用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)，其配置為在兩個(gè)基板通過(guò)密封劑彼此附接的區(qū)域內(nèi)有效地切割結(jié)合基板，并在切割結(jié)合基板時(shí)使與結(jié)合基板的上表面接觸的面積最小。所述用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)包括：托臺(tái)，其支撐所述結(jié)合基板的一個(gè)端部；傾斜單元，其使所述結(jié)合基板的另一端部向上或向下傾斜，以切割所述結(jié)合基板；以及支撐單元，其配置為能夠上下移動(dòng)，以在所述托臺(tái)與所述傾斜單元之間支撐所述結(jié)合基板。
【專利說(shuō)明】
用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)，具體地，涉及一種用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)，其配置為在兩個(gè)基板通過(guò)密封劑彼此附接的區(qū)域內(nèi)有效地切割結(jié)合基板，并在切割結(jié)合基板時(shí)使與結(jié)合基板的上表面接觸的面積最小。
【背景技術(shù)】
[0002]液晶顯示器包括:液晶顯示面板，其包括驅(qū)動(dòng)電路單元；背光單元，其安裝在液晶顯示面板的下側(cè)處，并向液晶顯示面板發(fā)出光；模制框架，其支撐背光單元和液晶顯示面板；以及殼體。
[0003]此外，為了提高液晶顯示面板的生產(chǎn)率，通過(guò)在大尺寸的第一基板上形成薄膜晶體管陣列、在單獨(dú)的第二基板上形成彩色濾光片、結(jié)合第一基板和第二基板以形成結(jié)合基板、然后將結(jié)合基板切割成各個(gè)單元液晶顯示面板的過(guò)程來(lái)制造液晶顯示面板。
[0004]通常，通過(guò)使用由硬度高于玻璃的金剛石制成的刀輪在基板表面上形成劃線的過(guò)程、以及將機(jī)械力施加到基板上以使裂紋沿劃線擴(kuò)展的裂片過(guò)程，將結(jié)合基板切割成單元液晶顯不面板。
[0005]最近，由于趨于減小單元液晶顯示面板的尺寸，使將被切掉然后從結(jié)合基板去除的不工作區(qū)域的尺寸最小，這就需要?jiǎng)澗€過(guò)程和裂片過(guò)程的高精度。
[0006]同時(shí)，在單元液晶顯示面板彼此鄰近，在它們之間沒(méi)有不工作區(qū)域的情況下，在第一基板和第二基板通過(guò)密封劑附接的區(qū)域內(nèi)進(jìn)行劃線過(guò)程和裂片過(guò)程。在此情況下，由于密封劑的粘合力，不能順利地進(jìn)行裂片過(guò)程，結(jié)果，存在切割過(guò)程的缺陷率快速提高的問(wèn)題。
[0007]此外，最近，在基板上形成各種類型的電路以實(shí)現(xiàn)觸摸屏的功能，并且為了防止損壞電路，當(dāng)對(duì)結(jié)合基板進(jìn)行劃線過(guò)程和裂片過(guò)程時(shí)，需要使與結(jié)合基板接觸的面積最小。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0008]本發(fā)明致力于提供一種用于切割基板的系統(tǒng)，其能夠在兩個(gè)基板通過(guò)密封劑彼此附接的區(qū)域內(nèi)有效地切割結(jié)合基板，并且能夠使與結(jié)合基板的接觸面積最小。
[0009]本發(fā)明的示例性實(shí)施方式提供一種用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)，所述結(jié)合基板包括第一基板和第二基板，其中所述第一基板和所述第二基板通過(guò)插在它們之間的密封劑彼此附接，所述系統(tǒng)包括:托臺(tái)，其支撐結(jié)合基板的一個(gè)端部；傾斜單元，其使結(jié)合基板的另一端部向上或向下傾斜以切割結(jié)合基板；以及支撐單元，其配置為可上下移動(dòng)以在托臺(tái)與傾斜單元之間支撐結(jié)合基板。
[0010]支撐單元可設(shè)置在結(jié)合基板的上側(cè)或下側(cè)處，以支撐結(jié)合基板的上表面或下表面。
[0011]當(dāng)傾斜單元使結(jié)合基板的另一端部向上傾斜時(shí)，設(shè)置在結(jié)合基板的上側(cè)處的支撐單元可向下移動(dòng)，以支撐結(jié)合基板的上表面。
[0012]當(dāng)傾斜單元使結(jié)合基板的另一端部向下傾斜時(shí)，設(shè)置在結(jié)合基板的下側(cè)處的支撐單元可向上移動(dòng)，以支撐結(jié)合基板的下表面。
[0013]本發(fā)明的另一示例性實(shí)施方式提供一種用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)，所述結(jié)合基板包括第一基板和第二基板，其中所述第一基板和所述第二基板通過(guò)插在它們之間的密封劑彼此附接，所述系統(tǒng)包括:托臺(tái)，其支撐結(jié)合基板的一個(gè)端部；裂片單元，其具有裂片條，所述裂片條接觸并按壓結(jié)合基板的表面；傾斜單元，其使結(jié)合基板的另一端部向上或向下傾斜以切割結(jié)合基板；以及支撐單元，其配置為可向上和向下移動(dòng)，以在托臺(tái)與傾斜單元之間支撐結(jié)合基板，其中裂片單元和支撐單元設(shè)置為沿豎直方向彼此面對(duì)，結(jié)合基板放置在它們之間。
