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寬波段半反半透導(dǎo)電鏡片及其制備方法與流程

文檔序號:11152433閱讀:619來源:國知局
寬波段半反半透導(dǎo)電鏡片及其制備方法與制造工藝

本發(fā)明涉及一種光學(xué)元器件,特別涉及一種寬波段半反半透導(dǎo)電鏡片及其制備方法。



背景技術(shù):

半反半透鏡片因同時具有較好的光學(xué)透過及反射性質(zhì)而有著很大的應(yīng)用空間,被廣泛用于光學(xué)設(shè)備、攝影鏡頭、車內(nèi)后視鏡及電子產(chǎn)品顯示屏等領(lǐng)域。半反半透鏡片指的是反射率在20%~ 50%范圍內(nèi)的光學(xué)鏡片,其根據(jù)具體的需要不同而選擇所需的反射率,可以比較低、也可以比較高,統(tǒng)稱“半反半透”。

近些年來隨著電子設(shè)備的飛速發(fā)展,各種諸如智能手機、平板、車載顯示屏等電子產(chǎn)品紛紛問世,這些產(chǎn)品所具有的共同特征便是對觸摸屏的應(yīng)用。目前觸摸屏領(lǐng)域的核心產(chǎn)業(yè)仍是以ITO(氧化銦錫薄膜)為代表的各種全透型透明導(dǎo)電薄膜技術(shù)的應(yīng)用,但全透型屏幕技術(shù)目前所面臨的一大難題便是如何克服眩光問題,當(dāng)使用者從強光環(huán)境突然進入弱光環(huán)境中會產(chǎn)生短時間的不適,視情況的不同可能會造成嚴重的后果。而解決這一困難的一種途徑就是以半反半透屏幕來取代全透型屏幕,隨著光照的強度變化,半反半透屏幕的反射光強也隨之變化,方便使用者操作;當(dāng)轉(zhuǎn)換至弱光環(huán)境下,背光源所發(fā)出的光成為主要光源,這同樣將幫助使用者更好的工作。傳統(tǒng)的半反半透玻璃并不具備導(dǎo)電性質(zhì),這對其應(yīng)用領(lǐng)域產(chǎn)生了一定的限制。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明是針對傳統(tǒng)半反半透鏡片不具備導(dǎo)電性的問題,提出了一種寬波段半反半透導(dǎo)電鏡片及其制備方法,能大大拓寬應(yīng)用領(lǐng)域,其既可以代替透明導(dǎo)電玻璃用于觸摸屏等已廣為普及的行業(yè),也能在近些年中新興而起的智能穿戴設(shè)備和虛擬現(xiàn)實領(lǐng)域中打開廣泛的潛在應(yīng)用空間。

本發(fā)明的技術(shù)方案為:一種寬波段半反半透導(dǎo)電鏡片,包括基片和附在基片表面上的復(fù)合膜層,基片材質(zhì)為石英或玻璃,復(fù)合膜層是沉積于基片表面、由厚度為50 ~ 100nm的銀薄膜以及分散在異丙醇或乙醇中、濃度為0.02 ~ 0.2mg/ml的氧化石墨烯復(fù)合而成的多層薄膜。

所述寬波段半反半透導(dǎo)電鏡片的制備方法,具體包括如下步驟:

1)、清洗基底:以超聲波方法對石英或玻璃基底進行清洗;

2)、鍍銀薄膜:以電子束蒸鍍法或磁控濺射法在清洗后的基底上鍍上符合需求厚度的單層銀薄膜;

3)、涂覆氧化石墨烯膠體,用異丙醇或乙醇將Hummers法制得的氧化石墨烯分散為膠體,并將氧化石墨烯膠體涂覆于制備好的單層銀薄膜的表面,膠體濃度及涂覆量根據(jù)需求進行選擇;

4)、通風(fēng)櫥中自然風(fēng)干;

5)、靜置1小時,使氧化石墨烯膠體與銀薄膜充分接觸,實現(xiàn)半反半透的效果;

6)、得到復(fù)合薄膜,即制備得到寬波段半反半透的導(dǎo)電鏡片。

步驟6)制得的寬波段半反半透導(dǎo)電鏡片的工作區(qū)間為600nm ~ 1800nm,工作區(qū)間內(nèi)的透過率為15% ~35%,反射率為50~70%,方塊電阻為1 ~ 10Ω/□。

本發(fā)明的有益效果在于:本發(fā)明寬波段半反半透導(dǎo)電鏡片及其制備方法,依照本發(fā)明所制備的鏡片不僅在寬波段內(nèi)具有半反半透的性質(zhì),同時也兼具導(dǎo)電性,在觸摸屏、電子設(shè)備及智能穿戴領(lǐng)域擁有廣闊的應(yīng)用空間。

