光罩線路檢測(cè)儀的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及光罩檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種光罩線路檢測(cè)儀。
【背景技術(shù)】
[0002]光罩，又稱光掩模版，其上形成有與半導(dǎo)體芯片對(duì)應(yīng)的電路布線圖。目前，在光罩的制造過程中，需要人工使用放大鏡(10倍)對(duì)光罩上的線路進(jìn)行檢測(cè)，但這種檢測(cè)方式需不停調(diào)整光罩的位置，易造成材料刮花、磨損，同時(shí)也容易造成漏檢，使不良品流往生產(chǎn)線，增加了產(chǎn)品制造的不良風(fēng)險(xiǎn)，形成的廢品浪費(fèi)生產(chǎn)成本。另外由于光罩本身很笨重，難以移動(dòng)，會(huì)導(dǎo)致檢測(cè)難度增大，檢測(cè)不精確。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]基于此，本實(shí)用新型在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種便于檢測(cè)的光罩線路檢測(cè)儀，大大提升了光罩線路的檢測(cè)效率，省時(shí)省力。
[0004]其技術(shù)方案如下:
[0005]—種光罩線路檢測(cè)儀，包括工作平臺(tái)、橫梁、放大裝置及顯示裝置，所述工作平臺(tái)上設(shè)有用于放置光罩的曝光區(qū)，所述曝光區(qū)的下方設(shè)有燈箱，所述工作平臺(tái)上還設(shè)有兩條相對(duì)設(shè)置的導(dǎo)軌，所述橫梁可滑動(dòng)地安裝在兩條導(dǎo)軌上，所述放大裝置可滑動(dòng)地安裝在橫梁上，所述顯示裝置與放大裝置電性連接。
[0006]在其中一個(gè)實(shí)施例中，兩條所述導(dǎo)軌分別安裝在曝光區(qū)的兩側(cè)，所述放大裝置吊裝在橫梁的下方。
[0007]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述顯示裝置固定在橫梁上。
[0008]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述燈箱內(nèi)至少設(shè)有三根日光燈管。
[0009]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述光罩線路檢測(cè)儀還包括第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)及第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述橫梁與第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)連接，所述放大裝置與第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)連接。
[0010]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述光罩線路檢測(cè)儀還包括控制器，所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)、第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)分別與所述控制器電性連接。
[0011]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述光罩線路檢測(cè)儀還包括放大倍數(shù)調(diào)節(jié)器，所述放大倍數(shù)調(diào)節(jié)器與放大裝置電性連接。
[0012]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述曝光區(qū)上鋪設(shè)有若干靜電條。
[0013]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述放大裝置為CXD攝像頭，所述顯示裝置為CXD顯示器。
[0014]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述光罩線路檢測(cè)儀還包括與所述導(dǎo)軌匹配的導(dǎo)軌支架，所述導(dǎo)軌通過導(dǎo)軌支架安裝在工作平臺(tái)上。
[0015]下面對(duì)前述技術(shù)方案的優(yōu)點(diǎn)或原理進(jìn)行說明:
[0016]上述光罩線路檢測(cè)儀，在進(jìn)行線路檢測(cè)時(shí)，將待測(cè)光罩置于曝光區(qū)上，曝光區(qū)下的燈箱提供檢測(cè)所需的光源，由于橫梁可在導(dǎo)軌上滑動(dòng)，且放大裝置可在橫梁上滑動(dòng)，因而可根據(jù)檢測(cè)需要，將放大裝置移動(dòng)至曝光區(qū)的任意位置對(duì)待測(cè)光罩上的線路進(jìn)行放大，放大的圖像由顯示裝置輸出。利用該光罩線路檢測(cè)儀，檢測(cè)人員可以大幅提升檢驗(yàn)的速度，節(jié)約檢測(cè)時(shí)間，而且檢驗(yàn)的結(jié)果更準(zhǔn)確，能大大降低了檢驗(yàn)成本。檢測(cè)過程并不需要對(duì)光罩進(jìn)行移動(dòng)，避免了材料刮花或磨損，也不會(huì)對(duì)曝光區(qū)造成損壞。
