的第三下部單元63而在上玻璃基板上形成所述刻劃線。這種形成一刻劃線的方法與在下玻璃基板上形成一刻劃線的方法相同。
接下來(lái)，當(dāng)?shù)诙喜繂卧?2滑動(dòng)到一個(gè)等待位置的第三上部單元53的一側(cè)時(shí)，該等待位置在劃線方向上是端面部分的一側(cè)，第二下部單元62滑動(dòng)到所述等待位置的第三下部單元63的一側(cè)(見圖19(c))，該等待位置在劃線方向上是端面部分的一側(cè)。第一上部單元51和第一下部單元61彼此相對(duì)。同時(shí)，第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51b、基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51c、壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51a和第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51d分別與第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)61d、壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)61a、基板保持輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)61c和第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)61b彼此相對(duì)且分別地接觸所述貼合基板。第一上部單元51和第一下部單元61同步地沿著刻劃線在劃線方向上滑動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例7，當(dāng)形成于貼合玻璃基板91的上玻璃基板上的刻劃線兩側(cè)通過(guò)下玻璃基板被壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)61a壓緊時(shí)，上玻璃基板沿刻劃線分?jǐn)唷．?dāng)形成于下玻璃基板上的刻劃線兩側(cè)通過(guò)上玻璃基板被壓緊輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51a壓緊時(shí)，下玻璃基板沿刻劃線分?jǐn)唷４送?，?dāng)上玻璃基板和下玻璃基板分?jǐn)鄷r(shí)，在刻劃方向上位于刻劃位置前的部分處，所述貼合基板被夾在第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51d和第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)61b之間。因此，當(dāng)上玻璃基板和下玻璃基板上的各刻劃線斷裂時(shí)，由于沒有多余的力作用在將被斷裂的貼合基板內(nèi)的每一部分上，所以防止了碎片、破裂等的產(chǎn)生。
此外，由于第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)51b和第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)61d保持所述貼合基板，所以分?jǐn)嗟纳喜ＡЩ搴头謹(jǐn)嗟南虏ＡЩ宸乐顾鲑N合基板彎曲。
如上所說(shuō)明的，通過(guò)使用根據(jù)實(shí)施例7的分?jǐn)嘣O(shè)備有效地分?jǐn)嗨鲑N合基板。
根據(jù)實(shí)施例7的分?jǐn)嘣O(shè)備，當(dāng)貼合基板第一表面被保持時(shí)，一個(gè)作用在與貼合基板第一表面相對(duì)的貼合基板第二表面上的壓力能夠沿著形成于貼合基板第一表面上的刻劃線移動(dòng)。以此方式，當(dāng)所述壓力沿形成于貼合基板第一表面上的刻劃線移動(dòng)時(shí)，一壓力作用在與貼合基板第一表面相對(duì)的貼合基板第二表面上。因此，能有一個(gè)彎矩作用于脆性基板上而分?jǐn)嗨鲑N合基板，該撓距是當(dāng)在貼合基板第一表面上形成刻劃線的時(shí)候產(chǎn)生的，并且該撓距在貼合基板厚度方向上確定地延展從所述第一表面的表面延伸的豎直裂紋。
<實(shí)施例8>
圖21為一正視圖，示出設(shè)置在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例8的分?jǐn)嘣O(shè)備內(nèi)的斷裂單元30和劃線單元40的結(jié)構(gòu)。
除了根據(jù)實(shí)施例8的分?jǐn)嘣O(shè)備使用兩個(gè)斷裂單元30之外，用于根據(jù)實(shí)施例8的分?jǐn)嘣O(shè)備的結(jié)構(gòu)與用于實(shí)施例4的分?jǐn)嘣O(shè)備的結(jié)構(gòu)相同。
在實(shí)施例8的分?jǐn)嘣O(shè)備中，當(dāng)一刻劃線形成于一玻璃基板90上時(shí)，一壓緊輥?zhàn)雍鸵坏遁喖?8a分別沿著一條待分?jǐn)嗟木€壓緊所述上表面和所述下表面并在所述表面上轉(zhuǎn)動(dòng)。籍此，沿著所述待分?jǐn)嗟木€(待刻劃的線)在玻璃基板90上形成一條刻劃線。
同時(shí)，第一下部單元4a在定位于刻劃線端面位置的斷裂單元30內(nèi)的一壓緊輥?zhàn)?2a下滑動(dòng)，使得壓緊輥?zhàn)?2a和一基板保持輥?zhàn)?5a彼此相對(duì)且玻璃基板90位于其間。
當(dāng)壓緊輥?zhàn)?2a和基板保持輥?zhàn)?5a接觸所述玻璃基板時(shí)，一個(gè)位于壓緊側(cè)的第一輔助輥?zhàn)?3a和一個(gè)第二輔助輥?zhàn)?7a分別接觸玻璃基板90，并且所述位于壓緊側(cè)的第二輔助輥?zhàn)雍鸵粋€(gè)第一輔助輥?zhàn)?6a分別接觸玻璃基板90。斷裂單元30和第一下部單元40a同步在與由刀輪尖48a刻劃的方向相同的方向(+X方向)上滑動(dòng)。