附圖說明

圖1為本發(fā)明制備寬波段半反半透導(dǎo)電鏡片的方法流程圖;

圖2為通過分光光度計法測得的、按實施例一中本方法所制備的樣品在600~1800nm波段的透過率及反射率譜圖。

具體實施方式

所述寬波段半反半透導(dǎo)電鏡片包括基片和附在基片表面上的復(fù)合膜層,基片材質(zhì)可以為石英或玻璃,復(fù)合膜層是沉積于基片表面、由厚度為50 ~ 100nm的銀薄膜及分散在異丙醇或乙醇中、濃度為0.02 ~ 0.2mg/ml的氧化石墨烯復(fù)合而成的多層薄膜。

所述寬波段半反半透導(dǎo)電鏡片的工作區(qū)間為600nm ~ 1800nm,工作區(qū)間內(nèi)的透過率為15% ~35%,反射率為50~70%,方塊電阻為1 ~ 10Ω/□。

以下實施例結(jié)合附圖對本發(fā)明寬波段半反半透導(dǎo)電鏡片及其制備方法作具體闡述。

如圖1所示的制備流程,包括步驟:

S1、清洗基底,以超聲波方法對石英或玻璃中任意一種符合需求的基底進行清洗。

S2、鍍銀薄膜,以電子束蒸鍍法或磁控濺射法在清洗后的基底上鍍上符合需求厚度的單層銀薄膜。

S3、涂覆氧化石墨烯膠體,用異丙醇或乙醇將Hummers法制得的氧化石墨烯分散為膠體,并將氧化石墨烯膠體涂覆于制備好的單層銀薄膜的表面,膠體濃度及涂覆量根據(jù)需求進行選擇。

S4、通風(fēng)櫥中自然風(fēng)干。

S5、靜置1小時,為了使氧化石墨烯膠體與銀薄膜充分接觸,以實現(xiàn)半反半透的效果。

S6、得到復(fù)合薄膜,此時已制備得到寬波段半反半透的導(dǎo)電鏡片。

下面為具體實施例。

實施例一

清洗石英基片后干燥。

以真空電子束蒸發(fā)的方式在石英基片表面沉積60nm厚度的銀薄膜,在單層銀薄膜的表面涂覆0.25ml濃度為0.10mg/ml的氧化石墨烯膠體,于通風(fēng)櫥靜置1小時使其自然揮發(fā)成膜。

得到600nm~1800nm波段內(nèi)透過率約30%、反射率約50%的半反半透導(dǎo)電鏡片。如圖2所示為通過分光光度計法測得的所制備的樣品在600~1800nm波段的透過率及反射率譜圖。

實施例二

清洗石英基片后干燥。

以真空電子束蒸發(fā)的方式在石英基片表面沉積80nm厚度的銀薄膜,在單層銀薄膜的表面涂覆0.25ml濃度為0.15mg/ml的氧化石墨烯膠體,于通風(fēng)櫥靜置1小時使其自然揮發(fā)成膜。

得到600nm~1800nm波段內(nèi)透過率約26%、反射率約52%的半反半透導(dǎo)電鏡片。

實施例三

清洗K9基片后干燥。

以磁控濺射的方式在石英基片表面沉積70nm厚度的銀薄膜,在單層銀薄膜的表面涂覆0.5ml濃度為0.20mg/ml的氧化石墨烯膠體,于通風(fēng)櫥靜置1小時使其自然揮發(fā)成膜。

得到600nm~1800nm波段內(nèi)透過率約30%、反射率約50%的半反半透導(dǎo)電鏡片。

本發(fā)明提供了一種方阻可以小于10Ω/□的寬波段半反半透鏡片的制備方法。具體起到導(dǎo)電作用的是銀薄膜,銀是常用的制備高反射鏡的材料,其在近紫外波段有一個透過峰,但在可見光及近紅外波段反射率極高而透過率低。我們研究后發(fā)現(xiàn),按我們的方法制得的這一氧化石墨烯膠體與銀的復(fù)合薄膜同時具有導(dǎo)電及半反半透的性質(zhì),并可以通過調(diào)控氧化石墨烯溶液的濃度及劑量的方式來改變方阻值、透過率及反射率。

傳統(tǒng)的半反半透鏡片是在基底表面堆砌多層薄膜或在玻璃中摻雜特定的元素來得到特定波段的半反半透效果,本發(fā)明不僅將工藝簡化至兩層薄膜結(jié)構(gòu),同時還在600nm~1800nm這一寬波段內(nèi)得到了半反半透效果。

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