壓印裝置、壓印方法及物品制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及壓印裝置、壓印方法以及物品制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]壓印技術(shù)是能夠轉(zhuǎn)印具有納米級(jí)尺寸的微細(xì)圖案的技術(shù)。該技術(shù)實(shí)際上用作用于磁存儲(chǔ)介質(zhì)或半導(dǎo)體設(shè)備的批量生產(chǎn)的光刻技術(shù)。在壓印技術(shù)中，通過使用模具在諸如硅晶片、玻璃板等的基板上形成微細(xì)圖案，在所述模具中，通過使用諸如電子束描繪裝置等的裝置形成微細(xì)圖案。通過利用樹脂涂覆基板的上面來形成微細(xì)圖案，然后，在使樹脂與模具的圖案接觸的狀態(tài)下固化樹脂。針對(duì)涂覆到基板上的樹脂，為了增強(qiáng)使樹脂與圖案接觸時(shí)的填充性，以數(shù)皮升(picolitre)的液滴來將樹脂涂覆(供給)到基板上。
[0003]例如，在通過噴墨方法的樹脂涂覆方式中，除對(duì)于在基板上的圖案形成的樹脂分配之外，還有必要進(jìn)行虛擬分配，以防止噴墨噴嘴堵塞，并且維持噴墨分配性能。虛擬分配也被稱為初步分配或沖洗。然而，如果皮升單位的微小液滴未被固化而被殘留，則會(huì)揮發(fā)，并且結(jié)果是揮發(fā)成分粘附到壓印裝置中的部件上。例如，如果樹脂的揮發(fā)成分粘附到壓印裝置中的基板或掩模上，則在形成微細(xì)圖案時(shí)會(huì)變成圖案缺陷的誘因。
[0004]日本特開2014-41861號(hào)公報(bào)提出了在噴墨附近配設(shè)有排氣機(jī)構(gòu)以將在壓印裝置中發(fā)生的樹脂的揮發(fā)成分排出到壓印裝置外部的壓印裝置。
[0005]在日本特開2014-41861號(hào)公報(bào)中提出的配設(shè)排氣機(jī)構(gòu)的方法中，仍然留有問題，即，存在未被完全排出的樹脂的揮發(fā)成分會(huì)泄漏到壓印裝置之內(nèi)，并且會(huì)發(fā)生圖案缺陷的可能性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明提供了一種壓印裝置，該壓印裝置防止樹脂的虛擬分配粘附到裝置中的部件上。
[0007]本發(fā)明在其第一方面提供了一種壓印裝置，所述壓印裝置用于通過使用模具在基板上形成壓印材料的圖案，所述壓印裝置包括:基板臺(tái)，其被構(gòu)造為保持所述基板；分配單元，其被構(gòu)造為將所述壓印材料分配在所述基板上；照射單元，其被構(gòu)造為照射固化所述壓印材料的能量束；接收單元，其被構(gòu)造為接收從所述分配單元虛擬分配的壓印材料；以及控制器，其被構(gòu)造為使所述虛擬分配的壓印材料被來自所述照射單元的能量束照射，而不使所述虛擬分配的壓印材料與所述模具接觸。
[0008]本發(fā)明在其第二方面提供了一種物品制造方法，所述物品制造方法使用由第一方面指定的壓印裝置。
[0009]本發(fā)明在其第三方面提供一種了壓印方法，所述壓印方法通過使壓印材料與模具接觸在基板上形成壓印材料的圖案，所述壓印方法包括:將所述壓印材料虛擬分配到不同于形成有所述圖案的所述基板的接收單元上；在所述虛擬分配之后在所述基板上形成所述壓印材料的所述圖案；以及在所述圖案形成之前，固化所述虛擬分配的壓印材料，而不使所述虛擬分配的壓印材料與所述模具接觸。
[0010]本發(fā)明在其第四方面提供了一種壓印裝置，所述壓印裝置用于通過使用模具在基板上形成壓印材料的圖案，所述壓印裝置包括:分配單元，其被構(gòu)造為將所述壓印材料分配在所述基板上；接收單元，其不同于形成有圖案的所述基板，并且被構(gòu)造為接收從所述分配單元虛擬分配的所述壓印材料；以及固化單元，其被構(gòu)造為固化分配到所述接收單元上的所述壓印材料，而不使分配到所述接收單元上的所述壓印材料與所述模具接觸。
[0011]本發(fā)明在其第五方面提供了一種壓印方法，所述壓印方法通過使用模具在基板上形成壓印材料的圖案，所述壓印方法包括:將所述壓印材料虛擬分配到不同于形成有所述圖案的所述基板的接收單元上；以及固化虛擬分配到所述接收單元上的所述壓印材料。
[0012]通過以下參照附圖對(duì)示例性實(shí)施例的描述，本發(fā)明的其他特征將變得清楚。