根據(jù)實(shí)施例8，當(dāng)保持裝置和壓緊裝置彼此相對(duì)且脆性基板位于其間時(shí)，以及當(dāng)一刻劃線形成設(shè)備在脆性基板的刻劃線形成表面上形成一刻劃線時(shí)，所述壓緊裝置沿所述刻劃線移動(dòng)。因此，脆性基板上劃線步驟和斷裂步驟幾乎同時(shí)進(jìn)行。結(jié)果，脆性基板分?jǐn)嗖襟E的時(shí)間減少。
在本發(fā)明的實(shí)施例1至8中，當(dāng)在玻璃基板上形成刻劃線時(shí)，振動(dòng)玻璃基板，使得構(gòu)成所述刻劃線的豎直裂紋容易地延伸。
壓緊側(cè)的第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)33和壓緊側(cè)的第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)34、第一輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)46、51b、61b和第二輔助輥?zhàn)訖C(jī)構(gòu)47、51c、61c能根據(jù)所需斷裂的玻璃基板90的厚度和尺寸而適當(dāng)?shù)厥∪ァ?br> 如上說(shuō)明，通過(guò)使用本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說(shuō)明。但是，本發(fā)明并不限于這些實(shí)施例?？梢岳斫?，本發(fā)明的范圍僅僅由權(quán)利要求的范圍確定?？梢岳斫猓绢I(lǐng)域的技術(shù)人員能基于對(duì)本發(fā)明的描述以及基于源自對(duì)本發(fā)明具體優(yōu)選實(shí)施例所作描述的共同常規(guī)技術(shù)知識(shí)而得出具有相同范圍的發(fā)明。可以理解在本說(shuō)明書中所引用的所述專利公開號(hào)、公開的申請(qǐng)?zhí)栆约拔墨I(xiàn)公布的應(yīng)用和目前規(guī)范中引用的文獻(xiàn)，被引入作為本申請(qǐng)的一部分并且通過(guò)序號(hào)引入此處。
工業(yè)實(shí)用性根據(jù)本發(fā)明的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)和脆性基板分?jǐn)喾椒?，?dāng)脆性基板第一表面保持時(shí)，一個(gè)作用在與脆性基板第一表面相對(duì)的所述脆性基板第二表面上的壓緊力，沿著形成于脆性基板第一表面上的刻劃線移動(dòng)。以此方式，當(dāng)所述壓緊力沿著形成于脆性基板第一表面上的刻劃線移動(dòng)時(shí)，該壓緊力能作用在與脆性基板第一表面相對(duì)的所述脆性基板第二表面上。因此，一彎矩確定地使一豎直裂紋從所述刻劃線在基板厚度方向上延展，且作用在脆性基板上而分?jǐn)啻嘈曰濉?br> 當(dāng)脆性基板由一六輪輥?zhàn)踊虬溯嗇佔(zhàn)永喂瘫３謺r(shí)，保持裝置和壓緊裝置的聯(lián)合體能精確地分?jǐn)嘁淮嘈曰寤蛞毁N合基板。
權(quán)利要求
1.一種脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，包括一個(gè)劃線設(shè)備，其包含一個(gè)用于在脆性基板的第一表面上形成一條刻劃線的刻劃線形成裝置；和一個(gè)用于沿著所述刻劃線斷裂所述脆性基板的斷裂設(shè)備，其中，斷裂設(shè)備包含一個(gè)第一壓緊控制裝置，用于當(dāng)所述脆性基板第一表面被保持時(shí)，使一個(gè)作用在與所述脆性基板第一表面相對(duì)的脆性基板第二表面上的壓緊力沿著所述刻劃線移動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中所述斷裂設(shè)備進(jìn)一步包括一個(gè)用于壓緊所述脆性基板第二表面的壓緊裝置；和一個(gè)用于保持所述脆性基板第一表面的第一保持裝置，其中，第一壓緊控制裝置控制所述壓緊裝置，使得在第一保持裝置和所述壓緊裝置彼此相對(duì)且所述脆性基板位于其間時(shí)所述壓緊裝置沿所述刻劃線移動(dòng)。
3.如權(quán)利要求2所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，第一壓緊控制裝置控制所述壓緊裝置，使得所述壓緊裝置沿所述刻劃線滾動(dòng)。
4.如權(quán)利要求3所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述壓緊裝置為輥?zhàn)印?br> 5.如權(quán)利要求3所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述壓緊裝置為傳送帶。
6.如權(quán)利要求3所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述壓緊裝置為軸承。
7.如權(quán)利要求2所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，一個(gè)凹槽部分形成在所述壓緊裝置內(nèi)，使得所述壓緊裝置不接觸所述脆性基板第二表面上的一條與所述刻劃線相對(duì)的線。
8.如權(quán)利要求2所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述斷裂設(shè)備進(jìn)一步包括一個(gè)第一保持控制裝置，該第一保持控制裝置用于控制第一保持裝置，使得當(dāng)?shù)谝槐３盅b置和所述壓緊裝置彼此相對(duì)且所述脆性基板位于其間時(shí)第一保持裝置沿所述刻劃線移動(dòng)。