[0014]裂片單元可設(shè)置在結(jié)合基板的上側(cè)處，并可以向下按壓結(jié)合基板，并且當(dāng)裂片條與結(jié)合基板的上表面接觸時(shí)，支撐單元可以向上移動(dòng)，以支撐結(jié)合基板的下表面。
[0015]當(dāng)傾斜單元使結(jié)合基板的另一端部向上傾斜時(shí)，裂片條可接觸結(jié)合基板的上表面，以支撐結(jié)合基板。
[0016]當(dāng)傾斜單元使結(jié)合基板的另一端部向下傾斜時(shí)，設(shè)置在結(jié)合基板的下側(cè)處的支撐單元可向上移動(dòng)，以支撐結(jié)合基板的下表面。
[0017]本發(fā)明的又一示例性實(shí)施方式提供一種用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)，所述結(jié)合基板包括第一基板和第二基板，其中所述第一基板和所述第二基板通過(guò)插在它們之間的密封劑彼此附接，所述系統(tǒng)包括:托臺(tái)，其支撐結(jié)合基板的一個(gè)端部；第一裂片單元，其具有第一裂片條和第一支撐單元，所述第一裂片條接觸并按壓結(jié)合基板的上表面，所述第一支撐單元設(shè)置在第一裂片條的一側(cè)處；以及第二裂片單元，其具有第二裂片條和第二支撐單元，所述第二裂片條接觸并按壓結(jié)合基板的下表面，所述第二支撐單元設(shè)置在第二裂片條的另一側(cè)處，其中，第一裂片條和第二支撐單元設(shè)置為沿豎直方向彼此面對(duì)，結(jié)合基板放置在它們之間，并且第二裂片條和第一支撐單元設(shè)置為沿豎直方向彼此面對(duì)，結(jié)合基板放置在它們之間。
[0018]當(dāng)?shù)谝涣哑瑮l接觸結(jié)合基板的上表面時(shí)，第二支撐單元可以向上移動(dòng)以支撐結(jié)合基板的下表面，并且當(dāng)?shù)诙哑瑮l接觸結(jié)合基板的下表面時(shí)，第一支撐單元可以向下移動(dòng)以支撐結(jié)合基板的上表面。
[0019]第一裂片單元可以包括使第一支撐單元上下移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)單元和使第一裂片條相對(duì)于第一支撐單元上下移動(dòng)的輔助驅(qū)動(dòng)單元，并且第二裂片單元可以包括使第二支撐單元上下移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)單元和使第二裂片條相對(duì)于第二支撐單元上下移動(dòng)的輔助驅(qū)動(dòng)單元。
[0020]所述系統(tǒng)還可以包括傾斜單元，其使結(jié)合基板的另一端部向上或向下傾斜，以切割結(jié)合基板。
[0021]當(dāng)傾斜單元使結(jié)合基板的一個(gè)端部向上傾斜時(shí)，第一支撐單元可以向下移動(dòng)以支撐結(jié)合基板的上表面，并且當(dāng)傾斜單元使結(jié)合基板的一個(gè)端部向下傾斜時(shí)，第二支撐單元可以向上移動(dòng)以支撐結(jié)合基板的下表面。
[0022]根據(jù)本發(fā)明，可以通過(guò)將力順序地施加到第一基板和第二基板，以在兩個(gè)基板通過(guò)密封劑彼此附接的區(qū)域內(nèi)有效地切割結(jié)合基板，在不損壞結(jié)合基板的情況下以高精度進(jìn)行裂片過(guò)程。
[0023]此外，根據(jù)本發(fā)明，可在與結(jié)合基板的接觸面積最小的狀態(tài)下進(jìn)行裂片過(guò)程，從而防止損壞形成在基板上的電路。
【附圖說(shuō)明】
[0024]圖1是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)的整個(gè)過(guò)程單元的視圖。
[0025]圖2是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)的裂片過(guò)程單元的立體圖。
[0026]圖3是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的有待于被用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)切割的結(jié)合基板的視圖。
[0027]圖4A和4B是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)的支撐單元的視圖。
[0028]圖4C至4E是示意性地示出根據(jù)示例性實(shí)施方式切割結(jié)合基板的過(guò)程的視圖。
[0029]圖5A和5B是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明另一示例性實(shí)施方式的用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)的支撐單元和裂片裝置的視圖。