【附圖說明】
[0013]圖1A和圖1B是示出根據(jù)本發(fā)明的壓印裝置的圖。
[0014]圖2A至圖2F是示出壓印處理的圖。
[0015]圖3是示出模具的圖。
[0016]圖4是示出樹脂接收單元的圖。
[0017]圖5是示出基板輸送機(jī)構(gòu)的圖。
[0018]圖6是示出根據(jù)本發(fā)明的壓印處理的序列的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019][壓印裝置]
[0020]圖1A示出了根據(jù)本發(fā)明的通過使基板上的樹脂與模具接觸而在基板上形成圖案的壓印裝置的實(shí)施例。壓印裝置首先將基板3保持在基板臺(tái)4的基板保持單元8中。軸外對(duì)準(zhǔn)觀測器7檢測基板上配設(shè)的標(biāo)記(未示出)和基板臺(tái)側(cè)標(biāo)記15，并且獲得基板臺(tái)4和基板3的位置偏差量及形狀偏差量。軸上對(duì)準(zhǔn)觀測器16檢測模具側(cè)標(biāo)記36和基板臺(tái)側(cè)標(biāo)記15，并且獲得基板臺(tái)4和模具2的位置偏差量及形狀偏差量。校正機(jī)構(gòu)(未示出)校正位置偏差和形狀偏差。針對(duì)各投射，壓印裝置進(jìn)行針對(duì)位置偏差和形狀偏差的校正處理，還進(jìn)行形成圖案的壓印處理，以在基板3上的多個(gè)投射區(qū)域中形成圖案。在壓印處理中，通過涂覆單元(分配單元)6從噴墨噴嘴向?qū)ο笸渡鋮^(qū)域涂覆(分配)光固化樹脂26。接下來，通過沿Z軸驅(qū)動(dòng)保持模具2的噴墨頭1，使對(duì)象投射區(qū)域上的樹脂26與模具2的圖案接觸，并且樹脂26填充圖案。在該狀態(tài)下，照射單元5照射作為紫外線等的能量束，以固化樹脂26并將圖案轉(zhuǎn)印到基板3上。根據(jù)本實(shí)施例，光固化樹脂被用作樹脂26。通過照射光來固化光固化樹脂。因此，照射單元5照射光以固化光固化樹脂。如果紫外線固化樹脂被用于樹脂26，則能夠使用紫外線作為能量束。能量束不限于紫外線，還可以根據(jù)樹脂26的類型適當(dāng)?shù)卮_定。
[0021]照射單元5包括單一能量束源5a、第一照射單元5b和第二照射單元5c。第一照射單元5b向由基板臺(tái)4保持的基板3照射能量束。第二照射單元5c向后述的第二樹脂接收單元18照射能量束。切換機(jī)構(gòu)5d在導(dǎo)向第一照射單元5b的路徑與導(dǎo)向第二照射單元5c的路徑之間，切換由能量束源5a生成的能量束的路徑。
[0022]基板保持單元8包括基板粘附機(jī)構(gòu)和基板保持夾件?；灞３謯A件由一個(gè)或多個(gè)區(qū)域組成，并且基板粘附機(jī)構(gòu)被構(gòu)造在各區(qū)域上。照相機(jī)14能夠從模具保持單元10側(cè)拍攝形成有圖案的模具的第一圖案單元31，以記錄樹脂26填充在模具2與基板3之間的處理。由照相機(jī)14記錄的圖像被存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器單元(未示出)中。針對(duì)模具側(cè)標(biāo)記36與基板側(cè)標(biāo)記之間、以及模具側(cè)標(biāo)記36與基板臺(tái)側(cè)標(biāo)記15之間的相對(duì)位置的測量，可以使用諸如在日本特開2008-509825號(hào)公報(bào)中公開的光位置檢測器。特別是，由于能夠以簡單的光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)高測量精度，因此使用由兩者產(chǎn)生的莫爾信號(hào)的測量方法是有用的。因?yàn)闊o需高精度光學(xué)系統(tǒng)也能夠進(jìn)行莫爾信號(hào)的檢測，所以能夠采用具有低分辨力(小數(shù)值孔徑)的觀測器，并且因此能夠構(gòu)造多個(gè)觀測器。由此，能夠構(gòu)造例如同時(shí)測量投射的四個(gè)角的標(biāo)記的構(gòu)成。
[0023]圖1B示出了壓印頭。噴墨頭1通過以模具保持單元10粘附模具2，來保持模具
2。壓力控制機(jī)構(gòu)11能夠調(diào)整由密封玻璃12和模具背側(cè)包圍的模具背側(cè)空間的