9.如權(quán)利要求8所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，第一保持控制裝置控制第一保持裝置，使得第一保持裝置沿所述刻劃線滾動(dòng)。
10.如權(quán)利要求9所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述保持裝置為輥?zhàn)印?br> 11.如權(quán)利要求9所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述保持裝置為傳送帶。
12.如權(quán)利要求9所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述保持裝置為軸承。
13.如權(quán)利要求8所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，在第一保持裝置內(nèi)形成一個(gè)凹槽部分，使得第一保持裝置不接觸所述刻劃線。
14.如權(quán)利要求13所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，形成于第一保持裝置內(nèi)的所述凹槽部分的寬度大于所述壓緊裝置的寬度。
15.如權(quán)利要求2所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述壓緊裝置進(jìn)一步包括用于在第一方向上沿所述刻劃線移動(dòng)以及用于保持脆性基板的一個(gè)第二保持裝置和一個(gè)第三保持裝置，所述第一方向就是從所述壓緊裝置到所述第二保持裝置和第三保持裝置的方向，并且所述斷裂設(shè)備進(jìn)一步包括一個(gè)第二保持控制裝置，用于控制第二保持裝置，使得當(dāng)?shù)诙３盅b置保持所述脆性基板時(shí)第二保持裝置沿所述刻劃線在第一表面上移動(dòng)；以及用于控制第三保持裝置，使得當(dāng)?shù)谌３盅b置保持所述脆性基板時(shí)第三保持裝置沿所述刻劃線在第二表面上移動(dòng)。
16.如權(quán)利要求15所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，當(dāng)?shù)诙３盅b置和第三保持裝置彼此相對(duì)且所述脆性基板位于其間時(shí)，第二保持控制裝置控制第三保持裝置，使得第三保持裝置和所述壓緊裝置以一預(yù)定速度移動(dòng)，并且第二保持控制裝置控制第二保持裝置，使得第一保持裝置和第二保持裝置以所述預(yù)定速度移動(dòng)。
17.如權(quán)利要求2所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述壓緊裝置進(jìn)一步包括用于沿所述刻劃線在一個(gè)第一方向上移動(dòng)以及用于保持所述脆性基板的一個(gè)第四保持裝置和一個(gè)第五保持裝置，第四保持裝置和第五保持裝置離開所述壓緊裝置在與所述第一方向相反的方向設(shè)置。
18.如權(quán)利要求1所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述刻劃線形成裝置包括一個(gè)用于發(fā)射激光束至所述脆性材料第一表面上的激光束發(fā)射裝置、以及一個(gè)冷卻裝置，該冷卻裝置用于對(duì)脆性基板第一表面的由所述激光束發(fā)射裝置所發(fā)射的激光束照射的部位的周圍進(jìn)行冷卻。
19.如權(quán)利要求18所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述冷卻裝置為一個(gè)冷卻噴嘴，且所述冷卻噴嘴通過(guò)將冷卻介質(zhì)噴射到所述脆性基板的第一表面上來(lái)對(duì)激光束照射部位的周圍進(jìn)行冷卻。
20.如權(quán)利要求19所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，包括一個(gè)激光束/冷卻介質(zhì)接受部分，用于接受由所述激光束發(fā)射裝置發(fā)射的激光束和由所述冷卻噴嘴噴射的冷卻介質(zhì)兩者中的至少一個(gè)。
21.如權(quán)利要求20所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中所述激光束/冷卻介質(zhì)接受部分能夠相對(duì)于所述壓緊裝置單獨(dú)地運(yùn)動(dòng)。
22.如權(quán)利要求19所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中所述冷卻噴嘴能夠沿所述刻劃線移動(dòng)。
23.如權(quán)利要求18所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中所述刻劃線形成裝置進(jìn)一步包括一個(gè)切口形成刀具機(jī)構(gòu)，用于在所述脆性基板第一表面上開始形成刻劃線的位置處形成一個(gè)切口。
24.如權(quán)利要求23所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述切口形成刀具機(jī)構(gòu)能夠與所述激光束發(fā)射裝置和所述冷卻裝置一體地移動(dòng)。
25.如權(quán)利要求1所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述刻劃線形成裝置為刀具。
26.如權(quán)利要求25所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述刀具為一個(gè)盤狀刀輪尖，且一刃部形成于所述刀輪尖的外圓周邊緣處。
27.如權(quán)利要求26所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，多個(gè)槽形部分以一預(yù)定間距形成于所述刃部的一脊形部分內(nèi)。