[0030]圖5C至5E是示意性地示出根據(jù)另一示例性實(shí)施方式切割結(jié)合基板的過(guò)程的視圖。
[0031]圖6A和6B是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明另一示例性實(shí)施方式的用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)的裂片裝置的視圖。
[0032]圖6C至6F是示意性地示出根據(jù)又一示例性實(shí)施方式切割結(jié)合基板的過(guò)程的視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0033]為了方便本文定義特定的術(shù)語(yǔ)，以有助于容易理解本發(fā)明。除非本文另外定義，本發(fā)明所使用的包括技術(shù)術(shù)語(yǔ)或科學(xué)術(shù)語(yǔ)的所有術(shù)語(yǔ)具有本領(lǐng)域技術(shù)人員通常理解的含義。此外，應(yīng)理解，本文所使用的單數(shù)表達(dá)包括其復(fù)數(shù)表達(dá)，并且復(fù)數(shù)表達(dá)也包括其單數(shù)表達(dá)，除非上下文另外明確規(guī)定。
[0034]包括序數(shù)詞，例如，第一摂、第二摂?shù)鹊男g(shù)語(yǔ)可以用來(lái)描述不同組成元件，但是組成元件不受這些術(shù)語(yǔ)限制。這些術(shù)語(yǔ)僅用來(lái)區(qū)分一個(gè)組成元件和另一個(gè)組成元件。
[0035]下文將參考附圖更加詳細(xì)地說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)的配置、以及使用所述系統(tǒng)切割結(jié)合基板的方法的原理。
[0036]圖1是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)的整個(gè)過(guò)程單元的視圖。參見圖1，用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)包括劃線過(guò)程單元100和裂片過(guò)程單元200，所述裂片過(guò)程單元200用于是劃線過(guò)程的后續(xù)過(guò)程的裂片過(guò)程，一個(gè)劃線過(guò)程單元100和一個(gè)裂片過(guò)程單元200定義為一組，并且可以設(shè)置多組劃線過(guò)程單元100和裂片單元200。
[0037]圖2是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)的裂片過(guò)程單元200的立體圖。
[0038]參見圖2，裂片過(guò)程單元200包括基板夾具單元201、托臺(tái)202以及支撐單元203a和203b，基板夾具單元201夾持結(jié)合基板P的后端部(基于輸送方向定義)，結(jié)合基板P放置在托臺(tái)202上，支撐單元203a和203b在切割結(jié)合基板P的區(qū)域中分別放置在結(jié)合基板P的上側(cè)和下側(cè)。
[0039]本發(fā)明涉及一種用于將放置在結(jié)合基板P上的多個(gè)單元液晶顯示面板切割成單獨(dú)的單元液晶顯示面板的系統(tǒng)，特別是涉及一種用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括裂片過(guò)程單元200，所述裂片過(guò)程單元200通過(guò)將力順序地施加到上部基板和下部基板上，以在兩個(gè)基板通過(guò)密封劑彼此附接的區(qū)域內(nèi)有效地切割結(jié)合基板P，在不損壞結(jié)合基板或切割表面的情況下，高精度地執(zhí)行裂片過(guò)程。
[0040]圖3示意性地示出根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的有待于被用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)切割的結(jié)合基板P的橫截面圖。
[0041]參見圖3，密封劑c插入第一基板I和第二基板2之間，并且第一基板I和第二基板2在密封劑c固化時(shí)完全彼此附接。
[0042]此外，通過(guò)由劃線單元100進(jìn)行的劃線過(guò)程，在第一基板I和第二基板2中分別形成預(yù)定切割線SI’和S2’。在此情況下，兩個(gè)預(yù)定切割線SI’和S2’可以形成在同一條線上或不同的線上。
[0043]根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)將力順序地施加到第一基板I和第二基板2，以在兩個(gè)基板I和2通過(guò)密封劑c彼此附接的區(qū)域內(nèi)有效地切割結(jié)合基板P。在此情況下，可以通過(guò)使結(jié)合基板P與用于將力施加到結(jié)合基板P的裝置之間的接觸面積最小，在不損壞結(jié)合基板的情況下高精度地進(jìn)行裂片過(guò)程。