【附圖說明】
[0017]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例所述的光罩線路檢測(cè)儀的剖視示意圖。
[0018]附圖標(biāo)記說明:
[0019]1、工作平臺(tái)，2、橫梁，3、放大裝置，4、顯示裝置，5、曝光區(qū)，6、燈箱，7、導(dǎo)軌，8、導(dǎo)軌支架。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明:
[0021]如圖1所示，本實(shí)施例提供了一種光罩線路檢測(cè)儀，包括工作平臺(tái)1、橫梁2、放大裝置3及顯示裝置4，所述工作平臺(tái)I上設(shè)有用于放置光罩的曝光區(qū)5，所述曝光區(qū)5的下方設(shè)有燈箱6，所述工作平臺(tái)I上還設(shè)有兩條相對(duì)設(shè)置的導(dǎo)軌7，所述橫梁2可滑動(dòng)地安裝在兩條導(dǎo)軌7上，所述放大裝置3可滑動(dòng)地安裝在橫梁2上，所述顯示裝置4與放大裝置3電性連接。上述光罩線路檢測(cè)儀，在進(jìn)行線路檢測(cè)時(shí)，將待測(cè)光罩置于曝光區(qū)5上，曝光區(qū)5下的燈箱6提供檢測(cè)所需的光源，由于橫梁2可在導(dǎo)軌7上滑動(dòng)，且放大裝置3可在橫梁2上滑動(dòng)，因而可根據(jù)檢測(cè)需要，將放大裝置3移動(dòng)至曝光區(qū)5的任意位置對(duì)待測(cè)光罩上的線路進(jìn)行放大，放大的圖像由顯示裝置4輸出。利用該光罩線路檢測(cè)儀，檢測(cè)人員可以大幅提升檢驗(yàn)的速度，節(jié)約檢測(cè)時(shí)間，而且檢驗(yàn)的結(jié)果更準(zhǔn)確，能大大降低了檢驗(yàn)成本。檢測(cè)過程并不需要對(duì)光罩進(jìn)行移動(dòng)，避免了材料刮花或磨損，也不會(huì)對(duì)曝光區(qū)5造成損壞。
[0022]在本實(shí)施例中，兩條所述導(dǎo)軌7分別安裝在曝光區(qū)5的兩側(cè)，使橫梁2處于曝光區(qū)5的上方，所述放大裝置3吊裝在橫梁2的下方，靠近待測(cè)光罩以便放大。所述顯示裝置4固定在橫梁2上，跟隨橫梁2移動(dòng)，檢測(cè)人員在觀察到圖像的同時(shí)能夠得知橫梁2移動(dòng)至何處，便于檢測(cè)?？梢岳斫獾?，顯示裝置4也可以固定在其它地方，以方便觀察為宜。所述光罩線路檢測(cè)儀還包括第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)及第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述橫梁2與第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)連接，所述放大裝置3與第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)連接，驅(qū)使橫梁2和放大裝置3移動(dòng)。優(yōu)選的，所述燈箱6內(nèi)至少設(shè)有三根日光燈管，充分照亮曝光區(qū)5上的待測(cè)光罩，方便檢測(cè)。
[0023]本實(shí)施例所述的光罩線路檢測(cè)儀還包括控制器，所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)、第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)分別與所述控制器電性連接，檢測(cè)人員通過操作控制器以控制橫梁2與放大裝置3的移動(dòng)方向。所述光罩線路檢測(cè)儀還包括放大倍數(shù)調(diào)節(jié)器，所述放大倍數(shù)調(diào)節(jié)器與放大裝置3電性連接，可作放大裝置3的倍率調(diào)整。所述曝光區(qū)5上鋪設(shè)有若干靜電條，防止靜電對(duì)待測(cè)光罩的損壞。
[0024]本實(shí)施例采用CCD攝像頭作為放大裝置3，畸變小、體積小、壽命長，最大放大倍數(shù)可達(dá)200倍，顯示裝置4為CXD顯示器，顯示圖像清晰。所述光罩線路檢測(cè)儀還包括與所述導(dǎo)軌7匹配的導(dǎo)軌支架8，所述導(dǎo)軌7通過導(dǎo)軌支架8安裝在工作平臺(tái)I上，以提高導(dǎo)軌7與橫梁2的高度，方便CCD攝像頭吊裝。
[0025]以上所述實(shí)施例的各技術(shù)特征可以進(jìn)行任意的組合，為使描述簡潔，未對(duì)上述實(shí)施例中的各個(gè)技術(shù)特征所有可能的組合都進(jìn)行描述，然而，只要這些技術(shù)特征的組合不存在矛盾，都應(yīng)當(dāng)認(rèn)為是本說明書記載的范圍。