28.如權(quán)利要求25所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述刀具能夠相對(duì)于所述壓緊裝置單獨(dú)地運(yùn)動(dòng)。
29.如權(quán)利要求2所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，第一壓緊控制裝置控制所述壓緊裝置，使得當(dāng)?shù)谝槐３盅b置和所述壓緊裝置彼此相對(duì)且脆性基板位于其間時(shí)以及當(dāng)所述刻劃線形成裝置在所述脆性基板第一表面上形成一刻劃線時(shí)，所述壓緊裝置沿所述刻劃線移動(dòng)。
30.如權(quán)利要求1所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述劃線設(shè)備包括一個(gè)刻劃線形成裝置，用于當(dāng)所述脆性基板第一表面被保持時(shí)在所述脆性基板第一表面形成所述刻劃線，和所述斷裂設(shè)備進(jìn)一步包括一個(gè)用于壓緊與所述脆性基板第一表面相對(duì)的第二表面的壓緊裝置。
31.如權(quán)利要求1所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述脆性基板為通過(guò)對(duì)基板進(jìn)行貼合而得到的貼合基板，所述劃線設(shè)備包括一個(gè)用于在所述貼合基板第一表面上形成一第一刻劃線的第一刻劃線形成裝置、以及一個(gè)用于在與所述貼合基板第一表面相對(duì)的貼合基板第二表面上形成一條第二刻劃線的第二刻劃線形成裝置，所述斷裂設(shè)備沿著由第一刻劃線形成裝置在所述貼合基板第一表面上形成的第一刻劃線而斷裂所述貼合基板，并且沿著由第二刻劃線形成裝置在所述貼合基板第二表面上形成的第二刻劃線而斷裂所述貼合基板，并且當(dāng)所述貼合基板第一表面被保持時(shí)，第一壓緊控制裝置沿著所述刻劃線移動(dòng)一個(gè)作用在與所述貼合基板第一表面相對(duì)的所述貼合基板第二表面上的壓緊力。
32.如權(quán)利要求1所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述斷裂設(shè)備包括一個(gè)用于壓緊所述貼合基板第一表面的第一貼合基板壓緊裝置；一個(gè)用于壓緊所述貼合基板第二表面的第二貼合基板壓緊裝置；一個(gè)用于保持所述貼合基板第一表面的第一貼合基板保持裝置；一個(gè)用于保持所述貼合基板第二表面的第二貼合基板保持裝置；一個(gè)用于所述壓緊裝置的第一控制裝置，用于控制所述第二貼合基板壓緊裝置，當(dāng)所述第一貼合基板保持裝置和所述第二貼合基板壓緊裝置彼此相對(duì)且所述貼合基板位于其間時(shí)，使得所述第二貼合基板壓緊裝置沿所述第一刻劃線移動(dòng)；和一個(gè)用于所述壓緊裝置的第二控制裝置，用于控制所述第一貼合基板壓緊裝置，當(dāng)所述第二貼合基板保持裝置和所述第一貼合基板壓緊裝置彼此相對(duì)且所述貼合基板位于其間時(shí)，使得所述第一貼合基板壓緊裝置沿所述第二刻劃線移動(dòng)。
33.如權(quán)利要求32所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，用于所述壓緊裝置的第一控制裝置控制所述第二貼合基板壓緊裝置，使得所述第二貼合基板壓緊裝置沿所述第一刻劃線滾動(dòng)，并且用于所述壓緊裝置的第二控制裝置控制所述第一貼合基板壓緊裝置，使得所述第一貼合基板壓緊裝置沿所述第二刻劃線滾動(dòng)。
34.如權(quán)利要求33所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，第一貼合基板壓緊裝置和第二貼合基板壓緊裝置為輥?zhàn)印?br> 35.如權(quán)利要求33所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述壓緊裝置為傳送帶。
36.如權(quán)利要求33所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述壓緊裝置為軸承。
37.如權(quán)利要求32所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，一個(gè)第一凹槽部分形成于第二貼合基板壓緊裝置內(nèi)，使得第二貼合基板壓緊裝置不接觸所述貼合基板第二表面上的一條第一刻劃線相對(duì)的線，和一個(gè)第二凹槽部分形成于第一貼合基板壓緊裝置內(nèi)，使得第一貼合基板壓緊裝置不接觸所述貼合基板第一表面上的一條與第二刻劃線相對(duì)的。
38.如權(quán)利要求32所述的一脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，所述斷裂設(shè)備進(jìn)一步包括一個(gè)用于所述保持裝置的第一控制裝置，用于控制第一貼合基板保持裝置，當(dāng)?shù)谝毁N合基板保持裝置和第二貼合基板壓緊裝置彼此相對(duì)且所述貼合基板位于其間時(shí)，使得第一貼合基板保持裝置沿第一刻劃線移動(dòng)，和一個(gè)用于所述保持裝置的第二控制裝置，用于控制第二貼合基板保持裝置，當(dāng)?shù)诙N合基板保持裝置和第一貼合基板壓緊裝置彼此相對(duì)且貼合基板位于其間時(shí)，使得第二貼合基板保持裝置沿第二刻劃線移動(dòng)。
39.如權(quán)利要求38所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，用于所述保持裝置的第一控制裝置控制所述第一貼合基板保持裝置，使得所述第一貼合基板保持裝置沿第一刻劃線滾動(dòng)，并且用于所述保持裝置的第二控制裝置控制所述第二貼合基板保持裝置，使得所述第二貼合基板保持裝置沿第二刻劃線滾動(dòng)。