[0044]根據(jù)實(shí)施以上配置的本發(fā)明的一個(gè)方面，可以提供用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括托臺(tái)、傾斜單元和支撐單元，所述托臺(tái)支撐結(jié)合基板的一個(gè)端部，所述傾斜單元使結(jié)合基板的另一端部向上或向下傾斜以切割結(jié)合基板，所述支撐單元配置為可向上和向下移動(dòng)，以在托臺(tái)與傾斜單元之間支撐結(jié)合基板。
[0045]在圖4A至4E中示意性地示出根據(jù)上述示例性實(shí)施方式的用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)。
[0046]圖4A和4B是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)的支撐單元的視圖，其中，圖4A示出設(shè)置在結(jié)合基板P的上側(cè)處以支撐結(jié)合基板P的上表面的第一支撐單元203a，并且圖4B示出設(shè)置在結(jié)合基板P的下側(cè)處以支撐結(jié)合基板P的下表面的第二支撐單元203b。
[0047]參見圖4A和4B，驅(qū)動(dòng)單元205a和205b安裝在支撐單元203a和203b中的每一個(gè)處，可以使支撐單元203a和203b沿結(jié)合基板P的輸送方向(Y軸方向)前后移動(dòng)，并且可以使支撐單元203a和203b沿Z軸方向上下移動(dòng)，以支撐結(jié)合基板P的上表面或下表面。
[0048]支撐單元203a和203b設(shè)置為接觸并支撐結(jié)合基板P，以防止在力施加到結(jié)合基板P時(shí)結(jié)合基板P抬起或扭曲，以切割結(jié)合基板P的第一基板或第二基板。
[0049]此外，與結(jié)合基板P的上表面(第一基板的暴露表面)接觸的第一支撐單元203a的下表面以及與結(jié)合基板P的下表面(第二基板的暴露表面)接觸的第二支撐單元203b的上表面，還可以設(shè)置有單獨(dú)的彈性構(gòu)件，或附接有具有彈性的膜，從而在支撐單元支撐結(jié)合基板P時(shí)防止形成裂紋或劃痕。
[0050]接下來(lái)，參見圖4C至4E，將描述根據(jù)示例性實(shí)施方式切割結(jié)合基板P的過(guò)程。
[0051]首先，當(dāng)通過(guò)基板輸送單元等將結(jié)合基板P提供到裂片過(guò)程單元時(shí)，結(jié)合基板P的一個(gè)端部放置在托臺(tái)202上，而結(jié)合基板P的另一端部放置在傾斜單元204上。
[0052]參見圖4C，傾斜單元204設(shè)置為托臺(tái)的形式，但可以設(shè)置為夾具的形式，以?shī)A持結(jié)合基板P的另一端部。例如，設(shè)置為托臺(tái)形式的傾斜單元204可以允許通過(guò)形成在托臺(tái)中的多個(gè)真空吸附單元等將結(jié)合基板P的另一端部放置在其上。
[0053]第一支撐單元203a設(shè)置在結(jié)合基板P的上側(cè)處，第二支撐單元203b設(shè)置在結(jié)合基板P的下側(cè)處，并且第一支撐單元203a和第二支撐單元203b放置為結(jié)合基板P放置在它們之間，但彼此不成一條直線，以支撐不同區(qū)域。但是，必要時(shí)，第一支撐單元203a和第二支撐單元203b可以放置為彼此面對(duì)，結(jié)合基板P放置在它們之間。
[0054]圖4D示出傾斜單元204使結(jié)合基板P的另一端部向下傾斜，以切割結(jié)合基板P的上部基板(圖3中的第一基板I)的狀態(tài)。
[0055]在此情況下，為了通過(guò)將力精確地施加到形成在第一基板I中的預(yù)定切割線SI’而沿希望的方向使豎直的裂紋擴(kuò)展，第二支撐單元203b通過(guò)驅(qū)動(dòng)單元向上移動(dòng)，以支撐結(jié)合基板P的下表面。
[0056]相反，參見圖4E，其中示出了傾斜單元204使結(jié)合基板P的另一端部向上傾斜，以切割結(jié)合基板P的下部基板(圖3中的第二基板2)的狀態(tài)，為了通過(guò)將力精確地施加到形成在第二基板2中的預(yù)定切割線S2’而沿希望的方向使豎直的裂紋擴(kuò)展，第一支撐單元203a通過(guò)驅(qū)動(dòng)單元向下移動(dòng)，以支撐結(jié)合基板P的上表面。
[0057]必要時(shí)，可以適當(dāng)?shù)剡x擇切割組成結(jié)合基板P的第一基板I和第二基板2的順序。
[0058]—般來(lái)說(shuō)，優(yōu)選地首先切割是結(jié)合基板P的上部基板的第一基板1，因?yàn)楫?dāng)力施加到結(jié)合基板P以切割結(jié)合基板P時(shí)，在豎直的裂紋沿預(yù)定切割線擴(kuò)展的同時(shí)，可能形成組成基板的材料(例如，玻璃)的碎片。
[0059]在此情況下，在首先切割是結(jié)合基板P的下部基板的第二基板2的情況下，玻璃碎片也可能形成在是結(jié)合基板P的上部基板的第一基板I上，在進(jìn)行順序的切割過(guò)程時(shí)，這可能引起不希望的裂紋或劃痕。
[0060]但是，根據(jù)示例性實(shí)施方式，因?yàn)橥ㄟ^(guò)傾斜單元204來(lái)施加用于切割組成結(jié)合基板P的第一基板I和第二基板2的力，并且不存在用于將力施加到結(jié)合基板P的表面以切割第一基板I和第二基板2的裝置，所以幾乎不存在形成不希望的裂紋或劃痕的可能性。