[0026]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光罩線路檢測(cè)儀，其特征在于，包括工作平臺(tái)、橫梁、放大裝置及顯示裝置，所述工作平臺(tái)上設(shè)有用于放置光罩的曝光區(qū)，所述曝光區(qū)的下方設(shè)有燈箱，所述工作平臺(tái)上還設(shè)有兩條相對(duì)設(shè)置的導(dǎo)軌，所述橫梁可滑動(dòng)地安裝在兩條導(dǎo)軌上，所述放大裝置可滑動(dòng)地安裝在橫梁上，所述顯示裝置與放大裝置電性連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩線路檢測(cè)儀，其特征在于，兩條所述導(dǎo)軌分別安裝在曝光區(qū)的兩側(cè)，所述放大裝置吊裝在橫梁的下方。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光罩線路檢測(cè)儀，其特征在于，所述顯示裝置固定在橫梁上。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩線路檢測(cè)儀，其特征在于，所述燈箱內(nèi)至少設(shè)有三根日光燈管。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩線路檢測(cè)儀，其特征在于，還包括第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)及第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述橫梁與第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)連接，所述放大裝置與第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)連接。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光罩線路檢測(cè)儀，其特征在于，還包括控制器，所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)、第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)分別與所述控制器電性連接。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩線路檢測(cè)儀，其特征在于，還包括放大倍數(shù)調(diào)節(jié)器，所述放大倍數(shù)調(diào)節(jié)器與放大裝置電性連接。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩線路檢測(cè)儀，其特征在于，所述曝光區(qū)上鋪設(shè)有若干靜電條。9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的光罩線路檢測(cè)儀，其特征在于，所述放大裝置為CCD攝像頭，所述顯示裝置為C⑶顯示器。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光罩線路檢測(cè)儀，其特征在于，還包括與所述導(dǎo)軌匹配的導(dǎo)軌支架，所述導(dǎo)軌通過導(dǎo)軌支架安裝在工作平臺(tái)上。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種光罩線路檢測(cè)儀，包括工作平臺(tái)、橫梁、放大裝置及顯示裝置，所述工作平臺(tái)上設(shè)有用于放置光罩的曝光區(qū)，所述曝光區(qū)的下方設(shè)有燈箱，所述工作平臺(tái)上還設(shè)有兩條相對(duì)設(shè)置的導(dǎo)軌，所述橫梁可滑動(dòng)地安裝在兩條導(dǎo)軌上，所述放大裝置可滑動(dòng)地安裝在橫梁上，所述顯示裝置與放大裝置電性連接。上述光罩線路檢測(cè)儀，可根據(jù)檢測(cè)需要，將放大裝置移動(dòng)至曝光區(qū)的任意位置對(duì)待測(cè)光罩上的線路進(jìn)行放大，放大的圖像由顯示裝置輸出。利用該光罩線路檢測(cè)儀，檢測(cè)人員可以大幅提升檢驗(yàn)的速度，節(jié)約檢測(cè)時(shí)間，而且檢驗(yàn)的結(jié)果更準(zhǔn)確，能大大降低了檢驗(yàn)成本。檢測(cè)過程并不需要對(duì)光罩進(jìn)行移動(dòng)，避免了材料刮花或磨損，也不會(huì)對(duì)曝光區(qū)造成損壞。
【IPC分類】G03F1/44, G03F7/20
【公開號(hào)】CN204832763
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520468255
【發(fā)明人】胡德才, 李朝庭, 張義
【申請(qǐng)人】意力(廣州)電子科技有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請(qǐng)日】2015年7月1日