40.如權(quán)利要求39所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，第一貼合基板保持裝置和第二貼合基板保持裝置為輥?zhàn)印?br> 41.如權(quán)利要求39所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，第一貼合基板保持裝置和第二貼合基板保持裝置為傳送帶。
42.如權(quán)利要求39所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，第一貼合基板保持裝置和第二貼合基板保持裝置為軸承。
43.如權(quán)利要求38所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，在第一貼合基板保持裝置內(nèi)形成有一個(gè)第三凹槽部分，使得第一貼合基板保持裝置不接觸第一刻劃線，并且在第二貼合基板保持裝置形成有一個(gè)第四凹槽部分，使得第二貼合基板保持裝置不接觸第二刻劃線。
44.如權(quán)利要求43所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，形成于第一貼合基板保持裝置內(nèi)的第三凹槽部分的寬度大于第二貼合基板壓緊裝置的寬度，而形成于第二貼合基板保持裝置內(nèi)的第四凹槽部分的寬度大于第一貼合基板壓緊裝置的寬度。
45.如權(quán)利要求32所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，第一貼合基板壓緊裝置和第二基板壓緊裝置沿第一刻劃線和第二刻劃線在一個(gè)第一方向上移動(dòng)，而脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)進(jìn)一步包括一個(gè)第三貼合基板保持裝置和一個(gè)第四貼合基板保持裝置，分別用于從第一貼合基板壓緊裝置和第二貼合基板壓緊裝置在所述第一方向上保持所述脆性基板，而且所述斷裂設(shè)備進(jìn)一步包括一用于保持裝置的第三控制裝置，用于控制第三貼合基板保持裝置，當(dāng)?shù)谌N合基板保持裝置保持所述貼合基板時(shí)，使得第三貼合基板保持裝置沿第一刻劃線在第一表面上移動(dòng)；并且用于控制第四貼合基板保持裝置，當(dāng)?shù)谒馁N合基板保持裝置保持所述貼合基板時(shí)，使得第四貼合基板保持裝置沿第二刻劃線在第二表面上移動(dòng)。
46.如權(quán)利要求45所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，當(dāng)?shù)谌N合基板保持裝置和第四貼合基板保持裝置彼此相對(duì)且所述貼合基板位于其間時(shí)，用于所述保持裝置的第三控制裝置控制所述第三貼合基板保持裝置，使得第三貼合基板保持裝置、第一貼合基板保持裝置以及第一貼合基板壓緊裝置以一預(yù)定速度移動(dòng)，而用于所述保持裝置的第三控制裝置控制所述第四貼合基板保持裝置，使得第四貼合基板保持裝置、第二貼合基板保持裝置以及第二貼合基板壓緊裝置以所述預(yù)定速度移動(dòng)。
47.如權(quán)利要求32所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，第一貼合基板壓緊裝置沿第二刻劃線在所述第一方向上移動(dòng)，第二貼合基板壓緊裝置沿第一刻劃線在所述第一方向上移動(dòng)，而所述脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)進(jìn)一步包括一個(gè)第五貼合基板保持裝置和一個(gè)第六貼合基板保持裝置，分別用于從第一貼合基板壓緊裝置和第二貼合基板壓緊裝置在與所述第一方向相對(duì)的方向上保持所述脆性基板。
48.如權(quán)利要求32所述的脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其中，當(dāng)?shù)谝毁N合基板保持裝置和第二貼合基板壓緊裝置彼此相對(duì)且所述貼合基板位于其間、第一刻劃線形成裝置在所述貼合基板第一表面上形成第一刻劃線、第二貼合基板保持裝置和第一貼合基板壓緊裝置彼此相對(duì)且所述貼合基板位于其間、以及第二刻劃線形成裝置在貼合基板的第二表面上形成第二刻劃線時(shí)，用于所述壓緊裝置的第一控制裝置控制所述第二貼合基板壓緊裝置，使得第二貼合基板壓緊裝置沿第一刻劃線移動(dòng)，而用于所述壓緊裝置的第二控制裝置控制所述第一貼合基板壓緊裝置，使得第一貼合基板壓緊裝置沿第二刻劃線移動(dòng)。
49.一種脆性基板分?jǐn)喾椒?，包括以下步驟(a)在一片脆性基板的第一表面上形成一刻劃線；和(b)沿所述刻劃線斷裂所述脆性基板；且步驟(b)包括以下步驟(b-1)當(dāng)脆性基板第一表面被保持時(shí)，沿所述刻劃線移動(dòng)一作用在與所述脆性基板第一表面相對(duì)的脆性基板第二表面上的壓緊力。
50.如權(quán)利要求49所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，步驟(b)由一個(gè)用于沿刻劃線斷裂所述脆性基板的斷裂設(shè)備完成，所述斷裂設(shè)備包括一個(gè)用于壓緊所述脆性基板第二表面的壓緊裝置；和一個(gè)用于保持所述脆性基板第一表面的第一保持裝置，而步驟(b-1)包括當(dāng)?shù)谝槐３盅b置和壓緊裝置彼此相對(duì)且所述脆性基板位于其間時(shí)沿刻劃線移動(dòng)所述壓緊裝置的步驟。
51.如權(quán)利要求50所述的脆性基板分?jǐn)喾椒ǎ渲?，步驟(b-1)包括對(duì)壓緊裝置進(jìn)行控制使得壓緊裝置沿刻劃線滾動(dòng)的步驟。