[0061]此外，當(dāng)切割組成結(jié)合基板P的第一基板I和第二基板2時(shí)，沒(méi)有必要翻轉(zhuǎn)結(jié)合基板P，以在切割是結(jié)合基板P的上部基板的第一基板I之后切割第二基板2，從而顯著地減少了執(zhí)行過(guò)程所需要的時(shí)間。
[0062]參見圖4D和4E，根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)不直接按壓形成在結(jié)合基板P中的預(yù)定切割線，而是操作為僅使結(jié)合基板P的另一端部向上或向下傾斜，以切割組成結(jié)合基板P的第一基板I和第二基板2中的每一個(gè)。
[0063]此外，支撐單元配置為以最小面積與結(jié)合基板P接觸，以當(dāng)使結(jié)合基板P傾斜時(shí)，防止結(jié)合基板P抬起或扭曲。
[0064]S卩，根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式，可在與結(jié)合基板P的接觸面積最小的狀態(tài)下進(jìn)行裂片過(guò)程，從而防止損壞結(jié)合基板P。
[0065]根據(jù)解決本發(fā)明技術(shù)問(wèn)題的本發(fā)明的另一方面，可以提供一種用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括托臺(tái)、裂片單元、傾斜單元和支撐單元，所述托臺(tái)支撐結(jié)合基板的一個(gè)端部，所述裂片單元具有裂片條，所述裂片條接觸并按壓結(jié)合基板的表面，所述傾斜單元使結(jié)合基板的另一端部向上或向下傾斜以切割結(jié)合基板，所述支撐單元配置為可向上和向下移動(dòng)，以在托臺(tái)與傾斜單元之間支撐結(jié)合基板。
[0066]在圖5A至5E中示意性地示出根據(jù)上述示例性實(shí)施方式的用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)。
[0067]圖5A和5B是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明另一示例性實(shí)施方式的用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)的支撐單元和裂片裝置的視圖。
[0068]在此，圖5A示出了第一支撐單元203a和第一裂片單元，其中所述第一支撐單元203a設(shè)置在結(jié)合基板P的上側(cè)處，以支撐結(jié)合基板P的上表面，所述第一裂片單元包括第一裂片條206a，所述第一裂片條206a接觸并向下按壓結(jié)合基板P的上表面；并且圖5B示出了第二支撐單元203b，所述第二支撐單元203b設(shè)置在結(jié)合基板P的下側(cè)處，以支撐結(jié)合基板P的下表面。
[0069]此外，雖然未單獨(dú)示出，但裂片條可以與第二支撐單元一起而不是與第一支撐單元一起設(shè)置。
[0070]參見圖5A，驅(qū)動(dòng)單元205a安裝在第一支撐單元203a處，以便使支撐單元203a沿結(jié)合基板P的輸送方向(Y軸方向)前后移動(dòng)，并且可以使支撐單元203a沿Z軸方向向下移動(dòng)，以支撐結(jié)合基板P的上表面。
[0071 ] 此外，第一裂片單元安裝在第一支撐單元203a處，并且可以相對(duì)于第一支撐單元203a移動(dòng)。
[0072]在此情況下，第一裂片單元可以通過(guò)輔助驅(qū)動(dòng)單元207a安裝在第一支撐單元203a處，并且輔助驅(qū)動(dòng)單元207a允許第一裂片條206a相對(duì)于第一支撐單元203a上下移動(dòng)。
[0073]S卩，第一裂片條206a和第一支撐單元203a可以通過(guò)驅(qū)動(dòng)單元205a同時(shí)上下移動(dòng)，并且第一裂片條206a可以與第一支撐單元203a —起進(jìn)一步通過(guò)輔助驅(qū)動(dòng)單元207a從通過(guò)驅(qū)動(dòng)單元205a固定第一裂片條206a的位置移動(dòng)。
[0074]因?yàn)閳D5B中所示的第二支撐單元203b和用于操作第二支撐單元203b的組成元件與圖3B所示的那些相同，所以將省略其詳細(xì)說(shuō)明。
[0075]接下來(lái)，參見圖5C至5E，將描述根據(jù)示例性實(shí)施方式切割結(jié)合基板P的過(guò)程。
[0076]首先，當(dāng)通過(guò)基板輸送單元等將結(jié)合基板P提供到裂片過(guò)程單元時(shí)，結(jié)合基板P的一個(gè)端部放置在托臺(tái)202上，而結(jié)合基板P的另一端部放置在傾斜單元204上。
[0077]參見圖5C，傾斜單元204設(shè)置為托臺(tái)的形式，但可以設(shè)置為夾具的形式，以?shī)A持結(jié)合基板P的另一端部。例如，設(shè)置為托臺(tái)形式的傾斜單元204可以允許通過(guò)形成在托臺(tái)中的多個(gè)真空吸附單元等將結(jié)合基板P的另一端部放置在其上。
[0078]第一支撐單元203a設(shè)置在結(jié)合基板P的上側(cè)處，第二支撐單元203b設(shè)置在結(jié)合基板P的下側(cè)處，并且第一支撐單元203a和第二支撐單元203b放置為結(jié)合基板P放置在它們之間，但彼此不成一條直線，以支撐不同區(qū)域。