52.如權(quán)利要求51所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，壓緊裝置為一輥?zhàn)印?br> 53.如權(quán)利要求51所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，壓緊裝置為一傳送帶。
54.如權(quán)利要求51所述的脆性基板分?jǐn)喾椒ǎ渲?，壓緊裝置為一軸承。
55.如權(quán)利要求50所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，在壓緊裝置內(nèi)形成一凹槽部分，使得壓緊裝置不接觸脆性基板第二表面上的一線，該線與刻劃線相對(duì)。
56.如權(quán)利要求50所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，步驟(b)進(jìn)一步包括下一步驟(b-2)對(duì)第一保持裝置進(jìn)行控制，使得當(dāng)?shù)谝槐３盅b置和壓緊裝置彼此相對(duì)且所述脆性基板位于其間時(shí)，第一保持裝置沿刻劃線移動(dòng)。
57.如權(quán)利要求56所述的脆性基板分?jǐn)喾椒ǎ渲?，步驟(b-2)包括對(duì)第一保持裝置進(jìn)行控制使得第一保持裝置沿刻劃線滾動(dòng)的步驟。
58.如權(quán)利要求57所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，保持裝置為一輥?zhàn)印?br> 59.如權(quán)利要求57所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，保持裝置為一傳送帶。
60.如權(quán)利要求57所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，保持裝置為一軸承。
61.如權(quán)利要求56所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，在第一保持裝置內(nèi)形成一凹槽部分，使得第一保持裝置不與刻劃線接觸。
62.如權(quán)利要求61所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，在第一保持裝置上形成的凹槽部分的寬度大于所述壓緊裝置的寬度。
63.如權(quán)利要求50所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，所述壓緊裝置沿刻劃線在第一方向上移動(dòng)，且進(jìn)一步包括一個(gè)第二保持裝置和一個(gè)第三保持裝置，用于從壓緊裝置在第一方向上保持脆性基板，步驟(b)進(jìn)一步包括下一步驟(b-3)對(duì)第二保持裝置進(jìn)行控制，使得當(dāng)?shù)诙３盅b置保持所述脆性基板時(shí)所述第二保持裝置在第一表面上沿刻劃線移動(dòng)；以及對(duì)第三保持裝置進(jìn)行控制，使得當(dāng)?shù)谌３盅b置保持脆性基板時(shí)所述第三保持裝置在第二表面上沿刻劃線移動(dòng)。
64.如權(quán)利要求63所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，步驟(b-3)包括以下步驟當(dāng)?shù)诙３盅b置和第三保持裝置彼此相對(duì)且所述脆性基板位于其間時(shí)，對(duì)第二保持裝置進(jìn)行控制，使得第一保持裝置和第二保持裝置以一預(yù)定速度移動(dòng)，以及對(duì)第三保持裝置進(jìn)行控制，使得第三保持裝置和壓緊裝置以所述預(yù)定速度移動(dòng)。
65.如權(quán)利要求2所述的脆性基板分?jǐn)喾椒ǎ渲?，壓緊裝置沿刻劃線在第一方向上移動(dòng)，且進(jìn)一步包括一第四保持裝置和一第五保持裝置，用于從壓緊裝置朝與第一方向相反的方向保持脆性基板。
66.如權(quán)利要求49所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，步驟(a)包括以下步驟(a-1)發(fā)射激光束至脆性基板的第一表面；和(a-2)對(duì)脆性基板第一表面由激光束發(fā)射裝置發(fā)射的激光束照射的部位附近進(jìn)行冷卻。
67.如權(quán)利要求66所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，步驟(a-2)由冷卻介質(zhì)完成，冷卻裝置為一冷卻噴嘴，而所述冷卻噴嘴通過(guò)噴射冷卻介質(zhì)到脆性基板的第一表面上而對(duì)激光束照射部位附近進(jìn)行冷卻。
68.如權(quán)利要求67所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，步驟(a-1)由一激光束發(fā)射裝置完成，且包括接受由激光束發(fā)射裝置發(fā)射的激光束與由冷卻噴嘴噴射的介質(zhì)兩者中至少一個(gè)的步驟。
69.如權(quán)利要求68所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，接受由激光束發(fā)射裝置發(fā)射的激光束和由冷卻噴嘴噴射的介質(zhì)兩者中至少之一的步驟由一激光束/冷卻介質(zhì)接受部件完成，并且所述激光束/冷卻介質(zhì)接受部件能夠相對(duì)于所述壓緊裝置單獨(dú)運(yùn)動(dòng)。
70.如權(quán)利要求68所述的脆性基板分?jǐn)喾椒ǎ渲?，冷卻噴嘴能夠沿刻劃線移動(dòng)。
71.如權(quán)利要求66所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，步驟(a)進(jìn)一步包括在脆性基板第一表面上的刻劃線的形成起始位置處形成一切口的步驟。
72.如權(quán)利要求71所述的脆性基板分?jǐn)喾椒ǎ渲?，切口形成步驟由一切口形成刀具機(jī)構(gòu)完成，且切口形成刀具機(jī)構(gòu)能夠與激光束發(fā)射裝置和冷卻裝置一體地移動(dòng)。
73.如權(quán)利要求49所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，步驟(b)由一劃線裝置完成，且所述刻劃線形成裝置為一刀具。
74.如權(quán)利要求73所述的脆性基板分?jǐn)喾椒ǎ渲?，所述刀具為一盤狀刀輪尖，且一刃部形成于刀輪尖的一外周邊緣處。
75.如權(quán)利要求74所述的脆性基板分?jǐn)喾椒ǎ渲?，多個(gè)凹進(jìn)部分以一預(yù)定間距形成于所述刃部的一脊形部分內(nèi)。
76.如權(quán)利要求73所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，刀具能夠相?duì)于壓緊裝置單獨(dú)地運(yùn)動(dòng)。
77.如權(quán)利要求50所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，步驟(b-1)對(duì)壓緊裝置進(jìn)行控制，當(dāng)?shù)谝槐３盅b置和壓緊裝置彼此相對(duì)且所述脆性基板位于其間時(shí)，以及當(dāng)所述刻劃線形成裝置在脆性基板第一表面上形成刻劃線時(shí)，使得壓緊裝置沿刻劃線移動(dòng)。
78.如權(quán)利要求49所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，步驟(b)進(jìn)一步包括當(dāng)脆性基板被保持時(shí)在脆性基板第一表面上形成刻劃線的步驟，并且步驟(b)進(jìn)一步包括壓緊與脆性基板第一表面相對(duì)的第二表面的步驟。
79.如權(quán)利要求49所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，脆性基板為通過(guò)貼合基板而得到的貼合基板，劃線設(shè)備包括一用于在貼合基板第一表面上形成一第一刻劃線的第一刻劃線形成裝置、以及一用于在與貼合基板第一表面相對(duì)的貼合基板第二表面上形成一第二刻劃線的第二刻劃線形成裝置，步驟(b-1)包括以下步驟沿由第一刻劃線形成裝置在貼合基板第一表面上形成的第一刻劃線斷裂所述貼合基板，以及沿由第二刻劃線形成裝置在貼合基板第二表面上形成的第二刻劃線斷裂所述貼合基板，以及當(dāng)貼合基板第一表面被保持時(shí)，沿著刻劃線移動(dòng)一個(gè)作用在與貼合基板第一表面相對(duì)的貼合基板第二表面上的壓緊力。
80.如權(quán)利要求49所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，步驟(b)由一用于沿所述刻劃線斷裂所述脆性基板的斷裂設(shè)備完成，所述斷裂設(shè)備包括一個(gè)用于壓緊所述貼合基板第一表面的第一貼合基板壓緊裝置，一個(gè)用于壓緊所述貼合基板第二表面的第二貼合基板壓緊裝置，一個(gè)用于保持所述貼合基板第一表面的第一貼合基板保持裝置；和一個(gè)用于保持所述貼合基板第二表面的第二貼合基板保持裝置，步驟(b-1)包括以下步驟對(duì)第二貼合基板壓緊裝置進(jìn)行控制，當(dāng)?shù)谝毁N合基板保持裝置和第二貼合基板保持裝置彼此相對(duì)且所述貼合基板位于其間時(shí)，使得第二貼合基板壓緊裝置沿第一刻劃線移動(dòng)；以及對(duì)第一貼合基板壓緊裝置進(jìn)行控制，當(dāng)?shù)诙N合基板保持裝置和第一貼合基板保持裝置彼此相對(duì)且所述貼合基板位于其間時(shí)，使得第一貼合基板壓緊裝置沿第二刻劃線移動(dòng)。
81.如權(quán)利要求80所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中步驟(b-1)包括以下步驟對(duì)第二貼合基板壓緊裝置進(jìn)行控制，使得第二貼合基板壓緊裝置沿所述第一刻劃線滾動(dòng)；以及對(duì)第一貼合基板壓緊裝置進(jìn)行控制，使得第一貼合基板壓緊裝置沿第二刻劃線滾動(dòng)。
82.如權(quán)利要求81所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，第一貼合基板壓緊裝置和第二貼合基板壓緊裝置為輥?zhàn)印?br> 83.如權(quán)利要求81所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，所述壓緊裝置為傳送帶。
84.如權(quán)利要求81所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，所述壓緊裝置為軸承。
85.如權(quán)利要求80所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，一個(gè)第一個(gè)凹槽部分形成于第二貼合基板壓緊裝置內(nèi)，使得第二貼合基板壓緊裝置不接觸所述貼合基板第二表面上的一條與第一刻劃線相對(duì)的線，并且一個(gè)第二凹槽部分形成于第一貼合基板壓緊裝置內(nèi)，使得第一貼合基板壓緊裝置不接觸所述貼合基板第一表面上的一條與第二刻劃線相對(duì)的線。
86.如權(quán)利要求80所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，步驟(b)進(jìn)一步包括以下步驟(b-2)對(duì)第一貼合基板保持裝置進(jìn)行控制，當(dāng)?shù)谝毁N合基板保持裝置和第二貼合基板壓緊裝置彼此相對(duì)且所述貼合基板位于其間時(shí)，使得第一貼合基板保持裝置沿所述第一刻劃線移動(dòng)，以及對(duì)第二貼合基板保持裝置進(jìn)行控制，當(dāng)?shù)诙N合基板保持裝置和第一貼合基板壓緊裝置彼此相對(duì)且所述貼合基板位于其間時(shí)，使得第二貼合基板保持裝置沿所述第二刻劃線移動(dòng)。