[0079]此外，第一裂片條206a放置在結(jié)合基板P的上側(cè)處，其中第一裂片條206a接觸并按壓結(jié)合基板P的上部基板(圖3中的第一基板I)的表面。在此，第一裂片條206a和第二支撐單元203b放置為沿豎直方向彼此面對(duì)，結(jié)合基板P放置在它們之間。
[0080]圖f5D示出第一裂片條206a向下按壓預(yù)定切割線形成在其中的結(jié)合基板P的上部，以切割結(jié)合基板P的下部基板(圖3中的第二基板2)的狀態(tài)。
[0081]在此情況下，當(dāng)?shù)谝涣哑瑮l206a與結(jié)合基板P的上表面接觸時(shí)，第二支撐單元203b向上移動(dòng)，以支撐結(jié)合基板P的下表面。
[0082]因?yàn)樵诮Y(jié)合基板P的下表面被第二支撐單元203b支撐的狀態(tài)下，第一裂片條206a向下按壓結(jié)合基板P，所以可以防止當(dāng)力施加到結(jié)合基板P時(shí)結(jié)合基板P扭曲或偏離，從而精確地切割結(jié)合基板P。
[0083]接下來(lái)，參見示出了傾斜單元204使結(jié)合基板P的另一端部向下傾斜的狀態(tài)的圖5E，第二支撐單元203b保持在支撐結(jié)合基板P的下表面，以便將力精確地施加到形成在第一基板I中的預(yù)定切割線SI’，以使豎直裂紋沿希望的方向擴(kuò)展的狀態(tài)。
[0084]根據(jù)解決本發(fā)明技術(shù)問(wèn)題的本發(fā)明的又一方面，提供一種用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括:托臺(tái)，其支撐結(jié)合基板的一個(gè)端部；第一裂片單元，其包括第一裂片條和第一支撐單元，所述第一裂片條接觸并按壓結(jié)合基板的上表面，所述第一支撐單元設(shè)置在第一裂片條的一側(cè)處；以及第二裂片單元，其包括第二裂片條和第二支撐單元，所述第二裂片條接觸并按壓結(jié)合基板的下表面，所述第二支撐單元設(shè)置在第二裂片條的另一側(cè)處。
[0085]在圖6A至6F中示意性地示出根據(jù)上述示例性實(shí)施方式的用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)。
[0086]圖6A和6B是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明又一示例性實(shí)施方式的用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)的支撐單元和裂片裝置的視圖。
[0087]在此，圖6A示出了第一裂片單元，其具有第一裂片條206a和第一支撐單元203a，所述第一裂片條206a接觸并按壓結(jié)合基板P的上表面，所述第一支撐單元203a設(shè)置在第一裂片條206a的一側(cè)處；并且圖6B示出了第二裂片單元，其具有第二裂片條206b和第二支撐單元203b，所述第二裂片條206b接觸并按壓結(jié)合基板P的下表面，所述第二支撐單元203b設(shè)置在第二裂片條206b的一側(cè)處。
[0088]參見圖6A和6B，驅(qū)動(dòng)單元205a和205b安裝在支撐單元203a和203b中的每一個(gè)處，可以使支撐單元203a和203b沿結(jié)合基板P的輸送方向(Y軸方向)前后移動(dòng)，并且可以使支撐單元203a和203b沿Z軸方向上下移動(dòng)，以支撐結(jié)合基板P的上表面或下表面。
[0089]此外，裂片條206a和206b安裝在支撐單元203a和203b處，并且可以相對(duì)于支撐單元203a和203b移動(dòng)。
[0090]在此情況下，裂片單元206a和206b可以通過(guò)輔助驅(qū)動(dòng)單元207a和207b安裝在支撐單元203a和203b處，并且輔助驅(qū)動(dòng)單元207a和207b允許裂片條206a和206b相對(duì)于支撐單元203a和203b上下移動(dòng)。
[0091]S卩，裂片條206a和206b以及支撐單元203a和203b可以通過(guò)驅(qū)動(dòng)單元205a和205b同時(shí)上下移動(dòng)，并且裂片條206a和206b可以與支撐單元203a和203b —起進(jìn)一步通過(guò)輔助驅(qū)動(dòng)單元207a和207b從通過(guò)驅(qū)動(dòng)單元205a和205b固定裂片條206a和206b的位置移動(dòng)。
[0092]接下來(lái)，參見圖6C至6F，將描述根據(jù)示例性實(shí)施方式切割結(jié)合基板P的過(guò)程。
[0093]首先，當(dāng)通過(guò)基板輸送單元等將結(jié)合基板P提供到裂片過(guò)程單元時(shí)，結(jié)合基板P的一個(gè)端部放置在托臺(tái)202上，而結(jié)合基板P的另一端部放置在傾斜單元204上。
[0094]參見圖6C，傾斜單元204設(shè)置為托臺(tái)的形式，但可以設(shè)置為夾具的形式，以?shī)A持結(jié)合基板P的另一端部。例如，設(shè)置為托臺(tái)形式的傾斜單元204可以允許通過(guò)形成在托臺(tái)中的多個(gè)真空吸附單元等將結(jié)合基板P的另一端部放置在其上。
[0095]第一支撐單元203a設(shè)置在結(jié)合基板P的上側(cè)處，第二支撐單元203b設(shè)置在結(jié)合基板P的下側(cè)處，并且第一支撐單元203a和第二支撐單元203b放置為結(jié)合基板P放置在它們之間，但彼此不成一條直線，以支撐不同區(qū)域。
[0096]此外，第一裂片條206a放置在結(jié)合基板P的上側(cè)處，其中第一裂片條206a接觸并按壓結(jié)合基板P的上部基板(圖3中的第一基板I)的表面。在此，第一裂片條206a和第二支撐單元203b放置為沿豎直方向彼此面對(duì)，結(jié)合基板P放置在它們之間。
[0097]第二裂片條206b放置在結(jié)合基板P的下側(cè)處，其中第二裂片條206b接觸并按壓結(jié)合基板P的下部基板(圖3中的第二基板2)的表面，并且第二裂片條206b和第一支撐單元203a放置為沿豎直方向彼此面對(duì)，結(jié)合基板P放置在它們之間。
[0098]圖6D示出第二裂片條206b向上按壓預(yù)定切割線形成在其中的結(jié)合基板P的下部，以切割結(jié)合基板P的上部基板的狀態(tài)。
[0099]在此情況下，當(dāng)?shù)诙哑瑮l206b與結(jié)合基板P的下表面接觸時(shí)，第一支撐單元203a向下移動(dòng)，以支撐結(jié)合基板P的上表面。
[0100]因?yàn)樵诮Y(jié)合基板P的上表面被第一支撐單元203a支撐的狀態(tài)下，第二裂片條206b向上按壓結(jié)合基板P，所以可以防止當(dāng)力施加到結(jié)合基板P時(shí)結(jié)合基板P扭曲或偏離，從而精確地切割結(jié)合基板P。
[0101]接下來(lái)，圖6E示出第一裂片條206a向下按壓預(yù)定切割線形成在其中的結(jié)合基板P的上部，以切割結(jié)合基板P的下部基板的狀態(tài)。
[0102]在此情況下，當(dāng)?shù)谝涣哑瑮l206a與結(jié)合基板P的上表面接觸時(shí)，第二支撐單元203b向上移動(dòng)，以支撐結(jié)合基板P的下表面。
[0103]因?yàn)樵诮Y(jié)合基板P的下表面被第二支撐單元203b支撐的狀態(tài)下，第一裂片條206a向下按壓結(jié)合基板P，所以可以防止當(dāng)力施加到結(jié)合基板P時(shí)結(jié)合基板P扭曲或偏離，從而精確地切割結(jié)合基板P。
[0104]此外，傾斜單元204可以進(jìn)一步設(shè)置為通過(guò)使結(jié)合基板P的另一端部上下傾斜來(lái)幫助切割結(jié)合基板P。
[0105]參見圖6F，其中示出了傾斜單元204使結(jié)合基板P的另一端部向下傾斜的狀態(tài)，第二支撐單元203b保持在支撐結(jié)合基板P的下表面的狀態(tài)。此外，雖然未示出，但當(dāng)傾斜單元204使結(jié)合基板P的另一端部向上傾斜時(shí)，第一支撐單元203a保持在支撐結(jié)合基板P的上表面的狀態(tài)。
[0106]當(dāng)在兩個(gè)基板通過(guò)密封劑彼此附接的區(qū)域內(nèi)切割結(jié)合基板P時(shí)，可以不僅僅通過(guò)裂片條的按壓操作來(lái)完全切割結(jié)合基板P，并且進(jìn)一步設(shè)置的傾斜單元204使結(jié)合基板P的另一端部向上或向下傾斜，從而在不損壞結(jié)合基板P的表面的情況下有效地幫助切割結(jié)合基板P。
[0107]雖然在上面描述了本發(fā)明的示例性實(shí)施方式，但在不脫離權(quán)利要求中所公開的本發(fā)明的主旨的情況下，本領(lǐng)域技術(shù)人員可通過(guò)添加、改變、刪除或修改組成元件來(lái)以各種方式修改變更本發(fā)明，并且這些修改和變更也屬于本發(fā)明的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)，所述結(jié)合基板包括第一基板和第二基板，其中所述第一基板和所述第二基板通過(guò)插在它們之間的密封劑彼此附接，所述系統(tǒng)包括: 托臺(tái)，其支撐所述結(jié)合基板的一個(gè)端部； 傾斜單元，其使所述結(jié)合基板的另一端部向上或向下傾斜，以切割所述結(jié)合基板；以及 支撐單元，其配置為能夠上下移動(dòng)，以在所述托臺(tái)與所述傾斜單元之間支撐所述結(jié)合基板。2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述支撐單元設(shè)置在所述結(jié)合基板的上側(cè)或下側(cè)處，以支撐所述結(jié)合基板的上表面或下表面。3.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，當(dāng)所述傾斜單元使所述結(jié)合基板的另一端部向上傾斜時(shí)，設(shè)置在所述結(jié)合基板的上側(cè)處的支撐單元向下移動(dòng)，以支撐所述結(jié)合基板的上表面。4.