87.如權(quán)利要求86所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，步驟(b-2)包括下面的步驟對(duì)第一貼合基板保持裝置進(jìn)行控制，使得第一貼合基板保持裝置沿第一刻劃線滾動(dòng)，以及對(duì)第二貼合基板保持裝置進(jìn)行控制，使得第二貼合基板保持裝置沿第二刻劃線滾動(dòng)。
88.如權(quán)利要求87所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，第一貼合基板保持裝置和第二貼合基板保持裝置為輥?zhàn)印?br> 89.如權(quán)利要求87所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，第一貼合基板保持裝置和第二貼合基板保持裝置為傳送帶。
90.如權(quán)利要求87所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，第一貼合基板保持裝置和第二貼合基板保持裝置為軸承。
91.如權(quán)利要求86所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，一個(gè)第三凹槽部分形成于第一貼合基板保持裝置內(nèi)，使得第一貼合基板保持裝置不接觸第一刻劃線，而一個(gè)第四凹槽部分形成于第二貼合基板保持裝置內(nèi)，使得第二貼合基板保持裝置不接觸第二刻劃線。
92.如權(quán)利要求91所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，形成于第一貼合基板保持裝置內(nèi)的第三凹槽部分的寬度大于第二貼合基板壓緊裝置的寬度，而形成于第二貼合基板保持裝置內(nèi)第四凹槽部分的寬度大于第一貼合基板壓緊裝置的寬度。
93.如權(quán)利要求80所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，第一貼合基板壓緊裝置和第二基板壓緊裝置分別沿第一刻劃線和第二刻劃線朝一第一方向移動(dòng)，而所述脆性基板分?jǐn)喾椒ㄟM(jìn)一步包括使用一個(gè)第三貼合基板保持裝置和一個(gè)第四貼合基板保持裝置，分別用于從第一貼合基板壓緊裝置和第二貼合基板壓緊裝置在第一方向上保持所述脆性基板，步驟(b)進(jìn)一步包括下一步驟(b-3)對(duì)第三貼合基板保持裝置進(jìn)行控制，當(dāng)?shù)谌N合基板保持裝置保持所述貼合基板時(shí)，使得第三貼合基板保持裝置在第一表面上沿第一刻劃線移動(dòng)，以及對(duì)第四貼合基板保持裝置進(jìn)行控制，當(dāng)?shù)谒馁N合基板保持裝置保持所述貼合基板時(shí)，使得第四貼合基板保持裝置沿第二刻劃線在第二表面上移動(dòng)。
94.如權(quán)利要求93所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，步驟(b-3)包括下一步驟當(dāng)?shù)谌N合基板保持裝置和第四貼合基板保持裝置彼此相對(duì)且所述貼合基板位于其間時(shí)，對(duì)第三貼合基板保持裝置進(jìn)行控制，使得第三貼合基板保持裝置、第一貼合基板保持裝置和第一貼合基板壓緊裝置以一預(yù)定速度移動(dòng)，且用于保持裝置的第三控制裝置對(duì)所述第四貼合基板保持裝置進(jìn)行控制，使得第四貼合基板保持裝置、第二貼合基板保持裝置和第二貼合基板壓緊裝置以所述預(yù)定速度移動(dòng)。
95.如權(quán)利要求80所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，其中，第一貼合基板壓緊裝置沿第二刻劃線在第一方向上移動(dòng)，第二貼合基板壓緊裝置沿第一刻劃線在第一方向上移動(dòng)，所述脆性基板分?jǐn)喾椒ㄟM(jìn)一步包括使用一個(gè)第五貼合基板保持裝置和一個(gè)第六貼合基板保持裝置，分別用于從第一貼合基板壓緊裝置和第二貼合基板壓緊裝置朝與第一方向相反的方向保持脆性基板。
96.如權(quán)利要求80所述的脆性基板分?jǐn)喾椒?，包括下面的步驟當(dāng)?shù)谝毁N合基板保持裝置和第二貼合基板壓緊裝置彼此相對(duì)且貼合基板位于其間、第一刻劃線形成裝置在貼合基板第一表面上形成第一刻劃線、第二貼合基板保持裝置和第一貼合基板壓緊裝置彼此相對(duì)且所述貼合基板位于其間、且第二刻劃線形成裝置在所述貼合基板第二表面上形成第二刻劃線時(shí)，對(duì)第二貼合基板壓緊裝置進(jìn)行控制，使得第二貼合基板壓緊裝置沿第一刻劃線移動(dòng)，并且對(duì)第一貼合基板壓緊裝置進(jìn)行控制，使得第一貼合基板壓緊裝置沿刻劃線移動(dòng)。
全文摘要
一種脆性基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，包括一個(gè)帶有用于在脆性基板的第一表面上形成刻劃線的刻劃線形成裝置的劃線設(shè)備；以及一個(gè)用于沿刻劃線斷裂脆性基板的斷裂設(shè)備，其中斷裂設(shè)備具有一個(gè)第一壓緊控制裝置，通過(guò)該第一壓緊控制裝置，在保持脆性基板第一表面的同時(shí)，作用在與脆性基板第一表面相對(duì)的脆性基板第二表面上的壓緊力沿刻劃線移動(dòng)。
文檔編號(hào)B23K26/38GK1809512SQ20048001742
公開日2006年7月26日 申請(qǐng)日期2004年4月27日 優(yōu)先權(quán)日2003年4月28日
發(fā)明者音田健司, 井上修一 申請(qǐng)人:三星鉆石工業(yè)株式會(huì)社