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，當(dāng)所述傾斜單元使所述結(jié)合基板的另一端部向下傾斜時(shí)，設(shè)置在所述結(jié)合基板的下側(cè)處的支撐單元向上移動(dòng)，以支撐所述結(jié)合基板的下表面。5.一種用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)，所述結(jié)合基板包括第一基板和第二基板，其中所述第一基板和所述第二基板通過(guò)插在它們之間的密封劑彼此附接，所述系統(tǒng)包括: 托臺(tái)，其支撐所述結(jié)合基板的一個(gè)端部； 裂片單元，其具有裂片條，所述裂片條接觸并按壓所述結(jié)合基板的表面； 傾斜單元，其使所述結(jié)合基板的另一端部向上或向下傾斜，以切割所述結(jié)合基板；以及支撐單元，其配置為能夠上下移動(dòng)，以在所述托臺(tái)與所述傾斜單元之間支撐所述結(jié)合基板， 其中，所述裂片條和所述支撐單元設(shè)置為沿豎直方向彼此面對(duì)，所述結(jié)合基板放置在它們之間。6.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中，所述裂片單元設(shè)置在所述結(jié)合基板的上側(cè)處，并向下按壓所述結(jié)合基板，并且當(dāng)所述裂片條接觸所述結(jié)合基板的上表面時(shí)，所述支撐單元向上移動(dòng)，以支撐所述結(jié)合基板的下表面。7.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中，當(dāng)所述傾斜單元使所述結(jié)合基板的另一端部向上傾斜時(shí)，所述裂片條接觸所述結(jié)合基板的上表面，以支撐所述結(jié)合基板。8.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中，當(dāng)所述傾斜單元使所述結(jié)合基板的另一端部向下傾斜時(shí)，設(shè)置在所述結(jié)合基板的下側(cè)處的支撐單元向上移動(dòng)，以支撐所述結(jié)合基板的下表面。9.一種用于切割結(jié)合基板的系統(tǒng)，所述結(jié)合基板包括第一基板和第二基板，其中所述第一基板和所述第二基板通過(guò)插在它們之間的密封劑彼此附接，所述系統(tǒng)包括: 托臺(tái)，其支撐所述結(jié)合基板的一個(gè)端部； 第一裂片單元，其具有第一裂片條和第一支撐單元，所述第一裂片條接觸并按壓所述結(jié)合基板的上表面，所述第一支撐單元設(shè)置在所述第一裂片條的一側(cè)處；以及 第二裂片單元，其具有第二裂片條和第二支撐單元，所述第二裂片條接觸并按壓所述結(jié)合基板的下表面，所述第二支撐單元設(shè)置在所述第二裂片條的另一側(cè)處， 其中，所述第一裂片條和所述第二支撐單元設(shè)置為沿豎直方向彼此面對(duì)，所述結(jié)合基板放置在它們之間，并且所述第二裂片條和所述第一支撐單元設(shè)置為沿豎直方向彼此面對(duì)，所述結(jié)合基板放置在它們之間。10.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中，當(dāng)所述第一裂片條接觸所述結(jié)合基板的上表面時(shí)，所述第二支撐單元向上移動(dòng)以支撐所述結(jié)合基板的下表面，并且當(dāng)所述第二裂片條接觸所述結(jié)合基板的下表面時(shí)，所述第一支撐單元向下移動(dòng)以支撐所述結(jié)合基板的上表面。11.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中，所述第一裂片單元包括使所述第一支撐單元上下移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)單元和使所述第一裂片條相對(duì)于所述第一支撐單元上下移動(dòng)的輔助驅(qū)動(dòng)單元，并且所述第二裂片單元包括使所述第二支撐單元上下移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)單元和使所述第二裂片條相對(duì)于所述第二支撐單元上下移動(dòng)的輔助驅(qū)動(dòng)單元。12.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，還包括: 傾斜單元，其使所述結(jié)合基板的另一端部向上或向下傾斜，以切割所述結(jié)合基板。13.如權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其中，當(dāng)所述傾斜單元使所述結(jié)合基板的一個(gè)端部向上傾斜時(shí)，所述第一支撐單元向下移動(dòng)以支撐所述結(jié)合基板的上表面，并且當(dāng)所述傾斜單元使所述結(jié)合基板的一個(gè)端部向下傾斜時(shí)，所述第二支撐單元向上移動(dòng)以支撐所述結(jié)合基板的下表面。
【文檔編號(hào)】G02F1/1333GK105988236SQ201510666955
【公開日】2016年10月5日
【申請(qǐng)日】2015年10月15日
【發(fā)明人】崔漢鉉, 金東明, 李峻碩, 金范錫, 樸正珉
【申請(qǐng)人】塔工程有限公司